JP2009206592A - 圧電振動子、発振器、電子機器、電波時計および圧電振動子の製造方法 - Google Patents
圧電振動子、発振器、電子機器、電波時計および圧電振動子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009206592A JP2009206592A JP2008044397A JP2008044397A JP2009206592A JP 2009206592 A JP2009206592 A JP 2009206592A JP 2008044397 A JP2008044397 A JP 2008044397A JP 2008044397 A JP2008044397 A JP 2008044397A JP 2009206592 A JP2009206592 A JP 2009206592A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- case
- piezoelectric vibrator
- piezoelectric
- vibrating piece
- piezoelectric vibrating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】 (b)圧電振動片2をリード端子31にマウントするマウント工程と、(c)ガラス管30の第1開口部30aに、プラグ本体40を加熱溶着する第1封止工程と、(d)真空下でガラス管30の第2開口部30bを閉塞し、ガラス管30の内部空間を真空封止する第2封止工程と、ケース3の外側からレーザを照射して、圧電振動片2の周波数を調整する周波数調整工程と、ケース3の外側からレーザを照射して、ゲッター剤50を活性化するゲッター剤活性化工程と、を有する。
【選択図】 図6
Description
また、ケース3およびリング33の表面には凹凸が存在するため、両者の圧入部分は必ずしも面接触にならず、気密封止の信頼性の向上が求められている。
この発明によれば、ケースをガラス材料で構成することが可能になり、鋼板材料を深絞り加工してケースを形成する必要がなくなる。またプラグ本体をガラス材料のみで構成することが可能になり、その外周に金属リングを設ける必要がなくなる。したがって、製造コストを低減することができる。また、ケースの第1開口部にプラグ本体が溶着されているので、気密封止の信頼性を向上させることができる。
この発明によれば、ガラス材料からなるケースを採用したので、その外側からレーザを照射して、内部に配置されたゲッター剤を活性化することができる。これにより、ゲッター剤がケース内部に残留するガスを吸収するので、ケース内部の真空度を向上させることができる。したがって、残留ガスの影響による圧電振動子の周波数のばらつきを抑制することができる。
この発明によれば、ケースをガラス材料で構成することが可能になり、鋼板材料を深絞り加工してケースを形成する必要がなくなる。またプラグ本体をガラス材料のみで構成することが可能になり、その外周に金属リングを設ける必要がなくなる。したがって、製造コストを低減することができる。また、ケースの第1開口部にプラグ本体が溶着されているので、気密封止の信頼性を向上させることができる。
この発明によれば、ガラス管からケースを形成することが可能になり、製造コストをさらに低減することができる。
この発明によれば、ガラス材料からなるケースを採用したので、ケースの内部空間を真空封止する封止工程の後に、その内部空間に収容された圧電振動片に対しケースの外側からレーザを照射して、前記圧電振動片の周波数調整を行うことができる。これにより、圧電振動子の完成品に近い状態で周波数調整を行うことが可能になり、圧電振動子の周波数を所定範囲内に収めることができるとともに、周波数のばらつきを低減することができる。
この発明によれば、ガラス材料からなるケースを採用したので、その外側からレーザを照射して、内部に配置されたゲッター剤を活性化することができる。これにより、ゲッター剤がケース内部に残留するガスを吸収するので、ケース内部の真空度を向上させることができる。特に、ケース内部に収容された圧電振動片に対して周波数調整を行うと、ケース内部でガスが発生する場合がある。そこで、周波数調整工程の後にゲッター剤活性化工程を行うことにより、周波数調整により発生したガスを吸収してケース内部の真空度を向上させることができる。したがって、残留ガスの影響による圧電振動子の周波数のばらつきを抑制することができる。
本発明の電子機器は、上述した圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴とする。
本発明の電波時計は、上述した圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする。
(圧電振動子)
図1は、本実施形態に係る圧電振動子の斜視図である。圧電振動子1は、シリンダパッケージタイプの圧電振動子であって、音叉型の圧電振動片2と、圧電振動片2がマウントされたプラグ(気密端子)4と、プラグ4と共に圧電振動片2を気密封止するケース3とを備えている。
この圧電振動片2は、平行に配置された一対の振動腕部10、11と、該一対の振動腕部10、11の基端側を一体的に固定する基部12と、一対の振動腕部10、11の外表面上に形成されて一対の振動腕部10、11を振動させる第1の励振電極13と第2の励振電極14とからなる励振電極15と、第1の励振電極13及び第2の励振電極14に電気的に接続されたマウント電極16、17とを有している。
また、本実施形態の圧電振動片2は、一対の振動腕部10、11の両主面上に、該振動腕部10、11の長手方向Xに沿ってそれぞれ形成された溝部18を備えている。この溝部18は、振動腕部10、11の基端側から略中間付近まで形成されている。
なお、前述した励振電極15、マウント電極16、17及び引き出し電極19、20は、例えば、クロム(Cr)、ニッケル(Ni)、アルミニウム(Al)やチタン(Ti)等の導電性膜(電極膜)の被膜により形成されたものである。
