JP2002350886A - 液晶表示装置の製造方法および液晶表示装置 - Google Patents
液晶表示装置の製造方法および液晶表示装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 カラーフィルタオンＴＦＴアレイ型液晶パネ
ルのスイッチング能動素子と画素電極の導通を確保し、
高性能なカラーフィルタオンＴＦＴアレイ基板を製造す
る。 【解決手段】 スイッチング能動素子５とスイッチング
能動素子保護膜７が形成されたＴＦＴアレイ基板９上
に、コンタクト部位６’を形成しながらカラーフィルタ
膜１１を形成する。その後、パターニングされたエッチ
ングレジスト１０を用いてスイッチング能動素子保護膜
７をドライエッチングしコンタクト部位６を形成する。
その後、カラーフィルタ膜１１上に画素電極１を形成し
スイッチング能動素子５との導通をとる。
ルのスイッチング能動素子と画素電極の導通を確保し、
高性能なカラーフィルタオンＴＦＴアレイ基板を製造す
る。 【解決手段】 スイッチング能動素子５とスイッチング
能動素子保護膜７が形成されたＴＦＴアレイ基板９上
に、コンタクト部位６’を形成しながらカラーフィルタ
膜１１を形成する。その後、パターニングされたエッチ
ングレジスト１０を用いてスイッチング能動素子保護膜
７をドライエッチングしコンタクト部位６を形成する。
その後、カラーフィルタ膜１１上に画素電極１を形成し
スイッチング能動素子５との導通をとる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置の製
造方法および液晶表示装置に関する。
造方法および液晶表示装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、大型モニター、テレビ用途等、従
来ＣＲＴが使用されていたデバイス分野への液晶の応用
展開に伴い、液晶表示装置には更なる性能向上が要求さ
れている。特に、レントゲン写真表示等の医療用途、イ
ンターネット商取引への液晶パネルの応用展開に際し、
高輝度、高精細液晶パネルが要求されている。このよう
な背景の元、画素電極を駆動するためのスイッチング能
動素子が形成されたＴＦＴアレイ基板上にカラーフィル
タパターンを形成するカラーフィルタオンＴＦＴアレイ
型液晶表示装置の開発が行なわれている。
来ＣＲＴが使用されていたデバイス分野への液晶の応用
展開に伴い、液晶表示装置には更なる性能向上が要求さ
れている。特に、レントゲン写真表示等の医療用途、イ
ンターネット商取引への液晶パネルの応用展開に際し、
高輝度、高精細液晶パネルが要求されている。このよう
な背景の元、画素電極を駆動するためのスイッチング能
動素子が形成されたＴＦＴアレイ基板上にカラーフィル
タパターンを形成するカラーフィルタオンＴＦＴアレイ
型液晶表示装置の開発が行なわれている。
【０００３】このような画素電極を駆動するためのスイ
ッチング能動素子が形成されたＴＦＴアレイ基板上にカ
ラーフィルタ膜を形成し、カラーフィルタ膜上に画素電
極を形成しコンタクト部位を介してスイッチング能動素
子と導通を取るカラーフィルタオンＴＦＴアレイ型液晶
表示装置の従来の製造方法を図３に示す。
ッチング能動素子が形成されたＴＦＴアレイ基板上にカ
ラーフィルタ膜を形成し、カラーフィルタ膜上に画素電
極を形成しコンタクト部位を介してスイッチング能動素
子と導通を取るカラーフィルタオンＴＦＴアレイ型液晶
表示装置の従来の製造方法を図３に示す。
【０００４】スイッチング能動素子５と画素電極１との
コンタクト部位６を形成する際、図３(a)に示すように
ＴＦＴアレイ基板９上に詳しくは説明しないがエッチン
グレジスト１０を塗布工程を経て形成し、次に図３(b)
に示すように露光工程を経てパターニングしベーク工程
を経た後、図３(c)に示すようにエッチング工程を経て
スイッチング能動素子５のコンタクト部位６を形成す
る。その後図３(d)に示すように詳しくは説明しないが
カラーフィルタ膜赤２（Ｒ）をＴＦＴアレイ基板９上に
コンタクト部位６と同部位になるようコンタクト部位
６’を露光工程、現像工程、ベーク工程を経てパターニ
ングし順に緑２（Ｇ）、青２（Ｂ）、黒３（ＢＭ：遮光
層のブラックマトリクス）及びオーバーコート膜４（Ｏ
Ｃ）を形成し、図３(ｅ)に示すようにＴＦＴアレイ基板
上にカラーフィルタ膜１１を形成した。その後図３
