JP2009201162A - 圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電振動子、圧電振動子を搭載した電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電振動片100は、複数の棒状の腕部121と、該腕部121の一方の端部を結合する基部130と、前記腕部121の他方の端部に、前記腕部121より幅が広い錘部110が形成された振動腕と、前記振動腕の振動中心に沿って表面および裏面に溝部122とが形成されている。さらに、前記錘部110から延出し、且つ前記腕部121と空隙を介して設けられる突出部116を備えている。
【選択図】図3
Description
圧電振動子の振動体である圧電振動片の振動周波数は、同じ材料で形成されている場合、振動腕の断面形状(振動方向幅と厚み)と長さで決まる。即ち、圧電振動子を小型するためには、振動腕の長さを短くすることが最も寄与率が高く、また、それに伴い、振動腕の断面形状を小さくすることが要求される。
しかし、このようにすると高次振動モードが発生するなど振動状態が不安定になりやすくなることも知られている。
しかし、振動腕先端に錘部を形成するだけでは、振動腕は短くできるが変位量が増加するので小型化に限界があり、更に小型化するためには不十分であった。
また、小型化を進めていくと、振動腕、錘部、基部の形状の精度がより高く求められる。特に、振動腕の左右対称性のわずかなアンバランスが振動の安定性や励振性に影響するという課題が考えられた。
ここで、圧電振動片としては、水晶振動片を採用することができる。
ある実施例では、前記第1の錘部から延出し、且つ前記腕部と空隙を介して設けられる突出部を備える。
別の実施例では、前記突出部の先端に、該突出部よりも幅の広い第2の錘部を有する。
このことにより、振動腕の電界効率は、溝部が形成されない場合にくらべ大きくなる。従って、同じ振動周波数を得る場合、圧電振動片を小型化しても振動損失が少なくCI値(クリスタルインピーダンスまたは等価直列抵抗)も低く抑えることができる。
また、腕部の端部(先端部)には錘部が形成されているので、圧電振動片を小型化した場合の振動周波数の安定性を得ることができる。振動腕は複数(例えば2本の音叉型)形成されているが、この錘部のため慣性モーメントが大きくなるので、振動腕個別のバラツキの影響を小さくできるという効果もある。
このような構造によれば、例えば、音叉型の水晶振動片の場合、2本の振動腕の質量、慣性モーメントが同じになるので安定した振動が得られる。
また、2本の振動腕のバランスがとれていることから基部での振動漏れを少なくすることができる。
この際、テーパ部は、直線で形成されても曲線で形成されても良い。
また、腕部と基部との結合部においてもテーパ部が設けられているので、より一層、安定した振動が得られる。
さらに、先述の各部位にテーパ部を設けることによって、圧電振動片が衝撃力を受けた場合に破壊されたり、振動モードが劣化するなどの課題を防止できる効果もある。
例えば、振動腕を長くすると振動周波数は低くなり、短くすると振動周波数は高くなる。この際、圧電振動片を小型化するために振動腕長さを固定したときに、錘部の長さを長くすると振動周波数は高くなる。このことから、錘部の長さを腕部の有効長さと略同じにしておくと錘部が形成される効果が最大にいかされる。
この際、溝部は、振動腕の振動中心に対称形に形成され、錘部および基部に入り込む位置まで延長されている。このような形状の振動腕は、振動腕の基本振動モードを得るために必要な腕長さを確保できるとともに、腕部と錘部、基部との結合部において、溝部との応力集中をなくし安定した振動を得ることができる。前述のテーパ部と組み合わせることでより一層効果がでる。
ある実施例では、圧電振動片を製造する際、前記溝部が、前記振動腕の振動中心に対して対称に形成され、前記錘部と前記腕部の結合部よりも先端方向および前記腕部と前記基部との結合部よりも前記基部方向に延長して形成される。
別の実施例では、前記圧電振動片の外形および前記孔部がエッチングで形成される。
圧電振動片は、例えば、セラミック等で形成されたパッケージ内に収納される。パッケージ内は真空状態にあることが好ましく、真空環境で振動片が振動されることで、より一層安定した振動を長期間にわたって維持することができる。
また、パッケージに収納されることで、扱いやすいうえ、湿度など外部環境から圧電振動子片を保護することができる。
