JP4114149B2 - 圧電デバイスとその製造方法ならびに圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 - Google Patents
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従来の圧電デバイスは、例えば、図21の概略断面図に示すように構成されている(特許文献1参照)。
そして、蓋体5の封止後に外部からレーザ光を蓋体5を介してパッケージ2内に照射し、圧電振動片3に形成されている電極の一部を蒸散させることにより、周波数調整することができるようになっている。
図22(a)は蓋体6の概略断面図、図22(b)は蓋体6の概略平面図である。
図において、蓋体6は金属などの丈夫な損傷にくい材料により形成されており、窓と成る開口8が形成されている。この開口8には、ガラス7が充填されており、このガラス7を利用して、外部からレーザ光を照射することができるようになっている。これにより、蓋体6を上述したパッケージ2等に接合することで、上述した弊害を防止しようとするものである。
これに対して、図22の蓋体6は、開口8の内部に段部9を形成して、この段部9を利用してガラス7の抜け止めと、固定とを行っているが、蓋体の厚みが0.1mmというレベルの厚さとなると、開口内にこのような段部を形成する構造を実現することは難しい。
図において、圧電デバイス30は、圧電振動子を構成した例を示しており、圧電デバイス30は、パッケージ37内に圧電振動片32を収容している。パッケージ37は、例えば、後述するように、絶縁材料として、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成形して形成される複数の基板を積層した後、焼結して形成されている。
ここで、本実施形態では、箱状のパッケージ37を形成して、圧電振動片32を収容するようにしているが、例えば、後述するように、絶縁性基体として、1枚の基板を用意し、この1枚の基板に、第1の基板55の電極部と同様の電極部を形成して圧電振動片32を接合し、厚みの薄い箱状のリッドないしは蓋体をかぶせて封止し、全体として圧電振動片32を収容するためのパッケージを構成するようにしてもよい。
この電極部31,31は、それぞれ図2に示す実装端子48,48と接続されており、外部から印加される駆動電圧を、圧電振動片32に供給するものである。具体的には、この実装端子48,48と電極部31,31は、パッケージ37外部をメタライズにより引き回したり、あるいは第1の基板55および第2の基板56の焼成前にタングステンメタライズ等を利用して形成した導電スルーホール等で接続することで形成できる。
各電極部31,31の上には、導電性接着剤47が塗布されて、圧電振動片32の基部51が接合されている。この導電性接着剤47としては、例えば、合成樹脂などを利用したバインダー成分に、銀粒子などの導電粒子を混入したもので、機械的接合と電気的接続とを同時に行うことができるものである。
すなわち、圧電振動片32は、パッケージ37側と固定される基部51と、この基部51を基端として、図において斜め右方に向けて、二股に別れて平行に延びる一対の振動腕35,36を備えており、全体が音叉のような形状とされた、所謂、音叉型圧電振動片が利用されている。
尚、圧電振動片としては、図示のような音叉型の圧電振動片に限らず、圧電材料を矩形にカットしたATカット振動片やコンベックスタイプの振動片等の種々の圧電振動片を使用することができる。
蓋体40は、その厚みが極めて薄く形成されており、例えば、厚み0.1mm以下とされている。また蓋体40の材料は、ガラス材料よりも割れにくい丈夫な材料で形成されており、例えば、金属やセラミックにより形成されている。そして、好ましくは、蓋体40を形成するための材料として、パッケージ37の材料と熱膨張係数が近似したものが選択される。このような条件を満たすものとして、金属であれば、例えば、鉄,ニッケル,コバルトの合金であるコバール合金が適しており、セラミックであれば、パッケージ37の材質と同じセラミックが適している。
開口42の内周面は粗面42aとされている。粗面42aは開口42の内周面の表面粗さを意図的に粗くしたものであって、平坦な面よりも摩擦が大きくなるようにしたものである。
また蓋体40には、開口42に光透過物を取付けることにより形成した調整用窓部41を備えているから、この窓部41を透過させてパッケージ内部の圧電振動片32に形成した金属膜53,54に対して、図2に符号LBで示すようにレーザ光やハロゲンビームなどの加熱用光ビームを照射することができる。この場合、蓋体40がその厚みを極めて薄くするように形成されていて、開口42の内側に段部を設けることができない場合であっても、開口42とガラス43との接触面が粗面42aとされているので、この粗面を利用して、ガラス43を直接その摩擦力で保持し、あるいは接合材45のアンカー効果を効果的に高めて保持することができる。
さらに、図2で説明したように、好ましくは、ガラス43がフランジ部44を備えている。
