JP4902321B2 - 圧電振動子の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 - Google Patents
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Description
気密端子73は、金属材料で形成された環状のステム74と、該ステム74を貫くように配され、圧電振動片71の両マウント電極71aに接合された2本のリード端子75と、該リード端子75とステム74とを絶縁状態で一体的に固定すると共にケース72内を密封させる充填材76とで構成されている。
2本のリード端子75は、ケース72内に突出している部分がインナーリード75aとなり、ケース72外に突出している部分がアウターリード75bとなっている。そして、このアウターリード75bが、外部接続端子として機能するようになっている。
また、ケース72は、ステム74の外周に対して圧入されて嵌合固定されている。このケース72の圧入は、真空雰囲気下で行われているため、ケース72内の圧電振動片71を囲む空間は、真空に保たれた状態で密閉されている。
この場合の圧電振動子70は、図29に示すように、エポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂や液晶ポリマー等の熱可塑性樹脂によりケース72の周囲をモールドした樹脂モールド部80を備えている。また、この圧電振動子70は、クランク状に形成された接続端子81と、ダミー端子82とを備えている。接続端子81は、一端側が2本のアウターリード75bに電気的且つ機械的に接続されると共に、他端側が樹脂モールド部80の底面側に露出している。また、ダミー端子82は、ケース72に対して単に接した状態で配置され、接続端子81同様に樹脂モールド部80の底面に露出している。
この方法は、まず、気密端子製造工程を行う際に、リードフレームに対して一度に複数の気密端子73を形成する。そして、リードフレームからこれら複数の気密端子73を切り離した後、セラミックのパレットに並べて載置する。そして、この状態で圧電振動片71及びケース72を取り付ける振動子製造工程を行う。また、樹脂成形工程を行う場合には、ダミー端子82や接続端子81が形成された別のリードフレームにケース72が固定された気密端子73を並べた後、樹脂モールド部80の成形を行う。これにより、樹脂モールド部80を有する圧電振動子70を製造することができる。
この方法は、リードフレームに複数の気密端子73形成すると共に、ダミー端子82及び接続端子81を予め同時に形成しておく。次いで、気密端子73に圧電振動片71を取り付けた後、ケース72を固定する。なお、ケース72を固定する際には、リードフレームを一旦90度折り曲げた後、ケース72を挿入して固定する。これは、ケース72を固定する際に、該ケース72がリードフレーム等に干渉することを防止するためである。そして、ケース72を固定した後にリードフレームを逆方向に再度90度折り曲げて、元の位置に戻す。そして最後に、樹脂モールド部80を成形することで、圧電振動子70を製造することができる。
この方法によれば、リードフレームを交換することなく、気密端子製造工程から樹脂成形工程までを一連の流れで製造できるので、製造効率に優れていると共に組立精度を向上することができる。
即ち、特許文献1記載の方法では、気密端子製造工程が終了した後、複数の気密端子73をパレットに並べる必要があった。よって、時間と手間がかかってしまい、効率の良い製造を行うことができなかった。しかも、振動子製造工程を行うためだけにパレットを準備する必要があり、製造コストの増加を招いていた。また、気密端子73をパレットに並べた後に、圧電振動片71やケース72を固定するので組立誤差が生じ易いものであった。そのため、品質低下が懸念されるものであった。
更には、樹脂成形工程を行う際に、さらに別のリードフレームを準備する必要があるうえ、該リードフレームにケース72が固定された気密端子73を並べる必要があるので、上述した問題がさらに繰り返される恐れがあった。
