JP2004260249A - 音叉型水晶振動子 - Google Patents
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Abstract
【構成】例えばZカットとした音叉状水晶片からなり、音叉振動を励起する励振電極を主面及び側面に有する音叉腕と音叉基部からなる音叉型水晶振動子において、前記音叉腕の両主面に例えば印刷技術を用いたエッチングによって一定の間隔で二次元方向の凹凸部を設け、凹部内の側面を含む凹凸部上に前記励振電極を形成した構成とする。
【選択図】図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は音叉型水晶振動子(以下、音叉型振動子とする)を産業上の技術分野とし、特にクリスタルインピーダンス(CI)を小さく維持して小型化を促進した音叉型振動子に関する。
【0002】
【従来の技術】
(発明の背景)音叉型振動子は特に時計用の歩度を刻む信号源として知られ、近年ではジャイロスコープのセンサ素子等にも適用されている。そして、このようなものでも、他の電子部品と同様に小型化が求められている。
【0003】
(従来技術の一例)第3図は一従来例を説明する音叉型振動子の図で、同図(a)は外観図、同図(b)は上面図、同図(c)は正面図である。
音叉型振動子は例えばZカットとした(通称では+5度Xカット)音叉状水晶片からなり、音叉基部1と一対の音叉腕2(ab)を有する。通常では、結晶軸(XYZ)のX軸を幅、Y軸を長さ、Z軸を厚みとする。そして、各音叉腕2(ab)の4面に励振電極3を形成する「第3図(a)」。
【0004】
励振電極3は、一方の音叉腕2aでは各組の対向面(両主面と両側面)を同電位として、一組と他組の対向面は逆電位とする。そして、他方の音叉腕2bでは一方の音叉腕2aとは逆電位として、図示しない結線図により一方と他方の音叉腕2(ab)の同電位同士を共通接続する。
【0005】
このようなものでは、例えば一方の音叉腕2aの両主面を+電位とし、両側面を−電位とすると、矢印で示す各電界によって音叉腕2(ab)の両主面から外側面と内側面に向かう電界合成ベクトルP、Qが発生する「第3図(b)」。
【0006】
そして、この電界合成ベクトルP、Qに起因した圧電逆効果によって、一方の音叉腕2aの外側面では縮小し、内側面では伸張する。したがって、音叉腕2a矢印Aで示すように外方向に撓む。そして、一方の音叉腕2aとは電位を逆とした他方の音叉腕2bは矢印Bで示すように反対方向の外方向に撓む「第3図(c)」。
【0007】
また、前述とは逆に一方の音叉腕2aの両主面を−電位とし(未図示)、両側面を+電位とすると、一方の音叉腕2aの外側面と内側面から両主面に向かう電界ベクトルが発生する。そして、外側面では伸張、内側面では収縮する。したがって、一方の音叉腕2aは内方向に撓む。そして、他方の音叉湾2bは反対方向の内方向に撓む。
【0008】
これらにより、両主面と両側面に±電位とする交番電圧を印加すると、一対の音叉腕2(ab)が互いに反対方向に水平振動即ち音叉振動が励起される。これらのものでは、音叉腕2(ab)の長さLと幅Wによって共振周波が決定され、概ねW/L2に比例する。そして、発振回路に組み込まれて発振子として、ここではQの高いインダクタ素子として機能する。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
(従来技術の問題点)しかしながら、上記構成の音叉型振動子では小型化が進行するとCIが増大する問題があった。すなわち、音叉腕2(ab)の幅が小さくなると励振電極3の主面電極幅も小さくなり、充分な電界を供給できずにCIが増大する。
【0010】
また、音叉型振動子を音叉型角速度センサに適用した場合には、例えば音叉振動を励起する励振電極を一方の音叉腕2aに、角速度を検出する図示しないセンサ電極を他方の音叉腕2bに形成する。したがって、一方の音叉腕2aのみで音叉振動を励起するので、CIが大きくなる問題があった。
【0011】
(発明の目的)本発明はCIを小さく維持して小型化を促進する音叉型振動子を提供することを目的とする。
