JPH0317622A - 多色表示装置の製造方法 - Google Patents
多色表示装置の製造方法Info
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- JPH0317622A JPH0317622A JP1151973A JP15197389A JPH0317622A JP H0317622 A JPH0317622 A JP H0317622A JP 1151973 A JP1151973 A JP 1151973A JP 15197389 A JP15197389 A JP 15197389A JP H0317622 A JPH0317622 A JP H0317622A
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Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、カラーフィルターを応用した多色表示装置の
製造方法に関し、特に駆動電圧を低減するためにカラー
フィルター上に駆動用電極を設けた多色表示装置の製造
方法に関する。
製造方法に関し、特に駆動電圧を低減するためにカラー
フィルター上に駆動用電極を設けた多色表示装置の製造
方法に関する。
本発明はカラーフィルター上に透明導電膜を形威し、次
に全面、主に４００ｎｏ＋以下の光に高い感度を持つポ
ジレジストを塗布した後、カラーフィルターをフォトマ
スクとして光をカラーフィルターの背面より照射、ポジ
レジストを露光し、現像して、カラーフィルター間隙の
透明導電膜をエッチングする事により、非常に簡便な方
法ながら精度良くカラーフィルター上のみを駆動用の電
極を形成できるものである。
に全面、主に４００ｎｏ＋以下の光に高い感度を持つポ
ジレジストを塗布した後、カラーフィルターをフォトマ
スクとして光をカラーフィルターの背面より照射、ポジ
レジストを露光し、現像して、カラーフィルター間隙の
透明導電膜をエッチングする事により、非常に簡便な方
法ながら精度良くカラーフィルター上のみを駆動用の電
極を形成できるものである。
近年、液晶表示装置はカラーフィルターとの組み合わせ
により多色化が進んできている。最初は駆動用電極の上
にカラーフィルターを設け、カラーフィルターを介して
液晶を駆動していたが、大型化、多画素化が進む中で低
電圧駆動の要求が強く、カラーフィルター分の電圧ロス
を避けるためカラーフィルター上に駆動用電極を形威す
る方法が開発されつつある。
により多色化が進んできている。最初は駆動用電極の上
にカラーフィルターを設け、カラーフィルターを介して
液晶を駆動していたが、大型化、多画素化が進む中で低
電圧駆動の要求が強く、カラーフィルター分の電圧ロス
を避けるためカラーフィルター上に駆動用電極を形威す
る方法が開発されつつある。
第４図に、カラーフィルターを用いた多色液晶表示装置
の一例を示す。第４図においては４ｌはガラスより成る
透明基板、４２は透明導電膜より或る電極、４３はカラ
ーフィルターで電着法、染色法、印刷法等により形成さ
れる。なお、染色法、印刷法の場合は４２の電極は必要
ない。４４はカラーフィルター上にパターンを一致して
形成される透明導電膜より戒る駆動用電極であり、第５
図に示す工程にて形成される。第５図（ａ＋において５
１は透明基板で５２は透明電極、５３はカラーフィルタ
ーで電着性高分子と色素を含む溶液から電着法により形
成される。この基板全面にスパンク、蒸着等によりＩＴ
Ｏより或る透明導電膜５４が形成される。第５図ｆｂｌ
において透明導電膜上にレジスト５５が全面塗布される
。第５図（Ｃｌにおいてフォトマスク５６をカラーフィ
ルターパターンに一致させるようにアラインメントし、
光５７によりレジストを露光する。
の一例を示す。第４図においては４ｌはガラスより成る
透明基板、４２は透明導電膜より或る電極、４３はカラ
ーフィルターで電着法、染色法、印刷法等により形成さ
れる。なお、染色法、印刷法の場合は４２の電極は必要
ない。４４はカラーフィルター上にパターンを一致して
形成される透明導電膜より戒る駆動用電極であり、第５
図に示す工程にて形成される。第５図（ａ＋において５
１は透明基板で５２は透明電極、５３はカラーフィルタ
ーで電着性高分子と色素を含む溶液から電着法により形
成される。この基板全面にスパンク、蒸着等によりＩＴ
Ｏより或る透明導電膜５４が形成される。第５図ｆｂｌ
において透明導電膜上にレジスト５５が全面塗布される
。第５図（Ｃｌにおいてフォトマスク５６をカラーフィ
ルターパターンに一致させるようにアラインメントし、
光５７によりレジストを露光する。
第５図ｆｄ＋においてレジストを現像し、カラーフィル
