JP3634925B2 - 液晶表示用カラーフィルタ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、カラー液晶表示装置のガラス基板に設けられるカラーフィルタ及びその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、液晶表示装置は、卓上型機器等の小型表示手段を中心として開発されてきたが、近年、表示のカラー化、大画面化及び高精細化の要請に伴い、そのガラス基板上に形成されるITO膜による透明電極の抵抗値が高くなる傾向にあり、そのため特に、単純マトリックス液晶のSTN(Super Twisted Nematic)方式等においては、クロストーク等の発生で画質が劣化する問題があった。これに対して、低抵抗化するために透明電極の膜厚を厚く形成したり、あるいは透明電極に沿って補助電極を形成する構造等が検討されている。なお、カラー液晶表示装置に使用されるカラーフィルタには、画素電極以外の領域の不要な光を遮断する働きを有し、高コントラストを得るために格子状のブラックマトリックス層が形成されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、低抵抗化するために従来のITO膜による透明電極の膜厚を厚く形成することは、ガラス基板上の段差が大きくなり、後工程の膜形成等に支障が生じたり、透過率が低下したり、コスト高になる欠点があった。また、透明電極に沿って補助電極を形成する構造では、開口率が低下したり、コスト高になる欠点があった。
【0004】
そこで本発明は、ガラス基板上に形成する透明電極を安価に低抵抗化でき、大画面化に適した液晶表示用カラーフィルタ及びその製造方法を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の液晶表示用カラーフィルタは、ガラス基板上に画素となる赤(R)、緑(G)、青(B)3色のカラーフィルタ層をパターン形成し、このカラフィルタ層の間にブラックマトリックス層を形成し、そのカラーフィルタ層の上に透明電極層を形成した液晶表示用カラーフィルタにおいて、前記ブラックマトリックス層は、導電性膜からなり、透明電極層と並行する同方向の格子状パターン間に隙間を設けて電気的に互いに絶縁されたパターンに形成され、この絶縁されたパターンにそれぞれ対応する前記透明電極層を電気的に接続し、前記隙間は前記格子状パターンの交点に対応する部分に細長い矩形状の切り欠き部を設けた形状に形成されていることを特徴とするものである。導電性膜からなり、電気的に互いに絶縁されたパターンのブラックマトリックス層を透明電極層に電気的に接続することで、安価に低抵抗化される。
【0006】
また、本発明の液晶表示用カラーフィルタの製造方法は、ガラス基板上に導電性膜により格子状で同方向の格子状パターン間に、該格子状パターンの交点に対応する部分に細長い矩形状の切り欠き部を設けた形状に形成された隙間を設けて互いに絶縁されたパターンを形成するブラックマトリックス層を形成する工程と、前記ブラックマトリックス層の絶縁されたパターン間に画素となる赤(R)、緑(G)、青(B)3色のカラーフィルタ層をパターン形成する工程と、前記カラーフィルタ層の上に透明電極層を形成するとともに、前記絶縁されたパターンに電気的に接続する透明電極層を形成する工程とを備えることを特徴とするものである。透明電極層との接続をカラーフィルタ層の間の全てにおいて行うため電気的接続が確実になる。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下本発明を図示の実施形態により具体的に説明する。図1は本発明実施形態の液晶表示用カラーフィルタを説明する断面図、図2は本発明実施形態の液晶表示用カラーフィルタを説明する平面図である。なお、図1は図2のA−A線に沿った断面図であり、また、図2においてブラックマトリックス層をハッチングした実線、カラーフィルタ層を一点鎖線、透明電極層を点線で示している(以下、図4においても同様である)。
【0008】
これらの図において、本実施形態の液晶表示用カラーフィルタ10は、ガラス基板11上にパターン形成された赤(R)、緑(G)及び青(B)3色のカラーフィルタ層12(R,G,B)と、カラーフィルタ層12(R,G,B)の間に格子状に形成されたブラックマトリックス層13と、カラーフィルタ層12(R,G,B)の上にストライプ状に形成された透明電極層14とを備えており、このブラックマトリックス層13は、導電性を有する、例えば、ブラック膜であるクロム(Cr)膜13aの上に金(Au)等の導電性金属膜13bが形成された構造からなり、かつ透明電極層14と並行する同方向のパターン間に隙間15を設け電気的に互いに絶縁されたパターンに形成され、これら絶縁されたパターンにそれぞれ対応する透明電極層13が電気的に接続された構造のものである。
