JP6335000B2 - 水晶振動素子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
基部と、この基部から延設された振動腕部と、この振動腕部の表裏面である第一及び第二の主面にそれぞれ設けられた第一及び第二の溝部と、を備えた水晶振動素子であって、
前記第一及び第二の溝部の最も浅い部分の深さと最も深い部分の深さとの差が、水晶ウェハのエッチング異方性によって生じる差よりも小さい、
ことを特徴とする。
本発明に係る水晶振動素子を製造する方法であって、
水晶ウェハの表裏に耐食膜を形成する耐食膜形成工程と、
前記耐食膜上に感光性レジスト膜を形成する感光性レジスト膜形成工程と、
前記基部及び前記振動腕部となる領域の前記感光性レジスト膜を残し、前記第一及び第二の溝部となる領域の前記感光性レジスト膜を除去する露光現像工程と、
前記感光性レジスト膜で覆われていない前記耐食膜を除去することにより前記耐食膜からなるマスクを作成するパターニング工程と、
前記耐食膜からなるマスクを用いて前記水晶ウェハをウェットエッチングするウェットエッチング工程とを含み、
前記露光現像工程では、前記第一及び第二の溝部となる領域に、当該領域の周縁から当該領域の内側へ突出した前記感光性レジスト膜からなる突起を、前記振動腕部の延設方向に間隔を開けて複数配置し、
前記突起は、前記水晶ウェハのエッチング異方性によってエッチングレートの小さくなる部分ほどエッチングを促す形状又は前記間隔とした、
ことを特徴とする。
(2)表の溝部となる領域54では先端側16へ行くにつれて突起57(実線)の幅67をW11>W12>W13(図8)と狭くし、逆に裏の溝部となる領域54では基部側17へ行くにつれて突起57(破線)の幅67をW23>W22>W21(図8)と狭くする。
(3)表の溝部となる領域54では先端側16へ行くにつれて突起57(実線)の間隔70をP11<P12<P13(図8)と広くし、逆に裏の溝部となる領域54では基部側17へ行くにつれて突起57(破線)の間隔70をP23<P22<P21(図8)と狭くする。
10 水晶片
11 基部
12a,12b 振動腕部
131 主面(第一の主面)
132 主面(第二の主面)
15 外側面
16 先端側
17 基部側
141a,142a,141b,142b 溝部(第一の溝部)
143a,144a,143b,144b 溝部(第二の溝部)
21 開口
22 底面
221 山
222 谷
223 底板
23 内側面
31a,31b 励振電極
41 水晶ウェハ
42 耐食膜
43 感光性レジスト膜
52 振動腕部となる領域
54 溝部となる領域
55 第一の溝部の山となる領域
56 第二の溝部の山となる領域
57 突起
61,69 長さ
62,65,67 幅
64 ずれ
66 傾き
68 深さ
70 間隔
71,72 傾斜角
d,t 厚み
<関連技術1>
312a 振動腕部
316 先端側
317 基部側
321 開口
322 底面
521 山
522 谷
523 底板
323 内側面
341 水晶ウェハ
342 耐食膜
352 振動腕部となる領域
354 溝部となる領域
355 表の溝部の山となる領域
356 裏の溝部の山となる領域
357 突起
441a,443a 溝部
Claims (7)
- 基部と、この基部から延設された振動腕部と、この振動腕部の表裏面である第一及び第二の主面にそれぞれ設けられた第一及び第二の溝部と、を備えた水晶振動素子であって、
前記第一及び第二の溝部の最も浅い部分の深さと最も深い部分の深さとの差が、水晶ウェハのエッチング異方性によって生じる差よりも小さい、
ことを特徴とする水晶振動素子。 - 前記第一及び第二の溝部の最も浅い部分の深さと最も深い部分の深さとの差は、前記第一及び第二の溝部の最も前記振動腕部の先端側における深さと最も前記基部側における深さとの差である、
請求項1記載の水晶振動素子。 - 請求項1又は2記載の水晶振動素子を製造する方法であって、
水晶ウェハの表裏に耐食膜を形成する耐食膜形成工程と、
前記耐食膜上に感光性レジスト膜を形成する感光性レジスト膜形成工程と、
前記基部及び前記振動腕部となる領域の前記感光性レジスト膜を残し、前記第一及び第二の溝部となる領域の前記感光性レジスト膜を除去する露光現像工程と、
前記感光性レジスト膜で覆われていない前記耐食膜を除去することにより前記耐食膜からなるマスクを作成するパターニング工程と、
前記耐食膜からなるマスクを用いて前記水晶ウェハをウェットエッチングするウェットエッチング工程とを含み、
前記露光現像工程では、前記第一及び第二の溝部となる領域に、当該領域の周縁から当該領域の内側へ突出した前記感光性レジスト膜からなる突起を、前記振動腕部の延設方向に間隔を開けて複数配置し、
前記突起は、前記水晶ウェハのエッチング異方性によってエッチングレートの小さくなる部分ほどエッチングを促す形状又は前記間隔とした、
