JPH04171420A - 液晶表示装置とその製造方法 - Google Patents
液晶表示装置とその製造方法Info
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- JPH04171420A JPH04171420A JP2298217A JP29821790A JPH04171420A JP H04171420 A JPH04171420 A JP H04171420A JP 2298217 A JP2298217 A JP 2298217A JP 29821790 A JP29821790 A JP 29821790A JP H04171420 A JPH04171420 A JP H04171420A
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- liquid crystal
- crystal display
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- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 title claims abstract description 20
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 9
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 25
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 abstract description 5
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 abstract description 5
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 abstract description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 abstract description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 abstract description 2
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 abstract 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 abstract 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 abstract 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 9
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 6
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は、液晶表示装置とくにカラー液晶表示装置とそ
の製法に関する。
の製法に関する。
液晶表示装置に代表されるフラットパネルデイスプレィ
において、表示容量の拡大やカラー化に伴い、より抵抗
の低い透明電極が必要とされているが、プラスチックフ
ィルム基板に透明電極を製膜する場合、基板の温度を高
くすることができないため低抵抗の膜を作製することは
難しい。
において、表示容量の拡大やカラー化に伴い、より抵抗
の低い透明電極が必要とされているが、プラスチックフ
ィルム基板に透明電極を製膜する場合、基板の温度を高
くすることができないため低抵抗の膜を作製することは
難しい。
従来、カラーの表示装置では表示色をよりシャープなも
のにするために、赤、緑、青の各カラーフィルターの境
界部分にブラックマトリックスと呼ばれる精巧な遮光層
を設けている。ところで、基板にフィルムを用いること
によって、印刷により前記カラーフィルターの作製がよ
り低コストでできるようになったが、従来要求されてい
るブラックマトリックスは印刷精度の関係で、現状では
満足できるものが得られていない。一方、ブランクマト
リックスがないと、カラーフィルターの作製に高い精度
が要求さ些るほか透明電極の加工や位置合わせにも高い
精度が必要となってしまう。
のにするために、赤、緑、青の各カラーフィルターの境
界部分にブラックマトリックスと呼ばれる精巧な遮光層
を設けている。ところで、基板にフィルムを用いること
によって、印刷により前記カラーフィルターの作製がよ
り低コストでできるようになったが、従来要求されてい
るブラックマトリックスは印刷精度の関係で、現状では
満足できるものが得られていない。一方、ブランクマト
リックスがないと、カラーフィルターの作製に高い精度
が要求さ些るほか透明電極の加工や位置合わせにも高い
精度が必要となってしまう。
本発明の目的は、基板にプラスチックフィルムを用いた
液晶表示装置における透明電極の低抵抗化を達成する点
にある。
液晶表示装置における透明電極の低抵抗化を達成する点
にある。
本発明の他の目的は、補助電極をブラックマトリックス
として利用する点にある。
として利用する点にある。
本発明のもう１つの目的は、透明電極のエツチングにさ
いして、補助電極をマスクとして使用する点にある。
いして、補助電極をマスクとして使用する点にある。
本発明の第１は、透明電極を有する２枚の透明プラスチ
ック基板を一定の間隔を設けて対向配置し、その間に液
晶を封入した液晶表示装置において、透明電極の両端に