【0009】
図3は本発明実施形態の液晶表示用カラーフィルタ製造工程を説明する図である。
【0010】
まず、図3(a)に示すように、ガラス基板11上に、例えば、1000Å程度の膜厚のクロム(Cr)膜13aを真空蒸着法やスパッタリング法により形成し、続いて図3(b)に示すように、クロム膜13a上に、例えば、金(Au)、銀(Ag)、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、アルミニュウム(Al)等の材料からなる導電性金属膜13bを1000Å程度の膜厚に形成する。この導電性金属膜13bは、真空蒸着法やメッキ法でも形成されるが、焼成ペーストにより密着性よく低コストに形成される。例えば、本実施形態においては、金の焼成ペーストをクロム膜13a上に所定の必要な膜厚に塗布し、300〜580℃程度の高温処理することにより成形された。
【0011】
次に、図3(c)に示すように、クロム膜13a及び導電性金属膜13bをホトレジストをマスクに用いてエッチングし、ブラックマトリックス層13としての格子状パターンを形成する。このパターンは、例えば、図2に示すように、後に形成される透明電極層14に並行する同方向のパターン間に小さい隙間15を設け電気的に互いに絶縁されたパターンに形成する。
【0012】
次に、図3(d)に示すように、格子状のブラックマトリックス層13の格子パターンの間に、画素となる赤(R)、緑(G)及び青(B)3色のカラーフィルタ層12(R,G,B)が、例えば、分散法、染色法、印刷法あるいは電着法等により通常必要とされる膜厚に形成される。ここで、赤(R)、緑(G)及び青(B)のパターン配置は、例えば、モザイク型、トライアングル型、ストライプ型等各種あるが、本実施形態ではストライプ型にパターン形成されている。
【0013】
次に、図3(e)に示すように、透明電極層13及びカラーフィルタ層12(R,G,B)の上に、例えば、厚さが4000Å程度の膜厚にITO膜等からなる透明電極層14が形成され、続いて、図3(f)に示すように、ストライプ状にパターン形成される。これによりカラーフィルタ層12(R,G,B)の上に形成されたストライプ状の透明電極層14は、それぞれ同方向に形成されたブラックマトリックス層13の互いに絶縁されたパターンの導電性金属膜13bに電気的に接続される。
【0014】
上記構成の液晶表示用カラーフィルタ10によれば、カラーフィルタ層12(R,G,B)の間に形成されたブラックマトリックス層13が、クロム膜13a及び金等の導電性金属膜13bから形成され、かつストライプ状に形成された透明電極層14と並行する同方向のパターン間に隙間15を設けて電気的に互いに絶縁したパターンに形成し、この絶縁されたパターンにそれぞれ対応する透明電極層14を電気的に接続したことで、透明電極層14に抵抗値の低いブラックマトリックス層13が並列に設けられるため低抵抗化になる。この実施形態では、従来の透明電極層単体での抵抗値が、例えば、4Ω/cm2程度であったものが、膜厚を従来と同程度でにしても1Ω/cm2程度まで低抵抗化を実現できるようになった。ここで、ブラックマトリックス層13は、パターン間に隙間15を設けているが、この隙間15は電気的に絶縁するに十分に小さいものでよく、高コントラストを得る機能に支障はない。さらに、本実施形態の製造方法によれば、ブラックマトリックス層13をクロム膜13a及び金等の導電性金属膜13bの2層に形成し、導電性金属膜13bを金等の焼成ペーストにより形成しているため成形が簡単で安価になり、かつ透明電極層14との接続をカラーフィルタ層12(R,G,B)の間の全てにおいて行うため電気的接続が確実になる。したがって、透明電極層14を従来と同程度の膜厚に形成しても、導電性を有するブラックマトリックス層13に接続することで、低抵抗化を安価に行うことができ、透過率を低下させたり、開口率を低下させることなく、大画面化に適した液晶表示用カラーフィルタを製造することができる。
【0015】
図4は本発明の他の実施形態の液晶表示用カラーフィルタを説明する平面図、図5は図4のB−B線断面図である。なお、前記実施形態に対応する部分は同一の符号を記す。
【0016】
