JPH063657A - 位置決め用マーク - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 ２枚の基板が貼り合わされたサンプルには、
端子出し用アライメントマークＡと、セル分断用アライ
メントマークＢとが形成されている。これら両アライメ
ントマークＡ・Ｂは、それぞれ、従来通りの菱形マーク
２・２、又は十字マーク６・６に加え、これら菱形マー
ク２・２、又は十字マーク６・６を繋ぐ実線状マーク
３、一点鎖線状マーク７が形成されている。分断時の位
置決めは、これら実線状マーク３、一点鎖線状マーク７
の任意の２点を用いて行う。 【効果】 アライメントマークのマーク検索が短時間で
行え、位置決めが容易になり、ひいては、高精度の位置
決めを可能とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば液晶表示素子を
作製する際、配向膜印刷工程、基板の貼り合わせ工程、
セル分断工程等の各工程毎に必要である基板の位置決め
に用いられる位置決め用マークに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、液晶表示素子は、互いに対向し
た例えばガラス等からなる二つの基板の間に液晶材料が
介装された構成を有している。

【０００３】このような液晶表示素子の作製には、ま
ず、液晶表示素子の基板となる２枚のガラス基板を用意
する。そして、これらガラス基板の上にＩＴＯ膜を蒸着
後、電極パターンをフォトパターニングすることにより
ＩＴＯ電極を形成し、配向膜印刷、配向処理を施し、セ
ルギャップ材を散布すると共にシール印刷を行って、２
枚の基板をそれぞれの膜形成面が対向するように貼り合
わせる（基板の貼り合わせ工程）。その後、貼り合わさ
れた一対の基板を、所定の形状に分断し（セル分断工
程）、液晶材料を注入する。

【０００４】ところで、上記のように液晶表示素子を作
製する各工程においては、基板を各々の装置のステージ
上にセットするようになっている。そこで、問題となる
のが、ステージ上にセットされた基板の位置決めであ
る。この位置決めが不充分なものであると、即、液晶表
示素子の性能に影響を与え、製造時のロス増加に繋が
り、製造コスト上昇ということとなる。したがって、従
来では、基板上にフォトパターニングしてＩＴＯ電極を
形成する際、各工程別に位置決め用マークとしてのアラ
イメントマークを同時に形成し、このアライメントマー
クが、顕微鏡等を用いた位置決め用視野であるアライメ
ント視野の所定部位に位置するようにステージの位置を
調整することにより、基板の位置決めを行っている。以
下、このように、アライメント視野の所定部位にアライ
メントマークを捉えることを、アライメント視野にてア
ライメントマークを認識すると言う。

【０００５】例えば、セル分断工程においては、一対の
基板をダイシング装置のステージ上にセットし（プリア
ライメント）、セル分断ラインを示すべく予めセル分断
ラインの両端部方向に形成されている点状のアライメン
トマークの一方をアライメント視野にて認識し、次い
で、もう一方のアライメントマークも認識されるようス
テージを移動させて（平行出し）、基板の位置決めを行
っている。

【０００６】また、オフセット印刷を用いた配向膜印刷
工程においては、基板をオフセット印刷装置のステージ
上にセットし、基板に予め形成されている複数の点状の
アライメントマークが、アライメント視野内にて各々認
識されるように、ステージを移動させて基板の位置決め
を行っている。

【０００７】そして、近年においては、液晶表示素子の
大型化、高精細化が進み、より一層の高い位置決め精度
が要求されており、これに応えるため、アライメント視
野の倍率を上げ、高倍率のアライメント視野での位置決
めを行うようになってきている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の構成においては、基板の位置決めに用いられるアラ
イメントマークが、所定のポイントを示す点状のマーク
のみからなるため、近年の要求に応え、高倍率のアライ
メント視野にて位置決めを行った場合、プリアライメン
ト時の僅かなずれでもアライメントマークがアライメン
ト視野内から外れ、エラーとなり再びプリアライメント
を行うか、多大な時間を掛けてマーク検索を行ってお
り、作業性の向上が図れない等の問題を生じている。