金属薄膜による補助電極を設けたことを特徴とする液晶
表示装置に関する。
ック基板を一定の間隔を設けて対向配置し、その間に液
晶を封入した液晶表示装置において、透明電極の両端に
金属薄膜による補助電極を設けたことを特徴とする液晶
表示装置に関する。
本発明の第２は、基板と透明電極の間にカラーフィルタ
ーを挿入し、該カラーフィルターの赤、緑、青の各境界
部分と補助電極が表示方向から画くとき少くともそれら
の１部がお互いに重なった状態に配置されている請求項
１記載の液晶表示装置に関する。
ーを挿入し、該カラーフィルターの赤、緑、青の各境界
部分と補助電極が表示方向から画くとき少くともそれら
の１部がお互いに重なった状態に配置されている請求項
１記載の液晶表示装置に関する。
本発明の第３は、液晶表示装置の製造方法において、透
明電極膜をエツチングするにさいし、補助電極をマスク
として使用することを特徴とする請求項１または２記載
の液晶表示装置の製造方法に関する。
明電極膜をエツチングするにさいし、補助電極をマスク
として使用することを特徴とする請求項１または２記載
の液晶表示装置の製造方法に関する。
本発明においては、透明電極を低抵抗化するために、各
電極の両端に金属薄膜による補助電極を設け、この補助
電極をカラーフィルターの色の境界部分と重なる構成と
することによってブラックマトリックスとしての機能を
もたせることができる。
電極の両端に金属薄膜による補助電極を設け、この補助
電極をカラーフィルターの色の境界部分と重なる構成と
することによってブラックマトリックスとしての機能を
もたせることができる。
透明電極として広く用いられているＩＴＯ膜はフォトレ
ジストとの密着性が悪い為、精度良くエツチングするこ
とは難しい。そこで、ＩＴＯ膜と密着性の良いクロムを
補助電極材として用い、補助電極をマスクとしてＩＴＯ
膜をエツチングすることによって、精度良く透明電極を
形成することができる。
ジストとの密着性が悪い為、精度良くエツチングするこ
とは難しい。そこで、ＩＴＯ膜と密着性の良いクロムを
補助電極材として用い、補助電極をマスクとしてＩＴＯ
膜をエツチングすることによって、精度良く透明電極を
形成することができる。
以下、実施例に基づき説明する。
プラスチックフィルムのなかでは耐熱性の高いポリエー
テルサルフオンフィルム（０，１ｍｍ厚）を基板１にし
て０．１１１１１１ピツチのカラーフィルター２を印刷
によって作成した。なお、プラスチックフィルムはポリ
カーボネートやポリアクリレート等でもよい。アクリル
系樹脂の保護膜３を形成したのちスパッタ法によってＩ
ＴＯ膜４を１５０℃で約１０００人製膜した。この膜の
抵抗は８０Ω／口程度である。続いて、ＩＴＯ膜との密
着性の良いクロム膜５、ついで抵抗の低い銅６を連続し
てそれぞれ５００人厚に製膜し、補助電極９とした。な
お、補助電極としてはＣｒ／Ｃｕ ／ ＣｒやＣｒ ／
Ｎ ｉ ／ Ｃｒ等も使用できる。
テルサルフオンフィルム（０，１ｍｍ厚）を基板１にし
て０．１１１１１１ピツチのカラーフィルター２を印刷
によって作成した。なお、プラスチックフィルムはポリ
カーボネートやポリアクリレート等でもよい。アクリル
系樹脂の保護膜３を形成したのちスパッタ法によってＩ
ＴＯ膜４を１５０℃で約１０００人製膜した。この膜の
抵抗は８０Ω／口程度である。続いて、ＩＴＯ膜との密
着性の良いクロム膜５、ついで抵抗の低い銅６を連続し
てそれぞれ５００人厚に製膜し、補助電極９とした。な
お、補助電極としてはＣｒ／Ｃｕ ／ ＣｒやＣｒ ／
Ｎ ｉ ／ Ｃｒ等も使用できる。
第１図に示すようにカラーフィルターの色境界と補助電
極９とが表示方向から画くとき少くともその１部がお互
いに重った状態に配置されるようにレジスト７を用いて
フォトリソグラフィーを行ない、銅層とクロム層よりな
る層９をエツチングした。第２図に示すように表示部と
なるところをレジスト８でカバーして、このフォトレジ
ストと先に加工した補助電極（５と６の層よりなる）を
マスクとして、ＩＴＯ膜よりなる透明電極４のエツチン
グを行なった。このため、表示画素の大きさは、補助電
極の間隔でのみ決定するので、ロットによるバラツキが
少なくなる。またＩＴＯとクロムは密着性が良いためエ
ツチングによるサイドエッチがほとんどみられない。電
極の抵抗は０．１ｍｍの電極幅にたいして、０．０１ｍ
ｍの補助電極を２本付けることによって１７１０程度に
低下した。
極９とが表示方向から画くとき少くともその１部がお互
いに重った状態に配置されるようにレジスト７を用いて
フォトリソグラフィーを行ない、銅層とクロム層よりな
る層９をエツチングした。第２図に示すように表示部と
なるところをレジスト８でカバーして、このフォトレジ
ストと先に加工した補助電極（５と６の層よりなる）を
マスクとして、ＩＴＯ膜よりなる透明電極４のエツチン
グを行なった。このため、表示画素の大きさは、補助電
極の間隔でのみ決定するので、ロットによるバラツキが
少なくなる。またＩＴＯとクロムは密着性が良いためエ
ツチングによるサイドエッチがほとんどみられない。電
極の抵抗は０．１ｍｍの電極幅にたいして、０．０１ｍ
ｍの補助電極を２本付けることによって１７１０程度に
低下した。
同様にして電極を形成した対向基板とともに配向処理し
たのち、０．００７ｍｍの間隔で貼り合わせ、液晶（メ
ルク社ＺＬＩ−２２９３）を封入、プラスチツク補償板
、偏光板を貼り、ツイスト角２３０゜の６４０ Ｘ ４
８０ドツトのオールプラスチックのカラー液晶表示パネ
ルを作成した。
たのち、０．００７ｍｍの間隔で貼り合わせ、液晶（メ
ルク社ＺＬＩ−２２９３）を封入、プラスチツク補償板
、偏光板を貼り、ツイスト角２３０゜の６４０ Ｘ ４
８０ドツトのオールプラスチックのカラー液晶表示パネ
