JP7043035B2 - 音叉型圧電振動子及びその製造方法 - Google Patents
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Description
まず、図1~図5を参照しつつ、本発明の第1実施形態に係る音叉型水晶振動子(Tuning-Fork Quartz Crystal Resonator Unit)1の構成について説明する。図1は、第1実施形態に係る音叉型水晶振動子の構成を概略的に示す分解斜視図である。図2は、図1に示した音叉型水晶振動子のII-II線に沿った断面の構成を概略的に示す断面図である。図3及び図4は、第1実施形態に係る音叉型水晶振動素子の構成を概略的に示す平面図である。図5は、図3及び図4に示した音叉型水晶振動素子のV-V線に沿った断面の構成を概略的に示す断面図である。
第1励振電極82a及び第2励振電極82bによって印加される駆動信号(交番電圧)により音叉型水晶振動素子10に電界が生じる。駆動信号は、外部から第1接続電極86a及び第2接続電極86bを介して第1励振電極82a及び第2励振電極82bに印加される。そして、水晶片11の圧電効果によって、第1振動腕部60a及び第2振動腕部60bの根元部を支点として、第1振動腕部60a及び第2振動腕部60bが図3及び図4に示す矢印A方向と矢印B方向とに交互に撓むように変位する屈曲振動を発生させる。矢印A方向は、第1振動腕部60a及び第2振動腕部60bが互いに離れる方向であり、矢印B方向は、第1振動腕部60a及び第2振動腕部60bが互いに近づく方向である。すなわち、音叉型水晶振動素子10の第1振動腕部60a及び第2振動腕部60bが、X軸方向において互いに逆相の屈曲振動モードで振動する。
次に、図6~図11を参照しつつ、第1実施形態に係る音叉型水晶振動子1の製造方法について説明する。図6は、第1実施形態に係る音叉型水晶振動子の製造方法を概略的に示すフローチャートである。図7は、接続電極を形成する工程を概略的に示す図である。図8は、ベース部材に導電性接着剤を塗布する工程を概略的に示す図である。図9は、音叉型水晶振動素子を導電性接着剤の上に載せる工程を概略的に示す図である。図10は、導電性接着剤を硬化させる工程を概略的に示す図である。図11は、ベース部材と蓋部材とを接合する工程を概略的に示す図である。
本工程では、人工水晶の単結晶からXY面が主面となるように水晶基板を切り出し、フォトリソグラフィ工法を用いたウェットエッチングによって水晶基板の一部を除去し、基部50、第1振動腕部60a及び第2振動腕部60bの外形を形成する。
この「電極」は、音叉型水晶振動素子10に設けられる各種電極の総称として用い、具体的には、第1及び第2励振電極82a,82bと、第1及び第2引出電極84a,84bと、第1及び第2接続電極86a,86bとを指す。
まず、アルミナを主原料とするセラミック粉末を用いてグリーンシートを成形する。次に、グリーンシートに、凹部39およびビアホールを形成し、ビアホール内にビア電極34a,34bを設ける。次に、グリーンシートに封止部材37、電極パッド33a,33b及び外部電極35a,35bを、物理蒸着や化学蒸着によって設ける。封止部材37及び電極パッド33a,33bには、モリブデン(Mo)層、ニッケル(Ni)層及び金(Au)層がこの順で設けられる。次に、当該グリーンシートを水素雰囲気化において約1600℃で焼成する。これにより、セラミック(アルミナ)からなる基体31が得られる。このとき、基体31は、焼成によって例えば約20%収縮する。なお、封止部材37、電極パッド33a,133b及び外部電極35a,35bは、電気メッキや塗布によって設けられてもよい。なお、凹部39及びビアホールは、グリーンシートの焼成後に形成されてもよい。封止部材37、電極パッド33a,133b及び外部電極35a,35bについてもグリーンシートの焼成後に形成してもよい。