【0012】
【特許文献1】特開2002−204141号公報
【0013】
【課題を解決するための手段】
(着目点)本発明は前述した主面電極幅とCIとの関係に、即ち主面電極面積が大きくなればCIは小さくなる点に着目した。なお、特許文献1ではX軸方向へ直線上の電界を得るべく凹部4を設けており、基本的に発想が異なる。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明は、音叉腕の主面に二次元方向の凹凸部を設けて励振電極を形成した構成とする。これにより、励振電極の面積が増加して電界強度が高まり、CIを小さくする。以下、本発明の一実施例を説明する。
【0015】
【実施例】
第1図は本発明の一実施例を説明する音叉型振動子の一部外観図である。なお、前従来例と同一部分には同番号を付与してその説明は簡略又は省略する。
【0016】
音叉型振動子は前述したように音叉基部1と一対の音叉腕2(ab)を有するZカットの音叉状水晶片からなり、音叉振動を励起する励振電極3を各音叉腕2(ab)に設けてなる。但し、X軸を幅、Y軸を長さ、Z軸を厚みとする。
【0017】
そして、各音叉腕2(ab)の両主面には長さ(結晶軸のY軸)と幅(同X軸)の二次元方向に例えば印刷技術を用いたエッチングによって一定の間隔で凹部4を設ける。要するに、各音叉腕2(ab)の両主面に二次元方向の凹凸部4、5が設けられる。ここでの凹凸部4、5はそれぞれ同一の正方形として各辺が長さ及び幅方向に平行とし、幅方向に5個を、長さ方向に8個を形成する。凹部4の深さは正方形の一辺の長さ即ち凹部4を立方体とする。そして、両主面の凹部内の側面を含む凹凸部4、5上に励振電極3を形成した構成とする。
【0018】
このようなものでは、音叉主面を平坦面とした従来例に対して、本実施例による励振電極3の形成された音叉主面の表面積は3倍になる。例えば、凹凸部4、5の一辺の長さを例えば10μmとすると従来例では4000μm2となり、本実施例では12000μm2となる。したがって、両主面と両側面との間の電界密度が高まるので、CIが小さくなる。
【0019】
【他の事項】
上記実施例では凹凸部4、5とした正方形の各辺は音叉腕の幅と長さ方向に平行としたが、例えば第2図(平面図)に示したようにしてもよい。すなわち、図示しない二次元の幾何学的座標軸XY軸を45度回転して、X′Y′座標に沿って凹凸部4、5を形成してもよい。なお、黒塗部が凹部4である。この場合、凹部4を形成する正方形の各辺が幅と長さ方向に平行なときに比較して、凹部側面からの音叉側面に対する電界密度が高まるのでさらにCIを小さくできる。
【0020】
また、凹凸部4、5はそれぞれ正方形としたが、例えば凹部4を円として二次元方向に並べてもよく凹凸部4、5の形状は任意に選択できる。但し、正方形とした場合が最も表面積を大きくできる。また、凹部4は立方体としたが深さ方向は任意に設定できる。但し、深さに比例して表面積が大きくなることは言うまでもない。
【0021】
また、実際にはエッチングによって凹部4を形成するので必ずしも幾何学上の立方体にはならない。そして、励振電極3は便宜的に凹凸面上にのみ形成したが、実際には凹凸面の外周にまたがって形成される。そして、音叉型振動子として説明したが、例えば前述した角速度センサでの音叉振動を励起する駆動電極にも適用できることは勿論である。
【0022】
【発明の効果】
本発明は音叉腕の主面に二次元方向の凹凸部を設けて励振電極を形成した構成とする。したがって、励振電極の面積が増加して電界強度が高まり、CIを小さく維持して小型化を促進する音叉型振動子を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施例の一実施例を説明する音叉型振動子の一部外観図である。
【図2】本実施例の他の例を説明する音叉型振動子の一部平面図である。
【図3】従来例を説明する音叉型振動子の図で、同図(a)は外観図、同図(b)は上面図、同図(c)は正面図である。
【符号の説明】
1 音叉基部、2 音叉腕、3 励振電極、4 凹部、5 凸部.