ルを作成した。
（１）本発明は透明電極に補助電極を設けることによっ
て電極の抵抗値が従来の１７１０程度とすることができ
た。
て電極の抵抗値が従来の１７１０程度とすることができ
た。
（２）補助電極にブラックマトリックスの機能をもたせ
ることによって鮮明な画像を得ることができた。
ることによって鮮明な画像を得ることができた。
（３）補助電極をマスクとして透明電極のエツチングを
行なうことにより別途マスクの作成する必要がなく、か
つ正確なエツチングが可能となった。
行なうことにより別途マスクの作成する必要がなく、か
つ正確なエツチングが可能となった。
第１図（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は、本発明の実施例に
おける製造工程図である。 １・・・プラスチック基板 ２・・・カラーフィルター
３・・・保護膜 ４・・・透明電極（ＩＴＯ
膜）５・・・クロム膜 ６・・・銅膜特許出願
人 株式会社 リ コ −
おける製造工程図である。 １・・・プラスチック基板 ２・・・カラーフィルター
３・・・保護膜 ４・・・透明電極（ＩＴＯ
膜）５・・・クロム膜 ６・・・銅膜特許出願
人 株式会社 リ コ −
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、透明電極を有する２枚の透明プラスチック基板を一
定の間隔を設けて対向配置し、その間に液晶を封入した
液晶表示装置において、透明電極の両端に金属薄膜によ
る補助電極を設けたことを特徴とする液晶表示装置。 ２、基板と透明電極の間にカラーフィルターを挿入し、
該カラーフィルターの赤、緑、青の各境界部分と補助電
極が表示方向から画くとき少くともそれらの１部がお互
いに重なった状態に配置されている請求項１記載の液晶
表示装置。 ３、液晶表示装置の製造方法において、透明電極層をエ
ッチングするにさいし、補助電極をマスクとして使用す
ることを特徴とする請求項１または２記載の液晶表示装
置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2298217A JPH04171420A (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 | 液晶表示装置とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2298217A JPH04171420A (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 | 液晶表示装置とその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04171420A true JPH04171420A (ja) | 1992-06-18 |
Family
ID=17856737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2298217A Pending JPH04171420A (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 | 液晶表示装置とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04171420A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5559614A (en) * | 1995-05-01 | 1996-09-24 | Motorola, Inc. | Liquid crystal display with integral heater and method of fabricating same |
| CN102073164A (zh) * | 2011-01-17 | 2011-05-25 | 大连东方科脉电子有限公司 | 胆甾型液晶电子纸 |
| CN102591087A (zh) * | 2012-03-14 | 2012-07-18 | 大连东方科脉电子有限公司 | 一种三维混色电子纸 |
| WO2012146025A1 (zh) * | 2011-04-29 | 2012-11-01 | 大连东方科脉电子有限公司 | 全彩色胆甾型液晶电子纸 |
-
1990
- 1990-11-02 JP JP2298217A patent/JPH04171420A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5559614A (en) * | 1995-05-01 | 1996-09-24 | Motorola, Inc. | Liquid crystal display with integral heater and method of fabricating same |
| CN102073164A (zh) * | 2011-01-17 | 2011-05-25 | 大连东方科脉电子有限公司 | 胆甾型液晶电子纸 |
| WO2012097600A1 (zh) * | 2011-01-17 | 2012-07-26 | 大连东方科脉电子有限公司 | 胆甾型液晶电子纸 |
| WO2012146025A1 (zh) * | 2011-04-29 | 2012-11-01 | 大连东方科脉电子有限公司 | 全彩色胆甾型液晶电子纸 |
| CN102591087A (zh) * | 2012-03-14 | 2012-07-18 | 大连东方科脉电子有限公司 | 一种三维混色电子纸 |
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