CN103575261B - 振动片及其制法、振子、电子装置、电子设备及移动体 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种振动片及其制法、振子、电子装置、电子设备及移动体，其能够防止由相互向相反方向延伸的驱动振动臂的锤层的大小或质量的不同而引起的温度漂移。振动片具备：一对第一以及第二驱动振动臂（441、442），其从基部（41）起相互向相反方向延伸；第一锤部（12a、12b），其以从第一以及第二驱动振动臂中的至少一方的顶端向基部侧隔开间隔的方式，而被设置在至少一个驱动振动臂的第一区域内；第二锤部（11a、11b），其被设置在第一锤部的顶端与至少一个驱动振动臂的顶端之间的区域即第二区域内，在将第一区域的面积设为A1，将第一锤部的质量设为B1，并将第二区域的面积设为A2，将第二锤部的质量设为B2时，B1/A1＞B2/A2。

Description

振动片及其制法、振子、电子装置、电子设备及移动体

技术领域

本发明涉及一种振动片、振动片的制造方法、振子、电子装置、电子设备及移动体。

背景技术

一直以来，作为用于检测角速度的振动片，已知一种所谓的“双T型”的陀螺元件（例如，参照专利文献1）。

专利文献1中所记载的陀螺元件通过如下部分构成，所述部分包括：基部；从基部起沿着y轴而向两侧延伸的第一、第二检测振动臂（检测臂）；从基部起沿着x轴而向两侧延伸的第一、第二连结臂（连接臂）；从第一连结臂起沿着y轴而向两侧延伸的第一、第二驱动振动臂（驱动臂）；从第二连结臂起沿着y轴而向两侧延伸的第三、第四驱动振动臂（驱动臂）。

而且，在第一、第二、第三、第四驱动振动臂的顶端部上，设置有以从各个驱动振动臂的顶端朝向基部的方式而设置的锤层。该锤层为，用于各个驱动振动臂的共振频率调节（以下，称为频率调节）的质量调节膜，且该锤层是通过使用了蒸镀掩膜的蒸镀法等而被形成的。在频率调节中，通过使用例如激光等来去除该锤层的至少一部分，从而将各个驱动振动臂的共振频率校准为预定的值。

然而，在如上文所述通过使用了蒸镀掩膜的蒸镀法等来形成各个振动臂的锤层的情况下，存在蒸镀掩膜的设置位置产生偏差的情况。特别是，在蒸镀掩膜的设置位置于各个驱动振动臂（振动臂）的延伸方向（y轴方向）上发生了偏移的情况下，在各个驱动振动臂从基部起向两侧（相互向相反方向）延伸的、例如第一驱动振动臂、第二驱动振动臂中，如果第一驱动振动臂的锤层增大，则第二驱动振动臂的锤层将减小。

如此，在蒸镀掩膜的设置位置于各个驱动振动臂的延伸方向（y轴方向）上发生了偏移的情况下，被形成在相互向相反方向延伸的驱动振动臂上的锤层的大小和质量将有所不同（失去平衡）。即，被设置于相互向相反方向延伸的各个驱动振动臂上的锤层的重心位置和质量将有所不同。由此，存在相互向相反方向延伸的驱动振动臂的振动平衡被破坏，从而产生频率温度特性的劣化、即所谓的温度漂移的情况。

专利文献1：日本特开2006-105614号公报

发明内容

本发明是为了解决上述课题中的至少一部分而被完成的，并且能够作为以下的方式或应用例而实现。

应用例1

本应用例所涉及的振动片的特征在于，具备：基部；一对振动臂，其从所述基部起相互向相反方向延伸；第一锤部，其以从至少一个所述振动臂的顶端向所述基部侧隔开间隔的方式，而被设置在所述至少一个所述振动臂上；第二锤部，其被设置在所述第一锤部的顶端与所述至少一个所述振动臂的顶端之间的区域内，在将设置有所述第一锤部的区域设为第一区域，将所述第一锤部的顶端与所述至少一个所述振动臂的顶端之间的区域设为第二区域，并将所述第一区域的面积设为A1，将所述第一锤部的质量设为B1，且将所述第二区域的面积设为A2，将所述第二锤部的质量设为B2时，B1/A1＞B2/A2。

本申请的发明人发现了如下情况，即，在被设置于振动臂上的锤层（包括第一锤部与第二锤部在内的锤部）与振动片的温度漂移之间的关联性中，存在锤层的重心位置不平衡（锤层的位置变化）对温度漂移的影响、和锤层的质量不平衡对温度漂移的影响。另外，在此，温度漂移是指，振动片的频率相对于温度变化而发生变化的情况。

进行详细叙述，与锤层的位置的不平衡相比，锤层的质量不平衡对温度漂移的影响度更大，且锤层的位置越靠近振动臂的顶端，对温度漂移的影响度越大。而且，在锤层的质量不平衡与振动片的温度漂移之间的相关关系中，具有拥有负的斜率的相关关系，而在锤层的位置不平衡与振动片的温度漂移之间的相关关系中，具有拥有正的斜率的相关关系。即，本申请的发明人发现了如下内容，通过使用上文所述的结构的锤层，从而能够使由锤层的质量不平衡而引起的温度漂移、和由锤层的位置不平衡的影响而引起的温度漂移相抵消，由此，能够减少温度漂移的发生。

在本应用例的振动片中，由于从基部起相互朝向相反方向延伸出一对振动臂，因此在蒸镀掩膜的设置位置于各个振动臂的延伸方向上发生了偏移的情况下，被设置于各个振动臂上的第一锤部的位置在一个振动臂中，将向顶端侧偏移形成，而在另一个振动臂中，将向基部侧偏移形成。

在此，第一锤部以从振动臂的顶端隔开间隔的方式，而被设置在振动臂的第一区域内，而第二锤部被设置在第一锤部与振动臂的顶端之间的整个区域即第二区域内，也就是说，所述第二锤部被设置于，与第一锤部相比靠振动臂的顶端侧的位置处，并且，在将第一区域的面积设为A1，将第一锤部的质量设为B1，并将第二区域的面积设为A2，将第二锤部的质量设为B2时，B1/A1＞B2/A2。

由于通过该结构，减小了对振动片的温度漂移的产生影响度较大的第二锤部的质量，因此质量不平衡与振动片的温度漂移之间的相关关系中的负的斜率减小。此时，由于第一锤部以其位置在一个以及另一个振动臂内发生偏移的方式而形成，因此，虽然受到位置的不平衡对振动片的温度漂移的影响，但位置不平衡与振动片的温度漂移之间的相关关系中的正的斜率不会发生改变。

因此，在上述结构中，在第二锤部的质量不平衡的与振动片的温度漂移之间的相关关系中减小了的负的斜率、和第一锤部的位置不平衡与振动片的温度漂移之间的相关关系中的原本就较小的正的斜率，具有正负基本相同的斜率。由此，质量不平衡的与振动片的温度漂移之间的相关关系、和位置不平衡与振动片的温度漂移之间的相关关系相抵消，从而即使在蒸镀掩膜的设置位置于各个振动臂的延伸方向上发生了偏移的情况下，即，即使在被设置于各个振动臂上的第一锤部以及第二锤部的位置发生了偏移的情况下，也能够抑制振动片的温度漂移的发生。

另外，虽然本结构可应用于一对振动臂的双方中，但是，只需应用于一对振动臂中位于与锤部发生偏移的方向相反的一侧的一个振动臂中，便能够产生上文所述的效果。即，只需将本结构的锤部应用于，位于与锤部发生偏移的方向相反的一侧的一个振动臂中即可。

应用例2

上述应用例所记载的振动片的特征在于，所述第二锤部在与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的宽度，小于所述第一锤部的所述宽度。

根据本应用例，能够使对振动片的温度漂移的产生影响度较大的第二锤部的质量不平衡的、与振动片的温度漂移之间的相关关系中的负的斜率减小。换言之，即使在由于蒸镀掩膜的设置位置于各个振动臂的延伸方向上发生了偏移等，从而被设置于各个振动臂上的第一锤部以及第二锤部的位置发生了偏移的情况下，也能够抑制振动片的温度漂移的产生。

应用例3

上述应用例所记载的振动片的特征在于，所述第二锤部被设置于，与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的大致中央部处。

根据本应用例，由于取得了第二锤部的振动臂的宽度方向上的平衡，因此能够进一步抑制对振动片的温度漂移的影响。

应用例4

上述应用例所记载的振动片的特征在于，所述第二锤部由多个第三锤部构成。

根据本应用例，由于第二锤部以包括多个第三锤部的方式而构成，因此能够使对振动片的温度漂移的产生影响度较大的第二锤部的质量不平衡的、与振动片的温度漂移之间的相关关系中的负的斜率减小。

应用例5

上述应用例所记载的振动片的特征在于，所述第一锤部以与沿着所述至少一个所述振动臂的延伸方向的、所述至少一个所述振动臂的侧端之间隔开间隔的方式而被设置。

根据本应用例，即使在蒸镀掩膜的设置位置在各个振动臂的宽度方向上发生了偏移的情况下，由于在第一锤部与振动臂的侧端之间存在间隔，从而也能够抑制第一锤部偏离出各个振动臂的情况。因此，即使在第一锤部于各个振动臂的宽度方向上发生了偏移的情况下，也能够防止第一锤部的质量变化的产生。