このため、上述の作用効果に加えて、ガラス43は、開口42に挿入される挿入部46の外周とフランジ部44の開口42周縁部への当接面である上向き段部44aの箇所で、蓋体40に対して接合されるので、接合面積が増大することで、より確実で接合強度の高い固定構造とすることができる。
しかもフランジ部44はガラス43の下部に設けられているので、蓋体40の内側におさまり、圧電デバイス30の外形を拡大させることがないので、表面実装される圧電デバイス30の高さ方向の大きさをコンパクトに納めることができる。
図5の圧電デバイス30−1は、ガラス43の形状を除き、第1の実施形態の圧電デバイス30と同じ構造であるから、共通する構成には同一の符号を付して重複する説明は省略し、以下、相違点を中心に説明する。
この圧電デバイス30−1においては、蓋体40の開口42に取付けられるガラス43の上端にフランジ部44−1が形成され、このフランジ部44−1は、蓋体40の外部に突出している。したがって、この突出分だけ圧電デバイス30−1の高さ方向の寸法を拡大させることとなるが、その分パッケージ37の内部空間Sは大きくなり、圧電振動片32の振動腕35の先端部が上方に振れた際に、フランジ部と当接する事態を有効に避けることができる。それ以外の作用効果は、第1の実施形態の圧電デバイス30と同じである。
次に、圧電デバイス30(30−1)の製造方法の実施形態を図6のフローチャートを参照しながら説明する。
先ず、図1ないし図4で説明した圧電振動片32と蓋体40、パッケージ37は、それぞれ別々に形成しておく。
(圧電振動片の形成工程)
圧電振動片32については、例えば、水晶ウエハをエッチングして、既に説明した形状を形成するとともに、必要な励振電極を形成する(ST11)ことで、従来と同様に製造することができるので、詳しい説明は省略する。電極形成後に、駆動電圧を印加して周波数を粗調整する(ST12)。
(パッケージの形成工程)
図1および図2で説明したパッケージ37は、例えば、所定の溶液中にセラミックパウダを分散させ、バインダを添加して生成される混練物をシート状の長いテープ形状に成形し、これを所定の長さにカットして得た、所謂グリーンシートを用意する。
グリーンシートは、上述した第1の基板55と、第2の基板56とを形成するために共通して使用することができる。
成形後に第1および第2の基板を積層し、焼成後、タングステンメタライズ上に、ニッケルおよび金メッキを施す。なお、パッケージ37の上端には、封止材37aを塗布しておく。あるいは、蓋体40に金属材料を用いる場合には、金属製のシームリング37aを設けておくことになる。
蓋体40をコバールの板材を用いて形成する場合について説明する。
第1の方法は、図7に示すように、厚みt1が約0.1mm程度のきわめて薄い板体にガラス体43(図2参照)を保持できるような貫通孔でなる開口42を形成するために、ドリルDを用いて穿孔する。これにより、図2で説明したように、開口42の内周には粗面42aが形成される(ST21)。
次いで、窓部となる開口を形成すべき個所について、表面側のレジスト61を、一般的なフォトリソプロセスを用いて除去し、金属材料を露出させる。
続いて、図8(b)に示すように、コバールを所定のエッチング液、例えば、塩化第二鉄溶液に浸漬して片側からウエットエッチングし、開口42としての貫通孔を穿設する。この場合、表面側から裏面側に向かって、徐々に縮径したテーパ状の貫通孔であって、内周面に粗面42aを備える開口42を比較的容易に形成することができる。
最後に、レジスト61,62を除去することで、コバールの板体で形成した蓋体40に貫通孔でなる開口42を形成することができる。
次に、圧電振動片32をパッケージ37の電極部31の上に接合する(ST31)。すなわち、図1および図2で説明したように、パッケージ37の電極部31上に導電性接着剤47を塗布して、その上に圧電振動片32の基部51の引き出し電極38a,39aの個所を載置し、導電性接着剤47,47を硬化させることにより、電極部31と圧電振動片32とが電気的、機械的に接合される。このようにして、圧電振動片32は絶縁基体である第1の基板55に対して、片持ち式に接合される。
図10は治具Jにより蓋体40を抑えて、封止材37aを硬化させる様子を示しており、封止材37aとして低融点ガラスを用いる場合を示している。また、封止材37aとしてコバールリングを用いる場合には、図10とは異なり、シーム溶接により行う。
続いて、図2で説明したように、蓋体40の外部からレーザ光LBなどを光透過物であるガラス43を透過させて、圧電振動片32の図3で説明した金属膜53および/または54に照射し、その一部を蒸散させて、質量削減方式により周波数調整を行う(ST33)。ここで、開口42が、図1に示すように、両振動腕35,36の金属膜を露出させるものであると、各振動腕の金属膜について、その一部を蒸散させることができ、両振動腕35,36についての屈曲バランスまでも調整できて好ましい。
その後必要な検査を経て(ST34)、圧電デバイス30が完成する。
