JP2013118652A - 圧電振動子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】振動腕16を有し、振動腕16に金属膜34及び励振電極膜が形成された圧電振動片10を用意する。金属膜34にレーザービームで凹凸を形成することで、金属膜34の表面積を拡大する。その後、圧電振動片10をパッケージ40に取り付ける。その後、金属膜34を、イオンビームによってエッチングする。その後、パッケージ40の内部空間を気密に封止する。
【選択図】図7
Description
[適用例1]本適用例に係る圧電振動子の製造方法は、
(a)振動腕を有し、前記振動腕に金属膜及び励振電極膜が形成された圧電振動片を用意する工程と、
(b)前記金属膜にレーザービームで凹凸を形成することで、前記金属膜の表面積を拡大する工程と、
(c)前記(b)工程後に、前記圧電振動片をパッケージに取り付ける工程と、
(d)前記(c)工程後に、前記金属膜を、イオンビームによってエッチングする工程と、
(e)前記(d)工程後に、前記パッケージの内部空間を気密に封止する工程と、
を含む。本発明によれば、圧電振動片をパッケージに取り付けてからイオンビームで金属膜をエッチングするので、レーザービームで蒸発して再付着した金属材料を除去することができる。また、イオンビームによって周波数の微調整が可能になる。さらに、レーザービームで金属膜に凹凸を形成するので、イオンビームが照射される面積が大きくなって、イオンビームによるエッチング時間を短縮することができる。
[適用例2]本適用例に係る圧電振動子の製造方法において、
前記(a)工程で、複数の前記圧電振動片を、相互に連結された状態で用意し、
前記(b)工程を、相互に連結された複数の前記圧電振動片に対して行い、
前記(b)工程後、前記(c)工程前に、複数の前記圧電振動片を個片に切断する工程をさらに含み、
前記(c)工程で、個片の前記圧電振動片を前記パッケージに取り付ける。
[適用例3]本適用例に係る圧電振動子の製造方法において、
前記(b)工程で、前記レーザービームで前記金属膜の材料を蒸発させて凹部を形成し、蒸発した前記材料を前記金属膜に再付着させて凸部を形成する。
[適用例4]本適用例に係る圧電振動子の製造方法において、
前記(d)工程で、前記イオンビームを、マスクを介して、前記金属膜に照射する。
[適用例5]本適用例に係る圧電振動子の製造方法において、
前記パッケージは、開口及び貫通穴を有し、
前記(c)工程で、前記開口から前記圧電振動片を前記パッケージに取り付け、前記開口に蓋を取り付け、
前記(d)工程で、前記イオンビームを、前記貫通穴を介して、前記金属膜に照射し、
前記(e)工程で、前記貫通穴を塞ぐ。
[適用例6]本適用例に係る圧電振動子の製造方法において、
前記パッケージは、開口を有し、
前記(c)工程で、前記開口から前記圧電振動片を前記パッケージに取り付け、前記開口に蓋を取り付け、
前記蓋は、貫通穴を有し、
前記(d)工程で、前記イオンビームを、前記貫通穴を介して、前記金属膜に照射し、
前記(e)工程で、前記貫通穴を塞ぐ。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る圧電振動子の製造方法で用意する圧電振動片の集合体の一部を示す平面図である。図2は、図1に示す圧電振動片のII−II線断面図である。図3は、図1に示す圧電振動片のIII−III線断面の一部を示す図である。図4〜7は、本発明の実施の形態に係る圧電振動子の製造方法を説明する図である。
す圧電振動片10は、一対の振動腕16を有するが、1本の振動腕だけを有していてもよいし、3本以上の振動腕を有していてもよい。振動腕16には、表裏面に、長手方向に延びる溝18(図8参照)がそれぞれ形成されていてもよい。溝18によって振動腕16が動きやすくなって効率的に振動するのでCI値を下げることができる。
の振動周波数が小さくなり、軽いほど振動腕16の振動周波数が大きくなる。これを利用して周波数調整を行うことができる。
