JPH03105894A - 薄膜ｅｌ素子 - Google Patents
薄膜ｅｌ素子Info
- Publication number
- JPH03105894A JPH03105894A JP1242054A JP24205489A JPH03105894A JP H03105894 A JPH03105894 A JP H03105894A JP 1242054 A JP1242054 A JP 1242054A JP 24205489 A JP24205489 A JP 24205489A JP H03105894 A JPH03105894 A JP H03105894A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- emitting layer
- light emitting
- layer
- light
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 claims description 5
- 238000000059 patterning Methods 0.000 abstract description 9
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 abstract description 4
- PYWVYCXTNDRMGF-UHFFFAOYSA-N rhodamine B Chemical compound [Cl-].C=12C=CC(=[N+](CC)CC)C=C2OC2=CC(N(CC)CC)=CC=C2C=1C1=CC=CC=C1C(O)=O PYWVYCXTNDRMGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 229940043267 rhodamine b Drugs 0.000 abstract description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract description 3
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 abstract description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 5
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 4
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 3
- MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N anthracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C21 MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VPUGDVKSAQVFFS-UHFFFAOYSA-N coronene Chemical compound C1=C(C2=C34)C=CC3=CC=C(C=C3)C4=C4C3=CC=C(C=C3)C4=C2C3=C1 VPUGDVKSAQVFFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 2
- 239000007850 fluorescent dye Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- CJIJXIFQYOPWTF-UHFFFAOYSA-N 7-hydroxycoumarin Natural products O1C(=O)C=CC2=CC(O)=CC=C21 CJIJXIFQYOPWTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000012954 diazonium Substances 0.000 description 1
- 150000001989 diazonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- ANRHNWWPFJCPAZ-UHFFFAOYSA-M thionine Chemical compound [Cl-].C1=CC(N)=CC2=[S+]C3=CC(N)=CC=C3N=C21 ANRHNWWPFJCPAZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- ORHBXUUXSCNDEV-UHFFFAOYSA-N umbelliferone Chemical compound C1=CC(=O)OC2=CC(O)=CC=C21 ORHBXUUXSCNDEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/20—Changing the shape of the active layer in the devices, e.g. patterning
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/10—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
- H10K50/11—OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED] characterised by the electroluminescent [EL] layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K85/00—Organic materials used in the body or electrodes of devices covered by this subclass
