JPS6330824A - カラ−液晶表示用カラ−フイルタの製造方法 - Google Patents
カラ−液晶表示用カラ−フイルタの製造方法Info
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- JPS6330824A JPS6330824A JP61174255A JP17425586A JPS6330824A JP S6330824 A JPS6330824 A JP S6330824A JP 61174255 A JP61174255 A JP 61174255A JP 17425586 A JP17425586 A JP 17425586A JP S6330824 A JPS6330824 A JP S6330824A
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- photoresist
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- transparent electrode
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
- G02F1/133516—Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
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- Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は液晶表示装置、とくにカラー液晶表示に使用さ
れるカラーフィルタの製造方法に関するものである。
れるカラーフィルタの製造方法に関するものである。
−Ｃにカラー液晶表示の方式として、カラーフィルタを
用いたものが知られており、このようなカラーフィルタ
は、従来、例えば第２図に関して説明するようにして製
造されていた。
用いたものが知られており、このようなカラーフィルタ
は、従来、例えば第２図に関して説明するようにして製
造されていた。
先ず、第２図（Ａ）に示すように、ガラス基板１に透明
電極２を付し、この透明電極２の上にフォトレジスト３
を、スピンナーまたはロールコータ−等により塗布する
（第２図（Ｂ））。次に、所望のパターンを有するフォ
トマスク４を載置して、その上からＵＶ（紫外）光を照
射し、フォトレジスト３を所望のパターンに感光させる
（第２図（Ｃ））。
電極２を付し、この透明電極２の上にフォトレジスト３
を、スピンナーまたはロールコータ−等により塗布する
（第２図（Ｂ））。次に、所望のパターンを有するフォ
トマスク４を載置して、その上からＵＶ（紫外）光を照
射し、フォトレジスト３を所望のパターンに感光させる
（第２図（Ｃ））。
その後、現像することにより、所望のパターンのフォト
レジスト３が得られる（第２図（［１））、さらにエツ
チング工程により、透明電極２の所望の１．７．ｏ、
（酸化インジウム）電極パターンが得られる（第２図（
Ｅ））、ここで、フォトレジスト３を剥離することによ
り、所望の１．Ｔ、Ｏ，電極パターンの透明電極２を備
えたガラス基板１が得られる（第２図（Ｆ））。続いて
、このガラス基＋ｆｆ ｌ上に可染性フォトレジスト５
をスピンナーやロールコータ−等により塗布して（第２
図（Ｇ））、所望のパターンを有するフォトマスク６を
載置して、その上からＵＶ光を照射し、可染性フォトレ
ジスト５を所望のパターンに感光させる（第２図（Ｈ）
）。これを現像することにより、ガラス基板１の非電極
部分に所望のパターンの可染性フォトレジスト５が得ら
れる（第２図（Ｉ））。さらに、染色工程により、可染
性フォトレジスト５を染色し、かくして所望のパターン
ををするカラーフィルタ７が得られる（第２図（Ｊ））
。
レジスト３が得られる（第２図（［１））、さらにエツ
チング工程により、透明電極２の所望の１．７．ｏ、
（酸化インジウム）電極パターンが得られる（第２図（
Ｅ））、ここで、フォトレジスト３を剥離することによ
り、所望の１．Ｔ、Ｏ，電極パターンの透明電極２を備
えたガラス基板１が得られる（第２図（Ｆ））。続いて
、このガラス基＋ｆｆ ｌ上に可染性フォトレジスト５
をスピンナーやロールコータ−等により塗布して（第２
図（Ｇ））、所望のパターンを有するフォトマスク６を
載置して、その上からＵＶ光を照射し、可染性フォトレ
ジスト５を所望のパターンに感光させる（第２図（Ｈ）
）。これを現像することにより、ガラス基板１の非電極
部分に所望のパターンの可染性フォトレジスト５が得ら
れる（第２図（Ｉ））。さらに、染色工程により、可染
性フォトレジスト５を染色し、かくして所望のパターン
ををするカラーフィルタ７が得られる（第２図（Ｊ））
。
しかしながら、上記のような従来方式によるカラーフィ
ルタの製造方法では、透明電極２のバターニング工程と
、カラーフィルタフのバターニング工程とを必要とする
ので、工程数が多く、工程全体が複雑であった。また、
透明電極のバターニング工程の後に、可染性フォトレジ
スト用のフォトマスク６のアラインメント工程があるの
で、この工程における透明電極２とフォトマスク６との
合わせ精度を高く維持する必要があり、このためカラー
フィルタ製作作業に細心の注意を払わなければならなか
った。
ルタの製造方法では、透明電極２のバターニング工程と
、カラーフィルタフのバターニング工程とを必要とする