【０００９】これは、アライメント視野の倍率を上げ、
高倍率視野で基板の位置決めを行う場合、高倍率視野で
アライメントマークを認識するため、必然的にアライメ
ントマーク自身が小さくなり、アライメント視野内から
外れ易くなるためである。

【００１０】さらに、作業性の低下を考えると、アライ
メント視野の倍率を思うように上げることができず、充
分に高い精度で基板の位置決めを行うことができないと
いう問題も生じている。

【００１１】そこで、本発明は、上記課題に鑑みなされ
たもので、プリアライメント時の僅かなずれにても、ア
ライメント視野内から外れ難いと共に、例えアライメン
ト視野内から外れた場合でも短時間でのマーク検索が可
能であるアライメントマークを提供することにより、ひ
いては、高倍率視野による高精度の位置決めを可能とす
ることを目的としている。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の位置決め用マー
クは、上記課題を解決するために、基板の位置決めに用
いられ、所定の部位が拡大して表わされる位置決め用視
野にて認識され、基板上の所定の点を示す点状のマーク
と、基板におけるＸ軸方向及びＹ軸方向の少なくとも何
れか一方を示す線状のマークとを組み合わせたマークか
らなることを特徴としている。

【００１３】

【作用】上記の構成によれば、位置決め用マークが、基
板上の所定の点を示す点状のマーク（以下、点状マーク
と略記する）と、基板におけるＸ軸方向及びＹ軸方向の
少なくとも何れか一方を示す線状のマーク（以下、線状
マークと略記する）とを組み合わせたマークからなる。
したがって、従来の構成においては、点状マークのみの
位置決め用マークであったため、点状マークがＸ軸方
向、Ｙ軸方向の何れの方向にずれても位置決め用視野内
から外れてしまうが、本発明の位置決め用マークにおい
ては、例え点状マークがずれても、そのずれ方向が線状
マークの延びる方向であれば線状マークが位置決め用視
野内に入るようになっている。また、例え、線状マーク
までもが位置決め用視野内から外れたとしても、線状マ
ークが形成されている方向、即ち、一軸方向の検索で、
線状マークを視野内に捉えることができるようになって
いる。線状マークを視野内に捉えることができれば、線
状マークに沿って基板を移動させることにより、容易に
点状マークを認識することができる。この結果、従来の
位置決め用マークを用いた場合に比べて、マーク検索に
要する時間を短縮することができ、位置決めが容易にな
る。

【００１４】さらに、基板の方向を合わせるだけでよい
例えばセル分断工程等における位置決めは、線状マーク
のみを用いて行えるので、従来の位置決め用マークを用
いた場合に比べて、より一層マーク検索に要する時間を
短縮することができ、位置決めが容易になる。

【００１５】このように、位置決めが容易になるので、
作業性に影響を及ぼすことなく、位置決め用視野の倍率
を高倍率に上げることができ、高精度の位置決めが可能
となる。

【００１６】

【実施例】

〔実施例１〕本発明の一実施例について図１ないし図５
に基づいて説明すれば、以下の通りである。尚、本実施
例は、本発明に係る位置決め用マークを、液晶表示素子
作製時の端子出し分断工程及びセル分断工程に用いた場
合を例示している。

【００１７】まず、液晶表示素子の基板となる例えばガ
ラスからなる基板上に、ＩＴＯ膜を蒸着し、このＩＴＯ
膜の上にフォト・レジストを塗布する。そして、このフ
ォト・レジストが塗布されている基板表面に、電極パタ
ーンと共に、配向膜印刷工程、基板の貼り合わせ工程、
端子出し工程、セル分断工程等に必要である各工程別の
アライメントマーク（位置決め用マーク）のパターンを
露光した後現像して余分な部分を取り除く。次いで、Ｉ
ＴＯ膜のフォト・レジストで覆われていない部分を薬品
で溶かし、最後に残りのフォト・レジストを除去し、基
板上に、ＩＴＯ電極と、各工程別のアライメントマーク
とを形成する。

