JP2004149868A - 多面付け透明電極用蒸着メタルマスク - Google Patents
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Abstract
【課題】多面付けされた単位蒸着マスクの電極用端子マスク間の金属ブリッジ部を補強することにより、透明電極作製時にカラーフィルター基板の樹脂マトリクス及び画素状カラーフィルタを損傷することなく、強度的に優れた多面付け透明電極用蒸着メタルマスクを提供することを目的とする。
【解決手段】４隅に電極端子用マスク１３を備えた単位蒸着マスク１２が金属ブリッジ部１４を介して所定個数多面付けされており、金属ブリッジ部１４の一方の面をハーフエッチングし、電極端子用マスク１３の金属ブリッジ部１４の側面及びハーフエッチング領域に樹脂被膜１５ａ及び１５ｂを形成して、金属ブリッジ部１４を補強して多面付け透明電極用蒸着メタルマスク１０を得る。
【選択図】図１
【解決手段】４隅に電極端子用マスク１３を備えた単位蒸着マスク１２が金属ブリッジ部１４を介して所定個数多面付けされており、金属ブリッジ部１４の一方の面をハーフエッチングし、電極端子用マスク１３の金属ブリッジ部１４の側面及びハーフエッチング領域に樹脂被膜１５ａ及び１５ｂを形成して、金属ブリッジ部１４を補強して多面付け透明電極用蒸着メタルマスク１０を得る。
【選択図】図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はブラックマトリクス及び画素状カラーフィルタが形成されたカラーフィルタ基板上に透明電極を形成するのに用いられる多面付けされた透明電極用蒸着メタルマスクに関する。
【０００２】
【従来の技術】
カラー液晶ディスプレイは、図３に示すように、一方の面に液晶駆動用のＴＦＴアレイ基板６０が、他方の面にカラーフィルタ基板４０が設けられており、ＴＦＴ基板６０とカラーフィルタ基板４０との間に封入された液晶７１をＴＦＴアレイ６１で駆動することによりカラー表示を行っている。
このカラー液晶ディスプレイに用いられているカラーフィルタ基板４０には透明基板２１上にブラックマトリクス３１、赤、青、緑の色分離用の画素状カラーフィルタ４１及び透明電極５１が形成されている。
【０００３】
上記透明電極５１は通常、４２合金あるいはＳＵＳ４３０等を加工した蒸着メタルマスクを用いてガラス等の透明基板上に形成されたブラックマトリクス及び画素状カラーフィルター上に酸化インジューム等を蒸着することによって形成される。
この蒸着メタルマスクはカラーフィルター基板４０の画素状カラーフィルタ４１の面付けに合わせて多面付けされるのが一般的である（例えば、特許文献１及び特許文献２参照。）。
【０００４】
図２（ａ）には、多面付けされた蒸着メタルマスクの一部を示す蒸着メタルマスク２０を示す。
単位蒸着マスクの４隅の電極端子用マスク１３は図２（ｂ）に示すように、複雑な形状をしている。
電極端子用マスク１３は透明電極５１の電気的導通をとる電極端子になるところで、蒸着マスクが金属ブリッジ部１４を介して面付けされる際金属ブリッジ部１４が２ｍｍ以下になる部分で、蒸着メタルマスク２０の強度的に一番弱い部分になっており、金属ブリッジ部１４が捩れ、変形等を起こして、カラーフィルター基板４０の樹脂ブラックマトリクスあるいは画素状カラーフィルタの表面を擦り、樹脂パターンに傷が付いたり、樹脂パターンの一部が剥がれる等の現象が発生しており、蒸着メタルマスク２０を用いてカラーフィルター基板４０上に透明電極を形成する際の問題点となっている。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−２３７０７３号公報
【特許文献２】
特開２００２−６９６１９号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記問題点に鑑み考案されたもので、多面付けされた単位蒸着マスクの電極用端子マスク間の金属ブリッジ部を補強することにより、透明電極作製時にカラーフィルター基板の樹脂マトリクス及び画素状カラーフィルタを損傷することなく、強度的に優れた多面付け透明電極用蒸着メタルマスクを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の多面付け透明電極用蒸着メタルマスクは、蒸着マスクの４隅に電極端子用マスクが形成された単位蒸着マスクが金属ブリッジ部を介して多面付けされており、前記電極端子用マスク間の金属ブリッジ部の一方の面をハーフエッチングし、前記電極端子用マスクの金属ブリッジ部の側面及びハーフエッチング領域に樹脂被膜を形成し、補強することにより、透明電極作製時にカラーフィルター基板を損傷することなく、強度的に優れた多面付け透明電極用蒸着メタルマスクを得るようにしたものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図１（ａ）は、本発明の多面付け透明電極用蒸着メタルマスクの一実施例を示す部分平面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ部を拡大した部分拡大平面図である。図１（ｃ）は、図１（ｂ）をＢ−Ｂ’線で切断した部分断面図である。