应用例6

上述应用例所记载的振动片的特征在于，所述至少一个所述振动臂具备宽度宽大部，所述宽度宽大部以如下方式形成，即，在俯视观察时与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的一部分的宽度，宽于与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的其他部分的宽度，所述第一锤部以及所述第二锤部被设置于所述宽度宽大部上。

根据本应用例，能够增大第一锤部以及第二锤部的质量，从而能够扩大频率的调节范围。

应用例7

上述应用例所记载的振动片的特征在于，设置有一对检测用振动臂，所述一对检测用振动臂从所述基部起相互向相反方向延伸。

根据本应用例，能够提供一种如下的陀螺振动片，即，即使在由于蒸镀掩膜的设置位置于各个振动臂的延伸方向上发生了偏移等，从而被设置在各个振动臂上的第一锤部以及第二锤部的位置发生了偏移的情况下，也能够抑制振动片的温度漂移的发生的陀螺振动片。

应用例8

本应用例所涉及的振动片的制造方法的特征在于，包括：形成包括基部和一对振动臂在内的外形形状的工序，所述一对振动臂从所述基部起相互向相反方向延伸；以从至少一个所述振动臂的顶端向所述基部侧隔开间隔的方式，在所述至少一个所述振动臂上形成第一锤部，并在所述第一锤部的顶端与所述至少一个所述振动臂的顶端之间的区域内形成第二锤部的工序；去除所述第一锤部以及所述第二锤部中的至少一方的至少一部分、或者增加所述第一锤部以及所述第二锤部中的至少一方的质量，从而对所述振动臂的共振频率进行调节的工序，在将设置有所述第一锤部的区域设为第一区域，将所述第一锤部的顶端与所述至少一个所述振动臂的顶端之间的区域设为第二区域，并将所述第一区域的面积设为A1，将所述第一锤部的质量设为B1，且将所述第二区域的面积设为A2，将所述第二锤部的质量设为B2时，以B1/A1＞B2/A2的关系形成。

根据本应用例，能够制造出如下的振动片，即，对振动片的温度漂移的发生影响度较大的第二锤部的质量不平衡的、与振动片的温度漂移之间的相关关系中的负的斜率较小的振动片。换言之，能够制造出如下的振动片，即，即使在由于蒸镀掩膜的设置位置于各个振动臂的延伸方向上发生了偏移等，从而被设置于各个振动臂上的第一锤部以及第二锤部的位置发生了偏移的情况下，也能够抑制振动片的温度漂移的发生的振动片。

应用例9

上述应用例所涉及的振动片的制造方法的特征在于，形成所述第一锤部和所述第二锤部的工序包括：以从所述至少一个所述振动臂的顶端向所述基部侧隔开间隔的方式，在所述至少一个所述振动臂上形成所述第一锤部的工序；在所述第一锤部的顶端与所述至少一个所述振动臂的顶端之间的区域内形成所述第二锤部的工序。

根据本应用例，能够制造出如下振动片，即，即使在由于蒸镀掩膜的设置位置于各个振动臂的延伸方向上发生了偏移等，从而被设置于各个振动臂上的第一锤部以及第二锤部的位置发生了偏移情况下，也能够抑制振动片的温度漂移的发生的振动片。此外，由于能够在不同的工序中形成第一锤部和第二锤部，因此能够应对于，例如各个锤部的材质的改变、各个锤部的厚度的改变等。

应用例10

本应用例所涉及的振子的特征在于，具备：上述应用例中的任一例所记载的振动片；封装件，其对所述振动片进行收纳。

根据本应用例，能够提供一种抑制了振动片的温度漂移的发生的、即提高了温度特性的振子。

应用例11

本应用例所涉及的电子装置的特征在于，具备：上述应用例中的任一例所记载的振动片；电路元件，其至少具有使所述振动片进行驱动的功能。

根据本应用例，能够提供一种抑制了温度漂移的发生，从而实现了温度特性的提高的电子装置。

应用例12

本应用例所涉及的电子设备的特征在于，具备上述应用例中的任一例所记载的振动片。

根据本应用例，由于使用抑制了温度漂移的发生，从而实现了温度特性的提高的振动片，因此能够提供一种相对于温度变化的特性较为稳定的电子设备。

应用例13

本应用例所涉及的移动体的特征在于，具备上述应用例中的任一例所记载的振动片。

根据本应用例，由于使用抑制了振动片的温度漂移的发生，从而实现了温度特性的提高的振动片，因此能够提供一种相对于温度变化的特性较为稳定的移动体。

附图说明

图1为表示本发明所涉及的振动片的实施方式、以及使用了该振动片的振子的实施方式的概要图，（A）为俯视图，（B）为主剖视图。

图2为作为振子所具备的振动片的陀螺元件的俯视图。

图3为对陀螺元件的驱动进行说明的俯视图。

图4为对现有的、锤部与陀螺元件的温度漂移之间的关系进行说明的图，（A）为表示锤部的形态的局部俯视图，（B）为表示锤部的偏移量与温度漂移量之间的相关关系的曲线图。

图5为对本实施方式的、锤部与陀螺元件的温度漂移之间的关系进行说明的图，（A）为表示锤部的形态的局部俯视图，（B）为表示锤部的偏移量与温度漂移量之间的相关关系的曲线图。

图6为对本实施方式的、锤部与陀螺元件的温度漂移之间的关系进行说明的图，（A）为表示锤部的形态的局部俯视图，（B）为表示锤部的偏移量与温度漂移量之间的相关关系的曲线图。

图7为对本实施方式的、锤部与陀螺元件的温度漂移之间的关系进行说明的图，（A）为表示锤部的形态的局部俯视图，（B）为表示锤部的偏移量与温度漂移量之间的相关关系的曲线图，（C）为表示锤部的形状的详细情况的放大俯视图。

图8（A）～（E）为表示锤部的改变例的局部俯视图。

图9（A）～（C）为表示锤部的改变例的俯视图、以及剖视图。

图10为表示本发明所涉及的振动片的制造方法的流程图。

图11为表示使用了本发明所涉及的振动片的电子装置的主剖视图。

图12为表示作为电子设备的一个示例的便携式个人计算机的结构的立体图。

图13为表示作为电子设备的一个示例的移动电话的结构的立体图。

图14为表示作为电子设备的一个示例的数码照相机的结构的立体图。

图15为表示作为移动体的一个示例的汽车的结构的立体图。

具体实施方式

以下，根据附图所示的实施方式，对本发明的振动片以及振子进行详细说明。

实施方式

首先，对本发明所涉及的振动片的实施方式、以及应用了该振动片的振子的实施方式进行说明。

图1为表示本发明所涉及的振动片、以及使用了该振动片的振子的实施方式的图，（A）为俯视图，（B）为主剖视图。图2为表示作为图1所示的振子所具备的振动片的陀螺元件的俯视图。图3为对陀螺元件的驱动进行说明的俯视图。另外，在下文中，如图1所示，将相互正交的三个轴设为x轴、y轴以及z轴，z轴与振动装置的厚度方向相一致。此外，将与x轴平行的方向称为“x轴方向（第二方向）”，将与y轴平行的方向称为“y轴方向（第一方向）”，将与z轴平行的方向称为“z轴方向”。

图1所示的振子1具有作为振动片的陀螺元件（振动元件）2，和对陀螺元件2进行收纳的封装件9。以下，依次对陀螺元件2以及封装件9进行详细说明。

陀螺元件

图2为从上侧（盖92侧）进行观察时的、作为振动片的陀螺元件的俯视图。另外，虽然在陀螺元件上设置有检测信号电极、检测信号配线、检测信号端子、检测接地电极、检测接地配线、检测接地端子、驱动信号电极、驱动信号配线、驱动信号端子、驱动接地电极、驱动接地配线以及驱动接地端子等，但在该图中省略了图示。

作为振动片的陀螺元件2为，对绕z轴的角速度进行检测的“面外检测型”的传感器，虽然未图示，但所述陀螺元件2通过基材、被设置于基材的表面上的多个电极、配线以及端子而构成。

虽然陀螺元件2可以由水晶、钽酸锂、铌酸锂等压电材料构成，但在这些材料中，优选由水晶构成。由此，可得到能够发挥优异的振动特性（频率特性）的陀螺元件2。

这种陀螺元件2具有：振动体4，其呈所谓的双T型；作为支承部的第一支承部51以及第二支承部52，其对振动体4进行支承；作为梁的第一梁61、第二梁62、第三梁63以及第四梁64，其对振动体4和第一、第二支承部51、52进行连结。

振动体4在xy平面上具有展宽，且在z轴方向上具有厚度。这种振动体4具有：位于中央的基部41；从基部41起沿着y轴方向而向两侧延伸的第一检测振动臂421、第二检测振动臂422；从基部41起沿着x轴方向而向两侧延伸的第一连结臂431、第二连结臂432；从第一连结臂431的顶端部起沿着y轴方向而向两侧延伸的、作为振动臂的第一驱动振动臂441以及第二驱动振动臂442；从第二连结臂432的顶端部起沿着y轴方向而向两侧延伸的、作为振动臂的第三驱动振动臂443以及第四驱动振动臂444。在第一、第二检测振动臂421、422以及第一、第二、第三、第四驱动振动臂441、442、443、444的顶端部处，分别设置有与基端侧相比宽度较大的大致四边形的、作为宽度宽大部的重量部（锤头）425、426、445、446、447、448。通过设置这种重量部425、426、445、446、447、448，从而提高了陀螺元件2对角速度的检测灵敏度。