ター間隙部分の透明導電膜を露出させる。第５図ｔｅｌ
においてカラーフィルター間隙の透明導電膜をエッチン
グし、残存レジストを剥離させ、カラーフィルター上の
みに駆動電極５８を形成する。第４図に戻り多色液晶表
示装置の製造方法を説明すると、このようにして形威さ
れた駆動用電極４４を設けた基板４１と他の駆動用電極
４５を設けた基板４６を相対向させ、液晶４７を狭持す
る事によって多色液晶表示装置が構威される．このよう
に構威された多色液晶表示装置にカラーフィルターによ
る電圧ロスがなく低電圧駆動が可能なものである。
ター間隙部分の透明導電膜を露出させる。第５図ｔｅｌ
においてカラーフィルター間隙の透明導電膜をエッチン
グし、残存レジストを剥離させ、カラーフィルター上の
みに駆動電極５８を形成する。第４図に戻り多色液晶表
示装置の製造方法を説明すると、このようにして形威さ
れた駆動用電極４４を設けた基板４１と他の駆動用電極
４５を設けた基板４６を相対向させ、液晶４７を狭持す
る事によって多色液晶表示装置が構威される．このよう
に構威された多色液晶表示装置にカラーフィルターによ
る電圧ロスがなく低電圧駆動が可能なものである。
第４図および第５図にて説明した多色液晶表示装置の製
造方法においては、カラーフィルター上に駆動電極を形
成する際、カラーフィルターのパターンと同しパターン
を有する高い精度のフォトマスクを必要とする。フォト
マスクはカラーフィルターパターンが高精細になるにつ
れ、欠陥なく作るのが難しく、それだけ高価なものとな
る。また露光の際もカラーフィルターとフォトマスクの
アラインメントが必要であり、パターンが精細になれば
なるほど技術的に困難となり、装置上も工程上も複雑に
なり、不良となる確率も高い。
造方法においては、カラーフィルター上に駆動電極を形
成する際、カラーフィルターのパターンと同しパターン
を有する高い精度のフォトマスクを必要とする。フォト
マスクはカラーフィルターパターンが高精細になるにつ
れ、欠陥なく作るのが難しく、それだけ高価なものとな
る。また露光の際もカラーフィルターとフォトマスクの
アラインメントが必要であり、パターンが精細になれば
なるほど技術的に困難となり、装置上も工程上も複雑に
なり、不良となる確率も高い。
そこで、本発明は簡便な工程でカラ、一フィルター上に
精度の高い駆動用電極を形成する事を目的とし、カラー
フィルター自体をフォトマスクとして、透明電極をセル
ファラインメントでパターニングする手段として、カラ
ーフィルターに透明導電膜を形成し、主に４００ｎｍ以
下の光に高い感度を持つポジレジストを積層し、カラー
フィルター背面より光を照射してポジレジストを露光す
る事゛により、カラーフィルター間隙部分のポジレジス
１・のみが感光され、現住、エッチングする事により、
精度良くカラーフィルター上のみに透明電極が形成され
るものである。
精度の高い駆動用電極を形成する事を目的とし、カラー
フィルター自体をフォトマスクとして、透明電極をセル
ファラインメントでパターニングする手段として、カラ
ーフィルターに透明導電膜を形成し、主に４００ｎｍ以
下の光に高い感度を持つポジレジストを積層し、カラー
フィルター背面より光を照射してポジレジストを露光す
る事゛により、カラーフィルター間隙部分のポジレジス
１・のみが感光され、現住、エッチングする事により、
精度良くカラーフィルター上のみに透明電極が形成され
るものである。
現在、多色表示装置用のカラーフィルターとしては加法
混色における３原色、つまり赤・緑・青を使用すること
が多く、その分光特性は第３図に示すように４００ｎｍ
以下ではｉ！ｉ過率はほぼＯとなっている．すなわち４
００ｎｍ以下の光に対してはフォトマスクとして用いる
事ができ、セルファラインメントが可能である事も示し
ている。しかし、般的にレジストの露光に用いる光源は
４００ｎｍ以下の光のみを発生するものは少ない。光源
としては水銀ランプもしくはメタルハライドランプ等が
一般的であるが、例えば高圧水銀ランプの発光スペクト
ルは第３図中に示したようにｇ線（４３５ｎｍ） ，
ｈ線（４０５ｎ＋ｗ）， ｉ線（３６５ｎｍ）の３種が
主なものであり、種類によって多少の強弱や広がりを持
つ。メタルハライドランプの場合は明確な線スペクトル
ではなく、ブロードな広がりを持ったものが多い．方、
ポジレジストは一般的にｇ線，ｈ線５ １線のいずれに
も感度を有しており、４００ｎｍ以下の光のみに感光す
るものは少ない。しかし、ポジレジストの増感剤の種類
や吸光度によって、４００ｎｍ以下もしくは４００ｎｍ
以上のどちらに主な感度があるか決まってくる．本発明
者らは主に４００ｎｍ以下の光に高い感度を有するポジ
レジストを用いる事により目的が達威できる事を見出し