本発明の多面付け透明電極用蒸着メタルマスク１０は、図１（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）に示すように、４隅に電極端子用マスク１３を備えた単位蒸着マスク１２が金属ブリッジ部１４を介して所定個数多面付けされており、金属ブリッジ部１４の一方の面をハーフエッチングし、電極端子用マスク１３の金属ブリッジ部１４の側面及びハーフエッチング領域に樹脂被膜１５ａ及び１５ｂを形成して、金属ブリッジ部１４を補強したものである。
【０００９】
多面付け透明電極用蒸着メタルマスク１０の形成法について述べる。
まず、４２合金あるいはＳＵＳ４３０等の金属板１１の両面にフォトレジストを塗布するか、ドライフィルムを貼り合わせる等の方法で感光層を形成する。
次に、蒸着マスクが多面付けされた露光マスクを用いてパターン露光、現像、エッチング等の一連のパターニング処理を行って、４隅に電極端子用マスク１３を備えた単位蒸着マスク１２が金属ブリッジ部１４を介して所定個数多面付けされ、金属ブリッジ部１４の一方の面がハーフエッチングされた蒸着用メタルマスクを得る。
【００１０】
さらに、電極端子用マスク１３の金属ブリッジ部１４の側面及びハーフエッチング領域に樹脂を塗布して、金属ブリッジ部１４の側面及びハーフエッチング領域が樹脂被膜１５ａ及び１５ｂで補強された多面付け透明電極用蒸着メタルマスクを得る。
ここで、金属ブリッジ部１４の側面及びハーフエッチング領域に樹脂被膜を形成する方法としては、樹脂ペーストをスクリーン印刷するか、マスクを用いたスプレーコーティング法が使用でき、樹脂としては、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂が使用できる。
【００１１】
【発明の効果】
上記したように、本発明の多面付け透明電極用蒸着メタルマスクは電極端子用マスク１３の金属ブリッジ部１４の側面及びハーフエッチング領域が樹脂被膜で補強されているため、金属ブリッジ部１４が２ｍｍ以下になっても、金属ブリッジ部１４が捩れ、変形等を起こさず、透明電極作製時にカラーフィルター基板の樹脂マトリクス及び画素状カラーフィルタを損傷することなく、且つ、強度的に優れた多面付け透明電極用蒸着メタルマスクを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は、本発明の多面付け透明電極用蒸着メタルマスクの一実施例を示す部分平面図である。
（ｂ）は、（ａ）のＡ部を拡大した部分平面図である。
（ｃ）は、（ｂ）をＢ−Ｂ’線で切断した構成断面図である。
【図２】（ａ）は、従来の多面付け透明電極用蒸着メタルマスクの一実施例を示す部分平面図である。
（ｂ）は、（ａ）のＡ部を拡大した部分平面図である。
【図３】カラー液晶ディスプレイの構成の一例を示す模式構成断面図である。
【符号の説明】
１０……多面付け透明電極用蒸着メタルマスク
１１……金属板
１２……蒸着マスク
１３……電極端子用マスク
１４……金属ブリッジ部
１５ａ、１５ｂ……樹脂被膜
２０……多面付け透明電極用蒸着メタルマスク
２１、２２……透明基板
３１……樹脂ブラックマトリクス
４０……カラーフィルタ基板
４１……画素状カラーフィルタ
５１……透明電極
６０……ＴＦＴアレイ基板
６１……ＴＦＴアレイ
７１……液晶
【発明の属する技術分野】
本発明はブラックマトリクス及び画素状カラーフィルタが形成されたカラーフィルタ基板上に透明電極を形成するのに用いられる多面付けされた透明電極用蒸着メタルマスクに関する。
【０００２】
【従来の技術】
カラー液晶ディスプレイは、図３に示すように、一方の面に液晶駆動用のＴＦＴアレイ基板６０が、他方の面にカラーフィルタ基板４０が設けられており、ＴＦＴ基板６０とカラーフィルタ基板４０との間に封入された液晶７１をＴＦＴアレイ６１で駆動することによりカラー表示を行っている。
このカラー液晶ディスプレイに用いられているカラーフィルタ基板４０には透明基板２１上にブラックマトリクス３１、赤、青、緑の色分離用の画素状カラーフィルタ４１及び透明電極５１が形成されている。
【０００３】
上記透明電極５１は通常、４２合金あるいはＳＵＳ４３０等を加工した蒸着メタルマスクを用いてガラス等の透明基板上に形成されたブラックマトリクス及び画素状カラーフィルター上に酸化インジューム等を蒸着することによって形成される。
この蒸着メタルマスクはカラーフィルター基板４０の画素状カラーフィルタ４１の面付けに合わせて多面付けされるのが一般的である（例えば、特許文献１及び特許文献２参照。）。
【０００４】
図２（ａ）には、多面付けされた蒸着メタルマスクの一部を示す蒸着メタルマスク２０を示す。
単位蒸着マスクの４隅の電極端子用マスク１３は図２（ｂ）に示すように、複雑な形状をしている。
電極端子用マスク１３は透明電極５１の電気的導通をとる電極端子になるところで、蒸着マスクが金属ブリッジ部１４を介して面付けされる際金属ブリッジ部１４が２ｍｍ以下になる部分で、蒸着メタルマスク２０の強度的に一番弱い部分になっており、金属ブリッジ部１４が捩れ、変形等を起こして、カラーフィルター基板４０の樹脂ブラックマトリクスあるいは画素状カラーフィルタの表面を擦り、樹脂パターンに傷が付いたり、樹脂パターンの一部が剥がれる等の現象が発生しており、蒸着メタルマスク２０を用いてカラーフィルター基板４０上に透明電極を形成する際の問題点となっている。