本発明に係る圧電振動子の製造方法は、圧電振動片と、該圧電振動片を内部に収納する導電性のケースと、環状に形成された導電性のステムと、該ステムを貫通した状態で配置され、ステムを間に挟んで一端側が前記圧電振動片に電気的に接続されるインナーリードとされ、他端側が外部に電気的に接続されるアウターリードとされたリード端子と、該リード端子と前記ステムとを固定させる充填材とを有し、前記ケース内を密閉させる気密端子と、前記ケース及び前記ステムを介して前記圧電振動片に電気的に接続される外部接続端子と、該外部接続端子及び前記アウターリードを露出させた状態で、前記ケースをパッケージングする絶縁性の樹脂モールド部とを備えた圧電振動子を製造する方法であって、導電性材料からなるベース基板を加工して帯状の基部を形成すると共に、該基部の一方側に、前記アウターリードを繋げた状態で前記リード端子を基部に沿って複数形成し、基部の他方側に、外方に向けて突出した前記外部接続端子をリード端子に対向するように複数形成するベース基板加工工程と、前記リード端子の所定位置に前記充填材を介して前記ステムを装着して前記気密端子を組み立てるステム装着工程と、前記ステムに導通させた状態で前記インナーリードに前記圧電振動片を接続する圧電振動片接続工程と、前記圧電振動片を収納した状態で前記ケースと前記気密端子とを固定して、ケース内を密閉させると共に、ケースと前記ステムとを電気的に接続するケース固定工程と、前記アウターリードの一部を折曲して、前記ケースが前記基部の表面を通る仮想平面に対して略平行で、且つ、ケースの外周面が仮想平面に対して非接触状態となるようにケースの位置を調整すると共に、前記外部接続端子の一部をアウターリードの折曲方向と同方向に折曲する折曲工程と、前記各工程を繰り返し行って、前記ケースの位置が調整されると共に前記外部接続端子が折曲された前記基部を複数用意する繰り返し工程と、前記複数の基部をそれぞれモールド用フレームに固定して、各基部の前記ケースを直線状に並ぶように配列させると共に、ケースと隣接する基部に設けられた前記外部接続端子とを電気的に接続させる基部固定工程と、前記ケースと、折曲した前記アウターリード及び前記外部接続端子とを埋入させるように絶縁性の樹脂をモールド成形して、前記樹脂モールド部を形成する樹脂成形工程と、前記基部と前記アウターリード及び前記外部接続端子との間をそれぞれ切断して切り離す切断工程と行うことを特徴とするものである。
次いで、リード端子の所定位置に充填材を介して環状に形成された導電性のステムを装着するステム装着工程を行う。これにより、ステムを貫通した状態で該ステムとリード端子とが固定され、気密端子を組み立てることができる。
続いて、圧電振動片に導電性のケースを被せて内部に収納させると共に該ケースと気密端子とを固定するケース固定工程を行う。これにより、ケース内に圧電振動片を密閉して封止することができる。この工程の際も、上述した圧電振動片接続工程と同様に、何ら制約を受けることなく容易にケースを近づけて固定することができる。よって、従来のように、ケースを固定するためだけにリード端子を同じポイントで2回も折り曲げる必要がない。また、導電性のケースであるので、ケースとステムとが電気的に接続された状態となる。これにより、ケースと圧電振動片とが導通した状態となる。
次に、上述した各工程を再度繰り返し行って、ケースの位置が調整されたリード端子を複数有すると共に、一部が折り曲げられた複数の外部接続端子を有する基部を、複数用意する繰り返し工程を行う。
また、基部を挟んでケースに対向するように外部接続端子が形成されているので、各部部をモールド用フレームに固定すると、ケースと隣接する基部に設けられた外部接続端子とが接触して電気的に接続された状態となる。
更に、リード端子が2本ではなく1本であるので、互いの電気的な独立性を確保しながら充填材を小さく形成する等といった設計を行う必要がない。よって、気密端子やケースのサイズをより小さくすることができ、ケースの径が1.0mm以下といった超小型化を図ることも可能である。
また、本発明に係る電子機器は、上記本発明の圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴とするものである。
また、本発明に係る電波時計は、上記本発明の圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とするものである。
また、本発明に係る圧電振動子によれば、上述した製造方法により製造されているので、高品質化及び低コスト化を図ることができると共に、小型化を図ることができる。
更に、本発明に係る発振器、電子機器及び電波時計によれば、上述した圧電振動子を備えているので、同様に低コスト化及び小型化を図ることができると共に、高品質で信頼性を向上することができる。
を参照して説明する。