（f）に示すようにカラーフィルタ膜１１上に画素電極
１を形成しスイッチング能動素子５との導通を取りカラ
ーフィルタオンＴＦＴアレイ基板１６を得る。
コンタクト部位６を形成する際、図３(a)に示すように
ＴＦＴアレイ基板９上に詳しくは説明しないがエッチン
グレジスト１０を塗布工程を経て形成し、次に図３(b)
に示すように露光工程を経てパターニングしベーク工程
を経た後、図３(c)に示すようにエッチング工程を経て
スイッチング能動素子５のコンタクト部位６を形成す
る。その後図３(d)に示すように詳しくは説明しないが
カラーフィルタ膜赤２（Ｒ）をＴＦＴアレイ基板９上に
コンタクト部位６と同部位になるようコンタクト部位
６’を露光工程、現像工程、ベーク工程を経てパターニ
ングし順に緑２（Ｇ）、青２（Ｂ）、黒３（ＢＭ：遮光
層のブラックマトリクス）及びオーバーコート膜４（Ｏ
Ｃ）を形成し、図３(ｅ)に示すようにＴＦＴアレイ基板
上にカラーフィルタ膜１１を形成した。その後図３
（f）に示すようにカラーフィルタ膜１１上に画素電極
１を形成しスイッチング能動素子５との導通を取りカラ
ーフィルタオンＴＦＴアレイ基板１６を得る。
【０００５】次に図４に示すようにカラーフィルタオン
ＴＦＴアレイ基板１６とあらかじめガラス基板８にＩＴ
Ｏからなる透明電極１を形成してある対向基板１７との
表面に液晶材料を配向させるための配向膜１３を形成し
た後、所定の間隙を保って貼り合せ、液晶材料を封入し
て液晶層１５を形成した。更にカラーフィルタオンＴＦ
Ｔアレイ基板１６及び対向基板１７のガラス基板８側に
偏光板１８を貼ってカラーフィルタオンＴＦＴアレイ型
液晶表示装置を得る。
ＴＦＴアレイ基板１６とあらかじめガラス基板８にＩＴ
Ｏからなる透明電極１を形成してある対向基板１７との
表面に液晶材料を配向させるための配向膜１３を形成し
た後、所定の間隙を保って貼り合せ、液晶材料を封入し
て液晶層１５を形成した。更にカラーフィルタオンＴＦ
Ｔアレイ基板１６及び対向基板１７のガラス基板８側に
偏光板１８を貼ってカラーフィルタオンＴＦＴアレイ型
液晶表示装置を得る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のカラーフィルタオンＴＦＴアレイ型液晶表示装置の
製造方法では、スイッチング能動素子５と画素電極１の
導通をとるためのスイッチング能動素子コンタクト部位
６上にカラーフィルタの膜成分がカラーフィルタコンタ
クト部位６’形成完了時に残渣として固着し、スイッチ
ング能動素子５と画素電極１の導通が困難になり、液晶
表示性能不良を起こし歩留りの低下を招くという課題が
あった。
来のカラーフィルタオンＴＦＴアレイ型液晶表示装置の
製造方法では、スイッチング能動素子５と画素電極１の
導通をとるためのスイッチング能動素子コンタクト部位
６上にカラーフィルタの膜成分がカラーフィルタコンタ
クト部位６’形成完了時に残渣として固着し、スイッチ
ング能動素子５と画素電極１の導通が困難になり、液晶
表示性能不良を起こし歩留りの低下を招くという課題が
あった。
【０００７】本発明の目的は、スイッチング能動素子と
画素電極の導通を良好にし、歩留りを向上できる液晶表
示装置の製造方法及び液晶表示装置を提供することであ
る。
画素電極の導通を良好にし、歩留りを向上できる液晶表
示装置の製造方法及び液晶表示装置を提供することであ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の液晶表示
装置の製造方法は、画素電極を駆動するためのスイッチ
ング能動素子およびそれを覆うスイッチング能動素子保
護膜を形成したアレイ基板上にカラーフィルタ膜を設
け、カラーフィルタ膜上にカラーフィルタ膜およびスイ
ッチング能動素子保護膜のコンタクト部位を介してスイ
ッチング能動素子と接続される画素電極を設けたカラー
フィルタオンアレイ基板を備えた液晶表示装置の製造方
法であって、カラーフィルタ膜およびスイッチング能動
素子保護膜のコンタクト部位は、カラーフィルタ膜のコ
ンタクト部位を形成し、その後スイッチング能動素子保
護膜のコンタクト部位をエッチングにより形成すること
を特徴とする。
装置の製造方法は、画素電極を駆動するためのスイッチ
ング能動素子およびそれを覆うスイッチング能動素子保
護膜を形成したアレイ基板上にカラーフィルタ膜を設