【０００５】
【特許文献１】
特開２００１−２３７０７３号公報
【特許文献２】
特開２００２−６９６１９号公報
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記問題点に鑑み考案されたもので、多面付けされた単位蒸着マスクの電極用端子マスク間の金属ブリッジ部を補強することにより、透明電極作製時にカラーフィルター基板の樹脂マトリクス及び画素状カラーフィルタを損傷することなく、強度的に優れた多面付け透明電極用蒸着メタルマスクを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の多面付け透明電極用蒸着メタルマスクは、蒸着マスクの４隅に電極端子用マスクが形成された単位蒸着マスクが金属ブリッジ部を介して多面付けされており、前記電極端子用マスク間の金属ブリッジ部の一方の面をハーフエッチングし、前記電極端子用マスクの金属ブリッジ部の側面及びハーフエッチング領域に樹脂被膜を形成し、補強することにより、透明電極作製時にカラーフィルター基板を損傷することなく、強度的に優れた多面付け透明電極用蒸着メタルマスクを得るようにしたものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】
図１（ａ）は、本発明の多面付け透明電極用蒸着メタルマスクの一実施例を示す部分平面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ部を拡大した部分拡大平面図である。図１（ｃ）は、図１（ｂ）をＢ−Ｂ’線で切断した部分断面図である。
本発明の多面付け透明電極用蒸着メタルマスク１０は、図１（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）に示すように、４隅に電極端子用マスク１３を備えた単位蒸着マスク１２が金属ブリッジ部１４を介して所定個数多面付けされており、金属ブリッジ部１４の一方の面をハーフエッチングし、電極端子用マスク１３の金属ブリッジ部１４の側面及びハーフエッチング領域に樹脂被膜１５ａ及び１５ｂを形成して、金属ブリッジ部１４を補強したものである。
【０００９】
多面付け透明電極用蒸着メタルマスク１０の形成法について述べる。
まず、４２合金あるいはＳＵＳ４３０等の金属板１１の両面にフォトレジストを塗布するか、ドライフィルムを貼り合わせる等の方法で感光層を形成する。
次に、蒸着マスクが多面付けされた露光マスクを用いてパターン露光、現像、エッチング等の一連のパターニング処理を行って、４隅に電極端子用マスク１３を備えた単位蒸着マスク１２が金属ブリッジ部１４を介して所定個数多面付けされ、金属ブリッジ部１４の一方の面がハーフエッチングされた蒸着用メタルマスクを得る。
【００１０】
さらに、電極端子用マスク１３の金属ブリッジ部１４の側面及びハーフエッチング領域に樹脂を塗布して、金属ブリッジ部１４の側面及びハーフエッチング領域が樹脂被膜１５ａ及び１５ｂで補強された多面付け透明電極用蒸着メタルマスクを得る。
ここで、金属ブリッジ部１４の側面及びハーフエッチング領域に樹脂被膜を形成する方法としては、樹脂ペーストをスクリーン印刷するか、マスクを用いたスプレーコーティング法が使用でき、樹脂としては、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂が使用できる。
【００１１】
【発明の効果】
上記したように、本発明の多面付け透明電極用蒸着メタルマスクは電極端子用マスク１３の金属ブリッジ部１４の側面及びハーフエッチング領域が樹脂被膜で補強されているため、金属ブリッジ部１４が２ｍｍ以下になっても、金属ブリッジ部１４が捩れ、変形等を起こさず、透明電極作製時にカラーフィルター基板の樹脂マトリクス及び画素状カラーフィルタを損傷することなく、且つ、強度的に優れた多面付け透明電極用蒸着メタルマスクを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】（ａ）は、本発明の多面付け透明電極用蒸着メタルマスクの一実施例を示す部分平面図である。
（ｂ）は、（ａ）のＡ部を拡大した部分平面図である。
（ｃ）は、（ｂ）をＢ−Ｂ’線で切断した構成断面図である。
【図２】（ａ）は、従来の多面付け透明電極用蒸着メタルマスクの一実施例を示す部分平面図である。
（ｂ）は、（ａ）のＡ部を拡大した部分平面図である。
【図３】カラー液晶ディスプレイの構成の一例を示す模式構成断面図である。
【符号の説明】
１０……多面付け透明電極用蒸着メタルマスク
１１……金属板
１２……蒸着マスク
１３……電極端子用マスク
１４……金属ブリッジ部
１５ａ、１５ｂ……樹脂被膜
２０……多面付け透明電極用蒸着メタルマスク
２１、２２……透明基板
３１……樹脂ブラックマトリクス
４０……カラーフィルタ基板
４１……画素状カラーフィルタ
５１……透明電極
６０……ＴＦＴアレイ基板