このような圧電振動子は安定した振動モードが得られ、この圧電振動子は、例えば、時計などの時間標準や圧電ジャイロセンサに使用され、通信機器の基準発信器、自動車の姿勢制御装置、カーナビゲーション装置、カメラ等の手ぶれ防止装置などの電子機器を提供することができる。
図1〜図3は本実施形態の圧電振動片100が示されている。
図1は本実施形態の圧電振動片100の平面図、図2は、圧電振動片100の錘部110の要部平面図、図3は本実施形態の圧電振動片100の斜視図を示す。
図1(a)および(b)において、本実施形態では、圧電振動片100の基部130の端部から一対の細棒状の振動腕120が形成されている。振動腕120の長手方向先端部には振動腕120の腕部121の幅よりも大きく設定された略四角形の錘部110が形成されている。
振動腕120の腕部121には、振動中心Bに沿って、溝部122が形成されている。この溝部122は、振動中心Bに対して対称形に形成され、基部130の振動腕120側端部131より入り込んだ位置から始まり、錘部110に入り込んだ位置まで延長されている。
これらテーパ部132,112は、振動中心Bに対して対称形であり、先述のそれぞれの結合部において、振動腕121がX方向に振動された際に応力集中を小さくするように設定されている。この際、テーパ部132と112は同じ形状で設定される必要はなく、所定の振動モードに合わせて適宜に設定できる。
本実施形態では、圧電振動片は水晶振動片とされ、図1(a)で示すように、Xは機械軸、Yは電気軸、Zは光軸である。
この孔部113は、振動腕120の振動中心Bの延長上に位置され、対称形である。図1(a)では、四角形とされるが、他の六角形などの多角形であっても円形であっても、左右の振動腕120の振動バランスがとれるように設定される。
この際、錘部長さLwと腕部の振動有効長さLaとは、ほぼ同じ長さに設定されている。即ち、振動腕120の全長に対して錘部113および腕部121の長さLw、Laは、それぞれ、ほぼ1/2の長さである。
図2(a)において、錘部110の先端の端面と外形長手方向(Y軸方向)の側面との直交部を曲線で連続した形状に形成されている。この形状は、先端部をひとつの曲線で連続した形状としてもよく、直線をいれた面取り状の形状でもよい。
図3(a)において、錘部110は、基部130に向かって腕部121の幅方向両側に、腕部121とは離れた位置に、腕部121に沿って延出されたそれぞれ一対の突出部116が形成されている。この突出部116(図中4本)は、すべて同じ大きさとされる。
このように形成されている断面略H型の音叉型の圧電振動片100には、図5において斜線で示されている部分に電極140が形成されている。電極140は、基部130から2本の振動腕120の腕部121、錘部110にかけて形成されているとともに、腕部121や錘部110の側面や溝部122の内面にも形成されている。
また、電極140は、図5に図示されていない圧電振動片100の裏面にも表面と同様に形成されている。ここで、錘部110に設けられた孔部113の孔部側面にも形成され、表面電極と裏面電極とが接続されている。
一方、この断面略H型の圧電振動片100の厚みは、例えば約0,1mm程度とされ、従来の溝部がない圧電振動片の厚みと同等に形成されている。
つまり、この圧電振動片100には溝部122が形成されており、この溝部122内に電極140が形成されているため、発生する電界が振動腕120の内部に広く分布されるので、振動腕120の振動損失が小さくCI値を押えることができるのである。
従って、上述のように溝部がない圧電振動片と比べ小型でも低CI値の圧電振動片が構成される。
図6は、本実施形態の圧電振動片100の腕部121のA−A’断面(図1に示す)を模式的に示したものである。
本実施形態の圧電振動片100が水晶振動片である場合、図示しないが、水晶の単結晶から切り出され音叉型に加工されている。図1で示すように、X軸が電気軸、Y軸が機械軸、Z軸が光軸となるように切り出された水晶基板をエッチング法などで音叉型かつ断面H型の圧電振動片100が形成される。
続いて、圧電振動片100の外形および錘部110の孔部113の形状に合わせたマスク(図示しない)を用いて外形パターン露光、および外形パターン現像が行われる(図6(b))。
次に、耐蝕膜151の現像された露出部分がエッチング液により剥離され(図6(c))、レジスト152が剥離される(図6(d))。この際、圧電振動片100の外形に近い形状の耐蝕膜151のみが残されている。
