JP4990689B2 - 圧電振動子の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、リード端子に圧電振動片を接合したシリンダパッケージタイプの圧電振動子の製造方法に関するものである。

近年、携帯電話や携帯情報端末機器には、時刻源や制御信号のタイミング源、リファレンス信号源等として水晶等を利用した圧電振動子が用いられている。この種の圧電振動子は、様々なものが提供されているが、その１つとして、音叉型の圧電振動片を有する圧電振動子が知られている。
この圧電振動片は、水晶、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成されており、基部と、互いに平行に配置され、基端側が基部に一体的に固定された一対の振動腕部とで構成されている。また、一対の振動腕部の外表面上には、該一対の振動腕部を互いに接近又は離間する方向に振動させる励振電極が形成されている。この励振電極は、引き出し電極を介して、基部の外表面上に形成されたマウント電極に電気的に接続されている。

ところで、音叉型の圧電振動片を有する圧電振動子は、各種の電子機器等に搭載されるが、これら電子機器等は年々小型化が進んでいる。そのため、圧電振動子に関しても、さらなる小型化が求められている。よって、必然的に圧電振動片を小型化することが求められている。
例えば、時計に用いる３２．７６８ｋＨｚの音叉型水晶振動片では、一般的に振動腕部の長さと基部の長さとが、略６：４の比率になるように設計されている。圧電振動片の小型化を図るために、これらの長さをできるだけ短くすることが考えられている。ところで、周波数Ｆは、Ｆ＝ｋ（Ｗ／Ｌ^２）の式で決定されている。なお、ｋは係数、Ｗは振動腕部の幅、Ｌは振動腕部の長さである。よって、振動腕部の長さを単純に短くすると、周波数が変わってしまって所望の数値に収まらない恐れがある。

そこで、振動腕部の長さを短くする場合には、例えば、振動腕部の幅寸法Ｗの縮小を考慮しつつ、断面Ｈ型となるように振動腕部の上下面に溝部を形成して共振抵抗値を下げたうえで短くしたり、振動腕部の先端側を重くして慣性モーメントを増大させるハンマーヘッドタイプにしたうえで短くしたりする等の工夫が必要である。

一方、基部の長さに関しては、周波数に影響しないため、振動漏れを考慮しつつ、短くすることが可能である。そのため、振動腕部の長さを短くすることよりも設計変更し易い。しかしながら、圧電振動片は、基部を介して機械的にマウントされるものであるため、基部の長さを短くしてしまうと機械的にマウントする部分の領域が狭くなってしまい、強固且つ安定したマウントが難しくなってしまう。そのため、この圧電振動片を組み込んだ圧電振動子が落下衝撃等を受けてしまった場合には、衝撃で圧電振動片のマウントが外れる恐れがあった。その結果、信頼性の低下を招いてしまうものであった。

そこで、基部の長さを単純に短くするのではなく、マウント用支持部を基部と一体的に形成したうえで、基部の長さを短くした圧電振動片を有する圧電振動子が知られている（特許文献１及び２参照）。このマウント用支持部は、振動腕部と平行に形成され、基部から振動腕部の先端側に向けて延びるように形成されている。
このように、マウント用支持部を形成することで、該マウント用支持部を介して圧電振動片を固定できるので、基部の長さを短くしたとしても従来のように強固且つ安定した固定を行うことができる。
特願平１−３１１７１２号公報 特開２００６−３１１０８８号公報

しかしながら、まだ以下の課題が残されている。
始めに、音叉型の圧電振動片を有する圧電振動子は、構造の異なるものが数種類あり、用途に応じて最適なものを使用している。例えば、圧電振動片をベースとリッド（蓋）とで箱型にパッケージングしたセラミックパッケージタイプのものや、圧電振動片を気密端子と円筒状のケースとでパッケージングしたシリンダパッケージタイプのものが知られている。なお、セラミックパッケージタイプの場合、圧電振動片はベースのマウント部に固定され、シリンダパッケージタイプの場合、圧電振動片は気密端子のインナーリードに固定される。

ここで、上述した従来の圧電振動子は、いずれもセラミックパッケージタイプであり、圧電振動片のマウント用支持部をマウントするための手段をベース側に形成している。その結果、全長が短くなって小型化した圧電振動片を強固且つ安定にマウントすることができ、圧電振動子自体の小型化を図っている。このセラミックパッケージタイプは、比較的自由にベースを設計することができるので、上述したようにマウント用支持部を形成して小型化を図った圧電振動片をマウントするための設計を行い易い。

これに対して、シリンダパッケージタイプの場合には、図１８に示すように、気密端子１０１の２本のインナーリード１０１ａに対してのみ圧電振動片１００を固定する必要がある。ここで、リード端子１０１とステム１０２とは、両者の絶縁性を確実なものとするために距離Ｘ１だけ離れている。
そのため、２本のリード端子１０１の間隔Ｘ２を広げる場合には、上記距離Ｘ１を確保するためにステム１０２の外径を大きくせざるを得ない。従って、マウント用支持部が形成された圧電振動片をマウントするために、マウント用支持部の間隔に合わせてリード端子１０１の間隔Ｘ２を広げてしまった場合には、どうしてもステム１０２の外径が大きくなってしまうものであった。つまり、マウント用支持部を形成することで圧電振動片の全長を短くしたとしても、ステム１０２の外径が大きくなってしまい、結果的に圧電振動子の小型化を図ることが難しかった。

また、シリンダパッケージタイプの場合には、比較的自由に設計することができるベースを有するセラミックパッケージタイプとは異なり、単にステムから突出した２本のインナーリードに圧電振動片を固定するだけであるので、設計が制限され、マウント用支持部を有する圧電振動片を固定する有効な手立てが見当たらなかった。

本発明は、このような事情に考慮してなされたもので、その目的は、マウント用支持部が形成されて基部の長さが短くなった圧電振動片を強固且つ安定にマウントすることができるシリンダパッケージタイプの圧電振動子を、効率良く製造することができる圧電振動子の製造方法を提供することである。

本発明は、前記課題を解決するために以下の手段を提供する。
本発明に係る圧電振動子は、平行に配置された一対の振動腕部と、該一対の振動腕部の基端側を一体的に固定する基部と、一対の振動腕部の外側で該一対の振動腕部に対して平行に配置され、基端側が基部に固定された一対のマウント用支持部と、を有し所定の電圧が印加されたときに振動する圧電振動片と、環状に形成されたステムと、該ステムを貫通するように平行配置され、ステムを間に挟んで一端側が前記一対のマウント用支持部を介して前記圧電振動片をマウントするインナーリードとされ、他端側が外部に電気的に接続されるアウターリードとされた２本のリード端子と、ステムとリード端子とを固定させる絶縁性の充填材と、を有する気密端子と、前記圧電振動片を内部に収納した状態で前記ステムに固定されるケースと、を備え、前記インナーリードが、互いの間隔が前記一対のマウント用支持部の間隔に一致するように、少なくともいずれか一方が前記ステムの近傍で外側に曲げ加工されていることを特徴とするものである。