另外，第一、第二驱动振动臂441、442也可以从第一连结臂431的延伸方向上的中途起延伸，同样地，第三、第四驱动振动臂443、444也可以从第二连结臂432的延伸方向上的中途起延伸。

此外，虽然在本示例中，采用从第一连结臂431、第二连结臂432起延伸出了第一驱动振动臂441、第二驱动振动臂442、第三驱动振动臂443、以及第四驱动振动臂444的结构而进行了说明，其中，第一连结臂431、第二连结臂432从基部41起延伸，但是，也能够以包括基部41、第一连结臂431和第二连结臂432在内的方式形成基部。即，也可以采用从基部起延伸出了第一驱动振动臂、第二驱动振动臂、第三驱动振动臂以及第四驱动振动臂的结构。

此外，第一、第二支承部51、52分别沿着x轴方向延伸，并且振动体4位于上述第一、第二支承部51、52之间。换言之，第一、第二支承部51、52以隔着振动体4而沿着y轴方向对置的方式被配置。第一支承部51通过第一梁61以及第二梁62而与基部41连结，第二支承部52通过第三梁63以及第四梁64而与基部41连结。

第一梁61穿过第一检测振动臂421和第一驱动振动臂441之间，而对第一支承部51和基部41进行连结，第二梁62穿过第一检测振动臂421和第三驱动振动臂443之间，而对第一支承部51和基部41进行连结，第三梁63穿过第二检测振动臂422和第二驱动振动臂442之间，而对第二支承部52和基部41进行连结，第四梁64穿过第二检测振动臂422和第四驱动振动臂444之间，而对第二支承部52和基部41进行连结。

这样的各个梁61、62、63、64分别具有在沿着x轴方向往复的同时沿着y轴方向延伸的蜿蜒部（S字形状部），从而在x轴方向以及y轴方向上具有弹性。此外，由于各个梁61、62、63、64分别具备具有蜿蜒部的细长形状，因此在所有方向上均具有弹性。因此，即使从外部施加有冲击，也由于具有通过各个梁61、62、63、64而对冲击进行吸收的作用，因此能够减少或抑制由该冲击所引起的检测噪声。

陀螺元件的锤部

在第一检测振动臂421的重量部425、以及第二检测振动臂422的重量部426上设置有，用于将第一检测振动臂421以及第二检测振动臂422的固有共振频率校准为所需的频率的、质量调节用的检测臂锤层14、15。

在第一驱动振动臂441的重量部445上，设置有锤部13c。锤部13c包括：第一锤部12c，其以从第一驱动振动臂441的顶端向基部41侧隔开间隔的方式，而被设置在第一驱动振动臂441的第一区域内；第二锤部11c，其被设置在第一驱动振动臂441的顶端、与第一锤部12c的靠第一驱动振动臂441的顶端侧的端部（以下，称为“第一锤部12c的顶端”）之间的第二区域内。

第一区域为，与第一驱动振动臂441的顶端（重量部445的顶端）以及重量部445的两个侧边隔开间隔的、四边形的面积为A1的区域。第一锤部12c为，与第一区域大致重叠的四边形，且被设置为具有质量B1。另外，在图2中，用交叉影线来表示第一区域。

第二区域为，第一锤部12c的顶端和与第一锤部12c的顶端对置的第一驱动振动臂441的顶端之间的面积为A2的区域。第二锤部11c为，在第二区域内从第一锤部12c的靠第一驱动振动臂441的顶端侧的、宽度方向（x轴方向）上的大致中央部起到达至第一驱动振动臂441的顶端为止的、与第一锤部12c相比宽度较窄的四边形，且被设置为具有质量B2。

如此，锤部13c朝向第一驱动振动臂441的顶端侧而被形成为凸形形状。锤部13c以第一区域的面积A1、第二区域的面积A2、第一锤部12c的质量B1、以及第二锤部11c的质量B2满足B1/A1＞B2/A2的方式而被设置。在本示例中，第一锤部12c和第二锤部11c以相同的厚度而形成，并且为了满足上述关系式，第一锤部12c以与第一区域大致相同的形状而被设置，第二锤部11c以与第二区域的宽度相比第二锤部11c的宽度较窄的方式而被设置。

同样地，在第二驱动振动臂442的重量部446上，设置有锤部13d。锤部13d包括：第一锤部12d，其以从第二驱动振动臂442的顶端向基部41侧隔开间隔的方式，而被设置在第二驱动振动臂442的第一区域内；第二锤部11d，其被设置在第二驱动振动臂442的顶端、与第一锤部12d的靠第二驱动振动臂442的顶端侧的端部（以下，称为“第一锤部12d的顶端”）之间的第二区域内。

第一区域为，与第二驱动振动臂442的顶端（重量部446的顶端）以及重量部446的两个侧边隔开间隔的、四边形的面积为A1的区域。第一锤部12d为，与第一区域大致重叠的四边形，且被设置为具有质量B1。

第二区域为，第一锤部12d的顶端和与第一锤部12d的顶端对置的第二驱动振动臂442的顶端之间的面积为A2的区域。第二锤部11d为，在第二区域内从第一锤部12d的靠第二驱动振动臂442的顶端侧的、宽度方向（x轴方向）上的大致中央部起到达至第二驱动振动臂442的顶端为止的、与第一锤部12d相比宽度较窄的四边形，且被设置为具有质量B2。

如此，锤部13d朝向第二驱动振动臂442的顶端侧而被形成为凸形形状。锤部13d以第一区域的面积A1、第二区域的面积A2、第一锤部12d的质量B1、以及第二锤部11d的质量B2满足B1/A1＞B2/A2的方式而被设置。在本示例中，第一锤部12d和第二锤部11d以相同的厚度而形成，并且为了满足上述关系式，第一锤部12d以与第一区域大致相同的形状而被设置，第二锤部11d以与第二区域的宽度相比第二锤部11d的宽度较窄的方式而被设置。

同样地，在第三驱动振动臂443的重量部447上，设置有锤部13a。锤部13a包括：第一锤部12a，其以从第三驱动振动臂443的顶端向基部41侧隔开间隔的方式，而被设置在第三驱动振动臂443的第一区域内；第二锤部11a，其被设置在第三驱动振动臂443的顶端、与第一锤部12a的靠第三驱动振动臂443的顶端侧的端部（以下，称为“第一锤部12a的顶端”）之间的第二区域内。

第一区域为，与第三驱动振动臂443的顶端（重量部447的顶端）以及重量部447的两个侧边隔开间隔的、四边形的面积为A1的区域。第一锤部12a为，与第一区域大致重叠的四边形，且被设置为具有质量B1。

第二区域为，第一锤部12a的顶端和与第一锤部12a的顶端对置的第三驱动振动臂443的顶端之间的面积为A2的区域。第二锤部11a为，在第二区域内从第一锤部12a的靠第三驱动振动臂443的顶端侧的、宽度方向（x轴方向）上的大致中央部起到达至第三驱动振动臂443的顶端为止的、与第一锤部12a相比宽度较窄的四边形，且被设置为具有质量B2。

如此，锤部13a朝向第三驱动振动臂443的顶端侧而被形成为凸形形状。锤部13a以第一区域的面积A1、第二区域的面积A2、第一锤部12a的质量B1、以及第二锤部11a的质量B2满足B1/A1＞B2/A2的方式而被设置。在本示例中，第一锤部12a和第二锤部11a以相同的厚度而形成，并且为了满足上述关系式，第一锤部12a以与第一区域大致相同的形状而被设置，第二锤部11a以与第二区域的宽度相比第二锤部11a的宽度较窄的方式而被设置。

同样地，在第四驱动振动臂444的重量部448上，设置有锤部13b。锤部13b包括：第一锤部12b，其以从第四驱动振动臂444的顶端向基部41侧隔开间隔的方式，而被设置在第四驱动振动臂444的第一区域内；第二锤部11b，其被设置在第四驱动振动臂444的顶端、与第一锤部12b的靠第四驱动振动臂444的顶端侧的端部（以下，称为“第一锤部12b的顶端”）之间的第二区域内。

第一区域为，与第四驱动振动臂444的顶端（重量部448的顶端）以及重量部448的两个侧边隔开间隔的、四边形的面积为A1的区域。第一锤部12b为，与第一区域大致重叠的四边形，且被设置为具有质量B1。

第二区域为，第一锤部12b的顶端和与第一锤部12b的顶端对置的第四驱动振动臂444的顶端之间的面积为A2的区域。第二锤部11b为，在第二区域内从第一锤部12b的靠第四驱动振动臂444的顶端侧的、宽度方向（x轴方向）上的大致中央部起到达至第四驱动振动臂444的顶端为止的、与第一锤部12b相比宽度较窄的四边形，且被设置为具有质量B2。

如此，锤部13b朝向第四驱动振动臂444的顶端侧而被形成为凸形形状。锤部13b以第一区域的面积A1、第二区域的面积A2、第一锤部12b的质量B1、以及第二锤部11b的质量B2满足B1/A1＞B2/A2的方式而被设置。在本示例中，第一锤部12b和第二锤部11b以相同的厚度而形成，并且为了满足上述关系式，第一锤部12b以与第一区域大致相同的形状而被设置，第二锤部11b以与第二区域的宽度相比第二锤部11b的宽度较窄的方式而被设置。