本実施形態の圧電振動子1は、シリンダパッケージタイプの圧電振動子であって、図1から図4に示すように、圧電振動片2と、該圧電振動片2を内部に収納するケース3と、圧電振動子1をケース3内に密閉させる気密端子4と、ケース3及び後述するステム10を介して圧電振動片2に電気的に接続される外部接続端子5と、ケース3を埋入してパッケージングする樹脂モールド部6とを備えている。
励振電極は、一対の振動腕部2bを互いに接近又は離間する方向に所定の共振周波数で振動させる電極であり、図示しない引き出し電極を介してマウント電極2cに電気的に接続されている。そして圧電振動片2は、マウント電極2cを介して電圧が印加されるようになっている。なおこのマウント電極2cは、図6に示すように、圧電振動片2の両面にそれぞれ形成されている。
上記ステム10は、金属材料(例えば、低炭素鋼(Fe)、鉄ニッケル合金(Fe−Ni)、鉄ニッケルコバルト合金(Fe−Ni−Co))で環状に形成されたものである。また、充填材12の材料としては、例えば、ホウ珪酸ガラスである。なお、このステム10の外周には、リード端子11と同じ材料のメッキ(金属膜)が被膜されている。
外部接続端子5は、上記リード端子11と同じベース基板20から形成されたものであって、図1、図3及び図5に示すように、略直角に折り曲げられて断面L字状に形成されており、ケース3を間に挟んでアウターリード11bの反対側に位置している。また、外部接続端子5は、アウターリード11bと同様に一部が樹脂モールド部6の底面に露出すると共に、外方に突出した状態となっている。また、外部接続端子5の残りの一部は、ケース3の端面に対して対向するように配置されている。そして、この対向した部分には、ケース3の突起部3aが押し込み可能とされ、押し込まれたときに弾性力により突起部3aを保持する嵌合溝5aが形成されている。これにより、突起部3aと外部接続端子5とは、強固に接続されたうえ、電気的にも接続された状態となっている。
まず、樹脂モールド部6の寸法例としては、全長Lが約3.0mm〜5.0mm、幅W及び厚みTが約1.0mm〜1.5mmである。また、圧電振動片2の寸法例としては、幅が約0.5mm〜0.6mm、全長は約1.0mm〜3.2mm、厚みはベース基板と同じ約0.10mmである。ステム10の直径としては、メッキ後の段階で約0.9mmである。
また、マウント電極2cは、クロム(Cr)と金(Au)との積層膜であり、水晶と密着性の良いクロム膜を下地として成膜した後に、表面に金の薄膜を施したものである。なお、この場合に限られず、例えば、クロムとニクロム(NiCr)の積層膜の表面にさらに金の薄膜を積層しても構わない。
しかも、樹脂モールド部6内にケース3がパッケージングされているので、塵埃等の影響を受け難い。また、樹脂モールド部6を有しているので、回路基板等に直接載置することができ、容易に表面実装することが可能である。特に、ケース3を間に挟んでアウターリード11b及び外部接続端子5の一部が樹脂モールド部6の底面に露出しているので、表面実装したときに座りが良くなり、姿勢が安定する。よって、実装作業を行い易い。しかも樹脂モールド部6は、アウターリード11b側が斜めにカットされているので、向きを間違えることなく確実に実装作業を行うことができる。
本実施形態の圧電振動子1の製造方法は、ベース基板加工工程、ステム装着工程、圧電振動片接続工程、ケース固定工程、折曲工程、繰り返し工程、基部固定工程、樹脂成形工程及び切断工程を順に行うことで、ベース基板20を最初から最後まで利用し続けながら一度に複数の圧電振動子1を製造する方法である。これら各工程について、図7から図9に示すフローチャートを参照しながら詳細に説明する。
この工程を具体的に説明すると、平板状のベース基板20を準備(S1)した後、プレス加工、レーザ加工或いはエッチング等の化学的な加工を施して、プラグリードフレーム21を形成すると共に、リード端子11及び突出部22をそれぞれ複数形成する(S2)。この際、プラグリードフレーム21の一方側にアウターリード11bが繋がった状態で、プラグリードフレーム21に沿って所定間隔L毎に並ぶようにリード端子11を形成する。特に、リード端子11は、アウターリード11b側が繋がっているので、インナーリード11a側が自由端となっており、外部から自由にアクセス可能な状態となっている。また、リード端子11を形成する際に、図11に示すように、後に取り付ける充填材12の位置を位置決めさせる突起部11cを同時に形成しておく。