また、本発明に係る圧電振動子の製造方法は、平行に配置された一対の振動腕部と、該一対の振動腕部の基端側を一体的に固定する基部と、一対の振動腕部の外側で該一対の振動腕部に対して平行に配置され、基端側が基部に固定された一対のマウント用支持部と、を有し所定の電圧が印加されたときに振動する圧電振動片がケース内に封止されたシリンダパッケージタイプの圧電振動子を製造する方法であって、環状に形成されたステムと、該ステムを貫通するように平行配置され、ステムを間に挟んで一端側が前記圧電振動片をマウントするインナーリードとされ、他端側が外部に電気的に接続されるアウターリードとされた２本のリード端子と、ステムとリード端子とを固定させる絶縁性の充填材と、を有する気密端子を作製する気密端子作製工程と、前記ステム及び前記リード端子の外表面に所定の金属膜をメッキするメッキ工程と、該メッキ工程と同時或いは前後して行われ、前記インナーリードのうち、少なくともいずれか一方を前記ステムの近傍で外側に屈曲させ、インナーリードの互いの間隔を前記一対のマウント用支持部の間隔に一致させる曲げ加工工程と、前記メッキ工程及び前記曲げ加工工程後、前記一対のマウント用支持部を前記インナーリードに接合させるマウント工程と、マウントされた前記圧電振動片を内部に収納するように前記ケースを前記ステムに圧入し、ケース内を封止する圧入工程と、を備えていることを特徴とするものである。

この発明に係る圧電振動子及び圧電振動子の製造方法においては、気密端子作製工程、メッキ工程、曲げ加工工程、マウント工程及び圧入工程を順次行うことで、マウント用支持部が形成されて小型化が図られた圧電振動片を有するシリンダパッケージタイプの圧電振動子を得ることができる。
まず、気密端子作製工程により気密端子を作製する。この時点においては、インナーリードからアウターリードに亘って２本のリード端子は一律に所定間隔離間した状態で平行に配置されている。続いて、メッキ工程と曲げ加工工程とを、同時或いは前後して行う。

メッキ工程により、ステム及びリード端子の外表面に所定の金属膜が形成される。また、曲げ加工工程により、インナーリードのうち少なくとも一方のインナーリードをステムの近傍で外側に屈曲させる。これにより、インナーリードは、互いの間隔がアウターリードの間隔よりも広がった状態となる。また、この際、インナーリードの間隔が圧電振動片の一対のマウント用支持部の間隔に一致するように、インナーリードの曲げ加工を行う。つまり、この工程を行った後、２本のリード端子はインナーリードからアウターリードに亘って一律な間隔で平行ではなく、アウターリードに関しては所定間隔離間した状態となり、インナーリードに関しては所定間隔よりもさらに間隔が空いた状態となる。

次いで、上述したメッキ工程及び曲げ加工工程が終了した後、圧電振動片をインナーリードに接合するマウント工程を行う。上記曲げ加工工程によって、インナーリードの間隔が一対のマウント用支持部の間隔に一致しているので、マウント用支持部とインナーリードとを重ね合わせるだけで容易に両者を接合することができる。この際、一対の振動腕部や基部が、インナーリードに干渉しないようにマウントする。これにより、圧電振動片は、マウント用支持部を介して機械的に支持されると共に、インナーリードに対して電気的に接続された状態になる。
最後に、気密端子によってマウントされた圧電振動片を内部に収納するように、ケースをステムに圧入し、ケース内を封止する圧入工程を行う。これにより、圧電振動片が気密端子にマウントされた状態でケース内に収納されたシリンダパッケージタイプの圧電振動子を得ることができる。

特に、気密端子は、アウターリードからインナーリードに亘ってリード端子の全体が一対のマウント用支持部の間隔に合わせて一律な間隔で離間しているのではなく、ステムからケース側に突出したインナーリードだけが曲げ加工によって間隔が広がっている。従って、アウターリードに関しては、マウント用支持部の間隔に関係なく、近接させた状態（所定距離だけ離間した状態）にすることができる。そのため、充填材を介して電気的な絶縁性を確保できるサイズまで、ステムの外径を小さくすることができる。
このようにステムの外径を小さくしたとしても、曲げ加工によってインナーリードの間隔を一対の振動腕部の外側に配置されたマウント用支持部の間隔に一致させているので、容易且つ確実に圧電振動片をマウントすることができる。しかも、この圧電振動片は、マウント用支持部が形成されているため、基部の長さをできるだけ短くして小型化が図られたものである。

つまり、外径の小さいステムを用いながら、小型化が図られた圧電振動片を容易且つ確実にマウントした、従来にはないシリンダパッケージタイプの圧電振動子とすることができる。また、一対の振動腕部及び基部が干渉することなく、マウント用支持部だけがインナーリードに対してマウントされているので、圧電振動片の振動が妨げられる恐れがない。よって、安定した振動を確保することができ、信頼性の向上化を図ることができる。

また、本発明に係る圧電振動子は、上記本発明の圧電振動子において、前記インナーリードが、両方がそれぞれ同じ量だけ均等に外側に曲げ加工されていることを特徴とするものである。

また、本発明に係る圧電振動子の製造方法は、上記本発明の圧電振動子の製造方法において、前記曲げ加工工程の際に、両方の前記インナーリードをそれぞれ同じ量だけ均等に外側に曲げ加工することを特徴とするものである。

この発明に係る圧電振動子及び圧電振動子の製造方法においては、２つのインナーリードのうち、一方のインナーリードだけでなく、両方のインナーリードを同じ量だけ外側に曲げ加工しているので、マウントされた圧電振動片は片寄ることなくケースの中心に位置する。従って、ケース内に収納された圧電振動片のバランスが良いだけでなく、ケースに対して圧電振動片が接近しすぎることがなく十分な隙間を確保することができる。よって、落下等による衝撃が仮に加わったとしても、圧電振動片がケースに干渉してしまうことを防止することができる。

また、本発明に係る圧電振動子は、上記本発明の圧電振動子において、前記インナーリードが、潰し成形により板状に形成され、前記マウント用支持部に対向する面が略平面とされていることを特徴とするものである。

また、本発明に係る圧電振動子の製造方法は、上記本発明の圧電振動子の製造方法において、前記曲げ加工工程と前記マウント工程との間に、前記インナーリードを上下から潰して板状に形成し、前記マウント用支持部に対向する面を略平面に成形する潰し工程と、
該潰し工程後、潰した部分が所定の外形形状となるように整形する整形工程と、を備えていることを特徴とするものである。