け、カラーフィルタ膜上にカラーフィルタ膜およびスイ
ッチング能動素子保護膜のコンタクト部位を介してスイ
ッチング能動素子と接続される画素電極を設けたカラー
フィルタオンアレイ基板を備えた液晶表示装置の製造方
法であって、カラーフィルタ膜およびスイッチング能動
素子保護膜のコンタクト部位は、カラーフィルタ膜のコ
ンタクト部位を形成し、その後スイッチング能動素子保
護膜のコンタクト部位をエッチングにより形成すること
を特徴とする。
【０００９】請求項２記載の液晶表示装置の製造方法
は、請求項１記載の液晶表示装置の製造方法において、
カラーフィルタ膜とスイッチング能動素子保護膜のコン
タクト部位を形成するために用いるエッチングレジスト
とは感光性樹脂を用いて形成する事を特徴とする。
は、請求項１記載の液晶表示装置の製造方法において、
カラーフィルタ膜とスイッチング能動素子保護膜のコン
タクト部位を形成するために用いるエッチングレジスト
とは感光性樹脂を用いて形成する事を特徴とする。
【００１０】請求項３記載の液晶表示装置の製造方法
は、請求項１または２記載の液晶表示装置の製造方法に
おいて、スイッチング能動素子保護膜のコンタクト部位
を形成するために用いるエッチングレジストの膜厚はス
イッチング能動素子保護膜のエッチングレイトに合わせ
た膜厚とする事を特徴とする。
は、請求項１または２記載の液晶表示装置の製造方法に
おいて、スイッチング能動素子保護膜のコンタクト部位
を形成するために用いるエッチングレジストの膜厚はス
イッチング能動素子保護膜のエッチングレイトに合わせ
た膜厚とする事を特徴とする。
【００１１】請求項４記載の液晶表示装置の製造方法
は、請求項１，２または３記載の液晶表示装置の製造方
法において、スイッチング能動素子保護膜のコンタクト
部位を形成するためのエッチングはスイッチング能動素
子保護膜に対しエッチング可能なガスを用いてドライエ
ッチング処理を行う事を特徴とする。
は、請求項１，２または３記載の液晶表示装置の製造方
法において、スイッチング能動素子保護膜のコンタクト
部位を形成するためのエッチングはスイッチング能動素
子保護膜に対しエッチング可能なガスを用いてドライエ
ッチング処理を行う事を特徴とする。
【００１２】請求項５記載の液晶表示装置の製造方法
は、請求項１，２，３または４記載の液晶表示装置の製
造方法において、カラーフィルタ膜はフィルム転写工程
を経て形成する事を特徴とする。
は、請求項１，２，３または４記載の液晶表示装置の製
造方法において、カラーフィルタ膜はフィルム転写工程
を経て形成する事を特徴とする。
【００１３】請求項６記載の液晶表示装置は、請求項１
から５のいずれかの液晶表示装置の製造方法により製造
されたカラーフィルタオンアレイ基板と、カラーフィル
タオンアレイ基板との間に液晶を挟持する対向電極基板
とを備えている。
から５のいずれかの液晶表示装置の製造方法により製造
されたカラーフィルタオンアレイ基板と、カラーフィル
タオンアレイ基板との間に液晶を挟持する対向電極基板
とを備えている。
【００１４】本発明によれば、スイッチング能動素子と
画素電極とを接続するためのカラーフィルタ膜およびス
イッチング能動素子保護膜のコンタクト部位を、カラー
フィルタ膜のコンタクト部位を先に形成し、その後スイ
ッチング能動素子保護膜のコンタクト部位をエッチング
により形成することにより、スイッチング能動素子と画
素電極の導通が容易になり高性能なカラーフィルタオン
アレイ基板を得る事ができ、高歩留りのカラーフィルタ
オンアレイ型液晶表示装置を製造することができる。
画素電極とを接続するためのカラーフィルタ膜およびス
イッチング能動素子保護膜のコンタクト部位を、カラー
フィルタ膜のコンタクト部位を先に形成し、その後スイ
ッチング能動素子保護膜のコンタクト部位をエッチング
により形成することにより、スイッチング能動素子と画
素電極の導通が容易になり高性能なカラーフィルタオン
アレイ基板を得る事ができ、高歩留りのカラーフィルタ
オンアレイ型液晶表示装置を製造することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施の形態によ
る液晶表示装置の製造方法を説明する。図１は本実施の
形態の製造工程断面図を示す。
る液晶表示装置の製造方法を説明する。図１は本実施の
形態の製造工程断面図を示す。
【００１６】まず、図１(a)に示すように画素電極１を