レジスト膜152は、溝部122の外形に合わせて残されている。
その後、レジスト膜152、耐蝕膜151が剥離されて溝付きの圧電振動片が形成されるのである(図6(j))。
電極140は、圧電振動片100の表面に金などの電気伝導度のよい金属膜を蒸着やスパッタリングなどの方法で形成され、エッチング法で所定の形状に電極分割がなされる。
図7において、円の中心がエッチングレート0であり、外側にいくほどエッチングレートが速くなるように表示されている。
特に、+X方向、X軸に対して+120°方向、および−120°方向の面内エッチングスピードが速く、逆に−X方向、X軸に対して+30°方向および−30°方向の内面エッチングスピードが遅くなる。
これに対して、Z方向のエッチングスピードは、−30°方向および−30°方向が速くなり、+X方向、X軸に対して+120°方向および−120°方向が遅くなる。
図8は、エッチングレートを配慮しない場合の錘部110の要部平面図、図9は、エッチングレートを配慮した場合の錘部110の要部平面図、図10は、エッチングレートを配慮しない場合の孔部113の平面図、図11は、エッチングレートを配慮した孔部113の平面図である。
また、錘部110の先端コーナーの図中左側コーナー110Aは、面取りがされたような形状となり、もう一方のコーナー110Bも同様な形状となる。
また、錘部110と腕部121の間に形成されたテーパ部112の−X方向側テーパ部112Aは、小さめに、+X側テーパ部112Bは、大きめに形成される。
図9において、実線で表示される形状はマスク150であり、二点鎖線で示される形状がエッチング工程で形成された錘部110の形状である。マスク150のX方向中心線B’は、振動腕120の振動中心Bに対して+X軸方向に補正された形状とされ、錘部110の先端−X方向(図中左側)コーナー150Aは、+Y方向に突起が形成され、また、−Y方向(図中左下側)にも同様な突起150Bが−Y方向に形成されている。
マスク150のテーパ部も−X方向側のテーパ部112Aは、+X側テーパ部112B側より大きく形成されている。
このように、予めエッチングレートに従ってエッチング基点と形状が補正されたマスク150を用いてエッチング工程を行った場合、当初狙いの振動中心に対して錘部110の中心線Bが一致し、中心線Bに対して対称な振動腕部120が形成される。
この際、図8、図9において、錘部110に形成された孔部113は省略されている。
図10において、マスク150は、孔部113の形状に対応して光が透過される開口部151が形成されている。この開口部151は、振動腕120の振動中心に対して対称に四角形に形成されている。この場合、振動中心とマスク開口部151の中心線B’と一致している。
このようなマスクを用いてエッチング工程が行われると、図中二点鎖線で示すように(113A)、−X方向に大きく形成され、エッチングレートの小さい113B,113C部は、コーナーがきちんと形成されないエッチング残りが生じている。
従って、エッチングされた振動腕120は、孔部113中心線Bが振動中心に対してずれた位置に移動し、且つ、中心線Bに対して非対称な形状に形成されている。
この際、この孔部113と圧電振動片100の外形とが、同じエッチング工程で形成することができる。
図11において、マスク150は、孔部113の形状に対応して光が透過される開口部151が形成されている。この開口部151の中心線は、振動腕120の振動中心に対してB’までずらされており、マスク150の開口部151の図中上方−X側コーナー部は、−X方向に凹部151Aが形成され、凹部151Aの−Y側コーナーには、凹部151Aと同様な凹部151Bが形成されている。
このように形成されたマスク150を用いてエッチング工程がなされた孔部113は、図中二点鎖線で示されるように振動腕120の振動中心に対して孔部中心線Bが一致し、且つ、中心線Bに対して対称に形成されている。
このようにして製造された圧電振動片100は、パッケージ内に収納されて使用される。
図12は、セラミックパッケージ型振動子200の構成を示す概略断面図である。図12に示すように、セラミックパッケージ210は、内側に空間を有する箱状のパッケージ210である。このパッケージ210には、その底部にベース部211を備えている。このベース部211は、例えばアルミナ等のセラミック等で形成されている。
