JP2006033354A - 圧電振動子の周波数調整方法、圧電振動子および電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 音叉腕2、3と、音叉腕2、3の一方の端部を接続する音叉基部4とを備え、音叉腕2、3の中心線を挟んだ中央部であり厚さ方向に対向する上下面に溝部5、6を形成した音叉腕が屈曲振動を行う圧電振動子1において、溝部5、6の溝底部電極7b、8bをレーザ光を照射して除去することにより周波数を調整する。
【選択図】 図4
Description
また、音叉腕に溝部を形成した圧電振動子の周波数調整方法としては、特許文献1に開示されているように、圧電振動子の音叉腕先端に設けた金属膜にレーザ光を照射して、金属膜の一部を取り除くという一般的な手法により周波数調整が行われている。
(第1の実施形態)
水晶などの圧電材料からなる圧電振動子1は、2つの音叉腕2、3を有している。音叉腕2、3の一方の端部はそれぞれ音叉基部4に接続され、他方の端部は開放されている。
音叉腕2、3の幅方向の中心線を挟んだ中央部には溝部5、6が形成され、この溝部5、6は音叉腕2、3の厚さ方向に対向する上下面に設けられている。
また、圧電振動子1には励振電極7、8が設けられ、音叉腕2、3を屈曲振動できるように構成されている。さらに、音叉腕2、3の開放された先端部には重り9が設けられている。励振電極7、8はAuなどの金属膜で形成され、重り9はAgやAuなどの金属膜で形成されている。
音叉腕2の溝部5の側面には溝側面電極8aおよび、溝底部には底部電極8bが設けられている。これらの溝側面電極8aおよび、底部電極8bは、図1で示した励振電極8に含まれるものであり、励振電極8として同電極となるように構成されている。また、音叉腕2の側面には側面電極7a設けられている。側面電極7aは、図1で示した励振電極7に含まれるもので、励振電極7として同電極となるように構成されている。そして、励振電極7、8はお互いに異なる電極となるように構成される。
図2(a)に示すように、側面電極7aに正の電圧、溝側面電極8aおよび溝底部電極8bに負の電圧が印加されると、側面電極7aから溝側面電極8aの向き(矢印に示す向き)に電界が働く。
また、図2(b)に示すように、側面電極7aに負の電圧、溝側面電極8aおよび溝底部電極8bに正の電圧が印加されると、溝側面電極8aから側面電極7aの向き(矢印に示す向き)に電界が働く。
また、この音叉腕2に働く電界は対向する側面電極7aと溝側面電極8aに垂直な成分のみとなる。このため、上記のような構成にすれば、音叉腕2を効率よく励振させることができ、圧電振動子の小型化を可能にする。
なお、上記の説明では溝底部電極8bを設けた形態にて説明したが、対向する側面電極7aと溝側面電極8aを異なる電極として構成すれば、溝底部電極8bは音叉腕2の屈曲振動には直接関与しないため、溝底部電極8bを設けない構成としても良い。
図3は圧電振動子の周波数調整工程を説明するフローチャートである。
ステップS1では、図1に示したように、圧電振動子1の音叉腕2、3先端部にAuやAgを蒸着やスパッタにより、重り9を形成する。
セラミックスなどで形成した収容容器21は、一面が開放されて凹部が設けられている。凹部には台座22が形成され、この台座22に圧電振動子1が導電性接着剤23にて接着固定される。また、図示しないが、圧電振動子1の励振電極と収容容器21に配置された回路配線とが、導電性接着剤23を介して電気的な接続がなされている。
周波数調整前の圧電振動子1の周波数は、重り9の付加により、所望の周波数より低く設定されており、重りや電極を除去することにより、周波数を高くする方向で周波数調整が行われる。
図4は圧電振動子の周波数の調整方法を説明する平面図であり、図4(a)は周波数調整1、図4(b)は周波数調整2、図4(c)は周波数調整3の工程に対応する平面図である。
この工程では、圧電振動子1の周波数が周波数調整1として決められた所定の値になるまで、数回、音叉腕2、3の重り9にレーザ光スポット10aを照射して、重り9の一部を除去する。また、重り9の一部の除去は、振動のバランスを考慮して音叉腕2、3でほぼ同量になるように設定されている。
周波数調整1の工程での調整では、除去した重り9の質量効果により、圧電振動子1の周波数変化は大きく、周波数を粗く調整する。
この工程では、圧電振動子1の周波数が周波数調整2として決められた所定の値になるまで、数回、音叉腕2、3の励振電極7、8にレーザ光スポット10bを照射して、励振電極7、8の一部を除去する。また、励振電極7、8の一部の除去は、振動のバランスを考慮して音叉腕2、3でほぼ同量になるように設定されている。
周波数調整2の工程での調整では、除去した励振電極7、8の質量効果により、圧電振動子1の周波数を調整できる。励振電極7、8の厚みは重り9の厚みに比べて充分に薄く形成されており、1回のレーザ光スポットの照射における周波数の変化は、周波数調整1に比べて小さい。このように、周波数調整2は周波数調整1に比べて、精度の高い調整が可能である。
次に、小型化された圧電振動子など、さらに精度の高い周波数調整が必要な場合には、本発明の要旨であるステップS6の周波数調整3を行う。