駆動するためのスイッチング能動素子５が形成されたＴ
ＦＴアレイ基板９上に、フィルム転写方式によりラミネ
ート工程、露光工程、現像工程、ベーク工程を経てコン
タクト部位６’を形成しながらカラーフィルタ膜１１を
形成する。その後図１(b)に示すようにカラーフィルタ
膜１１上にスピンコート方式によりエッチングレジスト
１０を塗布工程を経て形成し、図１(c)に示すように露
光工程を経てエッチングレジスト１０をパターニングし
ベーク工程を経た後、図１(d)に示すようにスイッチン
グ能動素子保護膜７をドライエッチングしコンタクト部
位６を形成する。その後、エッチングレジスト１０を除
去した後、図１(e)に示すようにカラーフィルタ膜１１
上に画素電極１を形成しスイッチング能動素子５との導
通をとる。これは良好な導通を示した。
駆動するためのスイッチング能動素子５が形成されたＴ
ＦＴアレイ基板９上に、フィルム転写方式によりラミネ
ート工程、露光工程、現像工程、ベーク工程を経てコン
タクト部位６’を形成しながらカラーフィルタ膜１１を
形成する。その後図１(b)に示すようにカラーフィルタ
膜１１上にスピンコート方式によりエッチングレジスト
１０を塗布工程を経て形成し、図１(c)に示すように露
光工程を経てエッチングレジスト１０をパターニングし
ベーク工程を経た後、図１(d)に示すようにスイッチン
グ能動素子保護膜７をドライエッチングしコンタクト部
位６を形成する。その後、エッチングレジスト１０を除
去した後、図１(e)に示すようにカラーフィルタ膜１１
上に画素電極１を形成しスイッチング能動素子５との導
通をとる。これは良好な導通を示した。
【００１７】次に図２に示すようにカラーフィルタオン
ＴＦＴアレイ基板１６とあらかじめガラス基板８にＩＴ
Ｏからなる透明電極を形成してある対向基板１７との表
面に液晶材料を配向させるための配向膜１３を形成した
後、所定のスペーサー１４を用い間隙を保って貼り合
せ、液晶材料を封入して液晶層１５を形成した。更にカ
ラーフィルタオンＴＦＴアレイ基板１６及び対向基板１
７のガラス基板８側に偏光板１８を貼ってカラーフィル
タオンＴＦＴアレイ型液晶表示装置を製造したところ高
性能な液晶表示性能を示し高い歩留りが得られた。
ＴＦＴアレイ基板１６とあらかじめガラス基板８にＩＴ
Ｏからなる透明電極を形成してある対向基板１７との表
面に液晶材料を配向させるための配向膜１３を形成した
後、所定のスペーサー１４を用い間隙を保って貼り合
せ、液晶材料を封入して液晶層１５を形成した。更にカ
ラーフィルタオンＴＦＴアレイ基板１６及び対向基板１
７のガラス基板８側に偏光板１８を貼ってカラーフィル
タオンＴＦＴアレイ型液晶表示装置を製造したところ高
性能な液晶表示性能を示し高い歩留りが得られた。
【００１８】以上のように本実施の形態によれば、スイ
ッチング能動素子５と画素電極１とを接続するためのコ
ンタクト部位６、６’を形成する際に、カラーフィルタ
膜１１のコンタクト部位６’を先に形成し、その後スイ
ッチング能動素子保護膜７をエッチングしてコンタクト
部位６を形成することにより、スイッチング能動素子５
と画素電極１の導通が容易になり、コンタクト抵抗値が
低く良好な導通を持った高性能なカラーフィルタオンＴ
ＦＴアレイ基板１６を得る事ができ、高歩留りのカラー
フィルタオンＴＦＴアレイ型液晶表示装置を得る事がで
きる。
ッチング能動素子５と画素電極１とを接続するためのコ
ンタクト部位６、６’を形成する際に、カラーフィルタ
膜１１のコンタクト部位６’を先に形成し、その後スイ
ッチング能動素子保護膜７をエッチングしてコンタクト
部位６を形成することにより、スイッチング能動素子５
と画素電極１の導通が容易になり、コンタクト抵抗値が
低く良好な導通を持った高性能なカラーフィルタオンＴ
ＦＴアレイ基板１６を得る事ができ、高歩留りのカラー
フィルタオンＴＦＴアレイ型液晶表示装置を得る事がで
きる。
【００１９】また、本実施の形態ではカラーフィルタ膜
１１の材料としてアクリル樹脂系のネガ型感光性材料を
用い、エッチングレジスト膜１０の材料としてノボラッ
ク樹脂系のポジ型感光性材料を用いたが、これに限定さ
れない。すなわち、ポジ型、ネガ型あるいはアクリル樹
脂系、ノボラック樹脂系に限らず、すくなくとも露光プ
ロセスを用いてパターニングできる感光性樹脂であれば
使用可能である。
１１の材料としてアクリル樹脂系のネガ型感光性材料を