- H10K85/60—Organic compounds having low molecular weight
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は薄膜ＥＬ素子に係り，特に、低駆動電圧，マル
チカラー化に好適な有機薄＠ＥＬ素子の構造及び発光層
材料に関する． 〔従来の技術〕 従来の薄膜ＥＬ素子は、ＺｎＳ母体中に発光中心として
Ｍｎ、あるいは，希土類元素を添加した発光層を絶縁層
で挟んだ、二重絶縁構造からなっており，高輝度，長寿
命が得られているが，ｌＩ動電圧が２００Ｖ程度と高い
という問題があった。
チカラー化に好適な有機薄＠ＥＬ素子の構造及び発光層
材料に関する． 〔従来の技術〕 従来の薄膜ＥＬ素子は、ＺｎＳ母体中に発光中心として
Ｍｎ、あるいは，希土類元素を添加した発光層を絶縁層
で挟んだ、二重絶縁構造からなっており，高輝度，長寿
命が得られているが，ｌＩ動電圧が２００Ｖ程度と高い
という問題があった。
（日経エレクトロニクス１９８１，１，９ ＆２７７
ｐ．８６（１９８１）に記載）低駆動電圧の薄膜Ｅ
Ｌ素子として、蛍光性の有機薄膜と正孔伝導性の有機薄
膜を積層した構造の有機薄膜ＥＬ素子が，特開昭５７−
５１７８１号公報及び、アプライド・ブイジツクス・レ
ター，５１，９１３頁（１ ９ ８ ７） （Ａｐｐｌ
． Ｐｈｙｓ． Ｌｅｔｔ．， ５ １ ，ｐ．９１３
（１９８７）に記載されている．このタイプの薄膜ＥＬ
素子は電極から注入された電子と正孔が再結合すること
によって発光し、駆動電圧１０Ｖ程度で１ ０ ０ ０
ｃ ｄ ／ ｒｄ以上の高輝度が得られている．また
、発光層材料として、アントラセン，コロネン，ベリレ
ンを用いることで、それぞれ青，緑，オレンジの発光色
が得られることがジャパニーズ・ジャーナル・オブ・ア
プライド・フイジックス２７，Ｌ２６９頁（１９８８年
） （Ｊｐｎ．Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．， ２７，
ｐ．Ｌ２ｆｉ９（１９８ｇ））に報告されている． 〔発明が解決しようとする課題〕 上記従来技術は、ＥＬ＊子のマルチカラー化に必要であ
る発光層のバターニングについての考慮がなされておら
ず、単色表示しかできなかった。
ｐ．８６（１９８１）に記載）低駆動電圧の薄膜Ｅ
Ｌ素子として、蛍光性の有機薄膜と正孔伝導性の有機薄
膜を積層した構造の有機薄膜ＥＬ素子が，特開昭５７−
５１７８１号公報及び、アプライド・ブイジツクス・レ
ター，５１，９１３頁（１ ９ ８ ７） （Ａｐｐｌ
． Ｐｈｙｓ． Ｌｅｔｔ．， ５ １ ，ｐ．９１３
（１９８７）に記載されている．このタイプの薄膜ＥＬ
素子は電極から注入された電子と正孔が再結合すること
によって発光し、駆動電圧１０Ｖ程度で１ ０ ０ ０
ｃ ｄ ／ ｒｄ以上の高輝度が得られている．また
、発光層材料として、アントラセン，コロネン，ベリレ
ンを用いることで、それぞれ青，緑，オレンジの発光色
が得られることがジャパニーズ・ジャーナル・オブ・ア
プライド・フイジックス２７，Ｌ２６９頁（１９８８年
） （Ｊｐｎ．Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．， ２７，
ｐ．Ｌ２ｆｉ９（１９８ｇ））に報告されている． 〔発明が解決しようとする課題〕 上記従来技術は、ＥＬ＊子のマルチカラー化に必要であ
る発光層のバターニングについての考慮がなされておら
ず、単色表示しかできなかった。
本発明の目的は、発光層のバターニング方法を提供し、
さらに，マルチカラーＥＬ索子を提供することにある． 〔課題を解決するための手段〕 上記目的を達或するために、発光層材料に感光性化合物
を用いて、発光層をフォトプロセスにより、直接、バタ
ーニングした．また、マルチカラー表示させるため、発
光色の異なる発光層を平面上の異なる位置に形或したも
のである．〔作用｝ フォトプロセスによるパターン形成の方法として通常は
、第２図に示したように、（ａ）発光層形成、（ｂ）フ
ォトレジスト塗布、（ｃ）露光，（ｄ）フォトレジスト
現像、（ｓ）エッチング、（ｆ）フォトレジスト剥離の
工程が必要である．しかし、有機薄膜ＥＬ，ｌ子は０．
１μｍ程度の非常に薄い薄膜を積層した構造であるため
，（ｅ）エッチング、（ｆ）フォトレジスト剥離の工程
で，有機薄膜が劣化し、ＥＬ輝度が低下してしまう。
さらに，マルチカラーＥＬ索子を提供することにある． 〔課題を解決するための手段〕 上記目的を達或するために、発光層材料に感光性化合物
を用いて、発光層をフォトプロセスにより、直接、バタ
ーニングした．また、マルチカラー表示させるため、発
光色の異なる発光層を平面上の異なる位置に形或したも
のである．〔作用｝ フォトプロセスによるパターン形成の方法として通常は
、第２図に示したように、（ａ）発光層形成、（ｂ）フ
ォトレジスト塗布、（ｃ）露光，（ｄ）フォトレジスト
現像、（ｓ）エッチング、（ｆ）フォトレジスト剥離の
工程が必要である．しかし、有機薄膜ＥＬ，ｌ子は０．
１μｍ程度の非常に薄い薄膜を積層した構造であるため
，（ｅ）エッチング、（ｆ）フォトレジスト剥離の工程
で，有機薄膜が劣化し、ＥＬ輝度が低下してしまう。
本発明では、発光層として感光性の化合物を用いること
で，第２図の（ｇ）発光層形或，（ｈ）露光，（ｉ）発
光層現像のみで発光層のバターニングができる．溶剤、
あるいは、エッチング液との接触回数が少ないので有機
薄膜の劣化も小さくなる．また、発光層は、三次元的に
橋かけ硬化したアモルファス構造であるため，熱的，化
学的に安定でＥＬ素子の経時変化も小さくなる．発光波
長は、移光性化合物に化学的に結合，又は，物理的に混
合した蛍光性化合物によって変えることができる． 〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。ガラ