この発明に係る圧電振動子及び圧電振動子の製造方法においては、インナーリードの曲げ加工が終了した後、インナーリードを上下から潰して板状に形成する潰し工程を行う。これにより、マウント用支持部に対向する面が略平面となる。また、潰し工程後、整形工程を行って、潰れによって余剰になった部分をトリミングして、所定の外形形状に整形する。このように、インナーリードを板状に成形することで、マウント用支持部をより安定且つ強固にマウントすることができ、信頼性を高めることができる。
また、インナーリードを潰した分だけ、圧電振動片の位置を厚み方向に下げ、ケースの中心軸に近づけることができる。よって、落下等による衝撃が仮に加わったとしても、圧電振動片がケースに干渉してしまうことを防止することができる。

また、本発明に係る圧電振動子は、上記本発明の圧電振動子において、前記インナーリードと前記マウント用支持部とが、所定の隙間を空けた状態で導電性のバンプを介して接続されていることを特徴とするものである。

また、本発明に係る圧電振動子の製造方法は、上記本発明の圧電振動子の製造方法において、前記マウント工程の際に、前記インナーリードと前記マウント用支持部とを、所定の隙間を空けた状態で導電性のバンプを介して接続することを特徴とするものである。

この発明に係る圧電振動子及び圧電振動子の製造方法においては、圧電振動片をマウントする際に略平面に加工されたインナーリードに導電性のバンプを形成し、該バンプを利用して圧電振動片をバンプ接続することでマウントを行う。この際、圧電振動片は、バンプによってかさ上げされるので、インナーリードとは所定の隙間を空けた状態で接続される。従って、一対の振動腕部及び基部がインナーリードに対して干渉してしまうことを、より確実に防止することができる。よって、さらなる信頼性の向上化を図ることができる。

また、本発明に係る圧電振動子の製造方法は、上記本発明の圧電振動子の製造方法において、前記メッキ工程が終了した後に前記曲げ加工工程を行うことを特徴とするものである。

この発明に係る圧電振動子の製造方法においては、気密端子を作製した後、リード端子を屈曲させる前にメッキ工程を行う。この際リード端子は、インナーリードがまだ曲がっておらず、インナーリードからアウターリードにかけて所定間隔だけ一律に離間した状態になっている。そのため、メッキを行っている最中に他の気密端子に絡み難い。仮に、メッキを行っている最中に絡んでしまった場合には、作業を一時的に中止せざるを得ない場合もあった。しかしながら、このような恐れもなく、効率の良い作業を行うことができる。また、絡んでしまうことに起因するリード端子の変形等についても、未然に防止することができる。

また、本発明に係る発振器は、上記本発明の圧電振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とするものである。
また、本発明に係る電子機器は、上記本発明の圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴とするものである。
また、本発明に係る電波時計は、上記本発明の圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とするものである。

この発明に係る発振器、電子機器及び電波時計によれば、小型化及び信頼性が向上した圧電振動片を有しているので、同様に小型化及び信頼性の向上化を図ることができる。

本発明によれば、マウント用支持部が形成されて基部の長さが短くなった圧電振動片を強固且つ安定にマウントすることができるシリンダパッケージタイプの圧電振動子を、効率良く製造することができる圧電振動子の製造方法を提供することができる。

以下、本発明に係る圧電振動子及び該圧電振動子の製造方法の一実施形態を、図１から図１４を参照して説明する。
本実施形態の圧電振動子１は、シリンダパッケージタイプの圧電振動子１であって、図１から図３に示すように、圧電振動片２と、該圧電振動片２を内部に収納するケース３と、圧電振動片２をケース３内に密閉させる気密端子であるプラグ４とを備えている。

圧電振動片２は、図４及び図５に示すように、水晶、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウム等の圧電材料から形成された音叉型の振動片であり、所定の電圧が印加されたときに振動するものである。
この圧電振動片２は、平行に配置された一対の振動腕部１０、１１と、該一対の振動腕部１０、１１の基端側を一体的に固定する基部１２と、基端側が基部１２に一体的に固定された一対のマウント用支持部１３と、一対の振動腕部１０、１１の外表面上に形成されて一対の振動腕部１０、１１を振動させる第１の励振電極１４と第２の励振電極１５とからなる励振電極１６と、該両励振電極１６に電気的に接続されたマウント電極１７、１８とを有している。
また、本実施形態の圧電振動片２は、一対の振動腕部１０、１１の両主面上に、該振動腕部１０、１１の長手方向Ｘに沿ってそれぞれ形成された溝部２０を備えている。この溝部２０は、振動腕部１０、１１の基端側から略中間付近まで形成されている。

一対のマウント用支持部１３は、一対の振動腕部１０、１１の外側で振動腕部１０、１１に対して平行に配置された状態で、基端側が基部１２に固定されている。また、一対のマウント用支持部１３は、先端が一対の振動腕部１０、１１の先端と同じ方向を向くように形成されており、先端位置が基部１２を越えた辺りに位置するように長さ調整されている。
本実施形態の圧電振動片２は、この一対のマウント用支持部１３を有しているので、マウント用支持部１３を有していない振動片に比べて、基部１２の長さＬ１が短く設計されている。従って、全長Ｌ３（振動腕部１０、１１の長さＬ１＋基部１２の長さＬ２）が短く、小型化が図られた圧電振動片２とされている。また、一対のマウント用支持部１３間の距離は、Ｗ１とされている。

また、基部１２の両側には、基部１２の幅寸法を部分的に短縮するように切り欠き部（以下、ノッチと称する）１２ａが形成されている。このノッチ１２ａは、一対の振動腕部１０、１１から適切な範囲離れるように、一対のマウント用支持部１３の基端側が固定されているポイントに隣接して形成されている。このノッチは１２ａ、一対の振動腕部１０、１１が振動した際に、振動の垂直成分（厚み方向の成分）に起因する基部１２の撓みを抑えて、共振抵抗値のばらつきを低減するものである。このノッチ１２ａは、必須なものではないが、高性能化を図ることができる点で形成することが好ましい。

第１の励振電極１４と第２の励振電極１５とからなる励振電極１６は、一対の振動腕部１０、１１を互いに接近又は離間する方向に所定の共振周波数で振動させる電極であり、一対の振動腕部１０、１１の外表面に、それぞれ電気的に切り離された状態でパターニングされて形成されている。具体的には、図６に示すように、第１の励振電極１４が、一方の振動腕部１０の溝部２０上と、他方の振動腕部１１の両側面上とに主に形成され、第２の励振電極１５が、一方の振動腕部１０の両側面上と他方の振動腕部１１の溝部２０上とに主に形成されている。

