JP6531616B2 - 水晶振動板、及び水晶振動デバイス - Google Patents
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本発明に係る水晶振動デバイス1の構成を、図1を参照しながら説明する。図1は、水晶振動子の一実施形態の各構成を示した概略構成図である。
本発明に係る水晶振動デバイス1の第1封止部材3について図2及び3を参照しながら説明する。図2は、第1封止部材の概略平面図、図3は、第1封止部材の概略底面図である。
本発明に係る水晶振動板2の実施形態について図4〜6を参照しながら説明する。図4Aは、水晶振動板の第1実施形態の概略平面図、図4Bは、水晶振動板の第1実施形態の他の例の概略平面図、図5は、水晶振動板の第1実施形態の概略底面図、図6Aは、図4Aに示すA−A線に沿う断面図、図6Bは、図4Bに示すB−B線に沿う断面図、図6Cは、水晶振動板の別の例の断面図である。
本発明に係る水晶振動デバイスの第2封止部材について図7及び8を参照しながら説明する。図7は、水晶振動子の第2封止部材の概略平面図、図8は、水晶振動子の第2封止部材の概略底面図である。
次に、上述した水晶振動板2、第1封止部材3、第2封止部材4を用いて水晶振動デバイス1を製造する方法について説明する。
以上、説明したとおり、本実施形態に係る水晶振動板2は、連結部22が振動部21の角部21aからATカットのZ´軸方向に突出し、外枠部23で保持されているので、従来の水晶振動板と異なり、圧電振動の変位が大きいX軸方向に沿った振動部21の中央位置で振動部21が保持されていない。従って、水晶振動板2を圧電振動させた場合、振動効率が高くて効率的に圧電振動させることができる。
つまり、水晶振動板の振動部21の周囲に沿って細長い切り抜き部24(図4、図5では、平面視逆凹形状体k1のうちX軸に沿った部分k12とk13、平面視逆凹形状体k1のうちZ´軸に沿った部分k11、平面視長方形状体k2のうちZ´軸に沿った部分k21)を形成する場合には、X軸に沿った切り抜き部(図4、図5では、k12とk13)の方が、これと直交する幅方向であるZ´軸方向にエッチングレート差が生じるために、Z´軸に沿った切り抜き部24(図4、図5では、k11とk21)よりも幅の太い切り抜き部24となり、水晶振動板2における有効面積が確保しにくくなる。
次に、第2実施形態の水晶振動デバイスの構成について、図9を参照しながら説明する。なお、本実施形態は、水晶振動板2における連結部22の位置及び数が異なるだけであるので、以下、その相違点についてのみ説明し、同一の構成要素については、同一符号を付してその説明の一部を省略する。
第2実施形態では、上記実施形態と同様に、水晶振動板2のZ´軸方向に長辺L1,L2がありX軸方向に短辺W1,W2がある略矩形状に形成されており、かつ振動部21のZ´軸方向に短辺W3,W4がありX軸方向に長辺L3,L4がある略矩形状に形成されている。
上述の実施形態における作用効果に加え、上記構成によると、振動部21がX軸方向に沿う辺の中央位置で保持されず、水晶振動板2を圧電振動させた場合、効率的に圧電振動させることができる。また、水晶振動板2の振動部21が、1つの角部21aのみから外枠部23に向けて突出された連結部22を介して外枠部23に保持されているので、連結部22の数を少なくしてより一層、外枠部23への振動漏れを防ぐことができる。また、連結部22を2つとした場合と比較して、応力のかかり具合を低減できるので、応力による周波数シフトを低減して安定して水晶振動板2を圧電振動させることができる。
11 接合材
12 パッケージ
13 内部空間
2 水晶振動板
2a 一主面
2b 他主面
21 振動部
21a 角部
22 連結部
23 外枠部
24 切り抜き部
211 第1励振電極
212 第2励振電極
213 メサ構造
214 第1引出電極
215 第2引出電極
216 振動側第1接合パターン
217 振動側第2接合パターン
k1 視逆凹形状体
k2 平面視長方形状体
k3 平面視略ロ字状体
3 第1封止部材
3a 第1封止部材の一主面
3b 第1封止部材の他主面
31 封止側第1接合パターン
4 第2封止部材
41 封止側第2接合パターン
42a 一外部電極端子
42b 他外部電極端子
h1 第1貫通孔
h2 第2貫通孔
h3 第3貫通孔
h4 第4貫通孔
h5 第5貫通孔
p1 第1配線パターン
p2 第2配線パターン
Claims (2)
- Z´軸方向に長辺がありX軸方向に短辺がある矩形状に形成され、ATカットの水晶振動板があり、
上記水晶振動板の中央部分に形成され、Z´軸方向に短辺がありX軸方向に長辺がある矩形状に形成され、一主面に形成された第1励振電極と他主面に形成された第2励振電極とが備えられた振動部と、
上記振動部の外周に形成された切り抜き部と、
上記切り抜き部の外周に形成された外枠部と、
上記振動部と外枠部を接続する連結部と、
を有し、
上記連結部は、上記振動部における1つの角部のみから上記外枠部に向けて突出されていること
を特徴とする水晶振動板。 - 請求項1に記載された水晶振動板と、
上記水晶振動板の前記一主面を覆う第1封止部材と、
上記水晶振動板の前記他主面を覆う第2封止部材と、
が備えられた水晶振動デバイス。
Priority Applications (1)
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JP2015211291A JP6531616B2 (ja) | 2015-10-27 | 2015-10-27 | 水晶振動板、及び水晶振動デバイス |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015211291A JP6531616B2 (ja) | 2015-10-27 | 2015-10-27 | 水晶振動板、及び水晶振動デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2017085327A JP2017085327A (ja) | 2017-05-18 |
JP6531616B2 true JP6531616B2 (ja) | 2019-06-19 |
Family
ID=58712150
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2015211291A Active JP6531616B2 (ja) | 2015-10-27 | 2015-10-27 | 水晶振動板、及び水晶振動デバイス |
Country Status (1)
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Families Citing this family (2)
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JP2013046127A (ja) * | 2011-08-23 | 2013-03-04 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片及び圧電デバイス |
JP2013093654A (ja) * | 2011-10-24 | 2013-05-16 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動片及び水晶デバイス |
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2015
- 2015-10-27 JP JP2015211291A patent/JP6531616B2/ja active Active
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JP2017085327A (ja) | 2017-05-18 |
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