そして、図13に示すように、ステム10を充填材12の外側に装着する(S11)。ステム10を装着した後、1000℃前後の温度雰囲気で充填材12の焼成を実施する(S12)。これにより、充填材12とリード端子11との間、充填材12とステム10との間が完全に封着され、気密に耐えられる構造となる。つまり、ステム10を貫通した状態で、該ステム10とリード端子11とを固定することができ、気密端子4を組み立てることができる。なおこの時点で、ステム装着工程が終了する。
このように下地金属膜及び仕上金属膜からなる金属膜を被膜させることで、インナーリード11aと圧電振動片2との接続を可能にすることができる。また、圧電振動片2の接続だけでなく、ステム10の外周面に被膜された金属膜が軟らかく弾性変形する特性を有しているので、ステム10とケース3との冷間圧接を可能にすることができ、気密接合を行うことができる。
このアニーリングが終了した時点で、圧電振動片接続工程を開始することができる。なお、金属膜を被膜する際に、湿式メッキ法で行った場合を例にしたが、この場合に限られず、例えば、蒸着法や化学気相法等も構わない。
特にこの工程を行う際に、インナーリード11a側が自由端となっているので、何ら制約を受けることなく容易に圧電振動片2を近づけて接続することができる。
特に、ステム10と圧電振動片2とが導通しているので、簡単に圧電振動片2を振動させることができ、周波数調整に時間や手間がかかることがない。なお、重り金属膜を蒸発させる際に、レーザ以外にも、アルゴンイオンを照射して蒸発させても構わない。
また、この工程を行う前に、気密端子4、圧電振動片2及びケース3を十分に加熱して、表面吸着水分等を脱離させておく。
そして、上述したようにプラグリードフレーム21を複数用意した後、各プラグリードフレーム21をそれぞれモールド用フレーム23に固定する基部固定工程を行う。具体的には、図22(a)に示すように、モールド用フレーム23間に架渡すようにプラグリードフレーム21を溶接等により接合する(S27)。また、各プラグリードフレーム21に設けられたケース3がプラグリードフレーム21に直交する方向(矢印A方向)に沿って直線状に並ぶように配列させる。これにより、各プラグリードフレーム21に設けられたリード端子11及びケース3が、縦方向(矢印A方向)及び横方向(矢印B方向)に整列した状態となる。
なお、この工程を行うにあたり、モールド用フレーム23の最端部に、折り曲げられた突出部22のみが形成されたプラグリードフレーム21を接合させておく。
この電気特性検査が終了した後、プラグリードフレーム21とアウターリード11bとの間、プラグリードフレーム21と突出部22との間をそれぞれ切断して切り離す切断工程を行う(S30)。その結果、図1から図4に示す圧電振動子1を製造することができる。なお、切り離された突出部22は、外部接続端子5として機能する。そして、最後に製造した圧電振動子1の外観検査を行って(S31)、寸法や品質等を最終的にチェックする。これにより、一度に複数の圧電振動子1を製造する製造方法が終了する。
しかも、従来のようにリード端子11を同じポイントで2回も折り曲げる必要がないので、応力集中を防ぐことができ、リード端子11の強度低下を極力防止することができる。この点においても、高品質化を図ることができる。
リード端子11が2本ではなく1本であるので、従来のように互いの電気的な独立性を確保しながら充填材12を小さく形成する等といった設計を行う必要がない。よって、気密端子4やケース3のサイズをより小さくすることができ、ケース3の径が1.0mm以下といった超小型化を図ることも可能である。
なお、以上の説明では、音叉型の振動片を例に挙げたが、振動片は屈曲振動する音叉型に限られず、例えば厚み滑りモードで振動する振動片であってもよい。厚み滑り振動片の場合は、圧入はN2等の不活性ガスの中で実施しても良い。
本実施形態の発振器30は、図25に示すように、圧電振動子1を、集積回路31に電気的に接続された発振子として構成したものである。この発振器30は、コンデンサ等の電子部品32が実装された基板33を備えている。基板33には、発振器用の上記集積回路31が実装されており、この集積回路31の近傍に、圧電振動子1の圧電振動片2が実装されている。これら電子部品32、集積回路31及び圧電振動子1は、図示しない配線パターンによってそれぞれ電気的に接続されている。なお、各構成部品は、図示しない樹脂によりモールドされている。
また、集積回路31の構成を、例えば、RTC(リアルタイムクロック)モジュール等を要求に応じて選択的に設定することで、時計用単機能発振器等の他、当該機器や外部機器の動作日や時刻を制御したり、時刻やカレンダー等を提供したりする機能を付加することができる。