また、第１の励振電極１４及び第２の励振電極１５は、図４及び図５に示すように、基部１２の両主面上において、それぞれ引き出し電極２１、２２を介してマウント電極１７、１８に電気的に接続されている。そして圧電振動片２は、このマウント電極１７、１８を介して電圧が印加されるようになっている。また、このマウント電極１７、１８は、基部１２だけではなく一対のマウント用支持部１３の外表面上にも形成されている。
なお、上述した励振電極１６、マウント電極１７、１８及び引き出し電極２１、２２は、例えば、クロム（Ｃｒ）、ニッケル（Ｎｉ）、アルミニウム（Ａｌ）やチタン（Ｔｉ）等の導電性膜の被膜により形成されたものである。

また、一対の振動腕部１０、１１の先端には、自身の振動状態を所定の周波数の範囲内で振動するように調整（周波数調整）を行うための重り金属膜２３が被膜されている。なお、この重り金属膜２３は、周波数を粗く調整する際に使用される粗調膜２３ａと、微小に調整する際に使用される微調膜２３ｂとに分かれている。これら粗調膜２３ａ及び微調膜２３ｂを利用して周波数調整を行うことで、一対の振動腕部１０、１１の周波数をデバイスの公称周波数の範囲内に収めることができる。

ケース３は、図１から図３に示すように、有底円筒状に形成されており、圧電振動片２を内部に収納した状態でプラグ４の後述するステム３０の外周に対して圧入されて、嵌合固定されている。なお、このケース３の圧入は、真空雰囲気下で行われており、ケース３内の圧電振動片２を囲む空間が真空に保たれた状態となっている。

プラグ４は、図７に示すように、ケース３を密閉させるステム３０と、該ステム３０を貫通するように平行配置され、ステム３０を間に挟んで一端側がマウント用支持部１３を介して圧電振動片２をマウント（機械的に接合及び電気的に接続）するインナーリード３１ａとされ、他端側が外部に電気的に接続されるアウターリード３１ｂとされた２本のリード端子３１と、ステム３０の内側に充填されてステム３０とリード端子３１とを固定させる絶縁性の充填材３２とを有している。
ステム３０は、金属材料で環状に形成されたものである。また、充填材３２の材料としては、例えば、ホウ珪酸ガラスである。また、リード端子３１の表面及びステム３０の外周には、それぞれ同材料の図示しないメッキが施されている。

２本のリード端子３１は、ケース３内に突出している部分がインナーリード３１ａとなり、ケース３外に突出している部分がアウターリード３１ｂとなっている。また、２本のリード端子３１は、中実丸棒とされ、所定間隔Ｗ２離間した状態で平行に配置されている。ところで、本実施形態のインナーリード３１ａは、互いの間隔が一対のマウント用支持部１３の間隔に一致するように、少なくともいずれか一方がステム３０の近傍で外側に曲げ加工されている。具体的には、両方のインナーリード３１ａがそれぞれ同じ量だけ均等に外側に曲げ加工されており、互いの距離は上述した一対のマウント用支持部１３間の距離と同じ距離Ｗ１とされている。

これにより、インナーリード３１ａとマウント用支持部１３とを重ね合わせてマウントすることができるようになっている。しかも、インナーリード３１ａは、潰し成形により板状に形成されており、マウント用支持部１３に対向する対向面３１ｃが略平面に形成されている。
また、インナーリード３１ａとマウント用支持部１３とは、図１から図３に示すように、対向面３１ｃに形成された導電性のバンプＥを介してマウントされている。即ち、バンプＥを介してインナーリード３１ａとマウント用支持部１３とが機械的に接合されていると同時に、インナーリード３１ａとマウント用支持部１３の外表面に形成されたマウント電極１７、１８とが電気的に接続されている。しかも、圧電振動片２は、バンプＥによってかさ上げされており、圧電振動片２とインナーリード３１ａとの間には所定の隙間（例えば、１５μｍ〜２０μｍの隙間）が空いた状態となっている。

ここで、気密端子を構成する主要部品の寸法及び材質の一例について述べる。
リード端子３１の直径は例えば約０．１２ｍｍであり、リード端子３１の母材の材質としては、コバール（ＦｅＮｉＣｏ合金）が慣用されている。また、リード端子３１の外表面及びステム３０の外周に被膜させるメッキの材質としては、下地金属膜としてはＣｕが用いられ、仕上金属膜としては、耐熱ハンダメッキ（錫と鉛の合金で、その重量比が１：９）や、銀（Ａｇ）や錫銅合金（ＳｎＣｕ）や金錫合金（ＡｕＳｎ）等が用いられる。
また、ステム３０の外周に被膜された金属膜（メッキ層）を介在させながらケース３の内周に真空中で冷間圧接させることにより、ケース３の内部を真空状態で気密封止できるようになっている。

このように構成された圧電振動子１を作動させる場合には、２本のリード端子３１のアウターリード３１ｂに対して、所定の駆動電圧を印加する。これにより、インナーリード３１ａ、バンプＥ、マウント電極１７、１８及び引き出し電極２１、２２を介して、第１の励振電極１４及び第２の励振電極１５からなる励振電極１６に電流を流すことができ、一対の振動腕部１０、１１を接近・離間させる方向に所定の周波数で振動させることができる。そして、この一対の振動腕部１０、１１の振動を利用して、時刻源、制御信号のタイミング源やリファレンス信号源等として利用することができる。

次に、上述した圧電振動子１の製造方法を、図８に示すフローチャートを参照しながら説明する。本実施形態の圧電振動子１の製造方法は、圧電振動片２を作製する圧電振動片作製工程と、プラグ４を作製する気密端子作製工程と、曲げ加工工程と、潰し工程と、整形工程と、メッキ工程と、マウント工程と、圧入工程と、を順に行って、圧電振動子１を製造する方法である。これら各工程について、以下に詳細に説明する。

初めに、圧電振動子作製工程を行って図４から図６に示す圧電振動片２を作製する（Ｓ１０）。具体的には、まず水晶のランバート原石を所定の角度でスライスして一定の厚みのウエハとする。続いて、このウエハをラッピングして粗加工した後、加工変質層をエッチングで取り除き、その後ポリッシュ等の鏡面研磨加工を行って、所定の厚みのウエハとする。続いて、ウエハに洗浄等の適切な処理を施した後、該ウエハをフォトリソグラフィ技術によって圧電振動片２の外形形状でパターニングすると共に、金属膜の成膜及びパターニングを行って、励振電極１６、引き出し電極２１、２２、マウント電極１７、１８、重り金属膜２３を形成する。これにより、圧電振動片２を作製することができる。

また、圧電振動片２を作製した後、共振周波数の粗調を行っておく。これは、重り金属膜２３の粗調膜２３ａにレーザ光を照射して一部を蒸発させ、重量を変化させることで行う。なお、共振周波数をより高精度に調整する微調に関しては、プラグ４にマウントされた後に行う。これについては、後に説明する。