この第2の実施形態の圧電デバイス70は、蓋体に形成される(調整用)窓部の構造以外は第1の実施形態の圧電デバイス30と同一の構造であるから、重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
図において、蓋体40の材料は第1の実施形態の圧電デバイス30の蓋体40と同一であるが、開口72は、蓋体40の表面側に突出している点が相違している。
図示されているように、開口72は上方に突出しており、その周囲に下向きの段部74を備えている。光透過物であるガラス73は、開口72の内径よりも大きな外径を有した円盤状であり、段部74に受容される大きさである。
ガラス73は段部74と、この段部74の外縁から縦方向に延びる内壁部72aとに対して、接合材75を介して接触しており、その結果蓋体40の厚みt1よりも大きな面積により接合している。
また、開口72は蓋体40の表面側に突出しているので、パッケージ37内の内部空間Sの有効空間を減少させることなく、また、圧電振動片の振動腕35が上向きに振れた際に突出部と当接しやすくなって損傷することが有効に回避される。また、ガラス73の周縁が窓部71内に収容されるので、損傷しにくい。
すなわち、図11および図12で説明した蓋体40の表裏を反対にして使用した状態を示している。つまり、図13の蓋体40においては、窓部71−1の開口72−1は、蓋体40の裏面に突出しており、上向きの段部74−1を備えた構造となっている。
それ以外の点では、第2の実施形態と全く同様の構造であり、第1および第2の実施形態と同様の作用効果を発揮することができる。
この場合、開口72−1は蓋体40の裏面側に突出しているので、圧電デバイスの高さ方向の寸法が拡大されることがなく、表面実装に有利である。また、蓋体40を金属で形成する場合に、蓋封止工程において、シーム溶接を行う際に、蓋体40の表面を摺動させるローラの動きを阻害することがなく、工程上有利となる。
図14は第1の方法を示している。すなわち、図14(a)に示すように、厚さt1の薄い金属製の板体40−1を用意する。そして、図14(b)に示すように、プレスにより突出部76を形成し、図14(c)に示すように開口72となる貫通孔を穿孔することにより、窓部71を形成することができる。
図16は第3の方法を示している。先ず、図16(a)に示すように、完成される蓋体の厚みt1よりも大きな厚みを有する金属製の板体40−3を用意する。
次に、図16(b)に示すように、窓部が形成される個所を囲むように、一般的なフォトリソプロセスを用いて板体40−3の一面に、所定のパターンで第1のレジスト77を形成する。さらに板体40−3の他の面には、第1のレジスト77の外縁と僅かに重なる位置から外側の全面に、第2のレジスト78を形成する。この状態で、板体40−3を例えばウエットエッチングすると、図16(c)に示すように、突出部76と窓部となる開口72が同時に形成される。最後に図16(d)に示すように、第1および第2のレジスト77,78を剥離することで、窓部71を形成することができる。
図において、圧電デバイス80は、第1の実施形態の圧電デバイス30と比較すると、パッケージの形態が異なり、蓋体の形状が異なっている。
すなわち、図示されているように、この実施形態では、絶縁基体55−1とカバー状の蓋体81とにより、パッケージが形成されている。
絶縁基体55−1は、図2で説明した第1の実施形態の第1の基板55と同じ構造であり、このため、細部の構造は図示を省略している。また、この絶縁基体55−1に接合される圧電振動片は、第1の実施形態の圧電振動片32と同一のものであるが、圧電振動片はこれに限らず、圧電材料を矩形にカットした、所謂、ATカット振動片を好適に利用することができる。
また、蓋体81に形成される窓部41も圧電デバイス30と同じ構造で、同じ機能を発揮する。
かくして、圧電デバイス80も、第1の実施形態と同様の作用効果を発揮することができる。
図19の圧電デバイス90は以下に説明する点を除き、第1の実施形態の圧電デバイス30と全く同じ構造で、これと同一の符号を付した個所は同一の構成であるから、重複する説明は省略する。
すなわち、圧電デバイス30が圧電振動子であるのに対して、この圧電デバイス90は圧電発振器として構成されている。
すなわち、IC92は、第3の基板91に形成したランドに実装され、圧電振動片32とパッケージ内の電極を介して、ワイヤボンディングなどにより接続されている(図示せず)。そして、蓋体40に形成した窓部41は、圧電デバイス30と同一の構成であるから、かくして、この圧電デバイス90も第1の実施形態と同様の作用効果を発揮することができるものである。
図において、送信者の音声を受信するマイクロフォン308及び受信内容を音声出力とするためのスピーカ309を備えており、さらに、送受信信号の変調及び復調部に接続された制御部としての集積回路等でなるCPU(Central Processing Unit)301を備えている。