另外，虽然在本示例中，通过如下的结构而进行了说明，即，在第一驱动振动臂441及第二驱动振动臂442、和第三驱动振动臂443及第四驱动振动臂444这两对驱动振动臂的顶端侧，设置有锤部13a、13b、13c、13d的结构，但并不限定于此。例如也可以为如下的结构，即，将锤部设置在第一驱动振动臂441及第二驱动振动臂442中的至少一方、和第三驱动振动臂443及第四驱动振动臂444中的至少一方上的结构。

通过将如上所述的凸形形状的锤部13c、13d、13a、13b设置在第一驱动振动臂441的重量部445、第二驱动振动臂442的重量部446、第三驱动振动臂443的重量部447、以及第四驱动振动臂444的重量部448上，从而能够抑制由于锤部13c、13d、13a、13b在y轴方向上发生偏移而产生的、陀螺元件2的温度漂移。另外，详细内容将在后文中进行叙述。

这种结构的陀螺元件2以如下方式对绕z轴的角速度ω进行检测。陀螺元件2中，当在未被施加有角速度ω的状态下，于驱动信号电极（未图示）和驱动接地电极（未图示）之间产生有电场时，如图3（A）所示，各个驱动振动臂441、442、443、444将在箭头标记A所示的方向上进行弯曲振动。此时，由于第一、第二驱动振动臂441、442和第三、第四驱动振动臂443、444进行关于穿过中心点G（重心G）的yz平面面对称的振动，因此基部41、第一、第二连结臂431、432和第一、第二检测振动臂421、422几乎不进行振动。

当在进行该驱动振动的状态下，在陀螺元件2上施加有绕z轴的角速度ω时，将产生如图3（B）所示这样的振动。即，在驱动振动臂441、442、443、444以及连结臂431、432上作用有箭头标记B方向上的科里奥利力，并且与该箭头标记B方向上的振动相呼应，箭头标记C方向上的检测振动被激励。而且，检测信号电极（未图示）以及检测接地电极（未图示）对通过该振动而产生的检测振动臂421、422的变形进行检测，从而求出角速度ω。

封装件

封装件9为，对陀螺元件2进行收纳的构件。另外，在封装件9中，可以如后文叙述的电子装置那样，除了陀螺元件2之外，还收纳有实施对陀螺元件2的驱动等的IC芯片等。这种封装件9在对其进行俯视观察（俯视观察xy平面）时，呈大致矩形形状。

封装件9具有：基座91，其具有在上表面上开放的凹部；盖（盖体）92，其以封堵凹部的开口的方式而与基座相接合。此外，基座91具有：板状的底板911；框状的侧壁912，其被设置于底板911的上表面边缘部上。这种封装件9在其内侧具有收纳空间，且在该收纳空间内气密性地收纳、设置有陀螺元件2。

陀螺元件2利用第一、第二支承部51、52，并通过焊锡、银膏、导电性粘合剂（将金属粒子等导电性填充剂分散在树脂材料中的粘合剂）等导电性固定部件8，而被固定于底板911的上表面上。由于第一、第二支承部51、52位于陀螺元件2的y轴方向上的两端部处，因此通过将这样的部分固定在底板911上，从而陀螺元件2的振动体4被两端支承，由此能够将陀螺元件2稳定地固定在底板911上。因此，抑制了陀螺元件2的不需要的振动（检测振动以外的振动），从而提高了陀螺元件2对角速度ω的检测精度。

此外，导电性固定部件8以与被设置在第一、第二支承部51、52上的两个检测信号端子714、两个检测接地端子724、驱动信号端子734以及驱动接地端子744相对应（接触），且相互分离的方式而被设置有六个。此外，在底板911的上表面上，设置有与两个检测信号端子714、两个检测接地端子724、驱动信号端子734以及驱动接地端子744相对应的六个连接衬垫10，通过导电性固定部件8，上述各个连接衬垫10和与之相对应的任一个端子被电连接。

锤部的结构

接下来，关于分别被设置在上文所述的第一驱动振动臂441、第二驱动振动臂442、第三驱动振动臂443、第四驱动振动臂444上的锤部13c、13d、13a、13b，使用图4～图7对其结构和效果进行详细说明。另外，为了便于说明，包括作为现有结构的图4在内，在各个图中均使用本实施方式所涉及的第三驱动振动臂443、第四驱动振动臂444来进行说明。此外，由于在另外的第一驱动振动臂441、第二驱动振动臂442中也为相同的结构，因此省略说明。

图4图示了现有的、锤部与陀螺元件的温度漂移之间的关系，其中，（A）为表示锤部的形态的局部俯视图，（B）为表示锤部的偏移量与温度漂移量之间的相关关系的曲线图。图5图示了本实施方式的、锤部与陀螺元件的温度漂移之间的关系，其中，（A）为表示锤部的形态的局部俯视图，（B）为表示锤部的偏移量与温度漂移量之间的相关关系的曲线图。图6图示了本实施方式的、锤部与陀螺元件的温度漂移之间的关系，其中，（A）为表示锤部的形态的局部俯视图，（B）为表示锤部的偏移量与温度漂移量之间的相关关系的曲线图。图7图示了本实施方式的、锤部与陀螺元件的温度漂移之间的关系，其中，（A）为表示锤部的形态的局部俯视图，（B）为表示锤部的偏移量与温度漂移量之间的相关关系的曲线图，（C）为表示锤部的形状的详细情况的放大俯视图。

另外，在此，温度漂移量是指，相对于温度变化的、陀螺元件的频率变化量。

现有的结构中的锤部

首先，参照图4，对现有的、锤部与陀螺元件的温度漂移（以下，有时也记载为温度漂移）之间的关系进行说明。如图4（A）所示，在第三驱动振动臂443的重量部447上设置有锤部21，并在第四驱动振动臂444的重量部448上设置有锤部22。该锤部21以及锤部22以其质量和位置相同的方式，而从图中双点划线所示的位置L1、L3起设置到重量部447、448的各自的顶端447a、448a为止。

然而，当形成锤部21以及锤部22时的蒸镀掩膜的设置位置在第三驱动振动臂443、第四驱动振动臂444的延伸方向上发生了偏移时，形成有锤部21和锤部22的位置将如图中影线所示那样发生偏移。另外，由于蒸镀掩膜以与多个陀螺元件2的多个锤部相对应的方式而被一体形成，因此当设置位置发生偏移时，一对锤部21、22也将向相同的方向偏移相同的量。

在本示例中，向－y轴方向产生了偏移量为M1、M2（M1和M2为相同的量）的位置偏移，从而在锤部21中，靠第三驱动振动臂443的根部侧的端部变为L2的位置，在锤部22中，靠第四驱动振动臂444的根部侧的端部变为L4的位置。

如此，由于锤部21和锤部22的形成位置发生偏移，从而锤部21和锤部22的质量发生改变。由此，被形成在一对第三驱动振动臂443、第四驱动振动臂444上的锤部21和锤部22的质量的平衡被破坏，从而由于质量不平衡而在陀螺元件2上产生温度漂移。

接下来，使用图4（B）的曲线图，对锤部21和锤部22的偏移量与温度漂移之间的相关关系进行说明。

在现有例中，锤部21、22的质量不平衡越大，换言之，蒸镀掩膜的设置位置在y轴方向上的偏移量越大，则温度漂移越大。虽然在本示例这样的蒸镀掩膜的偏移中，锤部21越减小则锤部22越增大，但当蒸镀掩膜向相反方向发生偏移时，随着锤部21逐渐增大，锤部22将减小。由于质量不平衡以此种方式增大，从而如图4（B）所示，锤部21和锤部22的偏移量与温度漂移之间的相关关系成为具有负的斜率的近似线W1。

特别是，由于现有例中的锤部21以及锤部22的形状到达至重量部447、448的各自的顶端447a、448a，因此当蒸镀掩膜的设置位置在y轴方向上发生了偏移时，一个锤部21的质量将减小，而另一个锤部22的质量将增大。在这种结构中，由于偏移量直接表现为质量的变化，因此较大程度地受到质量不平衡的影响，从而图中的近似线W1的斜率增大。即，蒸镀掩膜的偏移对温度漂移造成了较大的影响。

锤部的形态1

接下来，参照图5以及图6，对锤部的形态1与陀螺元件的温度漂移（以下，有时也记载为温度漂移）之间的关系进行说明。图5（A）为表示锤部在重量部内发生了偏移的状态的局部俯视图，图5（B）为表示锤部的偏移量与温度漂移量之间的相关关系的曲线图。图6（A）为表示一个锤部以偏离到重量部之外的方式发生偏移的状态的局部俯视图，图6（B）为表示锤部的偏移量与温度漂移量之间的相关关系的曲线图。

如图5（A）所示，在第三驱动振动臂443的重量部447上设置有锤部25，在第四驱动振动臂444的重量部448上设置有锤部26。该锤部25以及锤部26原本以其质量和位置相同的方式，于重量部447、448的内侧（与顶端447a、448a、以及两个侧边中的每一个侧边均具有间隔），被设置成图中双点划线所示的矩形形状25a、26a。