リード端子31は、プラグ本体40を間に挟んで一端側が圧電振動片2をマウント(機械的に接合及び電気的に接続)するインナーリード31aとされ、他端側が外部に電気的に接続されるアウターリード31bとされている。なお、リード端子31の直径は例えば約0.12mmであり、リード端子31の母材の材質としては、コバール(FeNiCo合金)が慣用されている。また、リード端子31の外表面に被膜させるメッキの材質としては、下地金属膜としてはCuが用いられ、仕上金属膜としては、耐熱ハンダメッキ(錫と鉛の合金で、その重量比が1:9)や、銀(Ag)や錫銅合金(SnCu)や金錫合金(AuSn)等が用いられる。
プラグ本体40は、ホウ珪酸ガラス等のガラス材料により構成され、リード端子31の長手方向中間部において、各リード端子31に固着されている。
ケース3の内周面の一部には、ゲッター剤50が配置されている。ゲッター剤50は、レーザ照射により活性化して周囲のガスを吸着するものであり、例えば金属アルミニウムが採用されている。
次に、上述した圧電振動子の製造方法について説明する。
図5は本実施形態に係る圧電振動子の製造方法のフローチャートであり、図6は工程図である。本実施形態の圧電振動子の製造方法は、圧電振動片作製工程(S40)と、プラグを作製するプラグ作製工程(S50)と、圧電振動片をプラグにマウントするマウント工程(S60)と、ガラス管の第1開口部にプラグのプラグ本体を溶着する第1封止工程(S62)と、真空下でガラス管の第2開口部を閉塞する第2封止工程(S63)と、圧電振動子の周波数調整を行う周波数調整工程(S65)と、ケース内のゲッター剤を活性化するゲッター剤活性化工程(S66)とを順に行って、圧電振動子1を製造する方法である。これら各工程について、以下に詳細に説明する。
このように、下地金属膜及び仕上金属膜からなる金属膜を被膜させることで、インナーリード31aと圧電振動片2との接続を可能にすることができる。
そして、圧電振動片2のマウント電極をインナーリード31aに接合するマウント工程を行う(S60)。具体的には、バンプEを加熱しながら、該バンプEを間に挟んだ状態でインナーリード31aと圧電振動片2とを所定の圧力で重ね合わせる。これにより、バンプEを介してインナーリード31aとマウント電極とを接続することができる。その結果、圧電振動片2をマウントすることができる。すなわち、圧電振動片2は、リード端子31に機械的に支持されると共に、電気的に接続された状態となる。なお、バンプ接続する際に、加熱・加圧を行ってマウントしたが、超音波を利用してバンプ接続を行っても構わない。
次に、前述したマウントによる歪みをなくすために、所定の温度でベーキングを行う(S61)。
プラグ4のプラグ本体40およびガラス管30はいずれもガラス材料で構成されているので、加熱により両者の界面が溶融接合される。これにより、両者間を気密封止することができる。
ガラス管30の第2開口部30bも、溶融接合により気密封止される。その結果、ガラス管30により有底円筒状のケース3が形成される。これにより、ケース3およびプラグ本体40によって囲まれた空間が気密封止されて真空状態に保持され、その空間内に圧電振動片2が収容される。
これに対して、本実施形態に係る圧電振動子のケース3は、ケース3をガラス管30で構成するとともに、プラグ4のプラグ本体40をガラス材料のみで構成している。これにより、プラグ本体40の外周面とガラス管30の内周面とを熱溶着して、ガラス管30の第1開口部30aを封止することができる。その結果、鋼板材料を深絞り加工してケースを形成する必要がなく、またプラグ本体40の外周の金属リングが不要になり、製造コストを低減することができる。
これに対して本実施形態では、ガラス材料からなるケース3を採用したので、ケース3の外側から圧電振動片にレーザ照射することが可能になる。そのため、封止工程の後に、真空中に保持された圧電振動片にレーザ照射して、周波数調整(微調)を行うことが可能になる。これにより、圧電振動子の完成品に近い状態で周波数調整を行うことが可能になり、圧電振動子の周波数を所定範囲内に収めることができるとともに、周波数のばらつきを低減することができる。
上述したように、本実施形態では、封止工程の後に周波数調整工程を実施する。周波数調整工程では、レーザ照射により重り金属膜を蒸発させるので、ケース内部でガスが発生する場合がある。発生したガスは、密閉封止されたケース3の内部に残留することになる。そこで、周波数調整工程の後にゲッター剤活性化工程を行うことにより、周波数調整工程で発生したガスを吸収してケース内部から除去し、ケース内部の真空度を向上させることができる。したがって、残留ガスの影響による圧電振動子の周波数のばらつきを抑制することができる。
この構成によれば、ケース3をガラス材料で構成することが可能になり、鋼板材料を深絞り加工してケースを形成する必要がなくなる。またプラグ本体40をガラス材料のみで構成することが可能になり、その外周に金属リングを設ける必要がなくなる。したがって、製造コストを低減することができる。また、ケース3の第1開口部30aにプラグ本体40が溶着されているので、気密封止の信頼性を向上させることができる。
次に、本発明に係る発振器の一実施形態について、図7を参照しながら説明する。
本実施形態の発振器110は、図7に示すように、圧電振動子1を、集積回路111に電気的に接続された発振子として構成したものである。この発振器110は、コンデンサ等の電子部品112が実装された基板113を備えている。基板113には、発振器用の前記集積回路111が実装されており、この集積回路111の近傍に、圧電振動子1の圧電振動片2が実装されている。これら電子部品112、集積回路111及び圧電振動子1は、図示しない配線パターンによってそれぞれ電気的に接続されている。なお、各構成部品は、図示しない樹脂によりモールドされている。
また、集積回路111の構成を、例えば、RTC(リアルタイムクロック)モジュール等を要求に応じて選択的に設定することで、時計用単機能発振器等の他、当該機器や外部機器の動作日や時刻を制御したり、時刻やカレンダー等を提供したりする機能を付加することができる。
