JP2010109528A - 圧電振動片、および圧電デバイス - Google Patents
圧電振動片、および圧電デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010109528A JP2010109528A JP2008277805A JP2008277805A JP2010109528A JP 2010109528 A JP2010109528 A JP 2010109528A JP 2008277805 A JP2008277805 A JP 2008277805A JP 2008277805 A JP2008277805 A JP 2008277805A JP 2010109528 A JP2010109528 A JP 2010109528A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- connection
- piezoelectric
- electrode
- connection electrode
- vibrating piece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】圧電振動片の一例としての水晶振動片10は、圧電振動部11と、圧電振動部11の周囲を取り囲む枠部12と、圧電振動部11と枠部12とを接続する接続部15a,15bと、圧電振動部11の一方の面である上面11aに設けられた第1の励振電極13と、圧電振動部11の他方の面である下面11bに設けられた第2の励振電極14と、第1の励振電極13と電気的に接続されている第1の接続電極23と、第2の励振電極14と電気的に接続されている第2の接続電極33と、を有している。第1の接続電極23は、さらに、接続部15aの側面15e、接続部15aの他方の面(下面)15d、および枠部12の内側部12aの他方の面(下面)12dに延設されている。
【選択図】図1
Description
先ず図1を参照しながら圧電振動片としての水晶振動片について説明する。図1(A)、図1(B)及び図1(C)は、本実施の形態に係る水晶振動片を示しており、図1(A)は上面図、図1(B)は図1(A)のP−P断面図、図1(C)は下面図である。
これにより、F調工程においてプロービング端子を水晶振動片10の同一平面にプロービングすることが可能となる。従って、プローブ端子の構造を、例えばストレート端子など簡単な構造とすることができる。
次に、図2、および図5を参照しながら圧電デバイスについて説明する。図2は、本実施の形態に係る圧電デバイスを示す断面図である。図5は、圧電デバイスの製造方法を示す斜視図である。
圧電デバイス100を構成する上側基板20および下側基板30の材質は、絶縁性の材質であれば特に限定されないが、材質の熱膨張差を考慮すると圧電振動片と同一の材質であることが好ましい。本例では、圧電振動片として水晶振動片を用いていることから、上側基板20および下側基板30の材質は、水晶からなる。
次に、本実施の形態に係る圧電デバイス100の製造方法について説明する。
先ず、大型の水晶板を準備し、図1に示すスリット16a,16bを形成して、圧電振動部11および枠部12を設ける。この工程は、例えばフォトリソグラフィ技術を利用したウェットエッチングにより設けられる。このとき、少なくとも枠部12の外側部12cが上側基板20及び下側基板30と接合する面である表裏面(上面、下面)は、鏡面研磨加工する。鏡面研磨加工は、各接合面の表面粗さが好ましくは1nm以下となるように行う。
上述と並行して、複数の上側基板20を縦及び横方向に連続して配置した大型の上側水晶板120(図5参照)を準備する。
同様に、複数の下側基板30を縦及び横方向に連続して配置した大型の下側水晶板130(図5参照)を準備する。
前述のように準備された上側水晶板120、中間水晶板110、下側水晶板130の各接合面をプラズマ処理により表面活性化する。プラズマ処理後、中間水晶板110の上下面に上側水晶板120及び下側水晶板130を互いに重ね合わせる。
前述した圧電デバイスの変形例1を以下に図3に沿って説明する。図3は、圧電デバイスの変形例1を示す正断面図である。なお、前述した圧電デバイスと同じ構成については同符号を付けて説明を省略することもある。
前述した圧電デバイスの変形例2を以下に図4に沿って説明する。図4は、圧電デバイスの変形例2を示す正断面図である。
Claims (6)
- 圧電振動部と、
前記圧電振動部の周囲を囲む枠部と、
前記圧電振動部と前記枠部とを接続する接続部と、
前記圧電振動部の一方の面に形成された第1の励振電極と、
前記圧電振動部の他方の面に形成された第2の励振電極と、
前記第1の励振電極から、前記接続部の一方の面と前記接続部の側面とを通り、前記接続部の他方の面に延出された第1の接続電極と、
前記第2の励振電極から前記接続部の他方の面に延出された第2の接続電極と、を有することを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1に記載の圧電振動片において、
前記第1の接続電極は、前記接続部の他方の面から、前記圧電振動部を挟み反対側の前記枠部の他方の面まで延出されており、
前記第2の接続電極は前記接続部の他方の面から前記接続部が接続される側の前記枠部まで延出されていることを特徴とする圧電振動片。 - 圧電振動部と、前記圧電振動部の周囲を囲む枠部と、前記圧電振動部と前記枠部とを接続する接続部と、前記圧電振動部の一方の面に形成された第1の励振電極と、前記圧電振動部の他方の面に形成された第2の励振電極と、前記第1の励振電極から前記接続部の一方の面と前記接続部の側面とを通り、前記接続部の他方の面に延出された第1の接続電極と、前記第2の励振電極から前記接続部の一方の面に延出された第2の接続電極と、を含む圧電振動片と、
前記他方の面と対向するように前記圧電振動片と接続されたベース部と、を有することを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項3に記載の圧電デバイスにおいて、
前記第1の接続電極は、前記接続部の他方の面から、前記圧電振動部を挟み反対側の前記枠部の他方の面まで延出されており、
前記第2の接続電極は前記接続部の他方の面から前記接続部が接続される側の前記枠部まで延出されていることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項3または請求項4に記載の圧電デバイスにおいて、
さらに、前記ベース部の前記圧電振動片と対向する面に形成された、前記第1の接続電極および前記第2の接続電極と接続される第1の外部接続電極および第2の外部接続電極と、