用い、エッチングレジスト膜１０の材料としてノボラッ
ク樹脂系のポジ型感光性材料を用いたが、これに限定さ
れない。すなわち、ポジ型、ネガ型あるいはアクリル樹
脂系、ノボラック樹脂系に限らず、すくなくとも露光プ
ロセスを用いてパターニングできる感光性樹脂であれば
使用可能である。
【００２０】また、本実施の形態ではコンタクト部位６
の形成にＣＦ4 ＋Ｏ2 ガスを用いドライエッチを行った
が、これに限定されない。すなわち、Ｏ2、Ｎ2、Ｈｅ2
ガス等のスイッチング能動素子保護膜７に対しドライエ
ッチ可能なガスを用いてコンタクト部位６を形成しても
可能である。更にドライエッチに限らずスイッチング能
動素子保護膜７に対しエッチング可能な薬品を使用しウ
エットエッチングを用いてコンタクト部位６を形成して
も可能である。
の形成にＣＦ4 ＋Ｏ2 ガスを用いドライエッチを行った
が、これに限定されない。すなわち、Ｏ2、Ｎ2、Ｈｅ2
ガス等のスイッチング能動素子保護膜７に対しドライエ
ッチ可能なガスを用いてコンタクト部位６を形成しても
可能である。更にドライエッチに限らずスイッチング能
動素子保護膜７に対しエッチング可能な薬品を使用しウ
エットエッチングを用いてコンタクト部位６を形成して
も可能である。
【００２１】また、本実施の形態ではカラーフィルタ膜
１１の形成にフィルム転写方式を用い、エッチングレジ
スト膜の形成にスピンコート方式を用いたが、これに限
定されない。すなわち、ロールコート方式、スリット塗
布方式、スリットアンドスピン方式、インクジェット方
式、印刷方式に限らず成膜可能な方法で形成しても可能
である。
１１の形成にフィルム転写方式を用い、エッチングレジ
スト膜の形成にスピンコート方式を用いたが、これに限
定されない。すなわち、ロールコート方式、スリット塗
布方式、スリットアンドスピン方式、インクジェット方
式、印刷方式に限らず成膜可能な方法で形成しても可能
である。
【００２２】また、本実施の形態では球状のスペーサー
１４を用いたが、柱スペーサー等の間隙を保てるもので
構成しても可能である。
１４を用いたが、柱スペーサー等の間隙を保てるもので
構成しても可能である。
【００２３】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、スイッチ
ング能動素子と画素電極とを接続するためのカラーフィ
ルタ膜およびスイッチング能動素子保護膜のコンタクト
部位を、カラーフィルタ膜のコンタクト部位を先に形成
し、その後スイッチング能動素子保護膜のコンタクト部
位をエッチングにより形成することにより、スイッチン
グ能動素子と画素電極の導通が容易になりスイッチング
能動素子と画素電極のコンタクト抵抗値が低く良好な導
通を持った高性能なカラーフィルタオンアレイ基板を得
る事ができ、高歩留りのカラーフィルタオンアレイ型液
晶表示装置を製造することができる。
ング能動素子と画素電極とを接続するためのカラーフィ
ルタ膜およびスイッチング能動素子保護膜のコンタクト
部位を、カラーフィルタ膜のコンタクト部位を先に形成
し、その後スイッチング能動素子保護膜のコンタクト部
位をエッチングにより形成することにより、スイッチン
グ能動素子と画素電極の導通が容易になりスイッチング
能動素子と画素電極のコンタクト抵抗値が低く良好な導
通を持った高性能なカラーフィルタオンアレイ基板を得
る事ができ、高歩留りのカラーフィルタオンアレイ型液
晶表示装置を製造することができる。
【図１】本発明の実施の形態におけるカラーフィルタオ
ンＴＦＴアレイ基板の製造方法を示す工程断面図
ンＴＦＴアレイ基板の製造方法を示す工程断面図
【図２】本発明の実施の形態におけるカラーフィルタオ
ンＴＦＴアレイ型液晶表示装置の断面図
ンＴＦＴアレイ型液晶表示装置の断面図
【図３】従来のカラーフィルタオンＴＦＴアレイ基板の
製造方法を示す工程断面図
製造方法を示す工程断面図
【図４】従来のカラーフィルタオンＴＦＴアレイ型液晶
表示装置の断面図
表示装置の断面図