ので、工程数が多く、工程全体が複雑であった。また、
透明電極のバターニング工程の後に、可染性フォトレジ
スト用のフォトマスク６のアラインメント工程があるの
で、この工程における透明電極２とフォトマスク６との
合わせ精度を高く維持する必要があり、このためカラー
フィルタ製作作業に細心の注意を払わなければならなか
った。
本発明は、以上の点に濫み、工程数が少なく、しかも透
明電極と可染性フォトレジストとのアラインメントを簡
単に精度良く行うことができる、カラーフィルタの製造
方法を提供することを目的としている。
明電極と可染性フォトレジストとのアラインメントを簡
単に精度良く行うことができる、カラーフィルタの製造
方法を提供することを目的としている。
上記目的を達成するため、本発明によるカラー液晶表示
用カラーフィルタの製造方法においては、透明電極のバ
ターニング工程の最終段階におけるフォトレジスト剥離
の直前に、可染性フォトレジストを塗布し、その後透明
電極のパターニング用のフォトレジストを剥離すること
により、ガラス基板の非電極部分上に可染性フォトレジ
ストのパターンを形成し、該可染性フォトレジストのパ
ターンを染色することによって上記カラー液晶表示用カ
ラーフィルタを得るものである。
用カラーフィルタの製造方法においては、透明電極のバ
ターニング工程の最終段階におけるフォトレジスト剥離
の直前に、可染性フォトレジストを塗布し、その後透明
電極のパターニング用のフォトレジストを剥離すること
により、ガラス基板の非電極部分上に可染性フォトレジ
ストのパターンを形成し、該可染性フォトレジストのパ
ターンを染色することによって上記カラー液晶表示用カ
ラーフィルタを得るものである。
以下、図面に示した一実施例に基づいて本発明の詳細な
説明する。
説明する。
第１図は本発明によるカラーフィルタの製造方法の一実
ａ；ｆＰＪを工程に従って１１１５次示している。
ａ；ｆＰＪを工程に従って１１１５次示している。
先ず、第１図（Ａ）に示すように、ガラス基板１１に透
明電極１２を付し、この透明電極１２の上にフォトレジ
スト１３を、スピンナーまたはロールコータ−等により
塗布する（第１図（Ｂ））、次に、所望のパターンを有
するフォトマスク１４を載置して、その上からＵＶ（紫
外）光を照射し、フォトレジスト１３を所望のパターン
に感光させる（第１図ＣＣ））。
明電極１２を付し、この透明電極１２の上にフォトレジ
スト１３を、スピンナーまたはロールコータ−等により
塗布する（第１図（Ｂ））、次に、所望のパターンを有
するフォトマスク１４を載置して、その上からＵＶ（紫
外）光を照射し、フォトレジスト１３を所望のパターン
に感光させる（第１図ＣＣ））。
その後、現像するこ、とにより、所望のパターンのフォ
トレジスト１３が得られる（第１図ＣＤ））、さらにエ
ツチング工程により、透明電極１２の所望の１．７．Ｏ
，電極パターンが得られる（第１図（Ｅ）） 、ここま
での工程は、第２図（Ａ） 〜（Ｅ）に図示し且つ既述
した従来の製造方法と同様である。
トレジスト１３が得られる（第１図ＣＤ））、さらにエ
ツチング工程により、透明電極１２の所望の１．７．Ｏ
，電極パターンが得られる（第１図（Ｅ）） 、ここま
での工程は、第２図（Ａ） 〜（Ｅ）に図示し且つ既述
した従来の製造方法と同様である。
ここで、本発明の実施例によれば、このガラス基板１１
上に可染性フォトレジスト１５を塗布しく第１図（Ｆ）
）、続いてフォトレジスト１３を剥離することにより、
所望の１．Ｔ、Ｏ，を極パターンの透明を極１２及び非
電極部分のパターンをもっ可染性フォトレジスト１５を
備えたガラス基板１１が得られる（第１図（Ｇ＞）、さ
らに、染色工程により可染性フォトレジスト１５を染色
し、かくして所望のパターンを有するカラーフィルタ１
６が得られる（第１図（Ｈ））。
上に可染性フォトレジスト１５を塗布しく第１図（Ｆ）
）、続いてフォトレジスト１３を剥離することにより、
所望の１．Ｔ、Ｏ，を極パターンの透明を極１２及び非
電極部分のパターンをもっ可染性フォトレジスト１５を
備えたガラス基板１１が得られる（第１図（Ｇ＞）、さ
らに、染色工程により可染性フォトレジスト１５を染色
し、かくして所望のパターンを有するカラーフィルタ１
６が得られる（第１図（Ｈ））。
以上述べたように、本発明によれば、透明電極のバター
ニング工程の最終段階におけるフォトレジスト剥離の直
前に、可染性フォトレジストを塗布し、その後透明電極
のパターニング用のフォトレジストを剥離することによ
り、ガラス基板の非電極部分上に可染性フォトレジスト
のパターンを形成して該可染性フォトレジストのパター
ンを染色するようにし、従来のカラーフィルタの製造方
法における透明ｉｔ極のバターニング工程中に、可染性
フォトレジストのバターニングをも併せて行うので、工
程数が減少され得る。
ニング工程の最終段階におけるフォトレジスト剥離の直
前に、可染性フォトレジストを塗布し、その後透明電極
のパターニング用のフォトレジストを剥離することによ
り、ガラス基板の非電極部分上に可染性フォトレジスト
のパターンを形成して該可染性フォトレジストのパター
ンを染色するようにし、従来のカラーフィルタの製造方
法における透明ｉｔ極のバターニング工程中に、可染性
フォトレジストのバターニングをも併せて行うので、工
程数が減少され得る。
さらに、可染性フォトレジストのバターニングは、透明
電極パターニング用のフォトマスクによって行われるの