６１……ＴＦＴアレイ
７１……液晶
Claims (1)
- 蒸着マスクの４隅に電極端子用マスクが形成された単位蒸着マスクが金属ブリッジ部を介して多面付けされた透明電極用蒸着メタルマスクであって、前記電極端子用マスク間の金属ブリッジ部の一方の面をハーフエッチングし、前記電極端子用マスクの金属ブリッジ部の側面及びハーフエッチング領域を樹脂被膜で補強したことを特徴とする多面付け透明電極用蒸着メタルマスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002317389A JP4127019B2 (ja) | 2002-10-31 | 2002-10-31 | 多面付け透明電極用蒸着メタルマスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002317389A JP4127019B2 (ja) | 2002-10-31 | 2002-10-31 | 多面付け透明電極用蒸着メタルマスク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004149868A true JP2004149868A (ja) | 2004-05-27 |
| JP4127019B2 JP4127019B2 (ja) | 2008-07-30 |
Family
ID=32460801
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|---|---|---|---|
| JP2002317389A Expired - Fee Related JP4127019B2 (ja) | 2002-10-31 | 2002-10-31 | 多面付け透明電極用蒸着メタルマスク |
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|---|---|
| JP (1) | JP4127019B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006331973A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Toppan Printing Co Ltd | 多面付けメタルマスクの製造方法 |
| WO2018003766A1 (ja) * | 2016-06-28 | 2018-01-04 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスク、有機半導体素子の製造方法、および有機ｅｌディスプレイの製造方法 |
| US11840754B2 (en) | 2016-06-28 | 2023-12-12 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Vapor deposition mask, method for producing organic semiconductor element, and method for producing organic el display |
-
2002
- 2002-10-31 JP JP2002317389A patent/JP4127019B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006331973A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Toppan Printing Co Ltd | 多面付けメタルマスクの製造方法 |
| JP4609187B2 (ja) * | 2005-05-30 | 2011-01-12 | 凸版印刷株式会社 | 多面付けメタルマスクの製造方法 |
| WO2018003766A1 (ja) * | 2016-06-28 | 2018-01-04 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスク、有機半導体素子の製造方法、および有機ｅｌディスプレイの製造方法 |
| US11840754B2 (en) | 2016-06-28 | 2023-12-12 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Vapor deposition mask, method for producing organic semiconductor element, and method for producing organic el display |
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| Publication number | Publication date |
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| JP4127019B2 (ja) | 2008-07-30 |
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