前記第1の接続電極および前記第2の接続電極と前記圧電振動片との間、または前記第1の外部接続電極および前記第2の外部接続電極と前記ベース部との間の少なくとも一方に形成された、可撓性を有する第1の樹脂突起部とを有し、
前記第1の接続電極と前記第1の外部接続電極との接続、および前記第2の接続電極と前記第2の外部接続電極との接続は、前記第1の樹脂突起部を介して行われていることを特徴とする圧電デバイス。 - 請求項5に記載の圧電デバイスにおいて、
前記ベース部との間に前記圧電振動片を挟持する蓋体と、
前記第1の樹脂突起部に対向する前記圧電振動片の一方の面または前記蓋体の前記圧電振動片に対向する面の少なくとも一方に形成された第2の樹脂突起部と、を有し、
前記ベース部および前記蓋体との間で、対向する前記第1の樹脂突起部と前記第2の樹脂突起部とが前記圧電振動片を挟持していることを特徴とする圧電デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008277805A JP5277866B2 (ja) | 2008-10-29 | 2008-10-29 | 圧電振動片、および圧電デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008277805A JP5277866B2 (ja) | 2008-10-29 | 2008-10-29 | 圧電振動片、および圧電デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010109528A true JP2010109528A (ja) | 2010-05-13 |
JP5277866B2 JP5277866B2 (ja) | 2013-08-28 |
Family
ID=42298555
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008277805A Expired - Fee Related JP5277866B2 (ja) | 2008-10-29 | 2008-10-29 | 圧電振動片、および圧電デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5277866B2 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012100042A (ja) * | 2010-11-01 | 2012-05-24 | Nec Corp | 発振装置および電子機器 |
JP2012175492A (ja) * | 2011-02-23 | 2012-09-10 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法 |
CN102857186A (zh) * | 2011-06-30 | 2013-01-02 | 日本电波工业株式会社 | 压电元件以及压电元件的制造方法 |
JP2013012965A (ja) * | 2011-06-30 | 2013-01-17 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片及び圧電デバイス |
JP2013026810A (ja) * | 2011-07-21 | 2013-02-04 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片、圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法 |
JP2015192279A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電振動子、圧電デバイス及び圧電振動子の製造方法 |
CN105281696A (zh) * | 2014-05-30 | 2016-01-27 | 京瓷晶体元件有限公司 | 水晶器件以及水晶器件的制造方法 |
WO2017208866A1 (ja) * | 2016-05-31 | 2017-12-07 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子及びその製造方法 |
CN112968123A (zh) * | 2021-02-04 | 2021-06-15 | 电子科技大学 | 一种柔性薄膜式压电声发射传感器及其制作方法 |
WO2022131213A1 (ja) * | 2020-12-16 | 2022-06-23 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
WO2022154027A1 (ja) | 2021-01-18 | 2022-07-21 | オリエンタルモーター株式会社 | モータ制御装置およびそれを備えた駆動システム |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7386766B2 (ja) | 2020-07-14 | 2023-11-27 | 株式会社日立製作所 | ワーク搬出入装置の制御システム、ワーク搬出入装置、及びワーク搬出入装置の制御方法 |
Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01125112A (ja) * | 1987-11-10 | 1989-05-17 | Seiko Electronic Components Ltd | 水晶振動子の支持構造 |
JPH0575372A (ja) * | 1991-09-10 | 1993-03-26 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子及びその製造方法 |
JPH09172346A (ja) * | 1995-12-21 | 1997-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電共振部品およびその製造方法 |
JP2000049561A (ja) * | 1998-07-24 | 2000-02-18 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電振動子の構造及びその製造方法 |
JP2001144580A (ja) * | 1999-11-12 | 2001-05-25 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子 |
JP2002100955A (ja) * | 2000-09-22 | 2002-04-05 | Kyocera Corp | 圧電振動子及び圧電デバイス |
JP2002198768A (ja) * | 2000-11-29 | 2002-07-12 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 耐衝撃性が向上された水晶振動子 |