１ 画素電極（ＩＴＯ） ２ Ｒ，Ｇ，Ｂ膜 ３ 遮光層（ＢＭ） ４ オーバーコート膜 ５ スイッチング能動素子 ６，６’ コンタクト部位 ７ スイッチング能動素子保護膜 ８ ガラス基板 ９ ＴＦＴアレイ基板 １０ レジスト １１ カラーフィルタ膜 １２ マスク １３ 配向膜 １４ スペーサー １５ 液晶層 １６ カラーフィルタオンＴＦＴアレイ基板 １７ 対向基板 １８ 偏光板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０９Ｆ 9/30 ３４９ Ｇ０９Ｆ 9/30 ３４９Ｂ 9/35 9/35 Ｈ０１Ｌ 21/336 Ｈ０１Ｌ 29/78 ６１６Ｋ 29/786 (72)発明者 谷口 由雄 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 吉田 正典 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2H048 BA43 BA48 BB02 BB07 BB08 BB44 2H091 FA01Y FA08X FA08Z FA34Y FC26 FD06 GA03 GA13 GA16 LA12 LA15 2H092 HA04 JA24 JA46 JB57 KB24 KB26 MA10 MA12 MA17 NA15 PA08 PA09 5C094 AA21 AA42 BA03 BA43 CA19 CA24 DA14 DA15 DB04 EA04 EA07 EB02 EC03 ED03 ED14 FB12 FB15 5F110 AA26 BB01 HL07 HM18 NN05 NN27 NN32 NN72 QQ10
Claims (6)
- 【請求項１】 画素電極を駆動するためのスイッチング
能動素子およびそれを覆うスイッチング能動素子保護膜
を形成したアレイ基板上にカラーフィルタ膜を設け、前
記カラーフィルタ膜上に前記カラーフィルタ膜およびス
イッチング能動素子保護膜のコンタクト部位を介して前
記スイッチング能動素子と接続される前記画素電極を設
けたカラーフィルタオンアレイ基板を備えた液晶表示装
置の製造方法であって、 前記カラーフィルタ膜およびスイッチング能動素子保護
膜のコンタクト部位は、前記カラーフィルタ膜のコンタ
クト部位を形成し、その後前記スイッチング能動素子保
護膜のコンタクト部位をエッチングにより形成すること
を特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項２】 カラーフィルタ膜とスイッチング能動素
子のコンタクト部位を形成するために用いるエッチング
レジストとは感光性樹脂を用いて形成する事を特徴とす
る請求項１記載の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項３】 スイッチング能動素子のコンタクト部位
を形成するために用いるエッチングレジストの膜厚はス
イッチング能動素子保護膜のエッチングレイトに合わせ
た膜厚とする事を特徴とする請求項１または２記載の液
晶表示装置の製造方法。 - 【請求項４】 スイッチング能動素子のコンタクト部位
を形成するためのエッチングはスイッチング能動素子保
護膜に対しエッチング可能なガスを用いてドライエッチ
ング処理を行う事を特徴とする請求項１，２または３記
載の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項５】 カラーフィルタ膜はフィルム転写工程を
経て形成する事を特徴とする請求項１，２，３または４
記載の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項６】 請求項１から５のいずれかの液晶表示装
置の製造方法により製造されたカラーフィルタオンアレ
イ基板と、前記カラーフィルタオンアレイ基板との間に
液晶を挟持する対向電極基板とを備えた液晶表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001158440A JP2002350886A (ja) | 2001-05-28 | 2001-05-28 | 液晶表示装置の製造方法および液晶表示装置 |
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100458516C (zh) * | 2003-03-28 | 2009-02-04 | 夏普株式会社 | 液晶显示装置用基板和使用它的液晶显示装置 |
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-
2001
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