次に、本発明に係る電子機器の一実施形態について、図8を参照して説明する。なお電子機器として、前述した圧電振動子1を有する携帯情報機器120を例にして説明する。始めに本実施形態の携帯情報機器120は、例えば、携帯電話に代表されるものであり、従来技術における腕時計を発展、改良したものである。外観は腕時計に類似し、文字盤に相当する部分に液晶ディスプレイを配し、この画面上に現在の時刻等を表示させることができるものである。また、通信機として利用する場合には、手首から外し、バンドの内側部分に内蔵されたスピーカ及びマイクロフォンによって、従来技術の携帯電話と同様の通信を行うことが可能である。しかしながら、従来の携帯電話と比較して、格段に小型化及び軽量化されている。
無線部127は、音声データ等の各種データを、アンテナ135を介して基地局と送受信のやりとりを行う。音声処理部128は、無線部127又は増幅部130から入力された音声信号を符号化及び複号化する。増幅部130は、音声処理部128又は音声入出力部131から入力された信号を、所定のレベルまで増幅する。音声入出力部131は、スピーカやマイクロフォン等からなり、着信音や受話音声を拡声したり、音声を集音したりする。
なお、呼制御メモリ部134は、通信の発着呼制御に係るプログラムを格納する。また、電話番号入力部132は、例えば、0から9の番号キー及びその他のキーを備えており、これら番号キー等を押下することにより、通話先の電話番号等が入力される。
なお、通信部124の機能に係る部分の電源を、選択的に遮断することができる電源遮断部136を備えることで、通信部124の機能をより確実に停止することができる。
次に、本発明に係る電波時計の一実施形態について、図9を参照して説明する。
本実施形態の電波時計140は、図9に示すように、フィルタ部141に電気的に接続された圧電振動子1を備えたものであり、時計情報を含む標準の電波を受信して、正確な時刻に自動修正して表示する機能を備えた時計である。
日本国内には、福島県(40kHz)と佐賀県(60kHz)とに、標準の電波を送信する送信所(送信局)があり、それぞれ標準電波を送信している。40kHz若しくは60kHzのような長波は、地表を伝播する性質と、電離層と地表とを反射しながら伝播する性質とを併せもつため、伝播範囲が広く、前述した2つの送信所で日本国内を全て網羅している。
アンテナ142は、40kHz若しくは60kHzの長波の標準電波を受信する。長波の標準電波は、タイムコードと呼ばれる時刻情報を、40kHz若しくは60kHzの搬送波にAM変調をかけたものである。受信された長波の標準電波は、アンプ143によって増幅され、複数の圧電振動子1を有するフィルタ部141によって濾波、同調される。
本実施形態における圧電振動子1は、前記搬送周波数と同一の40kHz及び60kHzの共振周波数を有する水晶振動子部148、149をそれぞれ備えている。
続いて、波形整形回路145を介してタイムコードが取り出され、CPU146でカウントされる。CPU146では、現在の年、積算日、曜日、時刻等の情報を読み取る。読み取られた情報は、RTC148に反映され、正確な時刻情報が表示される。
搬送波は、40kHz若しくは60kHzであるから、水晶振動子部148、149は、前述した音叉型の構造を持つ振動子が好適である。
Claims (9)
- 圧電板の表面に励振電極を備えた圧電振動片と、
前記圧電振動片がマウントされたリード端子と、
前記リード端子の中間部に固着されたプラグ本体と、
前記圧電振動片を内部空間に収容するケースと、を備え、
ガラス材料からなる前記ケースの第1開口部に、ガラス材料からなる前記プラグ本体が溶着されて、前記ケースの内部空間が真空封止されていることを特徴とする圧電振動子。 - 前記ケースの内部に、レーザ照射により活性化するゲッター剤が配置されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電振動子。
- 請求項1または2に記載の圧電振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とする発振器。
- 請求項1または2に記載の圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴とする電子機器。
- 請求項1または2に記載の圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする電波時計。
- 圧電板の表面に励振電極を備えた圧電振動片と、前記圧電振動片がマウントされたリード端子と、前記リード端子の中間部に固着されたプラグ本体と、前記圧電振動片を内部空間に収容するケースと、を備えた圧電振動子の製造方法であって、
前記圧電振動片を前記リード端子にマウントするマウント工程と、
ガラス材料からなる前記ケースの第1開口部に、ガラス材料からなる前記プラグ本体を溶着して、前記ケースの内部空間を真空封止する封止工程と、
を有することを特徴とする圧電振動子の製造方法。 - 前記封止工程は、
前記ケースとなるガラス管の前記第1開口部に、前記プラグ本体を溶着する第1封止工程と、
真空下で前記ガラス管の第2開口部を閉塞し、前記ガラス管の内部空間を真空封止する第2封止工程と、
を有することを特徴とする請求項6に記載の圧電振動子の製造方法。 - 前記封止工程の後に、前記ケースの外側からレーザを照射して、前記圧電振動片の周波数を調整する周波数調整工程を有することを特徴とする請求項6または7に記載の圧電振動子の製造方法。
- 前記ガラス管の内部に、レーザ照射により活性化するゲッター剤が配置され、
前記封止工程の後に、前記ケースの外側からレーザを照射して、前記ゲッター剤を活性化するゲッター剤活性化工程を有することを特徴とする請求項6ないし8のいずれか1項に記載の圧電振動子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008044397A JP2009206592A (ja) | 2008-02-26 | 2008-02-26 | 圧電振動子、発振器、電子機器、電波時計および圧電振動子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008044397A JP2009206592A (ja) | 2008-02-26 | 2008-02-26 | 圧電振動子、発振器、電子機器、電波時計および圧電振動子の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009206592A true JP2009206592A (ja) | 2009-09-10 |