JP2005143042A (ja) * | 2003-11-10 | 2005-06-02 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイス |
JP2006074568A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイスの製造方法 |
JP2006148758A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Kyocera Kinseki Corp | 水晶振動子パッケージ |
JP2007013729A (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-18 | Kyocera Kinseki Corp | 水晶振動子の電極構造 |
JP2007150923A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電ウェハ |
JP2007214164A (ja) * | 2006-02-07 | 2007-08-23 | Epson Imaging Devices Corp | 電気光学装置、半導体装置、電気光学装置の製造方法及び電子機器 |
JP2007325250A (ja) * | 2006-05-01 | 2007-12-13 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動子およびその製造方法 |
JP2008236741A (ja) * | 2007-02-20 | 2008-10-02 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | パッケージ型圧電振動子及びパッケージ型圧電振動子の製造方法 |
JP2009260739A (ja) * | 2008-04-17 | 2009-11-05 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動子及び圧電素子の製造方法並びに圧電振動子の製造方法 |
-
2008
- 2008-10-29 JP JP2008277805A patent/JP5277866B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01125112A (ja) * | 1987-11-10 | 1989-05-17 | Seiko Electronic Components Ltd | 水晶振動子の支持構造 |
JPH0575372A (ja) * | 1991-09-10 | 1993-03-26 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子及びその製造方法 |
JPH09172346A (ja) * | 1995-12-21 | 1997-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電共振部品およびその製造方法 |
JP2000049561A (ja) * | 1998-07-24 | 2000-02-18 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電振動子の構造及びその製造方法 |
JP2001144580A (ja) * | 1999-11-12 | 2001-05-25 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子 |
JP2002100955A (ja) * | 2000-09-22 | 2002-04-05 | Kyocera Corp | 圧電振動子及び圧電デバイス |
JP2002198768A (ja) * | 2000-11-29 | 2002-07-12 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 耐衝撃性が向上された水晶振動子 |
JP2005143042A (ja) * | 2003-11-10 | 2005-06-02 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイス |
JP2006074568A (ja) * | 2004-09-03 | 2006-03-16 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイスの製造方法 |
JP2006148758A (ja) * | 2004-11-24 | 2006-06-08 | Kyocera Kinseki Corp | 水晶振動子パッケージ |
JP2007013729A (ja) * | 2005-06-30 | 2007-01-18 | Kyocera Kinseki Corp | 水晶振動子の電極構造 |
JP2007150923A (ja) * | 2005-11-30 | 2007-06-14 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電ウェハ |
JP2007214164A (ja) * | 2006-02-07 | 2007-08-23 | Epson Imaging Devices Corp | 電気光学装置、半導体装置、電気光学装置の製造方法及び電子機器 |
JP2007325250A (ja) * | 2006-05-01 | 2007-12-13 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動子およびその製造方法 |
JP2008236741A (ja) * | 2007-02-20 | 2008-10-02 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | パッケージ型圧電振動子及びパッケージ型圧電振動子の製造方法 |
JP2009260739A (ja) * | 2008-04-17 | 2009-11-05 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動子及び圧電素子の製造方法並びに圧電振動子の製造方法 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012100042A (ja) * | 2010-11-01 | 2012-05-24 | Nec Corp | 発振装置および電子機器 |