次に、プラグ４を作製する気密端子作製工程を行う（Ｓ２０）。なお、この工程で作製するプラグ４は、図９及び図１０に示すように、インナーリード３１ａからアウターリード３１ｂに亘って、２本のリード端子３１が一律に所定距離Ｗ２だけ離間した状態で平行に配置されたものを作製する。
具体的には、まず、ステム作製工程によりステム３０を作製する（Ｓ２１）。即ち、鉄ニッケルコバルト合金や鉄ニッケル合金等の導電性を有する板部材をランス加工した後、複数回の深絞り加工を行って有底の筒部材を形成する。そして、筒部材の底面に開口を形成すると共に、外形抜きを行って筒部材を板部材から切り離すことで、ステム３０を作製する。

次いで、ステム３０内に、リード端子３１及び充填材３２をそれぞれセットするセット工程を行う（Ｓ２２）。まず、作製したステム３０を、図示しない専用の治具にセットした後、予めリング状に焼結された充填材３２をステム３０の内部にセットすると共に、充填材３２を貫通するようにリード端子３１をセットする。この際、図９及び図１０に示すインナーリード３１ａの長さＬ４を、完成時の長さよりも十分長くなるように調整しておく。

上記セット工程により、ステム３０とリード端子３１と充填材３２とを組み合わせた後、治具を加熱炉内に入れて１０００℃前後の温度雰囲気で充填材３２の焼成を行う（Ｓ２３）。これにより、充填材３２とリード端子３１との間、充填材３２とステム３０との間が完全に封着されて、気密に耐えられる構造となる。そして、治具から取り出すことで、図９及び図１０に示すプラグ４を得ることができる。この時点で、気密端子作製工程が終了する。

次に、インナーリード３１ａのうち、少なくともいずれか一方をステム３０の近傍で外側に屈曲させる曲げ加工工程を行う（Ｓ３０）。本実施形態では、図１１に示すように、両方のインナーリード３１ａを同じ量だけ均等に外側に屈曲させる。これにより、インナーリード３１ａは、互いの間隔がアウターリード３１ｂの間隔よりも広がった状態となる。また、この際、インナーリード３１ａの間隔が圧電振動片２の一対のマウント用支持部１３の間隔に一致するように、曲げ加工を行う。
つまり、この工程を行った後、２本のリード端子３１は、インナーリード３１ａからアウターリード３１ｂにかけて一律の間隔で平行ではなく、アウターリード３１ｂに関しては所定距離Ｗ２だけ離間した状態となり、インナーリード３１ａに関しては所定距離よりもさらに間隔が空いた距離Ｗ１となる。

インナーリード３１ａの曲げ加工が終了した後、図１２に示すように、インナーリード３１ａを上下から図示しない加工工具で挟み込むように潰して、中実丸棒を板状に形成する潰し工程を行う（Ｓ３１）。これにより、インナーリード３１ａが潰れてマウント用支持部１３に対向する対向面３１ｃが略平面となる。続いて、潰れによって余剰になった部分をトリミングして、図１３に示すように所定の外形形状に整形する整形工程を行う（Ｓ３２）。

次に、リード端子３１の外表面及びステム３０の外周に同一材料の金属膜を湿式メッキ法で被膜させるメッキ工程を行う（Ｓ３３）。そのための前処理として、リード端子３１の外表面及びステム３０の外周を洗浄すると共に、アルカリ溶液で脱脂した後、塩酸及び硫酸の溶液にて酸洗浄を行う。この前処理が終了した後、リード端子３１の外表面及びステム３０の外周面に下地金属膜を形成する。例えば、Ｃｕメッキ或いはＮｉメッキを略２μｍ〜５μｍの膜厚で被膜させる。続いて、下地金属膜上に仕上金属膜を形成する。例えば錫や銀等の単一材料の他、耐熱メッキや、錫銅合金、錫ビス膜合金、錫アンチモン合金等を、略８μｍ〜１５μｍの膜厚で被膜させる。
このように、下地金属膜及び仕上金属膜からなる金属膜を被膜させることで、インナーリード３１ａと圧電振動片２との接続を可能にすることができる。また、圧電振動片２の接続だけでなく、ステム３０の外周に被膜された金属膜が柔らかく弾性変形する特性を有しているので、ステム３０とケース３との冷間圧接を可能にすることができ、気密接合を行うことができる。

続いて、金属膜の安定化を図るため、真空雰囲気の炉中でアニーリングを行う（Ｓ３４）。例えば、１７０℃の温度で１時間の加熱を行う。これにより、下地金属膜の材料と仕上金属膜の材料との界面に形成される金属間化合物の組成を調整して、ウイスカの発生を抑制することができる。このアニーリングが終了した時点でマウント工程を行うことができる。なお、金属膜を被膜する際に、湿式メッキ法で行った場合を例にしたが、この場合に限られず、例えば、蒸着法や化学気相法等で行っても構わない。

なお、本実施形態では、アニーリングが終了した後、次に行うマウント工程のためにインナーリード３１ａの対向面３１ｃの先端に、図１４に示すように、金等の導電性のバンプＥを形成しておく（Ｓ３５）。そして、圧電振動片２をインナーリード３１ａにマウントするマウント工程を行う（Ｓ３６）。

まず、マウント用支持部１３とインナーリード３１ａとを重ね合わせる。この際、上述した曲げ加工工程によって、インナーリード３１ａの間隔が一対のマウント用支持部１３の間隔に一致しているので、両者を確実に重ね合わせることができる。そして、バンプＥを加熱しながら、該バンプＥを間に挟んだ状態でインナーリード３１ａとマウント用支持部１３とを所定の圧力で重ね合わせる。これにより、バンプＥを介してインナーリード３１ａとマウント用支持部１３とを接続することができる。その結果、圧電振動片２をマウントすることができる。即ち、マウント用支持部１３を介して圧電振動片２を機械的に支持することができると共に、インナーリード３１ａに対して圧電振動片２のマウント電極１７、１８を電気的に接続することができる。

特に、本実施形態では、バンプＥを介して圧電振動片２をマウントしているので、該バンプＥによって若干かさ上げされ、図３に示すように、インナーリード３１ａとは所定の隙間を空けた状態でマウントされる。なお、バンプ接続する際に、加熱・加圧を行ってマウントしたが、超音波を利用してバンプ接続を行っても構わない。

次に、圧入工程を行う前に、上述したマウントによる歪みをなくすために、所定の温度でベーキングを行う（Ｓ３７）。続いて、圧電振動片２の周波数調整（微調）を行う（Ｓ３８）。この周波数調整について、具体的に説明すると、全体を真空チャンバーに入れた状態で、アウターリード３１ｂ間に電圧を印加して圧電振動片２を振動させる。そして、周波数を計測しながら、レーザにより重り金属膜２３の微調膜２３ｂを蒸発させることで、周波数の調整を行う。なお、周波数計測を行うには、アウターリード３１ｂに図示しないプローブの先端を押し付けることで、計測を正確に行うことができる。この周波数調整を行うことで、予め決められた周波数の範囲内に圧電振動片２の周波数を調整することができる。

