JP5785470B2 - 圧電振動子の製造方法 - Google Patents
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Description
つりあいを実現している。
ΔF/F(T)=A3×(T−T0)^3+A1(T−T0)+A0
と表わされる。A3は、3次曲線の鋭さを表し、A1は一次の傾きを表す。T0は、変曲点温度である。頂点温度が存在するときの頂点温度Zは、
Z= T0−√(−A1/3/A3)という関係となる。
2、3、4 脚
5、6 接続電極
7、8、9 表面電極
10、11、12 裏面電極
13、14、15 側面電極
16、19、22 斜めの端面
25、26、27 調整膜
100 3脚捩りモード圧電振動子
101 セラミックパッケージ
102 導電性接着材
103 イオンガン
104 金属のリッド
105 金すずのロウ材
200 3脚捩りモード圧電振動子
201 パッケージ
202 導電性接着材
204 リッド
205 金すずのロウ材
Claims (5)
- 基部と、基部より延出し振動する脚とを有する圧電振動子の製造方法であって、
前記脚に前記脚を振動させる励振電極を形成する工程と、
前記脚の裏面と側面に共振周波数を調整する調整膜を形成する工程と、
前記励振電極と前記調整膜が形成された前記圧電振動子の共振周波数を測定する工程と、
前記励振電極と前記調整膜が形成された前記圧電振動子の一次温度係数を測定または推定する工程と、
前記測定した共振周波数と前記測定または推定した一次温度係数から、所望の共振周波数と所望の一次温度係数となるように前記調整膜を除去する部位と量とを決定する工程と、
前記脚に形成した前記調整膜を除去する工程とを備え、
前記調整膜を除去する工程にて、
前記脚の裏面に形成した前記調整膜の前記脚の幅方向の中心部で、かつ、前記脚の基部側の前記調整膜を除去することで、前記一次温度係数を+に調整し、
前記脚の裏面に形成した前記調整膜の前記脚の幅方向の中心部で、かつ、前記脚の自由端側の前記調整膜を除去することで、前記一次温度係数を−に調整し、
前記脚の裏面に形成した前記調整膜の前記脚の幅方向の両端部で、かつ、前記調整膜の前記脚の自由端および/または基部側を除去し、前記共振周波数を調整することを特徴とする圧電振動子の製造方法。 - 前記圧電振動子を収納容器内に気密封止する工程を有し、
前記気密封止する工程の後に、前記調整膜を除去することを特徴とする請求項1記載の圧電振動子の製造方法。 - 前記収納容器は、パッケージとリッドで構成されており、
少なくとも前記リッドは、ガラスからなり、
ガラスを透過するレーザービームを用いて前記調整膜を除去することを特徴とする請求項2記載の圧電振動子の製造方法。 - 前記収納容器は、パッケージとリッドで構成されており、
少なくとも前記リッドは、シリコンからなり、
シリコンを透過する赤外線レーザービームを用いて前記調整膜を除去することを特徴とする請求項2記載の圧電振動子の製造方法。 - 前記圧電振動子は、水晶からなり、
前記基部の幅方向を水晶の結晶軸のX軸とし、
前記脚の前記基部からの延出方向を水晶の結晶軸のY軸と一致させた状態から、結晶軸のX軸を中心に回転し、Y軸より31度から36度の範囲にあることを特徴とする請求項1から4のいずれか1つに記載の圧電振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011217686A JP5785470B2 (ja) | 2011-09-30 | 2011-09-30 | 圧電振動子の製造方法 |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2013078043A JP2013078043A (ja) | 2013-04-25 |
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JP2011217686A Active JP5785470B2 (ja) | 2011-09-30 | 2011-09-30 | 圧電振動子の製造方法 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP5785470B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015008353A (ja) * | 2013-06-24 | 2015-01-15 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動デバイス、電子機器、移動体、および振動素子の製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5694812A (en) * | 1979-12-28 | 1981-07-31 | Seiko Epson Corp | Method and device for controlling temperature characteristic of quartz oscillator |
JPS5753128A (en) * | 1980-09-17 | 1982-03-30 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Tuning fork type quartz vibrator |
JPS59135916A (ja) * | 1983-01-25 | 1984-08-04 | Seiko Epson Corp | 結合音叉型水晶振動子 |
JP2002118441A (ja) * | 2000-10-10 | 2002-04-19 | Citizen Watch Co Ltd | 捩り振動子 |
EP1536559A1 (fr) * | 2003-11-25 | 2005-06-01 | ETA SA Manufacture Horlogère Suisse | Composant électronique ayant un élément résonateur dans un boitier hermetiquement fermé |
JP5054490B2 (ja) * | 2007-11-20 | 2012-10-24 | シチズンホールディングス株式会社 | 振動子、および振動子の製造方法 |
JP5316748B2 (ja) * | 2008-03-28 | 2013-10-16 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片の製造方法 |
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2011
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013078043A (ja) | 2013-04-25 |
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