JPH0315025A - カラー表示装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野〕 本発明は、ファクシミリ等からのワープロ，パソコン等
まで幅広い用途に応用可能なカラー表示装置に関するも
のである。

〔発明の概要〕

本発明は、カラーフィルター、その間隙に遮光膜、さら
にその上層に駆動のための透明電極を有する基板を用い
たカラー表示装置において、駆動のための透明電極が表
示領域の縁の遮光膜の段差により断線を生し易いことを
防ぐ目的で発明されたものである。具体的には、感光性
の遮光性樹脂を背面から露光する際に、フォトマスクま
たは基板の少なくとも一方を連続的または段階的に移動
させることにより、縁部の露光時間を変えて遍光膜の急
激な段差をなくし、上記問題点を極めて容易に解決した
カラー表示装置の製造方法である．〔従来の技術〕 従来のカラー表示装置の一例の模式断面図を第６図に示
す。この表示装置は、電着法によりカラーフィルターが
形威された例であるが、一方の透明基板２上に、カラー
フィルターを電着形成するための第１の透明電極３と、
この電極３に形成されたカラーフィルター４と、カラー
フィルター４問および表示領域の縁に遮光ｒ！９が形威
され、さらにこれらの上部に駆動のための第２の透明電
極５が形威されている．そして、対向側の基仮１は駆動
のための透明電極８が形戊されており、前述の透明基板
２とシ：ル剤７によって組立られ、セルを構戒する。セ
ル内には電気光学材料、例えば液晶が注入され、カラー
表示装置が完威する。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、カラーフィルターおよび遮光膜は、充分な特
性を出すために１．５〜２．０μｍの膜厚が必要である
．一方透明電極は１０００〜２０００人である．そのた
め第６図に示すように遮光膜９の段差部で、液晶駆動す
る透明電極５はステノプカバリソジによる断線が生しや
すい。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は上記課題を解決するため、カラーフィルターと
、このカラーフィルター間および表示領域の縁に設けら
れた遮光膜と、カラーフィルターおよび遣光膜上部に設
けられた透明電極とを有するカラー表示装置において、
上記表示領域の縁に設けられた渡光膜の、膜厚を表示領
域の外側に向かって連続的又は段階的に減少させる極め
て簡便な製造方法を提供するものであり、このことによ
り、断線を防ぐことが可能となる． 具体的には、基板上に感光性の遮光性樹脂を塗布する工
程と、表示領域の縁の遮光性樹脂を、フォトマスクまた
は基板の少なくとも一方を連続的または段階的に移動さ
せながら露光することにより、表示領域の外側に向かっ
て露光時間を連続的又は段階的に変化させ露光する工程
を含むことを特徴とする。

〔作用〕

遮光膜形成工程の背面露光時に、表示領域外の遮光膜を
除くためのフォトマスク又は基板を露光中に少し移動さ
せることにより、遮光膜の段差部に当たる位置の露光時
間が連続的または段階的に変わるため、遮光膜の段差を
第１図の如く連続的または第４図の如く段階的に変えて
形成でき、遮光膜のステップ力バリソジによる透明電極
の断線を防ぐことができた． 〔実施例〕 本発明で用いる遮光膜の形成方法は、透明電極上に金属
メッキされた透明基板上に、感光性の鵡光性樹脂たとえ
ばカーボンブランクを分敗させたネガ型レジストを塗布
し、透明基板の背面から露光する工程を経て形或される
．従って、一般のレジストの露光とは異なっており、露
光時間と現像後残存する感光性の遮光性樹脂膜厚との関
係は第５図の傾向を示す．すなわち本発明者等は露光時
間により膜厚を容易に制御できることを見出した。

この理由は、背面露光と遮光性（黒色）レジストに起因
する．すなわち背面から露光した場合、レジストは基板
側の層から重合していくが、レジスト中に顔料が分散し
ているため光は透過し難い．従って露光時間に応して基
板からのレジストが重合する厚みが変化する。よって露
光時間を変化させることにより、その露光時間に応した
膜厚の４光性レジストすなわち鵡光膜を形或することが
可能となる。

一方、露光時間の変化は、フォトマスク又は基板の移動
によって容易に可能である。すなわち、第３図の如く、
表示領域外の店光Ｉｌｌの不要部分を取り除くためのフ
ォトマスク１１を露光開始時点のの地点から、露光終了
時点に■地点まで連続的に移動させれば、縁部の露光さ
れている時間は第３図のグラフの如く連続的に変化する
。

以上の如く本発明は、背面露光，返光性レジスト，フォ
トマスクまたは基板の移動によって、容易に遮光膜の縁
部の膜厚を連続的または段階的に変化させることができ
るものである。