CPU301は、送受信信号の変調及び復調の他に画像表示部としてのLCDや情報入力のための操作キー等でなる情報の入出力部302や、RAM,ROM等でなる情報記憶手段(メモリ)303の制御を行うようになっている。このため、CPU301には、圧電デバイス30等の本発明の実施形態や変形例の圧電デバイスが取り付けられて、その出力周波数をCPU301に内蔵された所定の分周回路(図示せず)等により、制御内容に適合したクロック信号として利用するようにされている。このCPU301に取付けられる圧電デバイスは、圧電振動子でも圧電発振器でもよい。
また、この発明は、パッケージや箱状の蓋体に被われるようにして、内部に圧電振動片を収容するものであれば、圧電振動子、圧電発振器等の名称にかかわらず、全ての圧電デバイスに適用することができる。
Claims (7)
- 気密に封止するための金属またはセラミックで形成した蓋体を備えたパッケージに圧電振動片を収容した圧電デバイスであって、
前記蓋体を貫通する開口と、この開口に取付けられた光透過物とを備えることにより、周波数調整に用いる調整用窓部が形成されており、
前記開口の内周面は、前記蓋体の前記開口の外周部よりも粗い粗面とし、
前記光透過物は、前記開口に挿入される挿入部と、前記開口径より大きな外形を備えるフランジ部とを有しており、前記挿入部の外周は前記開口の前記内周面に接合され、前記フランジ部は前記開口の前記外周部に接合されている
ことを特徴とする、圧電デバイス。 - 前記蓋体が、前記パッケージと熱膨張係数が近似した材料で形成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電デバイス。
- パッケージ内に圧電振動片を収容し、蓋体により気密に封止した圧電デバイスの製造方法であって、
前記パッケージと、前記圧電振動片と、前記蓋体とを別々に形成するための個別の形成工程と、
前記パッケージを構成する絶縁性基体に対して、前記圧電振動片を接合する工程と、
前記パッケージを前記蓋体により気密に封止する蓋封止工程と、
前記パッケージの外部から前記圧電振動片に形成されている金属膜に加熱用光ビームを照射する周波数調整工程と
を備えており、
前記蓋体の形成工程においては、金属またはセラミックでなる前記蓋体に周波数調整に用いる調整用窓部としての貫通孔でなる開口を形成し、前記開口の内周面を、前記蓋体の前記開口の外周部よりも粗い粗面とする工程と、この開口に挿入部とフランジ部とを有する光透過物を固定する工程を含み、前記挿入部は前記開口に挿入され、前記挿入部の外周は前記開口の前記内周面に接合され、前記フランジ部は開口径より大きな外形を備え、前記開口の前記外周部に接合され、
かつ前記周波数調整工程においては、前記蓋体の前記開口に固定した前記光透過物を介して、前記パッケージ内の前記圧電振動片の前記金属膜に対して、前記パッケージの外部から加熱用光ビームを照射し、前記金属膜の一部を蒸散させることにより、周波数調整する
ことを特徴とする、圧電デバイスの製造方法。 - 前記蓋体の開口を形成する工程において、蓋体を構成する板体に対して、ドリルにより前記貫通孔を穿設することを特徴とする請求項3に記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記蓋体の開口を形成する工程において、蓋体を構成する板体をエッチングすることにより前記貫通孔を穿設することを特徴とする請求項3に記載の圧電デバイスの製造方法。
- 金属またはセラミック製の蓋体により気密に封止されるパッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスを利用した携帯電話装置であって、
前記蓋体を貫通する開口と、この開口に取付けられた光透過物とを備えることにより、周波数調整に用いる調整用窓部が形成されており、
前記開口の内周面は、前記蓋体の前記開口の外周部よりも粗い粗面とし、
前記光透過物は、前記開口に挿入される挿入物と、前記開口径より大きな外形を備えるフランジ部とを有しており、前記挿入部の外周は前記開口の前記内周面に接合され、前記フランジ部は前記開口の外周部に接合された圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにしたことを特徴とする、携帯電話装置。 - 金属またはセラミック製の蓋体により気密に封止されるパッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスを利用した電子機器であって、
前記蓋体を貫通する開口と、この開口に取付けられた光透過物とを備えることにより、周波数調整に用いる調整用窓部が形成されており、
前記開口の内周面は、前記蓋体の前記開口の外周部よりも粗い粗面とし、
前記光透過物は、前記開口に挿入される挿入物と、前記開口径より大きな外形を備えるフランジ部とを有しており、前記挿入部の外周は前記開口の前記内周面に接合され、前記フランジ部は前記開口の外周部に接合された圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにしたことを特徴とする、電子機器。
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