JPS61116333A - 多色液晶表示器用基板の製造方法 - Google Patents
多色液晶表示器用基板の製造方法Info
- Publication number
- JPS61116333A JPS61116333A JP59238120A JP23812084A JPS61116333A JP S61116333 A JPS61116333 A JP S61116333A JP 59238120 A JP59238120 A JP 59238120A JP 23812084 A JP23812084 A JP 23812084A JP S61116333 A JPS61116333 A JP S61116333A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- liquid crystal
- crystal display
- color filter
- shadow masks
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133514—Colour filters
- G02F1/133516—Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133512—Light shielding layers, e.g. black matrix
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ）産業上の利用分野
本発明は表示品質の良い多色液晶表示器用基板の製造方
法に関する。
法に関する。
σ）従来の技術
従来より液晶表示器を用いてカラー表示を行なう事が検
討されておシ，この場合多くは第４図の如くカラーフィ
ルタ層ｆ２６）（２６１・・・を基板Ｑυの内側に設け
ていた。これは画素との視差（後述）を考慮してなされ
たものであるが、カラーフィルタ層＋洞（２６１・・・
の色票等が液晶中に拡散しゃすく寿命が短い。
討されておシ，この場合多くは第４図の如くカラーフィ
ルタ層ｆ２６）（２６１・・・を基板Ｑυの内側に設け
ていた。これは画素との視差（後述）を考慮してなされ
たものであるが、カラーフィルタ層＋洞（２６１・・・
の色票等が液晶中に拡散しゃすく寿命が短い。
一方，画素とカラーフィルタの位置ずれを改善するため
に画素間にシャドーマスク（黒色ガードバンド）１ｊｃ
設けることが特開昭５４−１５００９７号や特開昭５７
−２０１２８８号等に提案されている。これによって電
極のパターンとカラーフィルタとの位置合せの許容量が
大きくなり，かつコントラストも良くなったが，電極パ
ターン，カラーフィルタ，シャドーマスクの６回のマス
クあわせが必要など，基板の製造工程はむしろ増加して
不都合であった。
に画素間にシャドーマスク（黒色ガードバンド）１ｊｃ
設けることが特開昭５４−１５００９７号や特開昭５７
−２０１２８８号等に提案されている。これによって電
極のパターンとカラーフィルタとの位置合せの許容量が
大きくなり，かつコントラストも良くなったが，電極パ
ターン，カラーフィルタ，シャドーマスクの６回のマス
クあわせが必要など，基板の製造工程はむしろ増加して
不都合であった。
八）発明が解決しようとする問題点
本発明は上記の点を考慮してなされたもので。
製造しやすく表示品質の優れた多色液晶表示器用基板の
製造方法を提供するものである。
製造方法を提供するものである。
二）問題点を解決するための手段
本発明はまずシャドーマスクを形成し，そのシヤドーマ
スクをパターン形成用マスクとして電極パターンを形成
し、しかる後にカラーフィルタを形成するものである。
スクをパターン形成用マスクとして電極パターンを形成
し、しかる後にカラーフィルタを形成するものである。
ホ）作 用
このような工程によりマスク合わせが不要であるばかり