【００１８】このようにして形成した２つの基板１ａ・
１ｂの平面図、正面図、側面図を図２・図３に示す。
尚、図面上においては、わかり易くするために、端子出
し工程及びセル分断工程に用いるアライメントマークの
み図示している。平面図においては、端子出し用アライ
メントマークＡが形成されている部分を一点鎖線で示す
一方、セル分断用アライメントマークＢが形成されてい
る部分を二点鎖線で示し、さらに、正規の分断ラインＣ
を破線にて示している。正面図、側面図においては、端
子出し用アライメントマークＡ及びセル分断用アライメ
ントマークＢが形成されている部分を矢印で示してい
る。また、基板１ａ・１ｂを貼り合わせた場合を想定し
て、図２の（ａ）に示す基板１ａは、ＩＴＯ電極が形成
されている面、つまり、アライメントマークＡ・Ｂが形
成されている面を紙面奥側にして図示し、図３の（ａ）
に示す基板１ｂはアライメントマークＡ・Ｂが形成され
ている面を手前側にして図示している。

【００１９】上記基板１ａ・１ｂに形成されている一点
鎖線で示す端子出し用アライメントマークＡは、その拡
大図である図１の（ａ）に示すように、点状マークであ
る菱形マーク２・２と、切り捨て方向を示す三角マーク
４と、菱形マーク２・２の間を繋ぐ正規の分断ラインＣ
から所定の距離を有して形成された線状マークである実
線状マーク３とから構成されている。一方、二点鎖線で
示すセル分断用アライメントマークＢは、図１の（ｂ）
に示すように、点状マークである十字マーク６・６と、
上記と同様の三角マーク４と、十字マーク６・６の間を
繋ぐ正規の分断ラインＣから所定の距離を有して形成さ
れた線状マークである一点鎖線状マーク７とから構成さ
れている。尚、上記三角マーク４、実線状マーク３、一
点鎖線状マーク７は、分断後、切り捨てられる領域に形
成されている。

【００２０】上記２つの基板１ａ・１ｂを、所定の基板
の貼り合わせ工程を施して、図４に示すように貼り合わ
せる（以下、この貼り合わせた一対の基板をサンプル５
と称する）。尚、図においては、説明を容易にするため
に、基板１ａと基板１ｂとが密着して表されているが、
実際には、図示しないセルギャップ材を介して貼り合わ
されており、所定の間隙を有している。

【００２１】次いで、上記サンプル５を、基板１ａ側を
上方に向けて、図示しないダイシング装置（（株）岡本
工作機械製作所製）のステージにセットする。

【００２２】そして、まず、上記サンプル５に対して端
子出し処理を行う。高倍率を有する位置決め用視野であ
るアライメント視野にて基板１ａに形成された端子出し
用アライメントマークＡを捉え、アライメント視野内に
入っている実線状マーク３の任意の２点が、アライメン
ト視野内の所定部位に位置するように、ステージを移動
させて（平行出し）、ステージの位置を調整することに
より、サンプル５の位置決めを行う。以下、このよう
に、アライメント視野の所定部位にマークを捉えること
を、アライメント視野にて認識すると言う。尚、アライ
メント視野内に、アライメントマークＡが入っていない
場合においては、実線状マーク３が形成されている方向
にステージを移動させることにより、アライメント視野
内に実線状マーク３を捉え、その後、上記と同様に実線
状マーク３の任意の２点を用いて、平行出しを行い、位
置決めを行う。

【００２３】このようにして、位置決めを行った後、実
線状マーク３と所定の間隔離れた正規の分断ラインＣに
て基板１ａの分断を行い、基板１ｂの端子出し部分を形
成する。尚、このような分断処理が施される分断ライン
は、実際に分断が必要な距離に対し、充分な余裕をもっ
た長さに設定されている。