なお、上記微調及び先に行った粗調の際に、レーザの照射により重り金属膜２３を蒸発させることで、周波数調整を行ったが、レーザではなくアルゴンイオンを利用しても構わない。この場合には、アルゴンイオンの照射によりスパッタリングを行い、重り金属膜２３を除去することで周波数調整を行う。

最後に、プラグ４によってマウントされた圧電振動片２を内部に収納するようにケース３をステム３０に圧入し、ケース３内を封止する圧入工程を行う（Ｓ３９）。具体的に説明すると、真空中で所定の荷重を加えながらケース３をプラグ４のステム３０の外周に圧入する。すると、ステム３０の外周に形成された金属膜が弾性変形するので、冷間圧接により気密封止することができる。これにより、ケース３内に圧電振動片２を密閉して真空封止することができる。
なお、この工程を行う前に、圧電振動片２、ケース３及びプラグ４を十分に加熱して、表面吸着水分等を脱離させておく。

そして、ケース３の固定が終了した後、スクリーニングを行う（Ｓ４０）。このスクリーニングは、周波数や共振抵抗値の安定化を図ると共に、ケース３を圧入した嵌合部に圧縮応力に起因する金属ウイスカが発生してしまうことを抑制するために行うものである。スクリーニング終了後、内部の電気特性検査を行う（Ｓ４１）。即ち、圧電振動片２の共振周波数、共振抵抗値、ドライブレベル特性（共振周波数及び共振抵抗値の励振電力依存性）等を測定してチェックする。また、絶縁抵抗特性等を併せてチェックする。そして、最後に圧電振動子１の外観検査を行って、寸法や品質等を最終的にチェックする。この結果、図１から図３に示す圧電振動子１を製造することができる。

特に、本実施形態の圧電振動子１は、アウターリード３１ｂからインナーリード３１ａに亘るリード端子３１の全体が一対のマウント用支持部１３の間隔に合わせて一律な間隔で離間しているのではなく、ステム３０から突出したインナーリード３１ａだけが曲げ加工によって間隔が広がっている。従って、アウターリード３１ｂに関しては、マウント用支持部１３の間隔に関係なく近接させた状態（所定距離Ｗ２だけ離間した状態）にすることができる。そのため、充填材３２を介してステム３０とアウターリード３１ｂとの間の電気的な絶縁性を確保できるサイズまで、ステム３０の外径を小さくすることができる。
このようにステム３０の外径を小さくしたとしても、曲げ加工によってインナーリード３１ａの間隔を一対の振動腕部１０、１１の外側に配置されたマウント用支持部１３の間隔に一致させているので、容易且つ確実に圧電振動片２をマウントすることができる。しかもこの圧電振動片２は、マウント用支持部１３が形成されているため、基部１２の長さをできるだけ短くして小型化が図られたものである。

つまり、外径の小さいステム３０を用いながら、小型化が図られた圧電振動片２を容易且つ確実にマウントした、従来にはないシリンダパッケージタイプの圧電振動子１とすることができる。
また、圧電振動片２は、バンプＥを介して接続されており、インナーリード３１ａとの間に所定の隙間が確保されている。そのため、一対の振動腕部１０、１１及び基部１２がインナーリード３１ａに干渉することがないので、振動が妨げられることがない。よって、安定した振動を確保することができ、信頼性の向上化を図ることができる。

また、両方のインナーリード３１ａが均等に外側に曲げ加工されているので、マウントされた圧電振動片２は片寄ることなくケース３の中心に位置している。従って、ケース３内に収納された圧電振動片２のバランスが良いだけでなく、ケース３に対して圧電振動片２が接近しすぎることがなく十分な隙間を確保することができる。よって、落下等による衝撃が加わったとしても、圧電振動片２がケース３に干渉してしまうことを防止することができる。
しかも、インナーリード３１ａは、潰し加工によって板状に形成されているので、潰した分だけ圧電振動片２の位置を厚み方向に下げ、ケース３の中心軸に近づけることができる。この点においても、落下等の衝撃が加わった際に、ケース３との干渉を防止することができる。

次に、本発明に係る発振器の一実施形態について、図１５を参照しながら説明する。
本実施形態の発振器５０は、図１５に示すように、圧電振動子１を、集積回路５１に電気的に接続された発振子として構成したものである。この発振器５０は、コンデンサ等の電子部品５２が実装された基板５３を備えている。基板５３には、発振器用の上記集積回路５１が実装されており、この集積回路５１の近傍に、圧電振動子１の圧電振動片２が実装されている。これら電子部品５２、集積回路５１及び圧電振動子１は、図示しない配線パターンによってそれぞれ電気的に接続されている。なお、各構成部品は、図示しない樹脂によりモールドされている。

このように構成された発振器５０において、圧電振動子１に電圧を印加すると、該圧電振動子１内の圧電振動片２が振動する。この振動は、圧電振動片２が有する圧電特性により電気信号に変換されて、集積回路５１に電気信号として入力される。入力された電気信号は、集積回路５１によって各種処理がなされ、周波数信号として出力される。これにより、圧電振動子１が発振子として機能する。
また、集積回路５１の構成を、例えば、ＲＴＣ（リアルタイムクロック）モジュール等を要求に応じて選択的に設定することで、時計用単機能発振器等の他、当該機器や外部機器の動作日や時刻を制御したり、時刻やカレンダー等を提供したりする機能を付加することができる。

上述したように、本実施形態の発振器５０によれば、小型化及び信頼性が向上した圧電振動子１を備えているので、発振器５０自体の小型化及び信頼性の向上化を図ることができる。さらにこれに加え、長期にわたって安定した高精度な周波数信号を得ることができる。

次に、本発明に係る電子機器の一実施形態について、図１６を参照して説明する。なお電子機器として、上述した圧電振動子１を有する携帯情報機器６０を例にして説明する。
始めに本実施形態の携帯情報機器６０は、例えば、携帯電話に代表されるものであり、従来技術における腕時計を発展、改良したものである。外観は腕時計に類似し、文字盤に相当する部分に液晶ディスプレイを配し、この画面上に現在の時刻等を表示させることができるものである。また、通信機として利用する場合には、手首から外し、バンドの内側部分に内蔵されたスピーカ及びマイクロフォンによって、従来技術の携帯電話と同様の通信を行うことが可能である。しかしながら、従来の携帯電話と比較して、格段に小型化及び軽量化されている。