この圧電振動子片100は、パッケージ側電極214から一定の駆動電圧が印加されると正確に振動されるようになっている。
また、図示しないが、このパッケージ210の底部211と圧電振動片100との断面方向隙間に振動制御用などの半導体チップを載置して圧電振動片100の電極140と接続して発信器等に使用することもできる構成とされている。
図13において、シリンダー型圧電振動子500は、その内部に圧電振動片100を収納するための金属製のキャップ530を有している。このキャップ530は、ステム520に対して圧入され、その内部は真空状態に保持されている。
ステム520を貫通してリード510が2本設けられている。このリード520に圧電振動片100の端部の電極140が導電接着剤等で固定され保持される。
このように構成された圧電振動片100にリード510から一定の駆動電圧が印加されると振動腕120が正確に振動し、圧電振動子500として機能されることになる。
また、このような圧電振動片100は、Z軸を回転軸にして回転させ、コリオリの力を発生させ、それを検出することで角速度センサとして圧電ジャイロセンサに使用され、自動車の姿勢制御装置、カーナビゲーション装置、カメラ等の手ぶれ防止装置などの電子機器に搭載されている。
本実施形態によれば、圧電振動片100の腕部121には表面、裏面ともに溝部122が形成されているので、この腕部121の幅方向断面は、例えば断面略H型形状に形成されている。このことにより、腕部121の断面係数は、溝部122が形成されない場合にくらべ大きくなる。従って、同じ振動周波数を得る場合、圧電振動片100を小型化しても振動損失が少なくCI値(クリスタルインピーダンスまたは等価直列抵抗)も低く抑えることができる。
また、振動腕120の端部(先端部)には錘部110が形成されているので、圧電振動片100を小型化した場合の振動周波数の安定性を得ることができる。振動腕120は複数(本実施形態では、2本の音叉型)形成されているが、この錘部110のため慣性モーメントが大きくなるので、振動腕個別のバラツキの影響を小さくできるという効果もある。
本発明の圧電振動片100は、前記錘部110が、前記振動腕120の振動中心Bに対して対称に形成され、それぞれ同じ位置、同じ大きさに形成されているので、このような構造によれば、例えば、音叉型の水晶振動片の場合、2本の振動腕120の質量、慣性モーメントが同じになるので安定した振動が得られる。
また、2本の振動腕120のバランスがとれていることから基部での振動漏れを少なくすることができる。
本実施形態のようにテーパ部112を設けることによって、振動腕120が振動する際に、腕部121と錘部110との結合部に応力集中をおこすことがなく、基本振動モードに影響をあたえることがないので安定した振動を得ることができる。
また、腕部121と基部130との結合部においてもテーパ部132が設けられているので、より一層、安定した振動が得られる。このようにテーパ部132を設けることにより、錘部110と腕部121の形状が多少対称性が崩れを生じても相対的なバランスの差による影響を小さくすることもできる。
さらに、先述の各部位にテーパ部を設けることによって、圧電振動片100が衝撃力を受けた場合に破壊されたり、振動モードが劣化するなどの課題を防止できる効果もある。
前述したように、腕部121には表面および裏面に溝部122が形成され、腕部の断面形状は略H型とされる。
この際、溝部122は、振動腕120の振動中心Bに対して対称形に形成され、錘部110および基部130に入り込む位置まで延長されている。このような形状の振動腕120は、溝部122の基点位置の影響を受けずに、振動腕120の基本振動モードを得るために必要な腕長さを確保できるとともに、腕部121と錘部110、基部130との結合部において、溝部122との応力集中をなくし安定した振動を得ることができる。前述のテーパ部と組み合わせることでより一層効果がある。
また、本実施形態では、錘部110の長さが前記振動腕の有効長さの約1/2とされる。例えば、振動腕120を長くすると振動周波数は低くなり、短くすると振動周波数は高くなる。この際、圧電振動片100を小型化するために振動腕120の長さを固定したときに、錘部110の長さを長くすると振動周波数は高くなる。このことから、錘部110の長さを振動腕120の有効長さの1/2にしておくと(つまり、錘部110の長さと腕部121の長さを略同じ)、錘部110が形成される効果が最大に生かされる。
