JP2006060727A - 音叉型水晶振動子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ケーシングに固定される基部22と、この基部22から平行して延びる一対の振動腕部23,24と、この振動腕部23,24に形成される励振電極部29,30とを備えた音叉型水晶振動子21において、前記振動腕部23,24の表裏面に、長手方向に延びる複数の溝部25〜28を振動腕部23,24の厚みに対して1/2未満の深さで幅狭に形成した。
【選択図】 図1
Description
22 基部
23,24 振動腕部
25〜28 溝部
29,30 励振電極
31 中立線
Claims (9)
- ケーシングに固定される基部と、この基部から平行して延びる一対の振動腕部と、この振動腕部の表面に形成される励振電極部とを備えた音叉型水晶振動子において、
前記振動腕部には、長手方向に延びる複数の溝部が形成され、この溝部が幅狭に形成されていることを特徴とする音叉型水晶振動子。 - 前記溝部が、前記振動腕部の表面及び裏面の長手方向にそれぞれ二本平行に形成されている請求項1記載の音叉型水晶振動子。
- 前記二本の溝部が、前記振動腕部の中立線に対して左右対称に形成されている請求項2記載の音叉型水晶振動子。
- 前記溝部は、前記振動腕部の厚みに対して1/2未満の深さに形成される請求項1乃至3のいずれかに記載の音叉型水晶振動子。
- 前記溝部が、前記振動腕部の長手方向に沿って延びる連続した長溝によって形成されている請求項1乃至4のいずれかに記載の音叉型水晶振動子。
- 前記溝部が、前記振動腕部の長手方向に沿って配列される複数の小孔の集合体によって形成される請求項1乃至4のいずれかに記載の音叉型水晶振動子。
- 水晶基板にレジスト膜を形成して基部及びこの基部から平行して延びる一対の振動腕部からなる音叉型外形部をパターニングすると同時に、前記振動腕部に幅狭の溝部をパターニングするフォトリソグラフィー工程と、
前記パターニングに沿って、音叉型外形部と溝部とを同時に侵食させると共に、前記音叉型外形部に対して溝部の侵食速度を1/2未満となるように制御するエッチング工程とを備えたことを特徴とする音叉型水晶振動子の製造方法。 - 前記侵食を複数回に分けて段階的に行う請求項7記載の音叉型水晶振動子の製造方法。
- 前記溝部のパターニングの幅または長さを微細化することによって、溝部における侵食速度を前記音叉型外形部の侵食速度より低下させた請求項7記載の音叉型水晶振動子の製造方法。
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