Family
ID=41148472
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008044397A Withdrawn JP2009206592A (ja) | 2008-02-26 | 2008-02-26 | 圧電振動子、発振器、電子機器、電波時計および圧電振動子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009206592A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20110164473A1 (en) * | 2008-08-27 | 2011-07-07 | Osamu Onitsuka | Piezoelectric vibrator, oscillator, electronic equipment and radio-controlled timepiece, and method of manufacturing piezoelectric vibrator |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5388594A (en) * | 1977-01-14 | 1978-08-04 | Citizen Watch Co Ltd | Case of crystal vibrator for wristwatches |
JPS53107265A (en) * | 1977-03-02 | 1978-09-19 | Citizen Watch Co Ltd | Miniature high-vacuum container |
JPS57115012A (en) * | 1981-01-09 | 1982-07-17 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Glass sealed quartz oscillator and its manufacture |
JPS57170612A (en) * | 1981-04-14 | 1982-10-20 | Seiko Epson Corp | Mounting method for glass-sealed quartz oscillator |
JPS61171032A (ja) * | 1985-01-23 | 1986-08-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像表示装置の製造方法 |
JPS62203515U (ja) * | 1986-06-18 | 1987-12-25 | ||
JPS6348909A (ja) * | 1986-08-18 | 1988-03-01 | Matsushima Kogyo Co Ltd | ガラス封止圧電振動子とその製造方法 |
JP2003142976A (ja) * | 2001-10-31 | 2003-05-16 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動子及びその製造方法 |
JP2006217497A (ja) * | 2005-02-07 | 2006-08-17 | Seiko Instruments Inc | 水晶振動片の製造方法および水晶振動子、発振器及び電子機器 |
JP2007251239A (ja) * | 2006-03-13 | 2007-09-27 | Epson Toyocom Corp | 圧電デバイスおよび圧電デバイスの製造方法 |
-
2008
- 2008-02-26 JP JP2008044397A patent/JP2009206592A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5388594A (en) * | 1977-01-14 | 1978-08-04 | Citizen Watch Co Ltd | Case of crystal vibrator for wristwatches |
JPS53107265A (en) * | 1977-03-02 | 1978-09-19 | Citizen Watch Co Ltd | Miniature high-vacuum container |
JPS57115012A (en) * | 1981-01-09 | 1982-07-17 | Matsushima Kogyo Co Ltd | Glass sealed quartz oscillator and its manufacture |
JPS57170612A (en) * | 1981-04-14 | 1982-10-20 | Seiko Epson Corp | Mounting method for glass-sealed quartz oscillator |
JPS61171032A (ja) * | 1985-01-23 | 1986-08-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 画像表示装置の製造方法 |
JPS62203515U (ja) * | 1986-06-18 | 1987-12-25 | ||
JPS6348909A (ja) * | 1986-08-18 | 1988-03-01 | Matsushima Kogyo Co Ltd | ガラス封止圧電振動子とその製造方法 |
JP2003142976A (ja) * | 2001-10-31 | 2003-05-16 | Seiko Instruments Inc | 圧電振動子及びその製造方法 |
JP2006217497A (ja) * | 2005-02-07 | 2006-08-17 | Seiko Instruments Inc | 水晶振動片の製造方法および水晶振動子、発振器及び電子機器 |