本実施形態では、圧電振動片100の表裏に形成された電極140を接続するために表裏を貫通する孔部(スルーホール)113が錘部110に形成されている。表裏の電極140を圧電振動片100の側面部で行う場合よりも、広い面積がある錘部110にスルーホールによって電極接続する方が容易にできるという効果がある。
また、この孔部(スルーホール)113は、前述したように場所によってエッチングレートに差があるので、四角形は勿論、六角形や八角形あるいは円形にすることで、マスクの補正量を少なくしたり、設定が容易になるという効果もある。
本実施形態の製造方法では、圧電振動片100の外形と孔部113は、厚み方向に貫通するエッチング工程で形成され、溝部122はハーフエッチング工程で形成され、それぞれ選択された別の工程で形成される。このことによって、圧電振動片100の外形と孔部113および溝部122は適切な形状、寸法で形成することができる。
また、本実施形態では、前述したように、圧電振動片100が水晶振動片である場合、結晶異方性があることが知られている。結晶異方性があることでエッチング工程においてエッチングする場所によってエッチングスピード(エッチングレート)が異なる。そこで、エッチングスピードが遅くなる場所や早くなる場所は、それぞれに対応して、予めエッチングマスクの形状をエッチングの基点をずらしたり、形状を補正しておくことで、エッチング後の振動中心に対する対称性が確保されるので、より安定した振動モード、振動周波数を得ることができる。
また、本実施形態の変形例(図3に示す)においては、錘部110の基部130側に突出部116が設けられているので、錘部110の質量を変えずに振動腕120の振動二次モーメントの腕長を短くできるため、エッチングレートの差による振動の安定性を高めることができ、CI値を低くすることができる。
また、突出部116の先端に第2の錘部117を設けることにより、一層これらの効果を高めることができる。
更に、図4に示すように、基部130に切欠き部131を設けることにより、振動腕120の屈曲振動を基部130からの振動漏れを減ずることができ、CI値を低く抑えることができる。
本実施形態の圧電振動片100は、セラミック等で形成されたパッケージ内210に収納されている。パッケージ210内は真空状態で保持されているので、より一層安定した振動を長期間にわたって維持することができる。
また、パッケージ210に収納されていることで、扱いやすいうえ、湿度など外部環境から圧電振動子片100を保護することができる。
本実施形態の電子機器は、前述のような構成と製造方法で製造された圧電振動子200、500が搭載されている。
このような圧電振動子200および500は安定した振動モード、振動周波数が得られ、例えば、時計などの時間標準や圧電ジャイロセンサに使用され、通信機器の基準発信器、自動車の姿勢制御装置、カーナビゲーション装置、カメラ等の手ぶれ防止装置などの電子機器を提供することができる。
例えば、前記実施形態では、音叉型の圧電振動片100を例にあげ説明したが、音叉型圧電振動子以外にも、例えば、駆動腕と検出腕とが別に構成される平面H型圧電振動子やダブルT型振動子と呼ばれる圧電振動子にも適用できる。
Claims (12)
- 複数の棒状の腕部と、該腕部より幅が広く、前記腕部の一方の端部に形成された第1の錘部とを有する振動腕と、
前記腕部の他方の端部を結合する基部と、
前記第1の錘部から延出し、且つ前記腕部と空隙を介して設けられる突出部と、
を備え、
前記振動腕の振動中心に沿って表面および裏面に溝部が形成されていることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1に記載の圧電振動片において、
前記突出部の先端に、該突出部よりも幅の広い第2の錘部を有することを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1または請求項2に記載の圧電振動片において、
前記第1の錘部が、前記振動腕の振動中心に対して対称に形成され、それぞれ同じ位置、同じ大きさに形成されていることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の圧電振動片において、
前記腕部と前記第1の錘部との結合部および前記腕部と前記基部との結合部に、前記振動腕の振動中心に対して対称なテーパ部を有することを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の圧電振動片において、