ス基板１上に，陽極２としてＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔ
ｉｎ Ｏｘｉｄｅ） Ｉｌｌをスパッタリング法により
形或した。次に、正孔注入層３としてフタ口シアニンを
蒸着法により約０．１μｍの膜厚に形成した．この上に
，紫外線照射により橋かけ反応を生じるポリビニルアル
コールとテトラゾニウム塩に蛍光性化合物であるローダ
ミンＢを混合した水溶液をスピンコーティングにより塗
布し、約０．１μｍの厚さに感光性の発光層を形戒する
．ネガマスクを通して紫外線照射すると，露光部ではポ
リビニルアルコールとジアゾニウム塩との反応により橋
かけが応じて硬化する．非露光部は水洗により除去され
、発光層４のバターニングが完成する．最後に，陰極と
してインジウムを蒸着法により形或する． 陽極、及び，陰極に直流電圧を印加することで、発光層
から、ローダミンＢによるオレンジ色の発光が得られる
． 第二の実施例を第３＠に示す。ポリビニルアルコール，
テトラゾニウム塩にローダミンＢを混合したオレンジ色
発光層４ａを形成し、ストライプ状にパターニングした
後，同様の方法でポリビニルアルコール，テトラゾニウ
ム塩に７−ヒドロキシクマリンを混合した緑色発光層４
ｂを形或し、４ａと平行にストライプ状にバターニング
した。
で，第２図の（ｇ）発光層形或，（ｈ）露光，（ｉ）発
光層現像のみで発光層のバターニングができる．溶剤、
あるいは、エッチング液との接触回数が少ないので有機
薄膜の劣化も小さくなる．また、発光層は、三次元的に
橋かけ硬化したアモルファス構造であるため，熱的，化
学的に安定でＥＬ素子の経時変化も小さくなる．発光波
長は、移光性化合物に化学的に結合，又は，物理的に混
合した蛍光性化合物によって変えることができる． 〔実施例〕 以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。ガラ
ス基板１上に，陽極２としてＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔ
ｉｎ Ｏｘｉｄｅ） Ｉｌｌをスパッタリング法により
形或した。次に、正孔注入層３としてフタ口シアニンを
蒸着法により約０．１μｍの膜厚に形成した．この上に
，紫外線照射により橋かけ反応を生じるポリビニルアル
コールとテトラゾニウム塩に蛍光性化合物であるローダ
ミンＢを混合した水溶液をスピンコーティングにより塗
布し、約０．１μｍの厚さに感光性の発光層を形戒する
．ネガマスクを通して紫外線照射すると，露光部ではポ
リビニルアルコールとジアゾニウム塩との反応により橋
かけが応じて硬化する．非露光部は水洗により除去され
、発光層４のバターニングが完成する．最後に，陰極と
してインジウムを蒸着法により形或する． 陽極、及び，陰極に直流電圧を印加することで、発光層
から、ローダミンＢによるオレンジ色の発光が得られる
． 第二の実施例を第３＠に示す。ポリビニルアルコール，
テトラゾニウム塩にローダミンＢを混合したオレンジ色
発光層４ａを形成し、ストライプ状にパターニングした
後，同様の方法でポリビニルアルコール，テトラゾニウ
ム塩に７−ヒドロキシクマリンを混合した緑色発光層４
ｂを形或し、４ａと平行にストライプ状にバターニング
した。
この素子では、オレンジと緑の二色表示が可能である．
本発明の薄膜ＥＬ素子を用いたＥＬディスプレイは，駆
動電圧が低いので回路の小型化，低コスト化ができる．
また，このＥＬディスプレイをＯＡＩＩ器，計測機器な
どの表示部に使用すると、マルチカラー表示により情報
量の大きな表示ができる． 〔発明の効果〕 本発明によれば、有機薄膜を劣化させることなく、発光
層をバターニングできるので、有機薄膜ＥＬ素子のマル
チカラー化を実現することができる．
動電圧が低いので回路の小型化，低コスト化ができる．
また，このＥＬディスプレイをＯＡＩＩ器，計測機器な
どの表示部に使用すると、マルチカラー表示により情報
量の大きな表示ができる． 〔発明の効果〕 本発明によれば、有機薄膜を劣化させることなく、発光
層をバターニングできるので、有機薄膜ＥＬ素子のマル
チカラー化を実現することができる．
第１図は、本発明の一実施例の薄膜ＥＬ素子の断面図、
第２図は従来法及び本発明による発光層パターニングの
工程図、第３図は，本発明の他の実施例の薄膜ＥＬ素子
の平面図である．ｌ・・・ガラス基板、２・・・陽極、
３・・・正孔注入層、４・・・発光層、４ａ・・・オレ
ンジ色発光層、４ｂ・・・緑色発光層、５・・・陰極、
６・・・フォトレジスト、７・・・フォトマスク。
第２図は従来法及び本発明による発光層パターニングの
工程図、第３図は，本発明の他の実施例の薄膜ＥＬ素子
の平面図である．ｌ・・・ガラス基板、２・・・陽極、
３・・・正孔注入層、４・・・発光層、４ａ・・・オレ
ンジ色発光層、４ｂ・・・緑色発光層、５・・・陰極、
６・・・フォトレジスト、７・・・フォトマスク。
Claims (4)
- １．少なくとも一方が透明な二つの電極間に、有機発光
層を備えた薄膜ＥＬ素子において、 前記有機発光層が感光性をもつことを特徴とする薄膜Ｅ
Ｌ素子。 - ２．前記有機発光層は、橋かけ硬化したアモルフアス膜
であることを特徴とする請求項１に記載の薄膜ＥＬ素子
。 - ３．発光波長の異なる発光層が基板面上の異なる位置に
形成され、二色以上に多色表示できることを特徴とする
請求項１または２に記載の薄膜ＥＬ素子。 - ４．請求項１，２または３に記載の薄膜ＥＬ素子を用い
たＥＬデイスプレイ、及び、前記ＥＬデイスプレイを表