【００２４】次いで、基板１ａの端子出し処理が終了し
たならば、サンプル５の表裏を反転した後９０°回転
し、上記と同様に、端子出し用アライメントマークＡに
てサンプル５の位置決めを行った後、基板１ｂの端子出
し処理を行い、基板１ａの端子出し部分を形成する。

【００２５】続いて、上記のように端子出し処理が施さ
れたサンプル５に対してセル分断処理を行う。アライメ
ント視野にて基板１ａに形成された分断用アライメント
マークＢを捉え、上記と同様に、アライメント視野内に
入っている一点鎖線状マーク７の任意の２点を認識して
（アライメント視野内に一点鎖線状マーク７が入ってい
ない場合は、上記と同様に検索する）、平行出し及び位
置決めを行った後、正規の分断ラインＣにて分断を行
う。但し、セル分断処理の場合、両基板１ａ・１ｂとも
一度に分断する。その後、サンプル５を９０°回転し、
上記と同様に、セル分断用アライメントマークＢにて位
置決めを行った後分断する。

【００２６】このようにして、端子出し処理、及びセル
分断処理が施されたサンプル５は、図５に示すように、
個々のセル５’となる。その後、所定の処理が施され、
液晶部材が注入される。

【００２７】以上のように、本実施例のサンプル５を構
成する各基板１ａ・１ｂに設けられた端子出し用アライ
メントマークＡ、及びセル分断用アライメントマークＢ
は、それぞれ、菱形マーク２・２、十字マーク６・６に
加えて、正規の分断ラインＣから所定の距離を有して形
成された実線状マーク３、一点鎖線状マーク７が形成さ
れた構成となっているので、従来のように、菱形マーク
２・２や、十字マーク６・６を用いずとも、菱形マーク
２・２、十字マーク６・６に比べてアライメント視野内
に入り易い実線状マーク３や、一点鎖線状マーク７上の
任意の二点を用いて、サンプル５の平行出しが行え、位
置決めができる。また、稀に、全くアライメント視野内
に、アライメントマークＡ・Ｂが認識されない場合にお
いても、従来のように、Ｘ・Ｙ軸両方向に検索しなくて
も、実線状マーク３、一点鎖線状マーク７が形成されて
いる一方向の検索のみで容易にアライメント視野内に実
線状マーク３、または一点鎖線状マーク７を捉えること
ができる。したがって、高倍率のアライメント視野を用
いた構成でも、アライメントマークの検索に多大な時間
を要することがなく、位置決めを容易に行える。

【００２８】〔実施例２〕本発明の他の実施例について
図６及び図７に基づいて説明すれば、以下の通りであ
る。尚、本実施例は、本発明に係る位置決め用マーク
を、液晶表示素子作製時の配向膜印刷工程に用いた場合
を例示している。また、上述の実施例の同一の機能を有
する部材については、同一の記号を付記する。

【００２９】本実施例の説明図である図６には、上記実
施例に用いた基板１ａに形成されている配向膜印刷工程
に用いられる配向膜印刷用アライメントマークＤと、セ
ルのパターン位置を表している。

【００３０】上記基板１ａに形成されている配向膜印刷
用アライメントマークＤは、その拡大図である図７に示
すように、菱形マーク２・２と、これら菱形マーク２・
２の両側に形成された実線状マーク３とから構成されて
いる。