この実施形態の液晶表示用カラーフィルタ20は、透明電極層14に直交する方向にカラーフィルタ層12(R,G,B)がストライプ型にパターン形成されており、前記実施形態と同様にクロム膜21a及び金等の導電性金属膜21bからなるブラックマトリックス層21は、透明電極層14と並行する同方向のパターン間に他の形状の隙間22を設け電気的に互いに絶縁されたパターンに形成され、これら絶縁されたパターンにそれぞれ対応する透明電極層13が電気的に接続された構造のものである。この隙間22は、格子状の交点に対応する部分に細長い矩形状の切り欠き部を設けた形状に形成されている。
【0017】
上記構成の液晶表示用カラーフィルタ20によれば、上記実施形態と同様に透明電極層14を導電性を有するブラックマトリックス層13に接続することで、低抵抗化を安価に行うことができ、透過率を低下させたり、開口率を低下させることなく、大画面化に適した液晶表示用カラーフィルタを製造することができる。また、この実施形態では、隙間22を格子状の交点に対応する部分に細長い矩形状の切り欠き部を設けた形状にすることで、絶縁を確実にできるとともに、高コントラストを得るための画素への影響を小さくすることができる。
【0018】
なお、上記各実施形態において、ブラックマトリックス層13,21をクロム膜13a,21a及び金等の導電性金属膜13b,21bで形成した例を説明したが、少なくともブラックマトリックスとしての機能を有し、かつ導電性膜から形成されていればよく、例えば、ブラック膜としての樹脂ブラック膜に導電性金属膜を形成してもよく、2層膜でなく導電性金属膜だけあるいは多層膜に形成してもよい。また、隙間15,22は、パターン間の絶縁が確実に行われ、かつ画素に影響を与えない形状であればよく実施形態に限定されない。
【0019】
本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明の精神を逸脱しない範囲内において種々の改良及び変更をなし得ることはもちろんである。
【0020】
【発明の効果】
以上説明したように本発明の液晶表示用カラーフィルタは、導電性膜からなり、電気的に互いに絶縁されたパターンのブラックマトリックス層を透明電極層にそれぞれ電気的に接続することで、透明電極層を安価に低抵抗化でき、大画面化を実現できる。
【0021】
また、本発明の液晶表示用カラーフィルタの製造方法は、ブラックマトリックス層を導電性金属膜により形成し、透明電極層との接続をカラーフィルタ層の間の全てにおいて行うことで、電気的接続が確実になる。さらに、ブラックマトリックス層を導電性金属のの焼成ペーストにより成形すれば安価にできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明実施形態の液晶表示用カラーフィルタを説明する断面図である。
【図2】本発明実施形態の液晶表示用カラーフィルタを説明する平面図である。
【図3】本発明実施形態の液晶表示用カラーフィルタ製造工程を説明する図である。
【図4】本発明の他の実施形態の液晶表示用カラーフィルタを説明する平面図である。
【図5】図4のB−B線断面図である。
【符号の説明】
10 液晶表示用カラーフィルタ
11 ガラス基板
12 カラーフィルタ層
13 ブラックマトリックス層
13a クロム膜
13b 導電性金属膜
14 透明電極層
15 隙間
20 液晶表示用カラーフィルタ
21 ブラックマトリックス層
21a クロム膜
21b 導電性金属膜
22 隙間
Claims (2)
- ガラス基板上に画素となる赤(R)、緑(G)、青(B)3色のカラーフィルタ層をパターン形成し、このカラーフィルタ層の間にブラックマトリックス層を形成し、そのカラーフィルタ層の上に透明電極層を形成した液晶表示用カラーフィルタにおいて、
前記ブラックマトリックス層は、導電性膜からなり、透明電極層と並行する同方向の格子状パターン間に隙間を設けて電気的に互いに絶縁されたパターンに形成され、この絶縁されたパターンにそれぞれ対応する前記透明電極層を電気的に接続し、前記隙間は前記格子状パターンの交点に対応する部分に細長い矩形状の切り欠き部を設けた形状に形成されていることを特徴とする液晶表示用カラーフィルタ。 - ガラス基板上に導電性膜により格子状で同方向の格子状パターン間に、該格子状パターンの交点に対応する部分に細長い矩形状の切り欠き部を設けた形状に形成された隙間を設けて互いに絶縁されたパターンを形成するブラックマトリックス層を形成する工程と、前記ブラックマトリックス層の絶縁されたパターン間に画素となる赤(R)、緑(G)、青(B)3色のカラーフィルタ層をパターン形成する工程と、前記カラーフィルタ層の上に透明電極層を形成するとともに、前記絶縁されたパターンに電気的に接続する透明電極層を形成する工程とを備えることを特徴とする液晶表示用カラーフィルタの製造方法。
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