JPH0627482A - 電極基板及びそれを用いた液晶表示装置及びその製造方法 - Google Patents
電極基板及びそれを用いた液晶表示装置及びその製造方法Info
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- JPH0627482A JPH0627482A JP4184974A JP18497492A JPH0627482A JP H0627482 A JPH0627482 A JP H0627482A JP 4184974 A JP4184974 A JP 4184974A JP 18497492 A JP18497492 A JP 18497492A JP H0627482 A JPH0627482 A JP H0627482A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】マトリクス型表示パネルにおいてクロストーク
及び輝度傾斜、コントラストの改善を目的とする。 【構成】マトリクス型表示パネルにおいて、表示用の透
明電極の抵抗を下げるため表示エリア外の一部を金属電
極１０とコンタクトし、金属膜を表示エリア内では、透
明電極７の間に配線することによりブラックマスク１０
として用いることを特徴とする。
及び輝度傾斜、コントラストの改善を目的とする。 【構成】マトリクス型表示パネルにおいて、表示用の透
明電極の抵抗を下げるため表示エリア外の一部を金属電
極１０とコンタクトし、金属膜を表示エリア内では、透
明電極７の間に配線することによりブラックマスク１０
として用いることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は表示装置の透明電極と金
属電極との配線の製造方法とその配線構造に関するもの
である。
属電極との配線の製造方法とその配線構造に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】たとえば、従来の液晶表示装置の透明電
極の抵抗を低くする方法としては、 （１）透明電極膜を厚くした構成、もしくは、透明電極
の比抵抗を下げた材料にする。
極の抵抗を低くする方法としては、 （１）透明電極膜を厚くした構成、もしくは、透明電極
の比抵抗を下げた材料にする。
【０００３】（２）金属の補助電極を透明電極膜に沿わ
せた構成がある。この構成は、図７、図８に示すよう
に、補助電極を透明電極膜の上面に配した構造である。
（詳しくは特開昭６１−７７０３１号公報参照）また
は、特開昭２−２８１２３７号公報に示すように、補助
電極を透明電極膜の下面に配した構造である。
せた構成がある。この構成は、図７、図８に示すよう
に、補助電極を透明電極膜の上面に配した構造である。
（詳しくは特開昭６１−７７０３１号公報参照）また
は、特開昭２−２８１２３７号公報に示すように、補助
電極を透明電極膜の下面に配した構造である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記（１）の
ように透明電極を厚くすると、透過率が低下すると共に
表面状態が悪化してしまう。また、透明電極の比抵抗の
低い材料が近年開発されつつあるが、エッチング性が悪
い、膜質が安定しないなどの問題があった。また、
（２）の構成では、以下にかかげる問題があった。
ように透明電極を厚くすると、透過率が低下すると共に
表面状態が悪化してしまう。また、透明電極の比抵抗の
低い材料が近年開発されつつあるが、エッチング性が悪
い、膜質が安定しないなどの問題があった。また、
（２）の構成では、以下にかかげる問題があった。
【０００５】１）エッチング液として補助電極膜はエッ
チングし、透明電極膜としては極力エッチングしにくい
ものを使用するが実際には透明電極膜もエッチングされ
その表面状態も悪くなったり、膜厚も薄くなってしまい
抵抗値が上昇する。 ２）補助電極膜が透明電極膜の上にある場合は、補助電
極がオーバーエッチングされ、補助電極を寸法精度よく
形成することが出来ない。そのため、補助電極と透明電
極膜との密着不良による接触抵抗値の上昇がおこる。
チングし、透明電極膜としては極力エッチングしにくい
ものを使用するが実際には透明電極膜もエッチングされ
その表面状態も悪くなったり、膜厚も薄くなってしまい
抵抗値が上昇する。 ２）補助電極膜が透明電極膜の上にある場合は、補助電
極がオーバーエッチングされ、補助電極を寸法精度よく
形成することが出来ない。そのため、補助電極と透明電
極膜との密着不良による接触抵抗値の上昇がおこる。
【０００６】３）補助電極膜が透明電極膜の下にある場
合は、透明電極がオーバーエッチングされた時、補助電
極を透明電極の下に寸法精度よく構成することが出来な
い。そのため、抵抗値のバラツキが発生したり、完全に
遮光できずに光漏れができてしまった。
合は、透明電極がオーバーエッチングされた時、補助電
極を透明電極の下に寸法精度よく構成することが出来な
い。そのため、抵抗値のバラツキが発生したり、完全に
遮光できずに光漏れができてしまった。
【０００７】従って、上記の（１）、（２）の構成で
は、クロストローク及び輝度の改善が困難であった。
は、クロストローク及び輝度の改善が困難であった。
【０００８】本発明は、例えばマトリクス型液晶表示パ
ネルにおいて、クロストーク及び輝度傾斜やコントラス
トの改善を可能とした液晶表示装置を提供することを目
的とする。
ネルにおいて、クロストーク及び輝度傾斜やコントラス
トの改善を可能とした液晶表示装置を提供することを目
的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の電極基板は、表
示用電極の抵抗を下げるため表示用電極の下に金属膜を
設けたことを特徴とする。
示用電極の抵抗を下げるため表示用電極の下に金属膜を
設けたことを特徴とする。
【００１０】本発明の液晶表示装置は、１対の基板間に
シール部を介して液晶が挟持され、少なくとも一方に透
明電極を持つ液晶表示装置において、表示用電極の抵抗
を下げるため表示用電極の下に金属膜を設けたことを特
徴とする。
シール部を介して液晶が挟持され、少なくとも一方に透
明電極を持つ液晶表示装置において、表示用電極の抵抗
を下げるため表示用電極の下に金属膜を設けたことを特
徴とする。
【００１１】本発明の液晶表示装置の製造方法は、ブラ
ックマスクとして用いる金属膜の幅を、透明電極間幅、
もしくは透明電極間幅よりも大きく配線し、表示エリア
内のみ透明な絶縁膜を形成し、さらにその上に透明電極
を形成したことを特徴とする。
ックマスクとして用いる金属膜の幅を、透明電極間幅、
もしくは透明電極間幅よりも大きく配線し、表示エリア
内のみ透明な絶縁膜を形成し、さらにその上に透明電極
を形成したことを特徴とする。
【００１２】
〔実施例１〕図１は、本発明の実施例１における要部の
構成を示す断面図である。
構成を示す断面図である。
【００１３】１はシール材で、２，３は液晶の組立体で
４は液晶である。
４は液晶である。
【００１４】１０は金属補助電極でブラックマスクを兼
ねる。６，７は本発明の第１実施例の透明電極であり、
各々のガラス基板８，９上に形成してある。ガラス基板
の外側には、位相差フィルム１１と偏光板１２がある。
透明電極６と透明電極７とは平面上に直交している。図
２は、透明電極部分の拡大図である。金属補助電極１０
のブラックマスクは、透明電極間幅に形成され、比抵抗
が低く導通性があり且つ遮光性のある金属、たとえばＡ
ｌ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｍｏ、Ａｕ、Ａｇ等である。そして、
端子部分でコンタクトされていることを特徴とする。
ねる。６，７は本発明の第１実施例の透明電極であり、
各々のガラス基板８，９上に形成してある。ガラス基板
の外側には、位相差フィルム１１と偏光板１２がある。
透明電極６と透明電極７とは平面上に直交している。図
２は、透明電極部分の拡大図である。金属補助電極１０
のブラックマスクは、透明電極間幅に形成され、比抵抗
が低く導通性があり且つ遮光性のある金属、たとえばＡ
ｌ、Ｃｒ、Ｔａ、Ｍｏ、Ａｕ、Ａｇ等である。そして、
端子部分でコンタクトされていることを特徴とする。
【００１５】〔実施例２〕図３は、本発明における要部
の構成を示す断面図で、金属補助電極１０は、ブラック
マスクと金属補助電極でこの場合はＡｌ層である。ガラ
ス基板８もしくは基板９の上に透明電極間幅Ｗ１で形成
してある。そして図４は、駆動エリア部分の要部構造図
で金属補助電極１０上に絶縁膜５としてＳｉＯ2もしく
は絶縁性のある透明レジストを用いて表示エリア全部を
覆ってある。透明レジストを用いた場合は、図５に示す
ように必要に応じてコンタクトホール１６を開けておく
ことにより信頼性を上げることは、言うまでもない。
の構成を示す断面図で、金属補助電極１０は、ブラック
マスクと金属補助電極でこの場合はＡｌ層である。ガラ
ス基板８もしくは基板９の上に透明電極間幅Ｗ１で形成
してある。そして図４は、駆動エリア部分の要部構造図
で金属補助電極１０上に絶縁膜５としてＳｉＯ2もしく
は絶縁性のある透明レジストを用いて表示エリア全部を
覆ってある。透明レジストを用いた場合は、図５に示す
ように必要に応じてコンタクトホール１６を開けておく
ことにより信頼性を上げることは、言うまでもない。
【００１６】図６の端子部分の構造は、透明電極（ＩＴ
Ｏ）７が、金属補助電極１０の端子部分Ｗ２を完全に覆
ってガラス基板８上に形成してあることを示しこれは、
基板９の上においても同様であり、片方の基板のみであ
ってもさしつかえない。図４の透明電極７の幅Ｗ３に対
して、図６の駆動回路からのリード線が接続される端末
部分の幅Ｗ４は、Ｗ３に等しいかもしくはＷ３よりも広
い。金属補助電極１０の幅Ｗ２は、Ｗ４とほぼ同等の幅
である。しかし、実装のボンディング方法により金属部
が最表面になる構造をなすこともある。その場合、腐食
され易い金属の場合実装後樹脂にてモールドを行う必要
がある。
Ｏ）７が、金属補助電極１０の端子部分Ｗ２を完全に覆
ってガラス基板８上に形成してあることを示しこれは、
基板９の上においても同様であり、片方の基板のみであ
ってもさしつかえない。図４の透明電極７の幅Ｗ３に対
して、図６の駆動回路からのリード線が接続される端末
部分の幅Ｗ４は、Ｗ３に等しいかもしくはＷ３よりも広
い。金属補助電極１０の幅Ｗ２は、Ｗ４とほぼ同等の幅
である。しかし、実装のボンディング方法により金属部
が最表面になる構造をなすこともある。その場合、腐食
され易い金属の場合実装後樹脂にてモールドを行う必要
がある。
【００１７】〔実施例３〕次に、上記の透明電極６の形
成方法について説明する。
成方法について説明する。
【００１８】まず、ガラス基板上にスパッタもしくは、
蒸着法にてＡｌを２００〜３０００Å膜付けを行い、次
にフォトレジストにてパターンギャップ幅Ｗ１にレジス
トを残し、Ａｌのエッチングをおこなう。その上に、端
子部分Ｗ２のみを残し絶縁膜の樹脂コート膜をコーター
にて１〜３ミクロン施し、さらにその上にＩＴＯ膜や酸
化スズの膜付けをおこない、露光、現像により電極パタ
ーニングをおこなう。この時の透明電極は、金属補助電
極により抵抗値を下げることができるため１５００Å以
下の薄膜にすることができる。そのため、透過率が５％
以上上がりなおかつ膜づけ時間とエッチング時間の大幅
短縮が可能となった。また、この絶縁膜５は、耐薬品性
がありＩＴＯや酸化スズのエッチングの際に、金属配線
が切れたり細くなったりすることがない。
蒸着法にてＡｌを２００〜３０００Å膜付けを行い、次
にフォトレジストにてパターンギャップ幅Ｗ１にレジス
トを残し、Ａｌのエッチングをおこなう。その上に、端
子部分Ｗ２のみを残し絶縁膜の樹脂コート膜をコーター
にて１〜３ミクロン施し、さらにその上にＩＴＯ膜や酸
化スズの膜付けをおこない、露光、現像により電極パタ
ーニングをおこなう。この時の透明電極は、金属補助電
極により抵抗値を下げることができるため１５００Å以
下の薄膜にすることができる。そのため、透過率が５％
以上上がりなおかつ膜づけ時間とエッチング時間の大幅
短縮が可能となった。また、この絶縁膜５は、耐薬品性
がありＩＴＯや酸化スズのエッチングの際に、金属配線
が切れたり細くなったりすることがない。
【００１９】〔実施例４〕実施例３における絶縁膜をス
ピンコート、ディップ処理等にて全面に行う場合は、感
光性樹脂を用いて露光現像をおこない、金属配線と接続
する部分のみ樹脂を除き、その上にＩＴＯ膜や酸化スズ
の膜付けをおこなう。この方法だと複雑な配線パターン
においても、透明電極のＩＴＯや酸化スズとの接続部分
を多くとることができ、低抵抗における配線間のバラツ
キが小さくなりより信頼性が増す。本実施例は、液晶表
示パネルについてのみ述べたが、ＥＬやプラズマディス
プレイについても同様のことが言える。
ピンコート、ディップ処理等にて全面に行う場合は、感
光性樹脂を用いて露光現像をおこない、金属配線と接続
する部分のみ樹脂を除き、その上にＩＴＯ膜や酸化スズ
の膜付けをおこなう。この方法だと複雑な配線パターン
においても、透明電極のＩＴＯや酸化スズとの接続部分
を多くとることができ、低抵抗における配線間のバラツ
キが小さくなりより信頼性が増す。本実施例は、液晶表
示パネルについてのみ述べたが、ＥＬやプラズマディス
プレイについても同様のことが言える。
【００２０】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、補助
電極が精度よく、且つ透明電極になんら影響も与えずに
形成され、又透明電極も補助電極になんら影響を与えず
に形成されるため、良好な透明電極を形成することがで
きる。これにより、端子間の電気抵抗を小さくでき、表
示パネルに適用した場合にはクロストーク及び輝度傾斜
コントラストを大幅に改善出来ると言う効果を有する。
電極が精度よく、且つ透明電極になんら影響も与えずに
形成され、又透明電極も補助電極になんら影響を与えず
に形成されるため、良好な透明電極を形成することがで
きる。これにより、端子間の電気抵抗を小さくでき、表
示パネルに適用した場合にはクロストーク及び輝度傾斜
コントラストを大幅に改善出来ると言う効果を有する。
【図１】本発明の実施例１を示す断面図。
【図２】本発明の実施例１を示す構造図。
【図３】本発明の実施例２を示す断面図。
【図４】本発明の実施例２を示す構造図。
【図５】本発明の実施例２を示す断面図。
【図６】本発明の実施例２を示す構造図。
【図７】従来の液晶表示装置の断面図。
【図８】従来の液晶表示装置の平面図。
１．シール材 ２．液晶組立体 ３．液晶組立体 ４．液晶 ５．絶縁膜 ６．透明電極 ７．透明電極 ８．ガラス基板 ９．ガラス基板 １０．金属補助電極 １１．位相差フィルム １２．偏光板 １４．絶縁膜 １６．コンタクトホール
Claims (6)
- 【請求項１】表示用電極の抵抗を下げるため表示用電極
の下に金属膜を設けたことを特徴とする電極基板。 - 【請求項２】請求項１の金属膜を表示エリア内では、表
示電極の間に配線することにより、ブラックマスクとし
て用いることを特徴とする電極基板。 - 【請求項３】請求項１の金属膜に２００〜５０００Åの
膜厚の低抵抗金属を用い、透明電極として酸化インジュ
ームに酸化スズなどの金属酸化物を添加した金属酸化物
膜、もしくは酸化スズを用いたことを特徴とする請求項
１または、２記載の電極基板。 - 【請求項４】１対の基板間にシール部を介して液晶が挟
持され、少なくとも一方に透明電極を持つ液晶表示装置
において、電極抵抗を下げるため請求項１の電極基板を
用いたことを特徴とする液晶表示装置。 - 【請求項５】請求項２記載の電極基板を用いたことを特
徴とする液晶表示装置。 - 【請求項６】ブラックマスクとして用いる金属膜の幅を
透明電極間幅、もしくは透明電極間幅よりも大きく配線
し、表示エリア内のみ透明な絶縁膜を形成し、さらにそ
の上に透明電極を形成したことを特徴とする液晶表示装
置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04184974A JP3111658B2 (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | 電極基板の製造方法及び液晶装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04184974A JP3111658B2 (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | 電極基板の製造方法及び液晶装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0627482A true JPH0627482A (ja) | 1994-02-04 |
| JP3111658B2 JP3111658B2 (ja) | 2000-11-27 |
Family
ID=16162606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04184974A Expired - Fee Related JP3111658B2 (ja) | 1992-07-13 | 1992-07-13 | 電極基板の製造方法及び液晶装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3111658B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012077630A1 (ja) * | 2010-12-06 | 2012-06-14 | 阪本 順 | パネル、パネルの製造方法、太陽電池モジュール、印刷装置および印刷方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7424886B1 (en) | 2007-02-06 | 2008-09-16 | Herzer Bernardo J | Portable gas powered internal combustion engine arrangement |
| JP5055303B2 (ja) | 2009-01-16 | 2012-10-24 | 三菱重工業株式会社 | ガスエンジンのゼロガバナ取付構造 |
-
1992
- 1992-07-13 JP JP04184974A patent/JP3111658B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012077630A1 (ja) * | 2010-12-06 | 2012-06-14 | 阪本 順 | パネル、パネルの製造方法、太陽電池モジュール、印刷装置および印刷方法 |
| JP2013153228A (ja) * | 2010-12-06 | 2013-08-08 | Sakamoto Jun | パネル、パネルの製造方法、太陽電池モジュール、印刷装置および印刷方法 |
| EP2650922A1 (en) * | 2010-12-06 | 2013-10-16 | Sakamoto, Jun | Panel, method for producing panel, solar cell module, printing apparatus, and printing method |
| US20130269749A1 (en) * | 2010-12-06 | 2013-10-17 | Jun Sakamoto | Panel, panel manufacturing method, solar cell module, printing apparatus, and printing method |
| CN103384918A (zh) * | 2010-12-06 | 2013-11-06 | 阪本顺 | 面板、面板的制造方法、太阳电池模块、印刷装置及印刷方法 |
| JP2014089750A (ja) * | 2010-12-06 | 2014-05-15 | Sakamoto Jun | タッチパネル、及びタッチパネルの製造方法 |
| JPWO2012077630A1 (ja) * | 2010-12-06 | 2014-05-19 | 阪本 順 | ソーラーパネルおよびソーラーパネルの製造方法 |
| JP2015037768A (ja) * | 2010-12-06 | 2015-02-26 | 阪本 順 | 印刷装置および印刷方法 |
| EP2650922A4 (en) * | 2010-12-06 | 2017-05-10 | Sakamoto, Jun | Panel, method for producing panel, solar cell module, printing apparatus, and printing method |
| CN103384918B (zh) * | 2010-12-06 | 2017-05-10 | 阪本顺 | 面板、面板的制造方法、太阳电池模块、印刷装置及印刷方法 |
| US9905708B2 (en) | 2010-12-06 | 2018-02-27 | Jun Sakamoto | Panel, panel manufacturing method, solar cell module, printing apparatus, and printing method |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3111658B2 (ja) | 2000-11-27 |
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