JPH06194513A - 蛋白質薄膜のパターニング方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】蛋白質薄膜を能率よくかつ高精度にパターニン
グする。 【構成】蛋白質薄膜２を、蛋白質分解酵素の水溶液を用
いてエッチングする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は蛋白質薄膜のパターニン
グ方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】例えば液晶表示素子に用いられる蛋白質
のカラーフィルタは、一般に、基板上にカゼイン等の蛋
白質の薄膜を形成し、この蛋白質薄膜を所定形状にパタ
ーニングして所定の色（赤、緑、青等）に染色する方法
で形成されている。

【０００３】この蛋白質薄膜のパターニングは、従来、
基板上に形成した蛋白質薄膜の上に所定パターンのレジ
スト膜を形成し、この蛋白質薄膜の前記レジスト膜で覆
われていない部分を温水でエッチングする方法で行なわ
れている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
蛋白質薄膜のパターニング方法では、蛋白質薄膜のエッ
チングに時間がかかるし、またエッチング時間が長いた
めに蛋白質薄膜のサイドエッチングが進行して、パター
ニング精度も悪くなるという問題があった。本発明の目
的は、蛋白質薄膜を能率よくかつ高精度にパターニング
することができる蛋白質薄膜のパターニング方法を提供
することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、蛋白質薄膜
を、蛋白質分解酵素の水溶液を用いてエッチングするこ
とを特徴とするものである。

【０００６】

【作用】このように、蛋白質分解酵素の水溶液を用いて
蛋白質薄膜をエッチングすると、蛋白質薄膜が短時間で
能率よくエッチングされるし、またエッチング時間が短
いために蛋白質薄膜のサイドエッチングもほとんど生じ
ないから、パターニング精度も高くなる。

【０００７】

【実施例】以下、本発明の一実施例を、液晶表示素子の
基板上に形成したカラーフィルタ用蛋白質薄膜のパター
ニングを例にとって図１を参照し説明する。

【０００８】図１（ａ）は液晶表示素子の基板（例えば
ガラス基板）１上に蛋白質薄膜２を形成した状態を示し
ており、この蛋白質薄膜２は、基板１上に例えばカゼイ
ン等の蛋白質の溶液をスピンコート法等によって塗布
し、この塗布膜を乾燥させて形成する。

【０００９】このように基板１上に蛋白質薄膜２を形成
した後は、図１（ｂ）に示すように、前記蛋白質薄膜２
の上に、蛋白質分解酵素では分解されないフォトレジス
トをスピンコート法等によって塗布し、この塗布膜を乾
燥させてレジスト膜３を形成する。なお、このフォトレ
ジストは、例えばポリビニルアルコールの桂皮酸エステ
ル等の通常のエッチングに用いられるフォトレジストで
よい。

【００１０】次に、上記レジスト膜３を所定パターンの
露光マスク（図示せず）を用いて露光処理し、次いで現
像処理して、図１（ｃ）に示すように、前記レジスト膜
３を、蛋白質薄膜２のカラーフィルタとなる部分を覆う
形状にパターニングする。

【００１１】次に、上記蛋白質薄膜２のレジスト膜３で
覆われていない部分を蛋白質分解酵素の水溶液を用いて
エッチングし、この蛋白質薄膜２を図１（ｄ）に示すよ
うにカラーフィルタ形状にパターニングする。

【００１２】この場合、上記蛋白質分解酵素の水溶液と
しては、水素イオン濃度（ＰＨ）が４〜６になるように
緩衝液を添加した調整水を３６〜４０℃に加熱した温水
に、水に溶けやすい蛋白質分解酵素として、例えばほと
んどの種類の蛋白質を分解できるペプシンを溶解させた
ものを用いる。

【００１３】このように、蛋白質分解酵素が作用する環
境条件を整えた水溶液を用いて上記蛋白質薄膜２をエッ
チングすると、この蛋白質薄膜２が短時間で能率よくエ
ッチングされるとともに、そのエッチング時間が短いた
めに蛋白質薄膜２のサイドエッチングもほとんど生じな
いから、この蛋白質薄膜２を高精度にパターニングする
ことができる。

【００１４】この後は、図１（ｅ）に示すように上記レ
ジスト膜３を剥離し、次いで純水により洗浄して蛋白質
薄膜２のパターニングを終了する。なお、カラーフィル
タは、パターニングした各蛋白質薄膜２を染色して形成
するが、例えば赤、青、緑の三色のカラーフィルタを形
成する場合は、各蛋白質薄膜２を選択的にレジストでマ
スクしながら、これら蛋白質薄膜２を順次赤、青、緑に
染色すればよい。

【００１５】すなわち、上記蛋白質薄膜のパターニング
方法は、蛋白質薄膜２を、蛋白質分解酵素の水溶液を用
いてエッチングするものであり、このように、蛋白質分
解酵素の水溶液を用いて蛋白質薄膜２をエッチングする
と、蛋白質薄膜２が短時間で能率よくエッチングされる
し、またエッチング時間が短いために蛋白質薄膜のサイ
ドエッチングもほとんど生じないから、パターニング精
度も高くなる。したがって、このパターニング方法によ
れば、蛋白質薄膜２を能率よくかつ高精度にパターニン
グすることができる。

【００１６】なお、上記実施例では、パターニング後に
染色によりカラーフィルタとされる蛋白質薄膜２のパタ
ーニングについて説明したが、本発明のパターニング方
法は、あらかじめ顔料を添加して所望の色に着色してお
いた蛋白質薄膜のパターニングにも利用できるし、ま
た、カラーフィルタとなる蛋白質薄膜に限らず、液晶の
分子を配向させるための配向膜となる蛋白質薄膜など、
種々の蛋白質薄膜のパターニングにも広く適用すること
ができる。また、蛋白質分解酵素はペプシンに限らず、
キモトリプシン等の他の酵素も、使用する蛋白質の種類
に応じて好適に用いられる。

【００１７】

【発明の効果】本発明の蛋白質薄膜のパターニング方法
は、蛋白質薄膜を、蛋白質分解酵素の水溶液を用いてエ
ッチングするものであるから、蛋白質薄膜を能率よくか
つ高精度にパターニングすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）〜（ｅ）はそれぞれ本発明の一実施例に
よる蛋白質薄膜のパターニング方法を示す各工程図。

【符号の説明】

１…基板 ２…蛋白質薄膜 ３…レジスト膜

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板上に形成した蛋白質薄膜を所定形状に
   パターニングする方法において、前記蛋白質薄膜を、蛋
   白質分解酵素の水溶液を用いてエッチングすることを特
   徴とする蛋白質薄膜のパターニング方法。