JP2012175492A (ja) * | 2011-02-23 | 2012-09-10 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法 |
CN102857186A (zh) * | 2011-06-30 | 2013-01-02 | 日本电波工业株式会社 | 压电元件以及压电元件的制造方法 |
JP2013012965A (ja) * | 2011-06-30 | 2013-01-17 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片及び圧電デバイス |
JP2013026810A (ja) * | 2011-07-21 | 2013-02-04 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片、圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法 |
JP2015192279A (ja) * | 2014-03-28 | 2015-11-02 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電振動子、圧電デバイス及び圧電振動子の製造方法 |
CN105281696A (zh) * | 2014-05-30 | 2016-01-27 | 京瓷晶体元件有限公司 | 水晶器件以及水晶器件的制造方法 |
CN105281696B (zh) * | 2014-05-30 | 2018-02-09 | 京瓷株式会社 | 水晶器件以及水晶器件的制造方法 |
WO2017208866A1 (ja) * | 2016-05-31 | 2017-12-07 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子及びその製造方法 |
JPWO2017208866A1 (ja) * | 2016-05-31 | 2019-03-07 | 株式会社村田製作所 | 水晶振動子及びその製造方法 |
WO2022131213A1 (ja) * | 2020-12-16 | 2022-06-23 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
WO2022154027A1 (ja) | 2021-01-18 | 2022-07-21 | オリエンタルモーター株式会社 | モータ制御装置およびそれを備えた駆動システム |
CN112968123A (zh) * | 2021-02-04 | 2021-06-15 | 电子科技大学 | 一种柔性薄膜式压电声发射传感器及其制作方法 |
CN112968123B (zh) * | 2021-02-04 | 2022-11-04 | 电子科技大学 | 一种柔性薄膜式压电声发射传感器及其制作方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5277866B2 (ja) | 2013-08-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5277866B2 (ja) | 圧電振動片、および圧電デバイス | |
JP4412506B2 (ja) | 圧電デバイスおよびその製造方法 | |
JP5880538B2 (ja) | 圧電振動片、圧電振動子、圧電振動片の製造方法、および圧電振動子の製造方法 | |
TWI649963B (zh) | Crystal vibration element | |
TWI699014B (zh) | 壓電振動元件 | |
JP2010187326A (ja) | 圧電振動子の製造方法、圧電振動子および発振器 | |
TWI668960B (zh) | 壓電振動元件以及具備其的系統整合封裝(sip)模組 | |
JP6737326B2 (ja) | 圧電振動デバイス | |
JP5397336B2 (ja) | 圧電振動片、および圧電振動子 | |
JP5263475B2 (ja) | 圧電デバイスおよびその製造方法 | |
JP5041145B2 (ja) | 圧電デバイス | |
JP5196121B2 (ja) | デバイス | |
JP2009130665A (ja) | 圧電発振器 | |
JP5771921B2 (ja) | 封止型デバイス及びその製造方法 | |
JP2015076670A (ja) | 圧電発振器 | |
JP2010093674A (ja) | 圧電デバイス及び圧電基板の製造方法 | |
JP2010258667A (ja) | 電子部品およびその製造方法、圧電振動子およびその製造方法 | |
JP2011160095A (ja) | 圧電振動片、圧電振動デバイス、及び圧電振動デバイスの製造方法 | |
JP5321867B2 (ja) | 圧電デバイスおよびその製造方法 | |
JP7307397B2 (ja) | 振動素子、振動子及び振動素子の製造方法 | |
JP2014195133A (ja) | 圧電発振器 | |
JP6944665B2 (ja) | 振動子及び振動子の製造方法 | |
JP5333806B2 (ja) | デバイス | |
US20230208388A1 (en) | Vibrator device and method for manufacturing vibrator device | |
JP5527564B2 (ja) | 振動デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20110729 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20110729 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110819 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111011 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121218 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130214 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20130214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130423 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130506 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |