JP4127019B2 - 多面付け透明電極用蒸着メタルマスク - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はブラックマトリクス及び画素状カラーフィルタが形成されたカラーフィルタ基板上に透明電極を形成するのに用いられる多面付けされた透明電極用蒸着メタルマスクに関する。
【0002】
【従来の技術】
カラー液晶ディスプレイは、図3に示すように、一方の面に液晶駆動用のTFTアレイ基板60が、他方の面にカラーフィルタ基板40が設けられており、TFT基板60とカラーフィルタ基板40との間に封入された液晶71をTFTアレイ61で駆動することによりカラー表示を行っている。
このカラー液晶ディスプレイに用いられているカラーフィルタ基板40には透明基板21上にブラックマトリクス31、赤、青、緑の色分離用の画素状カラーフィルタ41及び透明電極51が形成されている。
【0003】
上記透明電極51は通常、42合金あるいはSUS430等を加工した蒸着メタルマスクを用いてガラス等の透明基板上に形成されたブラックマトリクス及び画素状カラーフィルター上に酸化インジューム等を蒸着することによって形成される。
この蒸着メタルマスクはカラーフィルター基板40の画素状カラーフィルタ41の面付けに合わせて多面付けされるのが一般的である(例えば、特許文献1及び特許文献2参照。)。
【0004】
図2(a)には、多面付けされた蒸着メタルマスクの一部を示す蒸着メタルマスク20を示す。
単位蒸着マスクの4隅の電極端子用マスク13は図2(b)に示すように、複雑な形状をしている。
電極端子用マスク13は透明電極51の電気的導通をとる電極端子になるところで、蒸着マスクが金属ブリッジ部14を介して面付けされる際金属ブリッジ部14が2mm以下になる部分で、蒸着メタルマスク20の強度的に一番弱い部分になっており、金属ブリッジ部14が捩れ、変形等を起こして、カラーフィルター基板40の樹脂ブラックマトリクスあるいは画素状カラーフィルタの表面を擦り、樹脂パターンに傷が付いたり、樹脂パターンの一部が剥がれる等の現象が発生しており、蒸着メタルマスク20を用いてカラーフィルター基板40上に透明電極を形成する際の問題点となっている。
【0005】
【特許文献1】
特開2001−237073号公報
【特許文献2】
特開2002−69619号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記問題点に鑑み考案されたもので、多面付けされた単位蒸着マスクの電極用端子マスク間の金属ブリッジ部を補強することにより、透明電極作製時にカラーフィルター基板の樹脂マトリクス及び画素状カラーフィルタを損傷することなく、強度的に優れた多面付け透明電極用蒸着メタルマスクを提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明の多面付け透明電極用蒸着メタルマスクは、蒸着マスクの4隅に電極端子用マスクが形成された単位蒸着マスクが金属ブリッジ部を介して多面付けされており、前記電極端子用マスク間の金属ブリッジ部の一方の面をハーフエッチングし、前記電極端子用マスクの金属ブリッジ部の側面及びハーフエッチング領域に樹脂被膜を形成し、補強することにより、透明電極作製時にカラーフィルター基板を損傷することなく、強度的に優れた多面付け透明電極用蒸着メタルマスクを得るようにしたものである。
【0008】
【発明の実施の形態】
図1(a)は、本発明の多面付け透明電極用蒸着メタルマスクの一実施例を示す部分平面図である。図1(b)は、図1(a)のA部を拡大した部分拡大平面図である。図1(c)は、図1(b)をB−B’線で切断した部分断面図である。
本発明の多面付け透明電極用蒸着メタルマスク10は、図1(a)、(b)及び(c)に示すように、4隅に電極端子用マスク13を備えた単位蒸着マスク12が金属ブリッジ部14を介して所定個数多面付けされており、金属ブリッジ部14の一方の面をハーフエッチングし、電極端子用マスク13の金属ブリッジ部14の側面及びハーフエッチング領域に樹脂被膜15a及び15bを形成して、金属ブリッジ部14を補強したものである。
【0009】
多面付け透明電極用蒸着メタルマスク10の形成法について述べる。
まず、42合金あるいはSUS430等の金属板11の両面にフォトレジストを塗布するか、ドライフィルムを貼り合わせる等の方法で感光層を形成する。
次に、蒸着マスクが多面付けされた露光マスクを用いてパターン露光、現像、エッチング等の一連のパターニング処理を行って、4隅に電極端子用マスク13を備えた単位蒸着マスク12が金属ブリッジ部14を介して所定個数多面付けされ、金属ブリッジ部14の一方の面がハーフエッチングされた蒸着用メタルマスクを得る。
【0010】
さらに、電極端子用マスク13の金属ブリッジ部14の側面及びハーフエッチング領域に樹脂を塗布して、金属ブリッジ部14の側面及びハーフエッチング領域が樹脂被膜15a及び15bで補強された多面付け透明電極用蒸着メタルマスクを得る。
ここで、金属ブリッジ部14の側面及びハーフエッチング領域に樹脂被膜を形成する方法としては、樹脂ペーストをスクリーン印刷するか、マスクを用いたスプレーコーティング法が使用でき、樹脂としては、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂が使用できる。
【0011】
【発明の効果】
上記したように、本発明の多面付け透明電極用蒸着メタルマスクは電極端子用マスク13の金属ブリッジ部14の側面及びハーフエッチング領域が樹脂被膜で補強されているため、金属ブリッジ部14が2mm以下になっても、金属ブリッジ部14が捩れ、変形等を起こさず、透明電極作製時にカラーフィルター基板の樹脂マトリクス及び画素状カラーフィルタを損傷することなく、且つ、強度的に優れた多面付け透明電極用蒸着メタルマスクを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は、本発明の多面付け透明電極用蒸着メタルマスクの一実施例を示す部分平面図である。
(b)は、(a)のA部を拡大した部分平面図である。
(c)は、(b)をB−B’線で切断した構成断面図である。
【図2】(a)は、従来の多面付け透明電極用蒸着メタルマスクの一実施例を示す部分平面図である。
(b)は、(a)のA部を拡大した部分平面図である。
【図3】カラー液晶ディスプレイの構成の一例を示す模式構成断面図である。
【符号の説明】
10……多面付け透明電極用蒸着メタルマスク
11……金属板
12……蒸着マスク
13……電極端子用マスク
14……金属ブリッジ部
15a、15b……樹脂被膜
20……多面付け透明電極用蒸着メタルマスク
21、22……透明基板
31……樹脂ブラックマトリクス
40……カラーフィルタ基板
41……画素状カラーフィルタ
51……透明電極
60……TFTアレイ基板
61……TFTアレイ
71……液晶
Claims (1)
- 蒸着マスクの4隅に電極端子用マスクが形成された単位蒸着マスクが金属ブリッジ部を介して多面付けされた透明電極用蒸着メタルマスクであって、前記電極端子用マスク間の金属ブリッジ部の一方の面をハーフエッチングし、前記電極端子用マスクの金属ブリッジ部の側面及びハーフエッチング領域を樹脂被膜で補強したことを特徴とする多面付け透明電極用蒸着メタルマスク。
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