【００３１】上記基板１ａに対して、配向膜印刷処理を
行う場合、まず、上記基板１ａを、図示しない配向膜印
刷用の版を備えたオフセット印刷装置のステージにセッ
トする。この場合、高倍率のアライメント視野は、予
め、版に合わせた正規の位置に設定されている。基板１
ａをセットした後、アライメント視野内の所定のポイン
トに上記菱形マーク２・２が位置するように、ステージ
を移動させて基板１ａの位置決めを行う。従来では、菱
形マーク２・２のみしか形成されていなかったため、菱
形マーク２・２がアライメント視野内から外れていた場
合、Ｘ・Ｙ両軸方向に検索を行い、この検索のために多
大な時間を要したが、本実施例のアライメントマークＤ
は、図７に示すように、菱形マーク２・２の両端に、実
線状マーク３が形成されているため、この実線状マーク
３にて菱形マーク２・２の形成されている方向がわかる
ので、これに基づいてステージを移動させ、菱形マーク
２・２を認識し、位置決めを行う。その後、所定の配向
膜印刷処理を施し、基板１ａに配向膜を印刷する。

【００３２】以上のように、本実施例のアライメントマ
ークＤも、上記実施例と同様に、配向膜印刷用アライメ
ントマークＤが、点状の菱形マーク２・２と、これら菱
形マーク２・２の両側に形成された実線状マーク３とか
ら構成されているので、実線状マーク３にて検索方向が
判断でき、菱形マーク２・２を容易に認識できる。した
がって、前実施例と同様に、高倍率のアライメント視野
を用いても、容易に位置決めを行うことができる。

【００３３】

【発明の効果】本発明の位置決め用マークは、上記課題
を解決するために、基板の位置決めに用いられ、所定の
部位が拡大して表わされる位置決め用視野にて認識さ
れ、基板上の所定の点を示す点状のマークと、基板にお
けるＸ軸方向及びＹ軸方向の少なくとも何れか一方を示
す線状のマークとを組み合わせたマークからなる構成で
ある。

【００３４】それゆえ、従来の位置決め用マークを用い
た場合に比べて、マーク検索に要する時間を短縮するこ
とができ、位置決めが容易になり、ひいては、アライメ
ント視野の倍率を高倍率に上げることができ、高精度の
位置決めを行うことができるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例におけるアライメントマーク
の形状を示すものであり、（ａ）は端子出し用アライメ
ントマークの説明図で、（ｂ）はセル分断用アライメン
トマークの説明図である。

【図２】（ａ）は上記両アライメントマークが形成され
た基板の平面図で、（ｂ）はその正面図で、（ｃ）はそ
の側面図である。

【図３】（ａ）は上記両アライメントマークが形成され
たもう一方の基板の平面図で、（ｂ）はその正面図で、
（ｃ）はその側面図である。

【図４】（ａ）は図２の基板と図３の基板が貼り合わさ
れて形成されたサンプルの平面図で、（ｂ）はその正面
図で、（ｃ）はその側面図である。

【図５】図４のサンプルから分断されて形成されたセル
の平面図である。

【図６】本発明の他の実施例における、セルパターン及
び配向膜印刷用アライメントマークが形成された基板の
平面図である。

【図７】上記配向膜印刷用アライメントマークの形状を
示す説明図である。

【符号の説明】

１ａ 基板 １ｂ 基板 ２ 菱形マーク（点状のマーク） ３ 実線状マーク（線状のマーク） ４ 三角マーク ５ サンプル ５’ セル ６ 十字マーク（点状のマーク） ７ 一点鎖線状マーク（線状のマーク） Ａ 端子出し用アライメントマーク（位置決め用マー
ク） Ｂ セル分断用アライメントマーク（位置決め用マー
ク） Ｃ 正規の分断ライン Ｄ 配向膜印刷用アライメントマーク（位置決め用マ
ーク）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 磯畑 恭平 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 長野 泰之 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 西田 賢治 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板の位置決めに用いられ、所定の部位が
   拡大して表わされる位置決め用視野にて認識され、基板
   上の所定の点を示す点状のマークと、基板におけるＸ軸
   方向及びＹ軸方向の少なくとも何れか一方を示す線状の
   マークとを組み合わせたマークからなることを特徴とす
   る位置決め用マーク。