か位置ずれを生じないので製造しやすく表示品質が高い
。
か位置ずれを生じないので製造しやすく表示品質が高い
。
へ）実 絶倒
第１図は本発明実施例による多色液晶表示器の要部断面
図で、第２図ｅ）乃至（ｅ）はその基板の製造方法を説
明する工程図である。
図で、第２図ｅ）乃至（ｅ）はその基板の製造方法を説
明する工程図である。
まず′ＩＡ２図ｅ）に示すようにソーダガラス又は表面
に下地層を有するガラス又は表面処理されたプラスチッ
ク板等からなる基板（１）の−面に金属ｒｕｍ ＜２（
を蒸着又はスパッタによシ設け、さらにその上にフォト
レジスト、胎（３）を設ける。続いてフォトリソグラフ
ィーにより露光現偉、レジストエツチング。
に下地層を有するガラス又は表面処理されたプラスチッ
ク板等からなる基板（１）の−面に金属ｒｕｍ ＜２（
を蒸着又はスパッタによシ設け、さらにその上にフォト
レジスト、胎（３）を設ける。続いてフォトリソグラフ
ィーにより露光現偉、レジストエツチング。
俊属層エツチング、レジスト剥離の各工程によυ第２図
（”）に示すように前記金属９（２１’をパターン形成
してシャドーマスク−Ｅｄ２＋（２＋・・・を形成する
。シャドーマスク（２バ２）・・・は遮光性を荷してい
れば特に黒色でなくてもよい。またその形状は画素のｗ
Ａ！ｉ／Ｉ条件にあわせて格子状またはストライプ状に
すればよいが、ここではスト、ライブ状の場合を例示し
ている。
（”）に示すように前記金属９（２１’をパターン形成
してシャドーマスク−Ｅｄ２＋（２＋・・・を形成する
。シャドーマスク（２バ２）・・・は遮光性を荷してい
れば特に黒色でなくてもよい。またその形状は画素のｗ
Ａ！ｉ／Ｉ条件にあわせて格子状またはストライプ状に
すればよいが、ここではスト、ライブ状の場合を例示し
ている。
続いて第２図（０）に示すようにシャドーマスク（２１
（２）・・・を保護膜（４）で横い、かつその表面にフ
ォトレジスト層を設ける。そして基板（１）の裏面から
露光することでシャドーマスク＋２１＋２１・・・と同
じパターンのフォトレジスト層を形成し、そのレジスト
パターンを利用してリフトオフ法にて透明電極（５１（
５１・・・を形成する（同図（ａ）参照）。そして基板
（１１０反対側に丁度シャドーマスク（２１（２１・・
・の間に位置するようにカラーフィルタｒ＠（６１（６
１・・・を印刷等で設ける。
（２）・・・を保護膜（４）で横い、かつその表面にフ
ォトレジスト層を設ける。そして基板（１）の裏面から
露光することでシャドーマスク＋２１＋２１・・・と同
じパターンのフォトレジスト層を形成し、そのレジスト
パターンを利用してリフトオフ法にて透明電極（５１（
５１・・・を形成する（同図（ａ）参照）。そして基板
（１１０反対側に丁度シャドーマスク（２１（２１・・
・の間に位置するようにカラーフィルタｒ＠（６１（６
１・・・を印刷等で設ける。
その後第１因に示す様に、カラーフィルタ層（６）（６
１・・・には保護膜（７）を、また透明電極＋５Ｈ５）
・・・には配向膜（８１をそれぞれ設けて、対向電極を
有する基板（９）と貼含せ、ねじれ配向された液晶（Ｉ
Ｉを挾持する。
１・・・には保護膜（７）を、また透明電極＋５Ｈ５）
・・・には配向膜（８１をそれぞれ設けて、対向電極を
有する基板（９）と貼含せ、ねじれ配向された液晶（Ｉ
Ｉを挾持する。
このようにして得られた基板において１画素を形成する
透明電極（５Ｈ５１・・・とカラーフィルタ１８１（６
１（６１・・・との間は基板（１１の厚み（＋１）だけ
離れているので、正面から観察した場合は両者が重なっ
てみえるが、斜め方向から観察すると互いに少しずれて
見え、これがいわゆる視差である。視差の大きさｈは。
透明電極（５Ｈ５１・・・とカラーフィルタ１８１（６
１（６１・・・との間は基板（１１の厚み（＋１）だけ
離れているので、正面から観察した場合は両者が重なっ
てみえるが、斜め方向から観察すると互いに少しずれて