然而，当形成锤部25、26的蒸镀掩膜的设置位置向－y轴方向偏移了偏移量M1、M2时，锤部25以及锤部26将在重量部447、448的内侧（平面内）发生偏移，换言之，锤部25以及锤部26被形成为，以不会偏离出重量部447、448的程度发生偏移。在该情况下，锤部25和锤部26被形成在图中影线所示的位置上，并向－y轴方向产生了偏移量为M1、M2（M1和M2为相同的量）的位置偏移。在锤部25中，靠第三驱动振动臂443的根部侧的端部从L1变为L2的位置，在锤部26中，靠第四驱动振动臂444的顶端448a侧的端部从L3变为L4的位置。

另外，由于蒸镀掩膜以与多个陀螺元件2的锤部25、26对应的方式而被一体形成，因此当设置位置发生偏移时，一对锤部25、26也将向相同的方向偏移相同的量。因此，锤部25的重心P1移动至重心P2，锤部26的重心P3移动至重心P4。

如此，由于锤部25和锤部26的形成位置在重量部447、448的内侧发生偏移，因此对于锤部25和锤部26而言，其质量平衡并未发生改变，而是位置（重心）平衡发生了改变。

然而，锤部25、26的位置越靠近第三驱动振动臂443、第四驱动振动臂444的顶端447a、448a，则对温度漂移的影响度越大。由此，重心向顶端447a侧进行了移动的锤部25处于质量仿真地增加了的状态，而重心向根部侧进行了移动的锤部26则处于质量仿真地减少了的状态。

由此，当采用锤部25和锤部26的形成位置在重量部447、448的内侧发生偏移这种结构时，将能够获得对温度漂移的影响度小于现有例中的由质量的偏差所产生的影响度。

另外，为了将锤部25和锤部26的形成位置设定为，使重心平衡的变化对温度漂移的影响减小，优选为，将重量部447、448的顶端447a、448a与锤部25、26之间的间隔设定为大于等于锤部25、26在y轴方向上的尺寸。这对减轻因质量的偏差所产生的影响度较为有效，其中，质量的偏差是因锤部25、26接近重量部447、448的顶端447a、448a而引起的。

使用图5（B）的曲线图，对这样的、在重量部447、448的内侧的锤部25和锤部26的偏移量与温度漂移之间的相关关系进行说明。

在上述的形态中，锤部25、26向－y轴方向发生了偏移。锤部25向重量部447的顶端447a侧发生偏移，而锤部26向第四驱动振动臂444的根部侧发生偏移。虽然在上文中进行了叙述，但由于向重量部447的顶端447a侧发生了偏移的锤部25处于质量仿真地增加了的状态，因此当与上文所述的现有例的情况相比时，质量的变化是相反的。因此，如图5（B）所示，近似线PU1的斜率为正（与现有例为相反的斜率）的斜率。此外，由于没有直接发生质量变化，因此也能够减小该斜率（绝对值）。换言之，能够减少对温度漂移的影响度。

接下来，使用图6，对使用图5所说明的形态1的锤部的形成进一步发生偏移，而偏移至重量部447、448的外侧的情况进行说明。另外，在此处的说明中，省略了与上文所述的使用了图5的说明重复的说明。

如图6（A）所示，锤部25以偏离出重量部447的顶端447a的状态而被形成。在该情况下，锤部25和锤部26从原来的位置、即图中双点划线所示的矩形形状25a、26a的位置起向－y轴方向发生了偏移量为M3、M4（M3和M4为相同的量）的位置偏移。在锤部25中，靠第三驱动振动臂443的根部侧的端部从L1变为L5的位置，而重量部447的顶端447a侧则变为偏离出重量部447的位置25a′（用双点划线表示）。即，顶端447a侧的锤部25的一部分未被形成，从而锤部25的表面积减小。在锤部26中，靠第四驱动振动臂444的顶端448a侧的端部从L3变为L6的位置。此外，锤部25的重心P1移动至重心P5，锤部26的重心P3移动至重心P6。

如此，当锤部25偏离出重量部447的顶端447a时，将会加入在现有例中所说明的、由质量变化而引起的质量不平衡对温度漂移的影响。参照图6（B）进行说明。在此，由于对锤部25偏离出重量部447的顶端447a的情况进行说明，因此在图6（B）的纵轴的左侧的区域中进行说明。

虽然在锤部25处于重量部447的内侧的情况下，如上文所述那样，受到了沿着具有正的斜率的近似线PU1的影响，但以锤部25偏出至重量部447的外侧的位置为拐点，加入了与由质量变化所引起的质量不平衡之间的相关关系。换言之，在从拐点起左侧的区域中、即在锤部25向重量部447的外侧突出的情况下，将成为将近似线W2和近似线PU1相加而得到的斜率的近似线（W2＋PU1）的相关关系，其中，近似线W2具有作为由质量变化所引起的质量不平衡与温度漂移之间的相关关系的、负的斜率，近似线PU1具有作为由位置（重心）平衡的变化所引起的位置不平衡与温度漂移之间的相关关系的、正的斜率。

如此，在形态1的锤部25、26的形态中，在产生了蒸镀掩膜的设置位置的偏移的情况下，能够抑制由锤部25、26的位置偏移而引起的温度漂移的发生。也就是说，能够削弱锤部25、26的位置偏移与温度漂移之间的相关关系。

锤部的形态2

接下来，参照图7，对锤部的形态2与温度漂移之间的关系进行说明。图7（A）为表示锤部在重量部内发生了偏移的状态的局部俯视图，图7（B）为表示锤部的偏移量与温度漂移量之间的相关关系的曲线图，图7（C）为表示锤部的形状的详细情况的放大俯视图。

本形态的锤部13a、13b通过在上文所述的实施方式的（陀螺元件的锤部的）事项中进行了详细说明的结构而被形成。进行简单地说明，锤部13a、13b以包括第一锤部12a、12b和第二锤部11a、11b的方式而形成，其中，所述第二锤部11a、11b与第一锤部12a、12b相比，每单位面积的质量较小。另外，在本说明中，使用被设置于第四驱动振动臂444上的锤部13b来进行说明。此外，第一区域是指，设置有第一锤部12b的整个区域。此外，第一区域与第二区域的边界线为，锤部13b中，其形状、质量、材质、厚度等发生变化的分界线，且为第一锤部12b的顶端（靠第四驱动振动臂444的顶端侧的边）。

锤部13b包括：第一锤部12b，其以从第四驱动振动臂444的顶端向基部41侧隔开间隔的方式，而被设置在第四驱动振动臂444的第一区域内；第二锤部11b，其被设置在第四驱动振动臂444的顶端与第一锤部12b的顶端之间的第二区域内。

如上文所述，第一区域是面积为A1的区域，第一锤部12b为与第一区域大致重叠的四边形，且被设置为具有质量B1。此外，第二区域是面积为A2的区域，第二锤部11b为，在第二区域内与第一锤部12b相比宽度较窄的四边形，且被设置为具有质量B2。即，锤部13b朝向第四驱动振动臂444的顶端侧而被形成为凸形形状。

锤部13b以第一区域的面积A1、第二区域的面积A2、第一锤部12b的质量B1、以及第二锤部11b的质量B2满足B1/A1＞B2/A2的方式而被设置。在本示例中，第一锤部12b和第二锤部11b以相同的厚度而形成，并且为了满足上述关系式，第一锤部12b以与第一区域大致相同的形状而被设置，第二锤部11b以与第二区域的宽度相比第二锤部11b的宽度较窄的方式而被设置。

原本，锤部13a、13b优选被设置为，像图中双点划线所示的锤部13a′、13b′那样，分别为对称形状，且质量和位置相同。然而，在与上文所述的形态1相同地，形成锤部13a、13b的蒸镀掩膜的设置位置向－y轴方向偏移了偏移量M5、M6的情况下，锤部13a以及锤部13b将在重量部447、448的内侧（平面区域内）发生偏移。在图7（A）中，图示了锤部13a及锤部13b以不会偏离出重量部447、448的程度发生了偏移的情况。在该情况下，锤部13a和锤部13b被形成在图中影线所示的位置处，并向－y轴方向产生了偏移量为M5、M6（M5和M6为相同的量）的位置偏移。

在锤部13a中，靠第三驱动振动臂443的根侧的端部变为，从原来的位置L1偏移了偏移量M5的L2的位置，而在锤部13b中，靠第四驱动振动臂444的根部侧的端部变为，从原来的位置L3偏移了偏移量M6的L4的位置。

另外，由于蒸镀掩膜以与多个陀螺元件2的锤部13a、13b对应的方式而被一体形成，因此当设置位置发生偏移时，一对锤部13a、13b也将向相同的方向偏移相同的量。锤部13a的重心P1移动至重心P2，锤部26的重心P3移动至重心P4。此外，当蒸镀掩膜向－y轴方向较大程度地发生了偏移时，在重量部447上将仅形成有第一锤部12a，而在重量部448上形成有第一锤部12b以及第二锤部11b。

如此，由于锤部13a和锤部13b的形成位置在重量部447、448的内侧（面内）发生偏移，因此对于锤部13a和锤部13b而言，其质量平衡以及位置（重心）平衡将发生改变。

由于位置（重心）平衡发生改变，因此重心向顶端447a侧进行了移动的第一锤部12a处于质量仿真地增加了的状态，而重心向根部侧进行了移动的第一锤部12b则处于质量仿真地减少了的状态。在本形态2中，通过与第一锤部12a、12b相比每单位面积的质量较小的第二锤部11a、11b，从而抵消了其仿真的质量的不平衡，由此减少了对温度漂移的影响度。