、その尺度として３６５ｎａ＋における膜厚ｌμｍ当た
りの吸光度が０，６以上有するという条件も見出した。
混色における３原色、つまり赤・緑・青を使用すること
が多く、その分光特性は第３図に示すように４００ｎｍ
以下ではｉ！ｉ過率はほぼＯとなっている．すなわち４
００ｎｍ以下の光に対してはフォトマスクとして用いる
事ができ、セルファラインメントが可能である事も示し
ている。しかし、般的にレジストの露光に用いる光源は
４００ｎｍ以下の光のみを発生するものは少ない。光源
としては水銀ランプもしくはメタルハライドランプ等が
一般的であるが、例えば高圧水銀ランプの発光スペクト
ルは第３図中に示したようにｇ線（４３５ｎｍ） ，
ｈ線（４０５ｎ＋ｗ）， ｉ線（３６５ｎｍ）の３種が
主なものであり、種類によって多少の強弱や広がりを持
つ。メタルハライドランプの場合は明確な線スペクトル
ではなく、ブロードな広がりを持ったものが多い．方、
ポジレジストは一般的にｇ線，ｈ線５ １線のいずれに
も感度を有しており、４００ｎｍ以下の光のみに感光す
るものは少ない。しかし、ポジレジストの増感剤の種類
や吸光度によって、４００ｎｍ以下もしくは４００ｎｍ
以上のどちらに主な感度があるか決まってくる．本発明
者らは主に４００ｎｍ以下の光に高い感度を有するポジ
レジストを用いる事により目的が達威できる事を見出し
、その尺度として３６５ｎａ＋における膜厚ｌμｍ当た
りの吸光度が０，６以上有するという条件も見出した。
ポジレジストのある波長における吸光度が大きいという
光とはその波長における感度が高い事を意味するもので
ある。この方法によれば、従来のように複雑な工程を経
る事なく非常に簡便にカラーフィルター上に精度良く透
明電極を形或する事ができ、実用上極めて有用なもので
ある。
光とはその波長における感度が高い事を意味するもので
ある。この方法によれば、従来のように複雑な工程を経
る事なく非常に簡便にカラーフィルター上に精度良く透
明電極を形或する事ができ、実用上極めて有用なもので
ある。
以下、実施例と比較例を用いて本発明を具体的に説明す
る。
る。
（実施例１）
第１図に本発明による多色液晶表示装置の実施例の断面
図を示す。（１）はガラスより成る基板、１２はＩＴ○
から成る透明電極、１３はカラーフィルターで電着性高
分子と色素を含む溶液中で透明電極１２に電圧を印加し
、１ｉ着させて形戊する。１４はカラーフィルターにパ
ターンを一敗させた！ＴＯよりなる駆動用透明電極で第
２図に示す工程にして作製する。第２図ｆａｔにおいて
２１はガラス基板で上にＩＴＯｉ３明電極２２とカラー
フィルター２３が形戊されている。さらにその上にスパ
ノタ、蒸着層によりＩＴＯから成る透明導電膜２４が形
成される。
図を示す。（１）はガラスより成る基板、１２はＩＴ○
から成る透明電極、１３はカラーフィルターで電着性高
分子と色素を含む溶液中で透明電極１２に電圧を印加し
、１ｉ着させて形戊する。１４はカラーフィルターにパ
ターンを一敗させた！ＴＯよりなる駆動用透明電極で第
２図に示す工程にして作製する。第２図ｆａｔにおいて
２１はガラス基板で上にＩＴＯｉ３明電極２２とカラー
フィルター２３が形戊されている。さらにその上にスパ
ノタ、蒸着層によりＩＴＯから成る透明導電膜２４が形
成される。
第２図（ｂｌにおいてポジレジスト２５ （ＴＳＭＲ−
８９００東京応化製）が全面塗布される。このポジレジ
ストは主に４００ｎｍ以下の光に高い感度を有し、３６
５ｎＩ１における１４当たりの吸光度は０．７である。
８９００東京応化製）が全面塗布される。このポジレジ
ストは主に４００ｎｍ以下の光に高い感度を有し、３６
５ｎＩ１における１４当たりの吸光度は０．７である。
第２図（Ｃｌにおいて、基板背面から高圧水銀ランプを
光源とした光２６でカラーフィルターをフォトマスクと
してポジレジストを露光させる。第２図＋ｄｉにおいて
ポジレジストを現像し、カラーフィルター間隙部分のＩ
ＴＯを露出させる。第２図ｔｅｌにおいてカラーフィル
ター間隙部分のＩＴＯをエノチングし、残存レジスト剥
離させ、カラーフィルター上のみに駆動電極２７を形゛
或する。この工程の中には精密なフォトマスクも正確な
アラインメントも不要であり、簡便ながら不良率を大幅
に改善できた。
光源とした光２６でカラーフィルターをフォトマスクと
してポジレジストを露光させる。第２図＋ｄｉにおいて
ポジレジストを現像し、カラーフィルター間隙部分のＩ
ＴＯを露出させる。第２図ｔｅｌにおいてカラーフィル
ター間隙部分のＩＴＯをエノチングし、残存レジスト剥
離させ、カラーフィルター上のみに駆動電極２７を形゛
或する。この工程の中には精密なフォトマスクも正確な
アラインメントも不要であり、簡便ながら不良率を大幅