示部に用いた装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1242054A JPH03105894A (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 | 薄膜ｅｌ素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1242054A JPH03105894A (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 | 薄膜ｅｌ素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03105894A true JPH03105894A (ja) | 1991-05-02 |
Family
ID=17083593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1242054A Pending JPH03105894A (ja) | 1989-09-20 | 1989-09-20 | 薄膜ｅｌ素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03105894A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06256759A (ja) * | 1992-04-28 | 1994-09-13 | Canon Inc | 電界発光素子 |
| JPH0745864A (ja) * | 1993-07-27 | 1995-02-14 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 面発光素子 |
| US5432015A (en) * | 1992-05-08 | 1995-07-11 | Westaim Technologies, Inc. | Electroluminescent laminate with thick film dielectric |
| US5965280A (en) * | 1997-03-03 | 1999-10-12 | Hewlett-Packard Company | Patterned polymer electroluminescent devices based on microlithographic processes |
| US6002078A (en) * | 1992-08-10 | 1999-12-14 | Yamaha Corporation | Keyboard assembly for electronic musical instrument |
| JP2002170673A (ja) * | 2000-09-25 | 2002-06-14 | Dainippon Printing Co Ltd | エレクトロルミネッセント素子の製造方法 |
| JP2003007458A (ja) * | 2001-06-20 | 2003-01-10 | Dainippon Printing Co Ltd | エレクトロルミネッセント素子の製造方法 |
| GB2395356A (en) * | 2002-11-09 | 2004-05-19 | Sharp Kk | Organic light-emitting device |
| US6936409B2 (en) * | 2000-11-30 | 2005-08-30 | Hitachi, Ltd. | Organic-electroluminescence device, process for its production and organic-electroluminescence display system |
| US7488885B2 (en) | 2006-03-27 | 2009-02-10 | Yamaha Corporation | Key guide structure in keyboard apparatus |
| CN111903189A (zh) * | 2018-03-28 | 2020-11-06 | 夏普株式会社 | 发光元件以及发光元件的制造方法 |
-
1989
- 1989-09-20 JP JP1242054A patent/JPH03105894A/ja active Pending
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06256759A (ja) * | 1992-04-28 | 1994-09-13 | Canon Inc | 電界発光素子 |
| US5756147A (en) * | 1992-05-08 | 1998-05-26 | Westaim Technologies, Inc. | Method of forming a dielectric layer in an electroluminescent laminate |
| US5432015A (en) * | 1992-05-08 | 1995-07-11 | Westaim Technologies, Inc. | Electroluminescent laminate with thick film dielectric |
| US5634835A (en) * | 1992-05-08 | 1997-06-03 | Westaim Technologies Inc. | Electroluminescent display panel |
| US5679472A (en) * | 1992-05-08 | 1997-10-21 | Westaim Technologies, Inc. | Electroluminescent laminate and a process for forming address lines therein |
| US5702565A (en) * | 1992-05-08 | 1997-12-30 | Westaim Technologies, Inc. | Process for laser scribing a pattern in a planar laminate |