使用图7（B）、图7（C），对通过形态2的结构而使对温度漂移的影响减少的情况进行说明。另外，在图7（C）中，使用作为代表的锤部13b来进行说明。

形态2的锤部13b具有：第一锤部12b，其被形成为宽度S×长度T的矩形形状；第二锤部11b，其被形成为宽度S/3×长度2T的矩形形状。

第一锤部12b以从第四驱动振动臂444的顶端448a起向基部41侧隔开间隔的方式，而被设置在重量部448的平面内（图中由交叉影线所示的第一区域）。第二锤部11b被设置在第四驱动振动臂444的顶端448a与第一锤部12b的顶端之间的区域、即第二区域内。另外，第二区域为，将第一锤部12b的顶端的x轴方向上的宽度就此延长到第四驱动振动臂444的顶端448a的区域，且为图中由虚线（点线）所示的区域。在此，由于第二锤部11b以第二区域的宽度S的1/3的宽度（S/3）而被设置，因此第二锤部11b被形成为，当与被形成为与第一区域大致相同的面积的、宽度S×长度T的矩形形状的第一锤部12b相比时，每单位面积的质量较小。即，锤部13b以第一区域的面积A1、第二区域的面积A2、第一锤部12b的质量B1、以及第二锤部11b的质量B2满足B1/A1＞B2/A2的方式而被设置。

在这种锤层的形态2的结构中，当锤部13b的形成位置向－y轴方向发生了偏移时，被设置在与顶端448a接近的位置处的第二锤部11b将处于锤的质量不平衡与温度漂移之间的相关关系，而被设置在远离顶端448a的位置处的第一锤部12b将处于锤的位置不平衡与温度漂移之间的相关关系。

在形态2的锤部13b中，由于与顶端448a接近的位置处的第二锤部11b的每单位面积的质量被构成为较小，因此与形态1相比能够进一步减少对锤的质量不平衡和温度漂移的影响度。即，能够使图7（B）所示的、表示对锤的质量不平衡和温度漂移的影响度的近似线W3的斜率，小于图6（B）所示的近似线W2的斜率。

此外，虽然第一锤部12b处于与锤的位置不平衡之间的相关关系，但由于第一锤部12b被设置在从顶端448a离开（具有间隔）了与设置有第二锤部11b相对应的量的位置处，因此与形态1相比能够进一步减少对锤的位置不平衡和温度漂移的影响度。即，能够使图7（B）所示的、表示对锤的位置不平衡和温度漂移的影响度的近似线PU2的斜率，小于图6（B）所示的近似线PU1的斜率。

而且，由于表示对锤的质量不平衡和温度漂移的影响度的近似线W3的斜率、和表示对锤的位置不平衡和温度漂移的影响度的近似线PU2的斜率正负大致相等，因此消除了各个影响度。通过将这两个近似线W3与PU2相加，从而能够得到基本上不存在对温度漂移的影响度的近似线W3＋PU2。即，通过使用具有第一锤部12b和第二锤部11b的锤部13b，从而即使在由于蒸镀掩膜的设置位置的偏移等而导致锤部13b的形成位置向－y轴方向发生了偏移的情况下，也能够基本上不产生对温度漂移的影响。

此外，如上文所述，通过将第二锤部11b的宽度设为第一锤部12b的宽度的1/3，并使第二锤部11b的每单位面积的质量小于第一锤部12b的每单位面积的质量，从而能够使近似线W3的斜率与近似线PU2的斜率的绝对值大致相等，并且也可得到获得了大致与横轴重叠的近似线的模拟结果。

此外，如图7（A）所示，被设置在第四驱动振动臂444上的第二锤部11b与被设置在第三驱动振动臂443上的第二锤部11a相比，质量较大。由此，第一锤部12a及12b的位置不平衡对温度漂移的影响，与第二锤部11a及11b的质量不平衡对温度漂移的影响相抵消，从而作为整体降低了温度漂移。

锤部的改变例

虽然在上文所述的锤部13a、13b中，例示了凸形形状的示例而进行了说明，但只要采用了第二锤部的每单位面积的质量小于第一锤部的每单位面积的质量的结构，便具有相同的效果。在图8中图示了锤部的代表性的改变例而进行说明。另外，图8（A）～（E）为表示改变例中的锤部的形状的详细情况的放大俯视图。虽然在本说明中，使用相当于被设置在第四驱动振动臂444上的锤部13b的部位进行说明，但也可以应用于其他锤部。此外，第一区域是指，设置有第一锤部12b的全部区域。此外，第一区域与第二区域的边界线为，锤部13b中，其形状、质量、材质、厚度等发生变化的分界线，且为第一锤部12b的顶端（靠第四驱动振动臂444的顶端侧的边）。

图8（A）所示的改变例的锤部13e包括第一锤部12e和第二锤部11e，并被形成在重量部448上，其中，所述第二锤部11e与第一锤部12e相比每单位面积的质量较小。第一锤部12e在从重量部448的顶端隔开间隔的位置处，被设置为矩形形状。第二锤部11e在重量部448的顶端与第一锤部12e之间、且于重量部448的顶端侧，被设置为矩形形状。另外，第二锤部11e通过减小在重量部448的宽度方向（实施方式中的x轴方向）上的尺寸从而减小质量。另外，图中的边界线L10表示第一区域与第二区域的边界。

图8（B）所示的改变例的锤部13f包括第一锤部12f和第二锤部11f，并被形成在重量部448上，其中，所述第二锤部11f与第一锤部12f相比每单位面积的质量较小。第一锤部12f在从重量部448的顶端隔开间隔的位置处，被设置为矩形形状。第二锤部11f具有两个第三锤部11f′、11f″，所述两个第三锤部11f′、11f″处于重量部448的顶端与第一锤部12f之间，并从第一锤部12f的宽度方向（实施方式中的x轴方向）上的两端起朝向重量部448的顶端突出。另外，第二锤部11f通过以如下方式进行设置从而减小质量，所述方式为，减小将两个第三锤部11f′、11f″相加时的、在重量部448的宽度方向（实施方式中的x轴方向）上的尺寸。另外，图中的边界线L10表示第一区域与第二区域的边界。

图8（C）所示的改变例的锤部13h包括第一锤部12h和第二锤部11h，并被形成在重量部448上，其中，所述第二锤部11h与第一锤部12h相比每单位面积的质量较小。第一锤部12h在从重量部448的顶端隔开间隔的位置处，被设置为矩形形状。第二锤部11h处于重量部448的顶端与第一锤部12h之间，且从第一锤部12h起延伸，并被设置为宽度随着趋向重量部448的顶端而减小的形状。另外，第二锤部11h通过减小在重量部448的宽度方向（实施方式中的x轴方向）上的尺寸，从而减小质量。另外，图中的边界线L10表示第一区域与第二区域的边界。

图8（D）所示的改变例的锤部13k包括第一锤部12k和第二锤部11k，并被形成在重量部448上，其中，所述第二锤部11k与第一锤部12k相比每单位面积的质量较小。第一锤部12k在从重量部448的顶端隔开间隔的位置处，被设置为矩形形状。第二锤部11k具有三个呈宽度较细的矩形形状的第三锤部11k′、11k″、11k″′，所述第三锤部11k′、11k″、11k″′处于重量部448的顶端与第一锤部12k之间，并与第一锤部12k之间具有稍许的间隙，且朝向重量部448的顶端延伸。另外，第二锤部11k通过以如下方式进行设置从而减小质量，所述方式为，减小将三个第三锤部11k′、11k″、11k″′相加时的、在重量部448的宽度方向（实施方式中的x轴方向）上的尺寸。另外，图中的边界线L10表示第一区域与第二区域的边界。

图8（E）所示的改变例的锤部13m包括第一锤部12m和第二锤部11m，并被形成在重量部448上，其中，所述第二锤部11m与第一锤部12m相比每单位面积的质量较小。第一锤部12m在从重量部448的顶端隔开间隔的位置处，被设置为矩形形状。第二锤部11m具有两个突出部（第三锤部）11m′、11m″，所述两个突出部11m′、11m″处于重量部448的顶端与第一锤部12m之间，并以内边呈圆弧形状的方式从第一锤部12m的宽度方向（实施方式中的x轴方向）上的两端起朝向重量部448的顶端突出。另外，第二锤部11m通过以如下方式进行设置从而减小质量，所述方式为，减小将两个突出部（第三锤部）11m′、11m″相加时的、在重量部448的宽度方向（实施方式中的x轴方向）上的尺寸。如此，也可以采用锤部13m的外形具有曲线的结构。另外，图中的边界线L10表示第一区域与第二区域的边界。

另外，虽然在上文所述的改变例中，对将第二锤部分割为多个的几个示例进行了说明，但也可以与该结构相反地，采用第一锤部被分割为多个的结构。

此外，由于只需使第二锤部与第一锤部相比每单位面积的质量较小即可，因此也可以采用例如以下这种结构。

（1）第二锤部以与第一锤部相同的厚度而被形成，且与第一锤部相比x轴方向上的宽度尺寸较窄。

（2）如图9（A）所示，第二锤部11n（由影线所示的部分）以与第一锤部12n相同的厚度以及宽度而被形成，且由与第一锤部12n相比比重较轻的材质而形成。

（3）如图9（B）所示，第二锤部11r以与第一锤部12r相同的形状而被形成，且被形成为与第一锤部12r相比厚度较薄。

（4）如图9（C）所示，第二锤部11s以与第一锤部12s相同的形状而被形成为网格（网状）。

即使在上文所述的改变例中所说明的结构的锤部中，也具有与在实施方式（锤部的形态）中所示出的结构的锤部相同的效果。

陀螺元件的制造方法

接下来，参照附图对本发明所涉及的陀螺元件的制造方法进行说明。图10为表示上文所述的图2所示的、作为振动片的陀螺元件2的概要的制造工序的流程图。

首先，准备例如水晶板等基板。然后，通过对基板使用光刻法等，从而形成图2所示的第一、第二、第三、第四驱动振动臂441、442、443、444以及第一、第二检测振动臂421、422等的外形形状，由此形成陀螺元件素板（步骤S102）。