次に、本実施形態の携帯情報機器６０の構成について説明する。この携帯情報機器６０は、図１６に示すように、圧電振動子１と、電力を供給するための電源部６１とを備えている。電源部６１は、例えば、リチウム二次電池からなっている。この電源部６１には、各種制御を行う制御部６２と、時刻等のカウントを行う計時部６３と、外部との通信を行う通信部６４と、各種情報を表示する表示部６５と、それぞれの機能部の電圧を検出する電圧検出部６６とが並列に接続されている。そして、電源部６１によって、各機能部に電力が供給されるようになっている。

制御部６２は、各機能部を制御して音声データの送信及び受信、現在時刻の計測や表示等、システム全体の動作制御を行う。また、制御部６２は、予めプログラムが書き込まれたＲＯＭと、該ＲＯＭに書き込まれたプログラムを読み出して実行するＣＰＵと、該ＣＰＵのワークエリアとして使用されるＲＡＭ等とを備えている。

計時部６３は、発振回路、レジスタ回路、カウンタ回路及びインターフェース回路等を内蔵する集積回路と、圧電振動子１とを備えている。圧電振動子１に電圧を印加すると圧電振動片２が振動し、該振動が水晶の有する圧電特性により電気信号に変換されて、発振回路に電気信号として入力される。発振回路の出力は二値化され、レジスタ回路とカウンタ回路とにより計数される。そして、インターフェース回路を介して、制御部６２と信号の送受信が行われ、表示部６５に、現在時刻や現在日付或いはカレンダー情報等が表示される。

通信部６４は、従来の携帯電話と同様の機能を有し、無線部６７、音声処理部６８、切替部６９、増幅部７０、音声入出力部７１、電話番号入力部７２、着信音発生部７３及び呼制御メモリ部７４を備えている。
無線部６７は、音声データ等の各種データを、アンテナ７５を介して基地局と送受信のやりとりを行う。音声処理部６８は、無線部６７又は増幅部７０から入力された音声信号を符号化及び複号化する。増幅部７０は、音声処理部６８又は音声入出力部７１から入力された信号を、所定のレベルまで増幅する。音声入出力部７１は、スピーカやマイクロフォン等からなり、着信音や受話音声を拡声したり、音声を集音したりする。

また、着信音発生部７３は、基地局からの呼び出しに応じて着信音を生成する。切替部６９は、着信時に限って、音声処理部６８に接続されている増幅部７０を着信音発生部７３に切り替えることによって、着信音発生部７３において生成された着信音が増幅部７０を介して音声入出力部７１に出力される。
なお、呼制御メモリ部７４は、通信の発着呼制御に係るプログラムを格納する。また、電話番号入力部７２は、例えば、０から９の番号キー及びその他のキーを備えており、これら番号キー等を押下することにより、通話先の電話番号等が入力される。

電圧検出部６６は、電源部６１によって制御部６２等の各機能部に対して加えられている電圧が、所定の値を下回った場合に、その電圧降下を検出して制御部６２に通知する。このときの所定の電圧値は、通信部６４を安定して動作させるために必要な最低限の電圧として予め設定されている値であり、例えば、３Ｖ程度となる。電圧検出部６６から電圧降下の通知を受けた制御部６２は、無線部６７、音声処理部６８、切替部６９及び着信音発生部７３の動作を禁止する。特に、消費電力の大きな無線部６７の動作停止は、必須となる。更に、表示部６５に、通信部６４が電池残量の不足により使用不能になった旨が表示される。

即ち、電圧検出部６６と制御部６２とによって、通信部６４の動作を禁止し、その旨を表示部６５に表示することができる。この表示は、文字メッセージであっても良いが、より直感的な表示として、表示部６５の表示面の上部に表示された電話アイコンに、×（バツ）印を付けるようにしても良い。
なお、通信部６４の機能に係る部分の電源を、選択的に遮断することができる電源遮断部７６を備えることで、通信部６４の機能をより確実に停止することができる。

上述したように、本実施形態の携帯情報機器６０によれば、小型化及び信頼性が向上した圧電振動子１を備えているので、携帯情報機器６０自体の小型化及び信頼性の向上化を図ることができる。さらにこれに加え、長期にわたって安定した高精度な時計情報を表示することができる。

次に、本発明に係る電波時計の一実施形態について、図１７を参照して説明する。
本実施形態の電波時計８０は、図１７に示すように、フィルタ部８１に電気的に接続された圧電振動子１を備えたものであり、時計情報を含む標準の電波を受信して、正確な時刻に自動修正して表示する機能を備えた時計である。
日本国内には、福島県（４０ｋＨｚ）と佐賀県（６０ｋＨｚ）とに、標準の電波を送信する送信所（送信局）があり、それぞれ標準電波を送信している。４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚのような長波は、地表を伝播する性質と、電離層と地表とを反射しながら伝播する性質とを併せもつため、伝播範囲が広く、上述した２つの送信所で日本国内を全て網羅している。

以下、電波時計８０の機能的構成について詳細に説明する。
アンテナ８２は、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚの長波の標準電波を受信する。長波の標準電波は、タイムコードと呼ばれる時刻情報を、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚの搬送波にＡＭ変調をかけたものである。受信された長波の標準電波は、アンプ８３によって増幅され、複数の圧電振動子１を有するフィルタ部８１によって濾波、同調される。
本実施形態における圧電振動子１は、上記搬送周波数と同一の４０ｋＨｚ及び６０ｋＨｚの共振周波数を有する水晶振動子部８８、８９をそれぞれ備えている。

更に、濾波された所定周波数の信号は、検波、整流回路８４により検波復調される。続いて、波形整形回路８５を介してタイムコードが取り出され、ＣＰＵ８６でカウントされる。ＣＰＵ８６では、現在の年、積算日、曜日、時刻等の情報を読み取る。読み取られた情報は、ＲＴＣ８７に反映され、正確な時刻情報が表示される。
搬送波は、４０ｋＨｚ若しくは６０ｋＨｚであるから、水晶振動子部８８、８９は、上述した音叉型の構造を持つ振動子が好適である。

なお、上述の説明は、日本国内の例で示したが、長波の標準電波の周波数は、海外では異なっている。例えば、ドイツでは７７．５ＫＨｚの標準電波が用いられている。従って、海外でも対応可能な電波時計８０を携帯機器に組み込む場合には、さらに日本の場合とは異なる周波数の圧電振動子１を必要とする。

上述したように、本実施形態の電波時計８０によれば、小型化及び信頼性が向上した圧電振動子１を備えているので、電波時計８０自体の小型化及び信頼性の向上化を図ることができる。さらにこれに加え、長期にわたって安定して高精度に時刻をカウントすることができる。

なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

例えば、上記実施形態では、一対の振動腕部１０、１１に溝部２０が形成された溝付きタイプの圧電振動片２を備えた圧電振動子１を例に挙げて説明したが、このタイプの圧電振動片２に限定されるものではない。例えば、溝部２０が形成されていない圧電振動片であっても構わないし、一対に振動腕部１０、１１の先端側が若干大きく形成されたハンマーヘッドタイプの圧電振動片であっても構わない。