| US6002078A (en) * | 1992-08-10 | 1999-12-14 | Yamaha Corporation | Keyboard assembly for electronic musical instrument |
| JPH0745864A (ja) * | 1993-07-27 | 1995-02-14 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 面発光素子 |
| US5965280A (en) * | 1997-03-03 | 1999-10-12 | Hewlett-Packard Company | Patterned polymer electroluminescent devices based on microlithographic processes |
| JP2002170673A (ja) * | 2000-09-25 | 2002-06-14 | Dainippon Printing Co Ltd | エレクトロルミネッセント素子の製造方法 |
| US6936409B2 (en) * | 2000-11-30 | 2005-08-30 | Hitachi, Ltd. | Organic-electroluminescence device, process for its production and organic-electroluminescence display system |
| JP2003007458A (ja) * | 2001-06-20 | 2003-01-10 | Dainippon Printing Co Ltd | エレクトロルミネッセント素子の製造方法 |
| JP4676092B2 (ja) * | 2001-06-20 | 2011-04-27 | 大日本印刷株式会社 | エレクトロルミネッセント素子の製造方法 |
| GB2395356A (en) * | 2002-11-09 | 2004-05-19 | Sharp Kk | Organic light-emitting device |
| US7488885B2 (en) | 2006-03-27 | 2009-02-10 | Yamaha Corporation | Key guide structure in keyboard apparatus |
| CN111903189A (zh) * | 2018-03-28 | 2020-11-06 | 夏普株式会社 | 发光元件以及发光元件的制造方法 |
| CN111903189B (zh) * | 2018-03-28 | 2023-08-15 | 夏普株式会社 | 发光元件以及发光元件的制造方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100529450B1 (ko) | 유기 전자 발광 표시 장치 | |
| JP3420399B2 (ja) | 発光素子 | |
| EP2579313B1 (en) | Organic light emitting diode display device and method of fabricating the same | |
| US5093738A (en) | Color filter manufacturing method using negative photoresist material for the filter | |
| JPH11233259A (ja) | 有機系エレクトロルミネセンスデバイスの製造方法 | |
| JPH09293589A (ja) | 有機ｅｌディスプレイの製造方法 | |
| JPH11329726A (ja) | 有機ｅｌ素子 | |
| JPH03105894A (ja) | 薄膜ｅｌ素子 | |
| JP2001351782A (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 | |
| JPH10208883A (ja) | 発光装置とその製造方法 | |
| WO2019061736A1 (zh) | Oled显示器的制作方法及oled显示器 | |
| JPH08321380A (ja) | 有機電界発光素子 | |
| US20060028124A1 (en) | Active matrix organic electro-luminescent display panel and fabrication method thereof | |
| KR20130032248A (ko) | 유기발광다이오드 표시소자 및 그 제조방법 | |
| US7553208B2 (en) | Manufacturing method of organic electroluminescence display device | |
| JPH0613184A (ja) | 有機薄膜ｅｌ素子およびその製造方法 | |
| KR20080003079A (ko) | 유기발광소자 및 그 제조방법 | |
| JP2000315576A (ja) | 有機電界発光素子およびその製造方法 | |
| JP2000012217A (ja) | エレクトロルミネッセンス表示用色変換フィルターの製造方法 | |
| KR100582830B1 (ko) | 기판상에 증착된 다층 구조물에 대한 고분해능 포토레지스트 구조화 | |
| JP4096403B2 (ja) | 電界発光素子の製造方法 | |
| KR100228778B1 (ko) | 평판표시소자의 형광층 형성방법 | |
| JP2001291580A (ja) | 有機電界発光装置 | |
| JP4061699B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス素子用基板の製造方法 | |
| KR100201133B1 (ko) | 평판표시소자의 형광면 형성방법과 그 기판 |