接下来，在陀螺元件素板的表面上形成电极膜（步骤S104）。电极膜例如采用如下的结构，即，为了提高与水晶的紧密性而形成铬（Cr）等的基底金属层，并在其表面上形成金（Au）层的结构。电极膜的形成可以使用蒸镀法或溅射法等来成膜。

接下来，在如图2所示的第一、第二检测振动臂421、422的顶端部的重量部425、426上形成检测臂锤层14、15，并在第一、第二、第三、第四驱动振动臂441、442、443、444的顶端部的重量部445、446、447、448上形成锤部13a、13b、13c、13d（步骤S106）。

在此，锤部13a、13b、13c、13d包括：第一锤部12a、12b、12c、12d，其以从第一、第二、第三、第四驱动振动臂441、442、443、444的顶端隔开间隔的方式而被设置；第二锤部11a、11b、11c、11d，其被设置在第一、第二、第三、第四驱动振动臂441、442、443、444的顶端与第一锤部12a、12b、12c、12d之间，并且与第一锤部12a、12b、12c、12d相比每单位面积的质量较小。

另外，也可以通过不同的工序来实施形成第一锤部12a、12b、12c、12d的工序、和形成第二锤部11a、11b、11c、11d的工序。通过如上文所述这样，以不同的工序来实施第一锤部12a、12b、12c、12d的形成、和第二锤部11a、11b、11c、11d的形成，从而能够应对第一锤部12a、12b、12c、12d和第二锤部11a、11b、11c、11d的、例如材质的改变、厚度的改变、将一方形成为网眼状等的情况。

检测臂锤层14、15以及锤部13a、13b、13c、13d例如通过利用了金属掩膜等的蒸镀法或溅射法等，从而形成金（Au）等的金属层，并将该层的厚度形成为，厚于电极膜。

接下来，实施对第一、第二检测振动臂421、422的质量调节，将第一、第二检测振动臂421、422的固有共振频率校准为所需的频率（步骤S108）。该质量调节是为了调节失调频率而实施的，例如通过如下方式而实施，即，通过照射被集束的激光，从而将被形成在第一、第二检测振动臂421、422上的检测臂锤层14、15中的至少一部分熔融、蒸发，从而去除。另外，在必要时，有时也会将电极膜熔融、蒸发从而去除。此外，有时也会增加检测臂锤层14、15的质量。

接下来，实施对第一、第二、第三、第四驱动振动臂441、442、443、444的质量调节，从而实施将第一、第二、第三、第四驱动振动臂441、442、443、444的固有共振频率校准为所需的频率的、振动臂频率调节（步骤S110）。该质量调节也兼有如下目的，即，防止第一、第二、第三、第四驱动振动臂441、442、443、444的弯曲振动通过第一连结臂431、第二连结臂432而向第一、第二检测振动臂421、422进行传播的、所谓的振动泄漏。

对于振动臂频率调节而言，以如下方式进行校准，即，使第一、第二、第三、第四驱动振动臂441、442、443、444各自的固有共振频率发生变化，以使第一、第二、第三、第四驱动振动臂441、442、443、444各自的固有共振频率相一致。该振动臂频率调节（质量调节）例如通过如下方式而实施，即，通过照射被集束的激光，从而使被形成在第一、第二、第三、第四驱动振动臂441、442、443、444上的锤部13a、13b、13c、13d和电极熔融、蒸发，而去除至少一部分。此外，有时也会增加锤部13a、13b、13c、13d的质量。

振动臂频率调节通过所谓的粗调节和所谓的微调节而实施，所谓的粗调节为粗略地对固有共振频率进行校准的调节，所述微调节为通过微细的质量的校准来对固有共振频率进行校准的调节。

此外，振动臂频率调节可以通过去除构成锤部13a、13b、13c、13d的第一锤部12a、12b、12c、12d以及第二锤部11a、11b、11c、11d中的至少一方来实施。此外，有时也会增加构成锤部13a、13b、13c、13d的第一锤部12a、12b、12c、12d以及第二锤部11a、11b、11c、11d中的至少一个的质量。

接下来，通过对陀螺元件2的电特性进行检查，并挑选出具有所需的特性的陀螺元件2，从而完成陀螺元件2（步骤S112）。

根据上文所述的作为振动片的陀螺元件2的制造方法，能够通过同一工序来形成检测臂锤层14、15以及锤部13a、13b、13c、13d。此外，由于构成锤部13a、13b、13c、13d的第一锤部12a、12b、12c、12d以及第二锤部11a、11b、11c、11d也可以通过同一工序来形成，因此能够高效地制造陀螺元件2。

另外，虽然在上文中，作为元件而以使用了所谓的双T型的陀螺元件的陀螺传感器为例进行了说明，但作为本发明所涉及的元件并不限定于双T型的陀螺元件，只要为具备从基部起相互向相反方向延伸的振动臂的元件，便可以应用。作为本发明所涉及的元件，例如可列举出所谓的H型陀螺元件、具有从基部起相互向相反方向延伸的音叉振动臂的振动元件等。

电子装置

接下来，使用图11对作为使用了上文所述的陀螺元件2的电子装置的一个示例的陀螺传感器进行说明。图11为表示陀螺传感器的概要的主剖视图。

陀螺传感器80具备作为振动片的陀螺元件2、作为电路元件的IC（IntegratedCircuit：集成电路）84、作为封装件的收纳器81、盖体86。在由陶瓷等形成的收纳器81的底面上配置有IC84，并且IC84通过Au等的导线85而与被形成在收纳器81上的配线（未图示）电连接。IC84包括：驱动电路，其用于使陀螺元件2进行驱动振动；检测电路，其对在施加了角速度时于陀螺元件2上产生的检测振动进行检测。

在陀螺元件2中，陀螺元件2的支承部51、52通过导电性粘合剂等固定部件83而被粘合支承在支承台82上，所述支承台82被形成在收纳器81中。此外，在支承台82的表面上形成有配线（未图示），并且陀螺元件2的电极与配线之间的导通是通过固定部件83而实现的。该固定部件83优选为具有弹性的材料。作为具有弹性的固定部件83，已知有以硅为基材的导电性粘合剂等。而且，将收纳器81内保持为真空气氛，并用盖体86来密封收纳器81的上部的开口。

在陀螺元件2中，由于被设置在第一、第二、第三、第四驱动振动臂441、442、443、444上的锤部13a、13b、13c、13d以包括第一锤部12a、12b、12c、12d和第二锤部11a、11b、11c、11d的方式而形成，因此能够减少陀螺元件2的温度漂移。因此，使用了该陀螺元件2的陀螺传感器80也具有减少了温度漂移的稳定的特性。

电子设备

接下来，根据图12～图14，对应用了作为本发明的一个实施方式所涉及的振动片的陀螺元件2、使用了作为振动片的陀螺元件2的振子1、或者作为电子装置的陀螺传感器80的电子设备进行详细说明。另外，在说明中，例示了使用了振子1的示例，所述振子1使用了作为振动片的陀螺元件2。

图12为表示作为具备本发明的一个实施方式所涉及的振子1的电子设备的、便携式（或笔记本式）个人计算机的结构的概要的立体图。在该图中，个人计算机1100通过具备键盘1102的主体部1104、和具备显示部100的显示单元1106而构成，并且显示单元1106以能够通过铰链结构部而相对于主体部1104进行转动的方式被支承。在这样的个人计算机1100中内置有振子1，所述振子1使用了具备对角速度进行检测的功能的陀螺元件2。

图13为表示作为具备本发明的一个实施方式所涉及的振子1的电子设备的、移动电话（也包括PHS：Personal Handy-phone System，个人移动电话系统）的结构的概要的立体图。在该图中，移动电话1200具备多个操作按钮1202、听筒1204以及话筒1206，并且在操作按钮1202和听筒1204之间配置有显示部100。在这样的移动电话1200中内置有振子1，所述振子1使用了作为角速度传感器等而发挥功能的陀螺元件2。

图14为表示作为具备本发明的一个实施方式所涉及的振子1的电子设备的、数码照相机的结构的概要的立体图。另外，在该图中，还简单地图示了与外部设备之间的连接。在此，普通的照相机通过被摄物体的光学图像而使银盐感光胶片感光，与此相对，数码照相机1300通过CCD（Charge Coupled Device：电荷耦合元件）等摄像元件而对被摄物体的光学图像进行光电转换，从而生成摄像信号（图像信号）。

在数码照相机1300的壳体（主体）1302的背面上设置有显示部100，并且成为根据CCD的摄像信号而进行显示的结构，显示部100作为将被摄物体显示为电子图像的取景器而发挥功能。此外，在外壳1302的正面侧（图中背面侧），设置有包括光学镜片（摄像光学系统）和CCD等在内的受光单元1304。