また、上記実施形態では、インナーリード３１ａとマウント用支持部１３とをバンプＥを介して接続したが、バンプ接続ではなく、インナーリード３１ａの外表面に被膜させた金属膜を利用して、該インナーリード３１ａとマウント用支持部１３とを直接マウントしても構わない。例えば、インナーリード３１ａの表面に被覆したメッキを、加熱した窒素等により溶融させることでマウント用支持部１３に直接マウントすることができる。或いは、導電性接着剤を用いることで、インナーリード３１ａとマウント用支持部１３とを接続することができる。このように直接マウントする場合には、一対の振動腕部１０、１１及び基部１２が、直接インナーリード３１ａに接触して干渉しないようにすれば良い。

また、上記実施形態では、整形工程を行った後にメッキ工程を行ったが、この順番に限られず、気密端子作製工程（Ｓ２０）が終了した後にメッキ工程を行い、その後、曲げ加工工程を行う順番であっても構わない。
気密端子作製工程により得られるプラグ４のリード端子３１は、インナーリード３１ａがまだ曲がっておらず、インナーリード３１ａからアウターリード３１ｂに亘って所定距離Ｗ２だけ一律に離間した状態となっている。そのため、メッキ工程を行っている最中に、他のプラグに絡み難い。仮にメッキを行っている最中に絡んでしまった場合には、作業を一時的に中止せざるを得ない場合もあるが、このような恐れもなく、効率の良い作業を行うことができる。また、絡んでしまうことに起因するリード端子３１の変形等についても、未然に防止することができる。

さらにまた、上記実施形態では、圧電振動片２のマウント用支持部１３が振動片の長さ方向の中心線に対して対称形の場合を示したが、これにとらわれることなく、非対称であっても良い。例えば、マウント用支持部１３の長さが左右で異なっても差し支えない。そして、この非対称なマウント用支持部１３の形状に対応するように、プラグ４のインナーリード３１ａが曲げ加工され、インナーリード３１ａの長さが決定されても差し支えない。

本発明に係る圧電振動子の一実施形態を示す図であって、上面側から見た全体図である。 図１に示す圧電振動子を下面側から見た全体図である。 図１に示す切断線Ａに沿って切断した断面図（圧電振動片に関しては側面図）である。 図１に示す圧電振動子が有する圧電振動片を上面から見た図である。 図１に示す圧電振動子が有する圧電振動片を下面から見た図である。 図４に示す断面矢視Ｂ−Ｂ図である。 図１に示す圧電振動子が有する気密端子の斜視図である。 図１に示す圧電振動子を製造する際の流れを示すフローチャートである。 図８に示すフローチャートに沿って圧電振動子を製造する際の一工程図であって、インナーリードからアウターリードに亘って一律な間隔を空けて配置されたリード端子を有する気密端子の上面図である。 図９に示す気密端子の斜視図である。 図８に示すフローチャートに沿って圧電振動子を製造する際の一工程図であって、図９に示す気密端子のインナーリードを曲げ加工した後の状態を示す図である。 図８に示すフローチャートに沿って圧電振動子を製造する際の一工程図であって、図１１に示す気密端子のインナーリードを潰して板状に加工した状態を示す図である。 図８に示すフローチャートに沿って圧電振動子を製造する際の一工程図であって、図１２に示すインナーリードを所定形状に整形した状態を示す図である。 図８に示すフローチャートに沿って圧電振動子を製造する際の一工程図であって、図１３に示すインナーリードにバンプを形成した状態を示す図である。 本発明に係る発振器の一実施形態を示す構成図である。 本発明に係る電子機器の一実施形態を示す構成図である。 本発明に係る電波時計の一実施形態を示す構成図である。 従来の気密端子の一例を示す斜視図である。

符号の説明

Ｅ バンプ
１ 圧電振動子
２ 圧電振動片
３ ケース
４ プラグ（気密端子）
１０、１１ 一対の振動腕部
１２ 基部
１３ マウント用支持部
３０ ステム
３１ａ インナーリード
３１ｂ アウターリード
３１ リード端子
３２ 充填材
５０ 発振器
６０ 携帯情報機器（電子機器）
８０ 電波時計

Claims (4)

1. 平行に配置された一対の振動腕部と、該一対の振動腕部の基端側を一体的に固定する基部と、一対の振動腕部の外側で該一対の振動腕部に対して平行に配置され、基端側が基部に固定された一対のマウント用支持部と、を有し所定の電圧が印加されたときに振動する圧電振動片がケース内に封止されたシリンダパッケージタイプの圧電振動子を製造する方法であって、
   環状に形成されたステムと、該ステムを貫通するように平行配置され、ステムを間に挟んで一端側が前記圧電振動片をマウントするインナーリードとされ、他端側が外部に電気的に接続されるアウターリードとされた２本のリード端子と、ステムとリード端子とを固定させる絶縁性の充填材と、を有する気密端子を作製する気密端子作製工程と、
   前記ステム及び前記リード端子の外表面に所定の金属膜をメッキするメッキ工程と、
   該メッキ工程と同時或いは前後して行われ、前記インナーリードのうち、少なくともいずれか一方を前記ステムの近傍で外側に屈曲させ、インナーリードの互いの間隔を前記一対のマウント用支持部の間隔に一致させる曲げ加工工程と、
   前記メッキ工程及び前記曲げ加工工程後、前記一対のマウント用支持部を前記インナーリードに接合させるマウント工程と、
   マウントされた前記圧電振動片を内部に収納するように前記ケースを前記ステムに圧入し、ケース内を封止する圧入工程と、を備えており、さらに、
   前記曲げ加工工程と前記マウント工程との間に、前記インナーリードを上下から潰して板状に形成し、前記マウント用支持部に対向する面を略平面に成形する潰し工程と、
   該潰し工程後、潰した部分が所定の外形形状となるように整形する整形工程と、を備えていることを特徴とする圧電振動子の製造方法。
2. 請求項１に記載の圧電振動子の製造方法において、
   前記曲げ加工工程の際に、両方の前記インナーリードをそれぞれ同じ量だけ均等に外側に曲げ加工することを特徴とする圧電振動子の製造方法。
3. 請求項１又は２に記載の圧電振動子の製造方法において、
   前記マウント工程の際に、前記インナーリードと前記マウント用支持部とを、所定の隙間を空けた状態で導電性のバンプを介して接続することを特徴とする圧電振動子の製造方法。
4. 請求項１から３のいずれか１項に記載の圧電振動子の製造方法において、
   前記メッキ工程が終了した後に前記曲げ加工工程を行うことを特徴とする圧電振動子の製造方法。

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