始めに本実施形態の携帯情報機器40は、例えば、携帯電話に代表されるものであり、従来技術における腕時計を発展、改良したものである。外観は腕時計に類似し、文字盤に相当する部分に液晶ディスプレイを配し、この画面上に現在の時刻等を表示させることができるものである。また、通信機として利用する場合には、手首から外し、バンドの内側部分に内蔵されたスピーカ及びマイクロフォンによって、従来技術の携帯電話と同様の通信を行うことが可能である。しかしながら、従来の携帯電話と比較して、格段に小型化及び軽量化されている。
無線部47は、音声データ等の各種データを、アンテナ55を介して基地局と送受信のやりとりを行う。音声処理部48は、無線部47又は増幅部50から入力された音声信号を符号化及び複号化する。増幅部50は、音声処理部48又は音声入出力部51から入力された信号を、所定のレベルまで増幅する。音声入出力部51は、スピーカやマイクロフォン等からなり、着信音や受話音声を拡声したり、音声を集音したりする。
なお、呼制御メモリ部54は、通信の発着呼制御に係るプログラムを格納する。また、電話番号入力部52は、例えば、0から9の番号キー及びその他のキーを備えており、これら番号キー等を押下することにより、通話先の電話番号等が入力される。
なお、通信部44の機能に係る部分の電源を、選択的に遮断することができる電源遮断部56を備えることで、通信部44の機能をより確実に停止することができる。
本実施形態の電波時計60は、図27に示すように、フィルタ部61に電気的に接続された圧電振動子1を備えたものであり、時計情報を含む標準の電波を受信して、正確な時刻に自動修正して表示する機能を備えた時計である。
日本国内には、福島県(40kHz)と佐賀県(60kHz)とに、標準の電波を送信する送信所(送信局)があり、それぞれ標準電波を送信している。40kHz若しくは60kHzのような長波は、地表を伝播する性質と、電離層と地表とを反射しながら伝播する性質とを併せもつため、伝播範囲が広く、上述した2つの送信所で日本国内を全て網羅している。
アンテナ62は、40kHz若しくは60kHzの長波の標準電波を受信する。長波の標準電波は、タイムコードと呼ばれる時刻情報を、40kHz若しくは60kHzの搬送波にAM変調をかけたものである。受信された長波の標準電波は、アンプ63によって増幅され、複数の圧電振動子1を有するフィルタ部61によって濾波、同調される。
本実施形態における圧電振動子1は、上記搬送周波数と同一の40kHz及び60kHzの共振周波数を有する水晶振動子部68、69をそれぞれ備えている。
搬送波は、40kHz若しくは60kHzであるから、水晶振動子部68、69は、上述した音叉型の構造を持つ振動子が好適である。
1 圧電振動子
2 圧電振動片
3 ケース
3a ケースの突起部
4 気密端子
5 外部接続端子
5a 外部接続端子の嵌合溝5a
6 樹脂モールド部
10 ステム
11 リード端子
11a リード端子のインナーリード
11b リード端子のアウターリード
11c 突起部(位置決め部)
12 充填材
20 ベース基板
21 プラグリードフレーム(基部)
22 突出部(後の外部接続端子)
23 モールド用フレーム
30 発振器
31 集積回路
40 携帯情報機器(電子機器)
43 計時部
60 電波時計
61 フィルタ部
Claims (11)
- 圧電振動片と、
該圧電振動片を内部に収納する導電性のケースと、
環状に形成された導電性のステムと、該ステムを貫通した状態で配置され、前記ステムを間に挟んで一端側が前記圧電振動片に電気的に接続されるインナーリードとされ、他端側が外部に電気的に接続されるアウターリードとされたリード端子と、該リード端子と前記ステムとを固定させる充填材とを有し、前記ケース内を密閉させる気密端子と、
前記ケース及び前記ステムを介して前記圧電振動片に電気的に接続される外部接続端子と、
該外部接続端子及び前記アウターリードを露出させた状態で、前記ケースをパッケージングする絶縁性の樹脂モールド部とを備えた圧電振動子を製造する方法であって、
導電性材料からなるベース基板を加工して帯状の基部を形成すると共に、該基部の一方側に、前記アウターリードを繋げた状態で前記リード端子を基部に沿って複数形成し、基部の他方側に、外方に向けて突出した前記外部接続端子を前記リード端子に対向するように複数形成するベース基板加工工程と、
前記リード端子の所定位置に前記充填材を介して前記ステムを装着して前記気密端子を組み立てるステム装着工程と、