当摄影者对被显示在显示部100上的被摄图像进行确认，并按下快门按钮1306时，该时间点的CCD的摄像信号将被传送并存储于存储器1308中。此外，在该数码照相机1300中，在壳体1302的侧面设置有影像信号输出端子1312、和数据通信用的输入输出端子1314。而且，如图所示，根据需要，而在影像信号输出端子1312上连接有影像监视器1430，在数据通信用的输入输出端子1314上连接有个人计算机1440。而且，成为如下的结构，即，通过预定的操作，从而使存储于存储器1308中的摄像信号向影像监视器1430或个人计算机1440输出。在这样的数码照相机1300中内置有振子1，所述振子1使用了作为角速度传感器等而发挥功能的陀螺元件2。

另外，本发明的一个实施方式所涉及的振子1除了能够应用于图12的个人计算机（便携式个人计算机）、图13的移动电话、图14的数码照相机中之外，还能够应用于如下的装置中，例如，喷墨式喷出装置（例如，喷墨打印机）、膝上型个人计算机、电视机、摄像机、录像机、车辆导航装置、寻呼机、电子记事本（也包括带有通信功能的产品）、电子词典、台式电子计算机、电子游戏机、文字处理器、工作站、可视电话、防盗用视频监控器、电子双筒望远镜、POS（Point of Sale：销售点）终端、医疗设备（例如，电子体温计、血压计、血糖仪、心电图计测装置、超声波诊断装置、电子内窥镜）、鱼群探测器、各种测量设备、计量仪器类（例如，车辆、飞机、船舶的计量仪器类）、飞行模拟器等电子设备。

移动体

图15为概要性地表示作为移动体的一个示例的汽车的立体图。在汽车106中搭载有使用了本发明所涉及的陀螺元件2的振子1。例如，如该图所示，在作为移动体的汽车106中，内置有使用了陀螺元件2的振子1，并且对轮胎109等进行控制的电子控制单元108被搭载于车身107上。此外，振子1还能够广泛应用于智能无匙进入系统、发动机防盗锁止装置、汽车导航系统、汽车空调、防抱死制动系统（ABS）、安全气囊、轮胎压力监测系统（TPMS：TirePressure Monitoring System）、发动机控制器、混合动力汽车或电动汽车的电池监控器、车身姿态控制系统等的电子控制单元（ECU：electronic control unit）中。

符号说明

1…振子；2…作为振动片的陀螺元件；4…振动体；8…导电性固定部件（银膏）；9…封装件；10…连接衬垫；11a、11b、11c、11d…第二锤部；12a、12b、12c、12d…第一锤部；13a、13b、13c、13d…锤部；14、15…检测臂锤层；25、26…锤部；41…基部；51…第一支承部；51a…接合部；51b…接合部；52…第二支承部；52a…接合部；52b…接合部；61…第一梁；62…第二梁；63…第三梁；64…第四梁；91…基座；92…盖；106…作为移动体的汽车；421…第一检测振动臂；422…第二检测振动臂；425、426、445、446、447、448…作为宽度宽大部的重量部（锤头）；431…第一连结臂；432…第二连结臂；441…第一驱动振动臂；442…第二驱动振动臂；443…第三驱动振动臂；444…第四驱动振动臂；447a、448a…重量部的顶端；714…作为固定部的检测信号端子；724…作为固定部的检测接地端子；734…作为固定部的驱动信号端子；744…作为固定部的驱动信号端子；911…底板；912…侧壁；124a、124b…调节用电极（金属层）；1100…作为电子设备的便携式个人计算机；1200…作为电子设备的移动电话；1300…作为电子设备的数码照相机。

Claims (21)

1.一种振动片，其特征在于，具备：

基部；

一对振动臂，其从所述基部起相互向相反方向延伸；

第一锤部，其以从至少一个所述振动臂的顶端向所述基部侧隔开间隔的方式，而被设置在所述至少一个所述振动臂上；

第二锤部，其被设置在所述第一锤部的顶端与所述至少一个所述振动臂的顶端之间的区域内，

在将设置有所述第一锤部的区域设为第一区域，将所述第一锤部的顶端与所述至少一个所述振动臂的顶端之间的区域设为第二区域，

并将所述第一区域的面积设为A1，将所述第一锤部的质量设为B1，

且将所述第二区域的面积设为A2，将所述第二锤部的质量设为B2时，

B1/A1＞B2/A2。

2.如权利要求1所述的振动片，其特征在于，

所述第二锤部在与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的宽度，小于所述第一锤部的所述宽度。

3.如权利要求1所述的振动片，其特征在于，

所述第二锤部被设置于，与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的大致中央部处。

4.如权利要求2所述的振动片，其特征在于，

所述第二锤部被设置于，与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的大致中央部处。

5.如权利要求1所述的振动片，其特征在于，

所述第二锤部由多个第三锤部构成。

6.如权利要求2所述的振动片，其特征在于，

所述第二锤部由多个第三锤部构成。

7.如权利要求1所述的振动片，其特征在于，

所述第一锤部以与沿着所述至少一个所述振动臂的延伸方向的、所述至少一个所述振动臂的侧端之间隔开间隔的方式而被设置。

8.如权利要求1所述的振动片，其特征在于，

所述至少一个所述振动臂具备宽度宽大部，所述宽度宽大部以如下方式形成，即，在俯视观察时与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的一部分的宽度，宽于与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的其他部分的宽度，

所述第一锤部以及所述第二锤部被设置于所述宽度宽大部上。

9.如权利要求1所述的振动片，其特征在于，

设置有一对检测用振动臂，所述一对检测用振动臂从所述基部起相互向相反方向延伸。

10.如权利要求2所述的振动片，其特征在于，

所述至少一个所述振动臂具备宽度宽大部，所述宽度宽大部以如下方式形成，即，在俯视观察时与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的一部分的宽度，宽于与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的其他部分的宽度，

所述第一锤部以及所述第二锤部被设置于所述宽度宽大部上。

11.如权利要求3所述的振动片，其特征在于，

所述至少一个所述振动臂具备宽度宽大部，所述宽度宽大部以如下方式形成，即，在俯视观察时与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的一部分的宽度，宽于与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的其他部分的宽度，

所述第一锤部以及所述第二锤部被设置于所述宽度宽大部上。

12.如权利要求4所述的振动片，其特征在于，

所述至少一个所述振动臂具备宽度宽大部，所述宽度宽大部以如下方式形成，即，在俯视观察时与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的一部分的宽度，宽于与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的其他部分的宽度，

所述第一锤部以及所述第二锤部被设置于所述宽度宽大部上。

13.如权利要求5所述的振动片，其特征在于，

所述至少一个所述振动臂具备宽度宽大部，所述宽度宽大部以如下方式形成，即，在俯视观察时与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的一部分的宽度，宽于与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的其他部分的宽度，

所述第一锤部以及所述第二锤部被设置于所述宽度宽大部上。

14.如权利要求6所述的振动片，其特征在于，

所述至少一个所述振动臂具备宽度宽大部，所述宽度宽大部以如下方式形成，即，在俯视观察时与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的一部分的宽度，宽于与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的其他部分的宽度，

所述第一锤部以及所述第二锤部被设置于所述宽度宽大部上。

15.如权利要求7所述的振动片，其特征在于，

所述至少一个所述振动臂具备宽度宽大部，所述宽度宽大部以如下方式形成，即，在俯视观察时与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的一部分的宽度，宽于与所述至少一个所述振动臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一个所述振动臂的其他部分的宽度，

所述第一锤部以及所述第二锤部被设置于所述宽度宽大部上。

16.一种振动片的制造方法，其特征在于，包括：

形成包括基部和一对振动臂在内的外形形状的工序，所述一对振动臂从所述基部起相互向相反方向延伸；

以从至少一个所述振动臂的顶端向所述基部侧隔开间隔的方式，在所述至少一个所述振动臂上形成第一锤部，并在所述第一锤部的顶端与所述至少一个所述振动臂的顶端之间的区域内形成第二锤部的工序；

去除所述第一锤部以及所述第二锤部中的至少一方的至少一部分、或者增加所述第一锤部以及所述第二锤部中的至少一方的质量，从而对所述振动臂的共振频率进行调节的工序，

在将设置有所述第一锤部的区域设为第一区域，将所述第一锤部的顶端与所述至少一个所述振动臂的顶端之间的区域设为第二区域，

并将所述第一区域的面积设为A1，将所述第一锤部的质量设为B1，

且将所述第二区域的面积设为A2，将所述第二锤部的质量设为B2时，

以B1/A1＞B2/A2的关系形成。

17.如权利要求16所述的振动片的制造方法，其特征在于，

形成所述第一锤部和所述第二锤部的工序包括：

以从所述至少一个所述振动臂的顶端向所述基部侧隔开间隔的方式，在所述至少一个所述振动臂上形成所述第一锤部的工序；

在所述第一锤部的顶端与所述至少一个所述振动臂的顶端之间的区域内形成所述第二锤部的工序。

18.一种振子，其特征在于，具备：

权利要求1所述的振动片；

封装件，其对所述振动片进行收纳。

19.一种电子装置，其特征在于，具备：

权利要求1所述的振动片；

电路元件，其至少具有使所述振动片进行驱动的功能。

20.一种电子设备，其特征在于，具备权利要求1所述的振动片。

21.一种移动体，其特征在于，具备权利要求1所述的振动片。