導電性接着剤73は、電極パッド33a,33bの上に、例えばディスペンサによって供給される。第2電極パッド33bの上に供給される導電性接着剤73が、第1電極パッド33aの上に供給される導電性接着剤73よりも多くなるように、導電性接着剤73の供給量を調整する。言い換えると、導電性接着剤73における第2接続電極86bに対する接触面75bの外周が、導電性接着剤73における第1接続電極86aに対する接触面75aの外周よりも長くなるように、導電性接着剤73を設ける。なお、導電性接着剤73は、供給量を調整可能であれば、その塗布方法を限定されるものではない。導電性接着剤73は、グラビア印刷方式やスクリーン印刷方式やインクジェット方式などによって設けられてもよい。
本工程は、言い換えると、接続電極86a,86bとベース部材30との間に導電性接着剤73を設ける工程である。図9及び図10に示すように、導電性接着剤73が下面50A及び後端面50Dに沿って第2接続電極86bに接触するように、言い換えれば、第2接続電極86bと導電性接着剤73との接触面75bが下面50A及び後端面50Dに沿って形成されるように、音叉型水晶振動素子10を導電性接着剤73の上に静置する。このとき、導電性接着剤73は下面50Aに沿って第1接続電極86aに接触し、第1接続電極86aと導電性接着剤73との接触面75aが下面50Aに沿って形成される。このとき、第2接続電極86bと導電性接着剤73との接触面75bの面積が第1接続電極86aと導電性接着剤73との接触面75aの面積よりも大きい。図10に示すように、導電性接着剤73の上に静置された後、音叉型水晶振動素子10には、支点と重心との不一致によってモーメントが生じる。これによって、音叉型水晶振動素子10の振動腕部の先端がベース部材30の底板部38aに向かって接近する。本実施形態においては、第2接続電極86bに接触する導電性接着剤73の表面張力が、第1接続電極86aに接触する導電性接着剤73の表面張力よりも大きいため、音叉型水晶振動素子10が傾く方向のモーメントが相殺されて減少する。
本工程においては、導電性接着剤73を加熱して熱硬化させて導電性保持部材36a,36bを得る。
図11に示すように、接合部材40を間に挟んだ状態で蓋部材20及びベース部材30が互いに接近する方向に加圧しつつ加熱する。封止部材37と接合部材40とが共晶接合される。以上により、第1実施形態に係る音叉型水晶振動子1が製造される。
音叉型水晶振動素子を平面視したとき、ベース部材に音叉型水晶振動素子を保持している一対の導電性保持部材が並ぶ方向において、音叉型水晶振動素子の重心は、基部の外側であって基部から視て錘部の側に位置している。ベース部材に略片持ち保持された音叉型水晶振動素子に衝撃が加わると、音叉型水晶振動素子の保持位置より重心の位置が錘部の側にあるため、重心を力点、錘部に近い方の導電性保持部材を支点、錘部から遠い方の導電性保持部材を作用点とするテコの原理が作用する。そのため、錘部から遠い方の導電性保持部材には、錘部に近い方の導電性保持部材によりも大きな応力が作用する。本実施形態においては、錘部に近い方の導電性保持部材の接合面積より錘部から遠い方の導電性保持部材の接合面の面積が大きいため、錘部から遠い方の導電性保持部材と音叉型水晶振動素子との接合強度が、錘部に近い方の導電性保持部材と音叉型水晶振動素子との接合強度よりも強い。同様に、錘部から遠い方の導電性保持部材とベース部材との接合強度が、錘部に近い方の導電性保持部材とベース部材との接合強度よりも強い。つまり、一対の導電性保持部材のうち、落下等の衝撃によって作用する応力が大きい方の接合強度が、作用する応力の小さい方の接合強度よりも大きい。したがって、音叉型水晶振動子に外部応力が加わったとき、錘部から遠い方の導電性保持部材と音叉型水晶振動素子との間で発生する剥離、あるいは錘部から遠い方の導電性保持部材とベース部材との間での剥離の発生を低減できる。