JP2007251239A (ja) * | 2006-03-13 | 2007-09-27 | Epson Toyocom Corp | 圧電デバイスおよび圧電デバイスの製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20110164473A1 (en) * | 2008-08-27 | 2011-07-07 | Osamu Onitsuka | Piezoelectric vibrator, oscillator, electronic equipment and radio-controlled timepiece, and method of manufacturing piezoelectric vibrator |
US8400050B2 (en) * | 2008-08-27 | 2013-03-19 | Seiko Instruments Inc. | Piezoelectric vibrator having a restriction portion for restricting scattering of a getter material, oscillator, electronic equipment and radio-controlled timepiece |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5184142B2 (ja) | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法 | |
JP5237976B2 (ja) | 圧電振動子、圧電振動子の製造方法、発振器、電子機器及び電波時計 | |
JP5185650B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法及びウエハ | |
JP5128262B2 (ja) | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法 | |
JP2007116056A (ja) | 気密端子とその製造方法、圧電振動子とその製造方法、発振器、電子機器及び電波時計 | |
JP2011049665A (ja) | 圧電振動子、圧電振動子の製造方法、発振器、電子機器および電波時計 | |
JP5226073B2 (ja) | 圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計 | |
JP5121934B2 (ja) | 圧電振動子の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計 | |
JP2011142591A (ja) | 圧電振動子の製造方法、発振器、電子機器および電波時計 | |
JP5529463B2 (ja) | パッケージの製造方法および圧電振動子の製造方法 | |
JP2009206759A (ja) | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法 | |
JP5155685B2 (ja) | 圧電振動片の製造方法 | |
JP2009194629A (ja) | 圧電振動片の製造方法、圧電振動片、ウエハ、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 | |
JP5128669B2 (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
WO2010097901A1 (ja) | 陽極接合方法、パッケージの製造方法、圧電振動子の製造方法、発振器、電子機器および電波時計 | |
JP5184648B2 (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
JP4990689B2 (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
JP4937020B2 (ja) | 圧電振動子の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 | |
JP2012080460A (ja) | パッケージの製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計 | |
JP2009206592A (ja) | 圧電振動子、発振器、電子機器、電波時計および圧電振動子の製造方法 | |
JP4865746B2 (ja) | 気密端子および圧電振動子の製造方法、気密端子、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計 | |
JP4959302B2 (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
JP2011166617A (ja) | 圧電振動子の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計 | |
JP2009206147A (ja) | 気密端子および圧電振動子の製造方法、気密端子、圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計 | |
JP4902321B2 (ja) | 圧電振動子の製造方法、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091108 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091113 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101208 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120820 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120828 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20121025 |