図9は、本発明の第2の実施の形態に係る圧電振動子の製造方法を説明する図である。本実施の形態では、上述したパッケージ40を使用し、圧電振動片10は開口からパッケージ40に取り付ける。パッケージ40の開口に蓋146を取り付ける。蓋146は、貫
通穴148を有している。貫通穴148は金属膜34(特に凹部36及び凸部38)に対向させる。そして、イオンビームを、貫通穴148を介して、金属膜34に照射する。すなわち、蓋146の貫通穴148をマスクとして利用する。その後、貫通穴148は塞ぐ。その他の詳細は、第1の実施の形態で説明した内容が該当する。
図10は、本発明の第3の実施の形態に係る圧電振動子の製造方法を説明する図である。本実施の形態で使用するパッケージ240は、開口の他に貫通穴248を有する。圧電振動片10は、開口からパッケージ240に取り付ける。なお、この例では、第1及び第2の実施の形態とは異なり、圧電振動片10を、金属膜34がパッケージ240を向くように取り付ける。詳しくは、金属膜34(特に凹部36及び凸部38)を、貫通穴248に対向させる。そして、開口に蓋46を取り付ける。そして、イオンビームを、パッケージ240の貫通穴248を介して、金属膜34に照射する。すなわち、パッケージ240の貫通穴248をマスクとして利用する。その後、貫通穴248を塞ぐ。その他の詳細は、第1の実施の形態で説明した内容が該当する。
Claims (6)
- (a)振動腕を有し、前記振動腕に金属膜及び励振電極膜が形成された圧電振動片を用意する工程と、
(b)前記金属膜にレーザービームで凹凸を形成することで、前記金属膜の表面積を拡大する工程と、
(c)前記(b)工程後に、前記圧電振動片をパッケージに取り付ける工程と、
(d)前記(c)工程後に、前記金属膜を、イオンビームによってエッチングする工程と、
(e)前記(d)工程後に、前記パッケージの内部空間を気密に封止する工程と、
を含む圧電振動子の製造方法。 - 請求項1に記載された圧電振動子の製造方法において、
前記(a)工程で、複数の前記圧電振動片を、相互に連結された状態で用意し、
前記(b)工程を、相互に連結された複数の前記圧電振動片に対して行い、
前記(b)工程後、前記(c)工程前に、複数の前記圧電振動片を個片に切断する工程をさらに含み、
前記(c)工程で、個片の前記圧電振動片を前記パッケージに取り付ける圧電振動子の製造方法。 - 請求項1又は2に記載された圧電振動子の製造方法において、
前記(b)工程で、前記レーザービームで前記金属膜の材料を蒸発させて凹部を形成し、蒸発した前記材料を前記金属膜に再付着させて凸部を形成する圧電振動子の製造方法。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載された圧電振動子の製造方法において、
前記(d)工程で、前記イオンビームを、マスクを介して、前記金属膜に照射する圧電振動子の製造方法。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載された圧電振動子の製造方法において、
前記パッケージは、開口及び貫通穴を有し、
前記(c)工程で、前記開口から前記圧電振動片を前記パッケージに取り付け、前記開口に蓋を取り付け、
前記(d)工程で、前記イオンビームを、前記貫通穴を介して、前記金属膜に照射し、
前記(e)工程で、前記貫通穴を塞ぐ圧電振動子の製造方法。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載された圧電振動子の製造方法において、
前記パッケージは、開口を有し、
前記(c)工程で、前記開口から前記圧電振動片を前記パッケージに取り付け、前記開口に蓋を取り付け、
前記蓋は、貫通穴を有し、
前記(d)工程で、前記イオンビームを、前記貫通穴を介して、前記金属膜に照射し、
前記(e)工程で、前記貫通穴を塞ぐ圧電振動子の製造方法。
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JP2013118652A true JP2013118652A (ja) | 2013-06-13 |
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