好ましくは、平面視したとき、第1の錘部から遠い方の導電性保持部材の一部が、第1の錘部の重心、簡略には第1の錘部を形成する電極の図心と、第1の錘部に近い方の導電性保持部材の図心とを通る直線L1上に配置されている。好ましくは、平面視したとき、第2の錘部から遠い方の導電性保持部材の一部が、第2の錘部の重心、簡略には第2の錘部を形成する電極の図心と、第2の錘部に近い方の導電性保持部材の図心とを通る直線L2上に配置されている。言い換えると、平面視したとき、第1及び第2の錘部から遠い方の導電性保持部材において、第1及び第2の錘部に近い方の辺Lx1と、辺Lx1に対向しており第1及び第2の錘部から遠い方の辺Lx2とのうち少なくとも辺Lx1が、第1の錘部の重心、簡略には第1の錘部を形成する電極の図心と、第1の錘部に近い方の導電性保持部材の図心とを通る直線L1上に配置されるのが好ましい。また、辺Lx1と辺Lx2とのうち少なくとも辺Lx1が、第2の錘部の重心、簡略には第2の錘部を形成する電極の図心と、第2の錘部に近い方の導電性保持部材の図心とを通る直線L2上に配置されるのが好ましい。より好ましくは、辺Lx1と辺Lx2とのいずれもが直線L1上に配置されている。また、より好ましくは、辺Lx1と辺Lx2とのいずれもが直線L2上に配置されている。
これによれば、一対の接続電極と一対の励振電極とを繋ぐ一対の引出電極において、一対の接続電極から、一対の振動腕部の一方側に延びる引出電極の長さと、一対の振動腕部の他方側に延びる引出電極の長さとの差を小さくできる。したがって、一対の引出電極における配線抵抗のバランスが良好となる。また、一対の振動腕部のうち一方から視て他方側への音叉型水晶振動素子の傾きを抑制できる。したがって、実装姿勢のバランスが良好となる。
10…音叉型水晶振動素子
11…水晶片
12A…第1主面
12B…第2主面
20…蓋部材
30…ベース部材
33a,33b…電極パッド
36a,36b…導電性保持部材
40…接合部材
50…基部
60a,60b…振動腕部
62a,62b…腕部
64a,64b…錘部
63a,63b…溝部
82a,82b…励振電極
84a,84b…引出電極
86a,86b…接続電極
Claims (11)
- 基部と、前記基部から延在するとともに前記基部とは反対の先端に設けられた錘部を有する一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部に設けられた一対の励振電極と、前記一対の励振電極に電気的に接続され且つ前記基部に設けられた一対の接続電極と、を有する音叉型圧電振動素子と、
前記一対の接続電極との間に導電性保持部材を挟んで前記音叉型圧電振動素子が搭載されたベース部材と、
を備え、
前記一対の接続電極は、それぞれ、前記一対の振動腕が延在する方向に並んで設けられ、
前記一対の接続電極は、前記基部における前記錘部の側であって前記ベース部材に対向する主面に配置された第1接続電極と、前記基部における前記錘部とは反対の側であって前記主面及び前記主面と交差する側面に配置された第2接続電極とを含み、
前記導電性保持部材は、前記主面に沿って前記第1接続電極に接合された第1導電性保持部材と、前記主面及び前記側面に沿って前記第2接続電極に接合された第2導電性保持部材とを含む、音叉型圧電振動子。 - 前記第1接続電極及び前記第2接続電極は、前記一対の振動腕が延在する方向と平行な前記基部の中心線に沿って並んでいる、
請求項1に記載の音叉型圧電振動子。 - 前記ベース部材は、前記音叉型圧電振動素子が収容される凹部を有し、
前記ベース部材の凹部を覆う蓋部材をさらに備える、
請求項1又は2に記載の音叉型圧電振動子。 - 前記第2接続電極と前記第2導電性保持部材との接合面の外周は、前記第1接続電極と前記第1導電性保持部材との接合面の外周よりも長い、