前記ステムに前記圧電振動片を電気的に接続させるとともに、前記インナーリードに前記圧電振動片を接続する圧電振動片接続工程と、
前記圧電振動片を収納した状態で前記ケースと前記気密端子とを固定して、前記ケース内を密閉させると共に、前記ケースと前記ステムとを電気的に接続するケース固定工程と、
前記アウターリードの一部を折曲して、前記ケースが前記基部の表面を通る仮想平面に対して略平行で、且つ、ケースの外周面が仮想平面に対して非接触状態となるように前記ケースの位置を調整すると共に、前記外部接続端子の一部をアウターリードの折曲方向と同方向に折曲する折曲工程と、
前記各工程を繰り返し行って、前記ケースの位置が調整されると共に前記外部接続端子が折曲された前記基部を複数用意する繰り返し工程と、
前記複数の基部をそれぞれモールド用フレームに固定して、各基部の前記ケースを直線状に並ぶように配列させると共に、前記ケースと隣接する基部に設けられた前記外部接続端子とを電気的に接続させる基部固定工程と、
前記ケースと、折曲した前記アウターリード及び前記外部接続端子とを埋入させるように絶縁性の樹脂をモールド成形して、前記樹脂モールド部を形成する樹脂成形工程と、
前記基部と前記アウターリード及び前記外部接続端子との間をそれぞれ切断して切り離す切断工程と行うことを特徴とする圧電振動子の製造方法。 - 請求項1に記載の圧電振動子の製造方法において、
前記圧電振動片接続工程後、前記アウターリードと前記ステムとの間に電圧を印加させて、前記圧電振動片の周波数調整を行う周波数調整工程を行うことを特徴とする圧電振動子の製造方法。 - 請求項1又は2に記載の圧電振動子の製造方法において、
前記ケースは、端面から外方に突出した突起部を有しており、
前記ベース基板加工工程時に、前記突起部が押し込み可能とされ、押し込まれたときに弾性力により突起部を保持する嵌合溝を前記外部接続端子に形成し、
前記基部固定工程時に、前記突起部を前記嵌合溝に沿って所定の力で押し込んで、弾性力により保持させることを特徴とする圧電振動子の製造方法。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の圧電振動子の製造方法において、
前記ベース基板加工工程の際に、前記充填材の位置を前記所定位置に位置決めさせる位
置決め部を前記リード端子に形成することを特徴とする圧電振動子の製造方法。 - 圧電振動片と、該圧電振動片を内部に収納する導電性のケースと、環状に形成された導電性のステムと、該ステムを貫通した状態で配置され、前記ステムを間に挟んで一端側が前記圧電振動片に電気的に接続されるインナーリードとされ、他端側が外部に電気的に接続されるアウターリードとされたリード端子と、該リード端子と前記ステムとを固定させる充填材とを有し、前記ケース内を密閉させる気密端子と、前記ケース及び前記ステムを介して前記圧電振動片に電気的に接続される外部接続端子と、該外部接続端子及び前記アウターリードを露出させた状態で、前記ケースをパッケージングする絶縁性の樹脂モールド部とを備えた圧電振動子であって、
前記ケースは、端面から外方に突出した突起部を有しており、
前記外部接続端子は、前記突起部を押し込み可能とし、弾性力により前記突起部を保持する嵌合溝を有し、
前記突起部が前記嵌合溝に嵌合されることを特徴とする圧電振動子。 - 前記ステムは、前記圧電振動片とワイヤを介して電気的に接続することを特徴とする請求項5に記載の圧電振動子。
- 前記インナーリードは、先端に段状を有し、前記段状により形成された先端の厚みが薄い部分で前記圧電振動片と電気的及び機械的に接続することを特徴とする請求項5又は6に記載の圧電振動子。
- 前記アウターリードには、前記充填材の位置を位置決めする位置決め部が形成されることを特徴とする請求項5から7のいずれか1項に記載の圧電振動子。
- 請求項5から8のいずれか1項に記載の圧電振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とする発振器。
- 請求項5から8のいずれか1項に記載の圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴とする電子機器。
- 請求項5から8のいずれか1項に記載の圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする電波時計。
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