に改善できた。
以下、第１図に戻り説明を続けると、このようにして形
威された透明電極１４を持つ基板（１）と他の駆動用電
極１５を形威した５板１６を相対向させエノチングｌ７
を狭持して多色液晶表示装置を作製した。
威された透明電極１４を持つ基板（１）と他の駆動用電
極１５を形威した５板１６を相対向させエノチングｌ７
を狭持して多色液晶表示装置を作製した。
この多色液晶表示装置は簡便な方法で作られたにもかか
わらず、欠陥による不良もなく、低電圧駆動に適したも
のであった。
わらず、欠陥による不良もなく、低電圧駆動に適したも
のであった。
（実施例２）
実施例ｌにおけるカラーフィルターｌ３を感光性ゼラチ
ンをパターニングして染料により染色して形或する染色
法にて透明電極ｌ２をはぶき基板１ｌに直接作製した。
ンをパターニングして染料により染色して形或する染色
法にて透明電極ｌ２をはぶき基板１ｌに直接作製した。
また、実施例１における露光用光源をメタルハライドラ
ンプとし、ポジレジスト２５をＴＳＭｌ？ｉ３ （東京
応化製）とした。このポジレジストの３６５ｒ＋ｎ＋に
おける１μｍ当たりの吸光度０．６であった。以下、他
は実施例ｌと同様にカラーフィルター上に透明電極１４
を形威し、多色液晶表示装置を構成したところ、実施例
ｌと同様の効果が得られた。
ンプとし、ポジレジスト２５をＴＳＭｌ？ｉ３ （東京
応化製）とした。このポジレジストの３６５ｒ＋ｎ＋に
おける１μｍ当たりの吸光度０．６であった。以下、他
は実施例ｌと同様にカラーフィルター上に透明電極１４
を形威し、多色液晶表示装置を構成したところ、実施例
ｌと同様の効果が得られた。
（比較例）
実施例ｌにおけるポジレジスト２５を３６５０閑におけ
る１μｍ当たりの吸光度が０．５であるＯＦＰＲ −
８００（東京応化Ｍ）にして、カラーフィルター背面か
ら光を当て露光し、カラーフィルター上に透明電極を形
成しようとしたところ、青のフィルターから漏れる４０
０ｎｍ以上の光によってレジストが露光されてしまい、
透明電極がエッチングされなくなってしまった。
る１μｍ当たりの吸光度が０．５であるＯＦＰＲ −
８００（東京応化Ｍ）にして、カラーフィルター背面か
ら光を当て露光し、カラーフィルター上に透明電極を形
成しようとしたところ、青のフィルターから漏れる４０
０ｎｍ以上の光によってレジストが露光されてしまい、
透明電極がエッチングされなくなってしまった。
以上、実施例にて具体的に説明したように、本発明によ
る多色表示装置の製造方法は、従来のように精密なフォ
トマスクや正確なアラインメントを必要とせず、カラー
フィルターをフォトマスクとしてセルファラインメント
で精度の高い透明電極パターンをカラーフィルター上に
形威できる。
る多色表示装置の製造方法は、従来のように精密なフォ
トマスクや正確なアラインメントを必要とせず、カラー
フィルターをフォトマスクとしてセルファラインメント
で精度の高い透明電極パターンをカラーフィルター上に
形威できる。
また、４００ｎｍ以下の光に高い感度を有するポジレジ
ストを用いるだけで、従来の製造設備を複雑化させる事
なく、非常に簡便に不良の少ない、低電圧駆動に適した
多色表示装置を大量に製造できるものである。
ストを用いるだけで、従来の製造設備を複雑化させる事
なく、非常に簡便に不良の少ない、低電圧駆動に適した
多色表示装置を大量に製造できるものである。
第１図は本発明による多色表示装置の断面図、第２図＋
ａｌ〜ＩＱＩは本発明によるカラーフィルター上透明電
極製造のための工程を示す断面図、第３図は各フィルタ
ーの分光特性と光源の輝度スペクトルを示す図、第４図
は従来の多色表示装置の断面図、第５図ｆａｔ〜ｔｅｌ
は従来のカラーフィルター上透明電極製造のための工程
を示す断面図である。 （１）， １６． ２１， ４１． ４６，１
２， １４． １５， ２７， ４２１３，２
３，４３．５３・ ・ ・ １７．４７・ ・ ・ ・ ・ ・ ・２４．５４・
・ ・ ・ ・ ・ ・２５．５５・ ・ ・ ・ ・
・ ・５６・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ２６ ５７・ ・ ・ ・ ・ ・ ・５１・・・基板 ４４， ４５． ５８・・・透明電極 ・・カラーフィルター ・・液晶 ・・透明導電膜 ・・レジスト ・・フォトマスク ・・光 以上
ａｌ〜ＩＱＩは本発明によるカラーフィルター上透明電
極製造のための工程を示す断面図、第３図は各フィルタ
ーの分光特性と光源の輝度スペクトルを示す図、第４図
は従来の多色表示装置の断面図、第５図ｆａｔ〜ｔｅｌ
は従来のカラーフィルター上透明電極製造のための工程
を示す断面図である。 （１）， １６． ２１， ４１． ４６，１