請求項1から3のいずれか1項に記載の音叉型圧電振動子。 - 前記第2接続電極と前記第2導電性保持部材との接合面の面積は、前記第1接続電極と前記第1導電性保持部材との接合面の面積よりも大きい、
請求項1から4のいずれか1項に記載の音叉型圧電振動子。 - 前記第2導電性保持部材の体積は、前記第1導電性保持部材の体積よりも大きい、
請求項1から5のいずれか1項に記載の音叉型圧電振動子。 - 前記第2導電性保持部材の露出面の表面積は、前記第1導電性保持部材の露出面の表面積よりも大きい、
請求項1から6のいずれか1項に記載の音叉型圧電振動子。 - 前記音叉型圧電振動素子は水晶振動素子である、
請求項1から7のいずれか1項に記載の音叉型圧電振動子。 - 基部と、前記基部から並行に延在するとともに前記基部とは反対の先端に設けられた錘部を有する一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部に設けられた一対の励振電極と、前記一対の励振電極に電気的に接続され且つ前記基部に設けられた一対の接続電極と、を有する音叉型圧電振動素子を準備すること、
ベース部材を準備すること、
前記音叉型圧電振動素子の前記一対の接続電極と前記ベース部材との間に導電性接着剤を設けること、及び、
前記導電性接着剤を硬化させて導電性保持部材を得ること、
を備え、
前記一対の接続電極は、それぞれ、前記一対の振動腕が延在する方向に並んで設けられ、
前記一対の接続電極は、前記基部における前記錘部の側であって前記ベース部材に対向する主面に配置された第1接続電極と、前記基部における前記錘部とは反対の側であって前記主面及び前記主面と交差する側面に配置された第2接続電極とを含み、
前記導電性接着剤を設けることは、前記主面に沿って前記第1接続電極に接触する第1導電性接着剤を設けること、及び、前記主面及び前記側面に沿って前記第2接続電極に接触する第2導電性接着剤を設けることを含み、
前記導電性保持部材と前記第2接続電極との接合面の面積が、前記導電性保持部材と前記第1接続電極との接合面の面積よりも大きい、
音叉型圧電振動子の製造方法。 - 基部と、前記基部から並行に延在するとともに前記基部とは反対の先端に設けられた錘部を有する一対の振動腕部と、前記一対の振動腕部に設けられた一対の励振電極と、前記一対の励振電極に電気的に接続され且つ前記基部に設けられた一対の接続電極と、を有する音叉型圧電振動素子を準備すること、
ベース部材を準備すること、
前記音叉型圧電振動素子の前記一対の接続電極と前記ベース部材との間に導電性接着剤を設けること、及び、
前記導電性接着剤を硬化させて導電性保持部材を得ること、
を備え、
前記一対の接続電極は、それぞれ、前記一対の振動腕が延在する方向に並んで設けられ、
前記一対の接続電極は、前記基部における前記錘部の側であって前記ベース部材に対向する主面に配置された第1接続電極と、前記基部における前記錘部とは反対の側であって前記主面及び前記主面と交差する側面に配置された第2接続電極とを含み、
前記導電性接着剤を設けることは、前記主面に沿って前記第1接続電極に接触する第1導電性接着剤を設けること、及び、前記主面及び前記側面に沿って前記第2接続電極に接触する第2導電性接着剤を設けることを含み、
前記導電性接着剤を設けることは、前記第2導電性接着剤の前記第2接続電極に対する接触面の外周が、前記第1導電性接着剤の前記第1接続電極に対する接触面の外周よりも長くなるように前記導電性接着剤を設ける、
音叉型圧電振動子の製造方法。 - 前記導電性接着剤を設けることは、前記第2導電性接着剤を、前記第1導電性接着剤よりも多く供給する、
請求項9又は10に記載の音叉型圧電振動子の製造方法。
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