ことを特徴とする水晶振動素子の製造方法。 - 前記ウェットエッチング工程では、前記耐食膜で覆われていない領域の前記水晶ウェハを除去するととともに、前記耐食膜からなる前記突起に覆われた領域の前記水晶ウェハをサイドエッチングによって除去する、
請求項3記載の水晶振動素子の製造方法。 - 基部と、この基部から延設された振動腕部と、この振動腕部の表裏面である第一及び第二の主面にそれぞれ設けられた第一及び第二の溝部と、を備えた水晶振動素子を製造する方法であって、
水晶ウェハの表裏に耐食膜を形成する耐食膜形成工程と、
前記耐食膜上に感光性レジスト膜を形成する感光性レジスト膜形成工程と、
前記基部及び前記振動腕部となる領域の前記感光性レジスト膜を残し、前記第一及び第二の溝部となる領域の前記感光性レジスト膜を除去する露光現像工程と、
前記感光性レジスト膜で覆われていない前記耐食膜を除去することにより前記耐食膜からなるマスクを作成するパターニング工程と、
前記耐食膜からなるマスクを用いて前記水晶ウェハをウェットエッチングするウェットエッチング工程とを含み、
前記露光現像工程では、前記第一及び第二の溝部となる領域に、当該領域の周縁から当該領域の内側へ突出した前記感光性レジスト膜からなる突起を、前記振動腕部の延設方向に間隔を開けて複数配置し、
前記突起は、前記水晶ウェハのエッチング異方性によってエッチングレートの小さくなる部分ほど、前記突起の突出方向の長さを短くする、当該長さに垂直な方向の幅を狭くする、及び、前記間隔を広くする、のいずれか一つ又は二つ以上の組み合わせとした、
ことを特徴とする水晶振動素子の製造方法。 - 基部と、この基部から延設された振動腕部と、この振動腕部の表裏面である第一及び第二の主面にそれぞれ設けられた第一及び第二の溝部と、を備えた水晶振動素子を製造する方法であって、
水晶ウェハの表裏に耐食膜を形成する耐食膜形成工程と、
前記耐食膜上に感光性レジスト膜を形成する感光性レジスト膜形成工程と、
前記基部及び前記振動腕部となる領域の前記感光性レジスト膜を残し、前記第一及び第二の溝部となる領域の前記感光性レジスト膜を除去する露光現像工程と、
前記感光性レジスト膜で覆われていない前記耐食膜を除去することにより前記耐食膜からなるマスクを作成するパターニング工程と、
前記耐食膜からなるマスクを用いて前記水晶ウェハをウェットエッチングするウェットエッチング工程とを含み、
前記露光現像工程では、前記第一及び第二の溝部となる領域に、当該領域の周縁から当該領域の内側へ突出した前記感光性レジスト膜からなる突起を、前記振動腕部の延設方向に間隔を開けて複数配置し、
前記第一及び第二の溝部は、それぞれ一の開口からなり、当該開口内に前記振動腕部の延設方向に沿って山と谷とが交互に連続する底面を有し、
前記第一の溝部に形成された前記山は前記第二の溝部に形成された前記谷に対向し、
前記第一の溝部に形成された前記谷は前記第二の溝部に形成された前記山に対向し、
前記露光現像工程では、前記第一及び第二の溝部に形成される前記山となる領域に前記突起を残し、
前記突起の突出方向の長さは、前記エッチングレートの小さくなる部分ほど短くした、
ことを特徴とする水晶振動素子の製造方法。 - 水晶の頂点を通る結晶軸をZ軸、このZ軸に垂直な平面内の稜線を結ぶ三つの結晶軸をX軸、前記X軸及び前記Z軸に直交する座標軸をY軸とし、これらのX軸、Y軸及びZ軸からなる右手直交座標系を前記X軸を中心として±5度の範囲で回転させたときの回転後の前記Y軸及び前記Z軸を、それぞれY’軸及びZ’軸とした場合、
前記振動腕部の延設方向をY’軸方向とし、前記第一の主面から前記第二の主面に向かう方向をZ軸’方向とすると、
前記第一の溝部となる領域では前記基部側へ行くほど前記突起の前記長さを短くし、前記第二の溝部となる領域では前記振動腕部の先端側へ行くほど前記突起の前記長さを短くする、
請求項6記載の水晶振動素子の製造方法。
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JP2014079362A JP6335000B2 (ja) | 2014-04-08 | 2014-04-08 | 水晶振動素子及びその製造方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014079362A JP6335000B2 (ja) | 2014-04-08 | 2014-04-08 | 水晶振動素子及びその製造方法 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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2014
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