２， １４． １５， ２７， ４２１３，２
３，４３．５３・ ・ ・ １７．４７・ ・ ・ ・ ・ ・ ・２４．５４・
・ ・ ・ ・ ・ ・２５．５５・ ・ ・ ・ ・
・ ・５６・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ・ ２６ ５７・ ・ ・ ・ ・ ・ ・５１・・・基板 ４４， ４５． ５８・・・透明電極 ・・カラーフィルター ・・液晶 ・・透明導電膜 ・・レジスト ・・フォトマスク ・・光 以上
Claims (4)
- （１）カラーフィルターを用いた多色液晶表示装置の製
造方法において、 ［１］透明基板上に複数のカラーフィルターを形成する
工程 ［２］該カラーフィルター上に透明導電膜を全面形成す
る工程 ［３］該カラーフィルター上透明導電膜の全面に主に４
００ｎｍ以下の光に高い感度を持つポジレジストを塗布
する工程 ［４］該カラーフィルターをフォトマスクとして基板の
背面より光を照射し該ポジレジストを露光する工程 ［５］現像後、カラーフィルター間隙部分の透明導電膜
をエッチングしてカラーフィルター上のみに透明導電膜
を残存させる工程 を含む事を特徴とする多色表示装置の製造方法。 - （２）前記主に４００ｎｍ以下の光に高い感度を持つポ
ジレジストが３６５ｎｍにおける吸光度が膜厚１μｍ当
たり０．６以上有するポジレジストである事を特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の多色表示装置の製造方法
。 - （３）前記照射する光が水銀ランプもしくはメタルハラ
イドランプを光源として発生するものである事を特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の多色表示装置の製造方
法。 - （４）前記カラーフィルターが基板上に互いに絶縁され
て配置された複数の導電層を形成し、次にそれらの導電
層上に、電着高分子と色素とを分散された溶液より、電
着により選択的に形成される事を特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の多色表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1151973A JPH0317622A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 多色表示装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1151973A JPH0317622A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 多色表示装置の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0317622A true JPH0317622A (ja) | 1991-01-25 |
Family
ID=15530272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1151973A Pending JPH0317622A (ja) | 1989-06-14 | 1989-06-14 | 多色表示装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0317622A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5191780A (en) * | 1991-03-19 | 1993-03-09 | Kawasaki Steel Corporation | Roller-type straightening apparatus for h-beams |
| US5478681A (en) * | 1993-11-10 | 1995-12-26 | Nippon Oil Co., Ltd. | Method for producing color filter |
-
1989
- 1989-06-14 JP JP1151973A patent/JPH0317622A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US5478681A (en) * | 1993-11-10 | 1995-12-26 | Nippon Oil Co., Ltd. | Method for producing color filter |
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