Claims (1)
- 音叉振動を励起する励振電極を主面及び側面に有する音叉腕と音叉基部からなる音叉型水晶振動子において、前記音叉腕の主面に二次元方向の凹凸部を設けて前記励振電極を形成したことを特徴とする音叉型水晶振動子。
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006060727A (ja) * | 2004-08-24 | 2006-03-02 | River Eletec Kk | 音叉型水晶振動子及びその製造方法 |
JP2006270335A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | River Eletec Kk | 音叉型屈曲振動子 |
JP2009105927A (ja) * | 2008-12-11 | 2009-05-14 | Seiko Epson Corp | 水晶振動片とその製造方法及び水晶振動片を利用した水晶デバイス、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置および水晶デバイスを利用した電子機器 |
JP2009105926A (ja) * | 2008-12-11 | 2009-05-14 | Seiko Epson Corp | 水晶振動片とその製造方法及び水晶振動片を利用した水晶デバイス、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置および水晶デバイスを利用した電子機器 |
JP2011097562A (ja) * | 2009-10-01 | 2011-05-12 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器、及び電子機器 |
US8294337B2 (en) | 2009-09-08 | 2012-10-23 | Seiko Epson Corporation | Flexural vibration piece, flexural vibrator, and electronic device |
US8525606B2 (en) | 2011-02-02 | 2013-09-03 | Seiko Epson Corporation | Vibrator element, vibrator, oscillator, and electronic device |
US8581669B2 (en) | 2011-02-02 | 2013-11-12 | Seiko Epson Corporation | Vibrator element, vibrator, oscillator, and electronic apparatus |
JP2013251833A (ja) * | 2012-06-04 | 2013-12-12 | Seiko Epson Corp | 振動片、電子デバイス、電子機器および振動片の製造方法 |
JP2014042136A (ja) * | 2012-08-22 | 2014-03-06 | Kyocera Crystal Device Corp | 水晶振動素子及びその製造方法 |
US8766515B2 (en) | 2008-10-24 | 2014-07-01 | Seiko Epson Corporation | Flexural vibrating reed, flexural vibrator, and piezoelectric device |
US9461615B2 (en) | 2013-07-19 | 2016-10-04 | Seiko Epson Corporation | Vibrator element, vibrator, oscillator, electronic apparatus, and moving object |
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2003
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Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006060727A (ja) * | 2004-08-24 | 2006-03-02 | River Eletec Kk | 音叉型水晶振動子及びその製造方法 |
JP4593203B2 (ja) * | 2004-08-24 | 2010-12-08 | リバーエレテック株式会社 | 音叉型水晶振動子及びその製造方法 |
JP2006270335A (ja) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | River Eletec Kk | 音叉型屈曲振動子 |
JP4638263B2 (ja) * | 2005-03-23 | 2011-02-23 | リバーエレテック株式会社 | 音叉型屈曲振動子 |
US8766515B2 (en) | 2008-10-24 | 2014-07-01 | Seiko Epson Corporation | Flexural vibrating reed, flexural vibrator, and piezoelectric device |
JP2009105927A (ja) * | 2008-12-11 | 2009-05-14 | Seiko Epson Corp | 水晶振動片とその製造方法及び水晶振動片を利用した水晶デバイス、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置および水晶デバイスを利用した電子機器 |
JP2009105926A (ja) * | 2008-12-11 | 2009-05-14 | Seiko Epson Corp | 水晶振動片とその製造方法及び水晶振動片を利用した水晶デバイス、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置および水晶デバイスを利用した電子機器 |
JP4636170B2 (ja) * | 2008-12-11 | 2011-02-23 | セイコーエプソン株式会社 | 水晶振動片とその製造方法及び水晶振動片を利用した水晶デバイス、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置および水晶デバイスを利用した電子機器 |
JP4692619B2 (ja) * | 2008-12-11 | 2011-06-01 | セイコーエプソン株式会社 | 水晶振動片とその製造方法及び水晶振動片を利用した水晶デバイス、ならびに水晶デバイスを利用した携帯電話装置および水晶デバイスを利用した電子機器 |
US8294337B2 (en) | 2009-09-08 | 2012-10-23 | Seiko Epson Corporation | Flexural vibration piece, flexural vibrator, and electronic device |
US8102103B2 (en) | 2009-10-01 | 2012-01-24 | Seiko Epson Corporation | Tuning-fork resonator with grooves on principal surfaces |
US8288926B2 (en) | 2009-10-01 | 2012-10-16 | Seiko Epson Corporation | Tuning-fork resonator having juxtaposed grooves |
US7944132B2 (en) | 2009-10-01 | 2011-05-17 | Seiko Epson Corporation | Tuning-fork resonator with grooves on principal surfaces |
TWI424686B (zh) * | 2009-10-01 | 2014-01-21 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動體、振盪器、及電子機器 |
JP2011097562A (ja) * | 2009-10-01 | 2011-05-12 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器、及び電子機器 |
US8525606B2 (en) | 2011-02-02 | 2013-09-03 | Seiko Epson Corporation | Vibrator element, vibrator, oscillator, and electronic device |
US8581669B2 (en) | 2011-02-02 | 2013-11-12 | Seiko Epson Corporation | Vibrator element, vibrator, oscillator, and electronic apparatus |
JP2013251833A (ja) * | 2012-06-04 | 2013-12-12 | Seiko Epson Corp | 振動片、電子デバイス、電子機器および振動片の製造方法 |
JP2014042136A (ja) * | 2012-08-22 | 2014-03-06 | Kyocera Crystal Device Corp | 水晶振動素子及びその製造方法 |
US9461615B2 (en) | 2013-07-19 | 2016-10-04 | Seiko Epson Corporation | Vibrator element, vibrator, oscillator, electronic apparatus, and moving object |
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