以下図面に基づいて説明する． 実施例１ 第２図は、本発明によるカラー表示装置の一例の断面図
である。構造は従来例で説明した第６図に示される構造
とほぼ同しである。異なる点は、表示領域の縁の遮光膜
部９１が断面で傾斜した構造となっているところである
。次に第ｌ図をもとに本発明による実施例の製法につい
て説明する。

■　第１図（ａｌの如く透明基板２に所定の形状に形威
された透明電極３上に無電解メッキによりＮ１１０を形
成した． ■　第１図山）の如くカーボンブラックを分散させたネ
ガ型レジスト９を■の基板上にスピンナー塗布し、フォ
トマスク１１を用いて背面露光した。フォトマスク１１
は露光開始時点は■の位置に置き、露光開始と同時に等
速で紙面右方向に移動させ、露光終了時に■の位置に来
るようにスピードを調整した。

■　第１図（’ｃｌの如く現像した後レジスト９を硬化
させ、次いで第１図＋ｄｌの如（Ｎｉ膜ＩＯをエソチャ
ントで剥離した。

■　第１図（ｅｌの如く透明電極上に電着法により赤（
Ｒ）　　・緑（ｃ）　　・青色（Ｂ）のカラーフィルタ
ー４を形威した。

■　第１図［ｆｌの如くカラーフィルター４上に透明電
極５を蒸着又はスパンタリング法等で威膜し、表示のた
めの駆動電極形状にパターニングした。

上記工程で製造したカラーフィルター基板を対向基板と
組み合わせ、カラー液晶表示装置を製作したところ、カ
ラーフィルターおよび遮光股上の透明電極５の断線発生
率が激滅した。

また、この実施例の第１図（ｂｌにおいて、フォトマス
ク１１を固定して基板２を逆方向に移動させた場合にも
、全く同様の効果が得られた。

実施例２ 第４図は、本発明による他の実施例の断面図であり、遮
光膜部９２を段階上に形成した例である。

この場合は、実施例ｌにおいて、フォトマスクもしくは
基板を露光中に２段階に分けて■地点から■地点まで移
動させて製作した。その結果、実施例ｌと同様の効果が
得られた。

なお、前述してきた実施例において、カラーフィルター
上に、平坦化もしくは上部の透明電極との密着性を高め
るため有機膜もしくは無機膜を形成したのち、透明電極
を形威し、バターニングを行った。この場合にも透明電
極パターン断線のないカラー液晶表示装置が得られた。

〔発明の効果〕

本発明は、遮光膜形威工程の露光時に、フォトマスクま
たは基板を移動させながら露光するのみで、従来発生率
の多かったカラーフィルター上の透明電極パターンの断
線を激減させたものであり、既に多くの工程を経た高価
なカラーフィルターの消費を大幅に減らずことが可能に
なったという点で、その効果は極めて大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の製造方法を説明する工程図、第２図は
本発明によるカラー表示装置の模式断面図、第３図は本
発明を説明するためのフォトマスクの移動と露光時間の
関係図、第４図は本発明による他の実施例の装置断面図
、第５図は本発明の原理を説明するための遣光性樹脂の
露光時間と現像後の遮光膜ＷＡ厚の関係図、第６図は従
来のカラー表示装置の模式断面図を示すものである。 ２　・　・ ５　・　・ ・　透明基１反 ・透明電極 ・カラーフィルター ・渣晶 ・シール剤 ・透明電極 ・返光膜 ・　Ｎｉ ・フォトマスク 以上

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）カラーフィルターと、このカラーフィルター間お
   よび表示領域の縁に設けられた遮光膜と、カラーフィル
   ターおよび遮光膜上部に設けられた透明電極とを有する
   カラー表示装置であって、且つ前記表示領域の縁に設け
   られた遮光膜の膜厚が、表示領域の外側に向かって連続
   的または段階的に減少して形成されているカラー表示装
   置の製造方法において、該遮光膜の製造工程が、基板上
   に感光性の遮光性樹脂を塗布する工程、基板背面よりフ
   ォトマスクを用いて露光する工程、現像工程からなり、
   基板背面より露光する際に表示領域の縁部の露光時間を
   連続的または段階的に変えたことを特徴とするカラー表
   示装置の製造方法。
2. （２）上記露光時間の連続的または段階的変化が露光中
   のフォトマスクまたは基板の少なくとも一方の連続的ま
   たは段階的移動により行われることを特徴とする特許請
   求の範囲第１項記載のカラー表示装置の製造方法。