前記第1の錘部の長さが前記腕部の有効長さと略同じであることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1ないし請求項5のいずれか一項に記載の圧電振動片において、
前記溝部が、前記振動腕の振動中心に対して対称に形成され、前記第1の錘部と前記腕部の結合部よりも先端方向および前記腕部と前記基部との結合部よりも前記基部方向に延長して形成されていることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1ないし請求項6のいずれか一項に記載の圧電振動片において、
前記振動腕の振動中心線の略延長上に、振動中心に対して対称に穿設された多角形または円形の孔部を前記第1の錘部に有することを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1ないし請求項7のいずれか一項に記載の前記圧電振動片を製造する方法であって、前記圧電振動片の外形をエッチングで形成する工程と、
前記溝部をエッチングで形成する工程とを有することを特徴とする前記圧電振動片の製造方法。 - 請求項8に記載の圧電振動片の製造方法において、
前記溝部が、前記振動腕の振動中心に対して対称に形成され、前記第1の錘部と前記腕部の結合部よりも先端方向および前記腕部と前記基部との結合部よりも前記基部方向に延長して形成されることを特徴とする前記圧電振動片の製造方法。 - 請求項9に記載の圧電振動片の製造方法において、
前記圧電振動片が水晶振動片であって、
前記圧電振動片の形状に対してエッチングの基点をずらして形成されるか、または前記振動腕の振動中心に対して非対称に形成されたエッチングマスクを用いて製造されることを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 請求項1ないし請求項7のいずれか一項に記載の圧電振動片が、パッケージ内に収容されていることを特徴とする圧電振動子。
- 請求項11に記載の圧電振動子が搭載されていることを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009138940A JP4609586B2 (ja) | 2009-06-10 | 2009-06-10 | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電振動子、圧電振動子を搭載した電子機器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009138940A JP4609586B2 (ja) | 2009-06-10 | 2009-06-10 | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電振動子、圧電振動子を搭載した電子機器 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003165561A Division JP4356366B2 (ja) | 2003-06-10 | 2003-06-10 | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電振動子、圧電振動子を搭載した電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009201162A true JP2009201162A (ja) | 2009-09-03 |
JP4609586B2 JP4609586B2 (ja) | 2011-01-12 |
Family
ID=41144096
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009138940A Expired - Fee Related JP4609586B2 (ja) | 2009-06-10 | 2009-06-10 | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電振動子、圧電振動子を搭載した電子機器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4609586B2 (ja) |
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