で、可染性フォトレジスト用のフォトマスクが不要とな
り、且つ透明電極のパターニング用のフォトレジストを
ｆｆ１ｌｌ離する際に可染性フォトレジストのセルフア
ラインメントが行われるため、特別のアラインメントを
行うことなく、極めて簡単に自動的に透明電極のパター
ンと可染性フォトレジストのパターンとのアラインメン
トが行われ得る。
電極パターニング用のフォトマスクによって行われるの
で、可染性フォトレジスト用のフォトマスクが不要とな
り、且つ透明電極のパターニング用のフォトレジストを
ｆｆ１ｌｌ離する際に可染性フォトレジストのセルフア
ラインメントが行われるため、特別のアラインメントを
行うことなく、極めて簡単に自動的に透明電極のパター
ンと可染性フォトレジストのパターンとのアラインメン
トが行われ得る。
また、以上の説明では、カラーフィルタについて説明し
たが、これに限らず、例えばドツトマトリックス形液晶
表示において、上述したカラーフィルタの可染性フォト
レジストの染色の際に、該フォトレジストを黒色に染色
することにより、ガラス基板の非を掻部分にのみ極めて
精度良くブラックストライプを形成することが可能にな
る。
たが、これに限らず、例えばドツトマトリックス形液晶
表示において、上述したカラーフィルタの可染性フォト
レジストの染色の際に、該フォトレジストを黒色に染色
することにより、ガラス基板の非を掻部分にのみ極めて
精度良くブラックストライプを形成することが可能にな
る。
第１図は本発明によるカラーフィルタの製造方法の一実
施例を示す概略図である。 第２図は従来のカラーフィルタの製造方法の一実施例を
示す概略図である。 １．１１・・・−・ガラス基板；２，１２・−・・−透
明電極；３，１３・・・・・フォトレジスト； ４，１
４−・−フォトマスク；５，１５−・−・・可染性フォ
トレジスト；６−・−可染性フォトレジスト用フォトマ
スク；Ｌ１６−・カラーフィルタ。 特許出願人：スタンレー電気株式会社 代 理 人：弁理士 平 山 −字 間 ：弁理士 海 津 保 三 ！−一
施例を示す概略図である。 第２図は従来のカラーフィルタの製造方法の一実施例を
示す概略図である。 １．１１・・・−・ガラス基板；２，１２・−・・−透
明電極；３，１３・・・・・フォトレジスト； ４，１
４−・−フォトマスク；５，１５−・−・・可染性フォ
トレジスト；６−・−可染性フォトレジスト用フォトマ
スク；Ｌ１６−・カラーフィルタ。 特許出願人：スタンレー電気株式会社 代 理 人：弁理士 平 山 −字 間 ：弁理士 海 津 保 三 ！−一
Claims (1)
- 透明電極のパターニング工程の最終段階におけるフォト
レジスト剥離の直前に、可染性フォトレジストを塗布し
、その後透明電極のパターニング用のフォトレジストを
剥離することにより、ガラス基板の非電極部分上に可染
性フォトレジストのパターンを形成し、該可染性フォト
レジストのパターンを染色するようにしたことを特徴と
する、カラー液晶表示用カラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61174255A JPS6330824A (ja) | 1986-07-24 | 1986-07-24 | カラ−液晶表示用カラ−フイルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61174255A JPS6330824A (ja) | 1986-07-24 | 1986-07-24 | カラ−液晶表示用カラ−フイルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6330824A true JPS6330824A (ja) | 1988-02-09 |
Family
ID=15975429
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61174255A Pending JPS6330824A (ja) | 1986-07-24 | 1986-07-24 | カラ−液晶表示用カラ−フイルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6330824A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60170889A (ja) * | 1984-02-15 | 1985-09-04 | シャープ株式会社 | 液晶表示素子の製造方法 |
| JPS60221703A (ja) * | 1984-04-18 | 1985-11-06 | Seiko Epson Corp | カラ−フイルタ−の製造方法 |
-
1986
- 1986-07-24 JP JP61174255A patent/JPS6330824A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60170889A (ja) * | 1984-02-15 | 1985-09-04 | シャープ株式会社 | 液晶表示素子の製造方法 |
| JPS60221703A (ja) * | 1984-04-18 | 1985-11-06 | Seiko Epson Corp | カラ−フイルタ−の製造方法 |
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