この工程では、圧電振動子1の周波数が周波数調整3として決められた所定の値(所望の最終周波数)になるまで、音叉腕2、3の溝底部電極7b、8bにレーザ光スポット10cを照射して、溝底部電極7b、8bの一部を除去する。このとき、複数回のレーザ光スポット10cを照射する必要があるときには、音叉腕2、3の先端から音叉基部4に向かう方向に、順次レーザ光スポット10cを照射していく。
また、溝底部電極7b、8bの一部の除去は、振動のバランスを考慮して音叉腕2、3でほぼ同量であることが望ましい。
また、周波数調整3では、音叉腕2、3の先端から音叉基部4に向かう方向に、順次レーザ光スポット10cを照射することに従い、レーザ光スポット10cの照射位置は音叉基部4に近づいていく。このことは、微量ではあるが、1回のレーザ光スポットの照射における周波数の変化は小さくなっていく。このことからも、精度の高い周波数調整が可能となる。
また、溝底部電極7b、8bは音叉腕2、3の屈曲振動には直接影響を与えないため、溝底部電極7b、8bを除去しても圧電振動子1の特性には影響を与えず、周波数の調整ができる。
なお、上記実施形態では、周波数調整前の圧電振動子1の周波数を、所望の周波数より低く設定しておき、重りや電極などの質量を除去することにより、周波数を高くする方向で周波数調整を行ったが、周波数調整前の圧電振動子1の周波数を、所望の周波数より高く設定しておき、質量を除去する位置と同様な位置に質量を付加して、周波数を低くする方向で周波数調整をすることもできる。
(変形例)
図5(a)では、周波数調整3の工程において、音叉腕2の底部電極8bには2回のレーザ光スポット10cを照射し、音叉腕3の底部電極7bには1回のレーザ光スポット10cを照射して周波数調整を終了している。つまり、音叉腕2と3では異なる質量で圧電振動子1の周波数が調整されている。
2つの音叉腕2、3の質量は微量には異なるが、周波数調整量は2つの音叉腕を同質量で調整した場合のほぼ半分となり、周波数調整の精度を上げることができる。
特に最終の周波数調整であれば、音叉腕の質量差は微量であり、圧電振動子1の振動に対して特性に影響をすることはない。
このように、音叉基部4に近くなるに従い、1回のレーザ光スポット10cの照射における周波数の変化は小さくなるため、精度の良い周波数調整が可能となる。
(第2の実施形態)
図6(b)はパッケージされた圧電振動子の構成を示す概略断面図である。収容容器21内には圧電振動子1が接着固定され、収容容器21内を真空雰囲気に保持し、リッド24により封止され、パッケージされた圧電振動子20となる。パッケージされた圧電振動子20の周波数は第1の実施形態で述べた、周波数調整方法を用いて、精度よく調整されている。
このように、第1の実施形態の圧電振動子の周波数調整方法を用いて、周波数を高精度に合わせ込んだ圧電振動子20を提供できる。
(第3の実施形態)
図7は電子機器の構成を示す概略構成図である。電子機器30には上記の第2の実施形態で説明した圧電振動子20を備えている。
上記の実施形態の圧電振動子20を用いた電子機器30として、携帯電話やデジタルカメラ、ビデオカメラなどの携帯用電子機器が挙げられる。これらの電子機器30において圧電振動子20は、基準信号源として用いられ、小型で精度の良い圧電振動子20を備えることにより、小型で携帯性に優れ、特性の良好な電子機器を提供できる。
Claims (10)
- 音叉腕と、前記音叉腕の一方の端部を接続する音叉基部と、を備え、前記音叉腕の中心線を挟んだ略中央部であり厚さ方向に対向する上下面に溝部を形成した前記音叉腕が屈曲振動を行う圧電振動子であって、前記溝部の質量を調整することにより周波数調整をすることを特徴とする圧電振動子の周波数調整方法。
- 前記溝部の底部および側面部に底部電極および溝側面電極を形成し、前記溝部の底部電極の質量を調整することにより周波数調整を行うことを特徴とする請求項1記載の圧電振動子の周波数調整方法。
- 前記溝部の底部電極の一部を、レーザ光を照射して除去することを特徴とする請求項2記載の圧電振動子の周波数調整方法。
- 前記音叉腕の開放された先端から前記音叉基部に向かう方向に順次レーザ光を照射して、前記溝部の底部電極の一部を除去することを特徴とする請求項3記載の圧電振動子の周波数調整方法。
- 前記音叉腕は2つの音叉腕からなり、一方の前記音叉腕と他方の前記音叉腕における質量の調整量は、両音叉腕で略同量であることを特徴とする請求項1記載の圧電振動子の周波数調整方法。
- 前記音叉腕は2つの音叉腕からなり、一方の前記音叉腕と他方の前記音叉腕における質量の調整量は、両音叉腕で異なる量であることを特徴とする請求項1記載の圧電振動子の周波数調整方法。
- 前記溝部の前記底部電極に順次レーザ光を照射するピッチが、レーザ光のスポット径より小さいことを特徴とする請求項3および4記載の圧電振動子の周波数調整方法。
- 請求項1記載の振動子の周波数調整方法を、周波数の最終調整工程に用いたことを特徴とする圧電振動子の周波数調整方法。
- 請求項1乃至8いずれか一項記載の周波数調整方法を用い、周波数調整されたことを特徴とする圧電振動子。
- 請求項9記載の圧電振動子を備えることを特徴とする電子機器。
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