見え、これがいわゆる視差である。視差の大きさｈは。
画面の大きさｙと、液晶基板の垂線に対する観察方向の
ずれ角θ０と画面の中心から観察点までの距離りに依存
し。
ずれ角θ０と画面の中心から観察点までの距離りに依存
し。
であられされる。そこでシャドーマスク（２）（２）・
・・の有無にかかわらず、基板（１）として薄いものを
利用しかつ電極とフィルタの対応する個所を所定量ずら
しておくとよい。ここにおいて、ねじれ配向された液晶
を有するいわゆるツイストネマティック型の液晶表示器
においては、良く知られている如く好ましい（高コント
ラストの）観１察方向というを決定して下方向から観察
されるとすれば後方に位置するものを上向きにずらせば
よい。そして発明者等の検討によれば、このずれが５０
μｍｊｄ下であれば、視感上画素とフィルタの色すれと
して表われない。具体的に例示するならば、有効表示面
の大きさが９０ｓｇＸ２４５ｍの液晶表示器で。
・・の有無にかかわらず、基板（１）として薄いものを
利用しかつ電極とフィルタの対応する個所を所定量ずら
しておくとよい。ここにおいて、ねじれ配向された液晶
を有するいわゆるツイストネマティック型の液晶表示器
においては、良く知られている如く好ましい（高コント
ラストの）観１察方向というを決定して下方向から観察
されるとすれば後方に位置するものを上向きにずらせば
よい。そして発明者等の検討によれば、このずれが５０
μｍｊｄ下であれば、視感上画素とフィルタの色すれと
して表われない。具体的に例示するならば、有効表示面
の大きさが９０ｓｇＸ２４５ｍの液晶表示器で。
透明電極の配線間隔（画素と画素の隙間）が５０μｍの
時、明視の距離から観察するものとし、透明電極とカラ
ーフィルタを５８．８μｍずらすと。
時、明視の距離から観察するものとし、透明電極とカラ
ーフィルタを５８．８μｍずらすと。
前記観察方向内のどの方向から見ても両者のずれが５０
μｍ以内に入るために基板の厚さは０．３調以下であれ
ばよい。
μｍ以内に入るために基板の厚さは０．３調以下であれ
ばよい。
さて、第６図（ａ−）乃至（８１は本発明の他の実施例
にかける多色液晶表示器用基板の製造方法の工程図で、
巣２図の例と異なるのはシャドーマスク（１２１［１２
１・−・を利用して基板αＢの裏面に透明電極（１５１
ｔｔｓ・・・をパターニング（第３図（Ｃ）（＋１）参
照）し、カラーフィルタ層旺■・・・をシャドーマスク
ａ’ａａ”ｚｒ・・・のない部分に設ける（第３図（θ
））ことで、結果として第２図はシャドーマスクｆ２１
＋２１・・・が基板（１）の液晶使１へ位置し。
にかける多色液晶表示器用基板の製造方法の工程図で、
巣２図の例と異なるのはシャドーマスク（１２１［１２
１・−・を利用して基板αＢの裏面に透明電極（１５１
ｔｔｓ・・・をパターニング（第３図（Ｃ）（＋１）参
照）し、カラーフィルタ層旺■・・・をシャドーマスク
ａ’ａａ”ｚｒ・・・のない部分に設ける（第３図（θ
））ことで、結果として第２図はシャドーマスクｆ２１
＋２１・・・が基板（１）の液晶使１へ位置し。
第３図はシャドーマスク（１涯２・・・が基板（１１１
の外側へ位置することである。
の外側へ位置することである。
ト）発明の効果
以上の如く電極のパターニングにシャドーマスクを利用
して行うので１両者の位置が正確にあい。
して行うので１両者の位置が正確にあい。
かつその製造過程において、煩雑なマスク合わせ作業が
不要である。従ってこのような製造によって得られた液
晶表示器の表示品質は色ずれのない美しい画面として優
れたものとなる。
不要である。従ってこのような製造によって得られた液
晶表示器の表示品質は色ずれのない美しい画面として優
れたものとなる。
第１肉は本発明実施例による多色液晶表示器の要部断面
図で、第２図（１！Ｌ）乃至ｅ）はその基板の製造品表
示器の断面図である。 （１１（１１）・・・基板、 （２１（２＋・・・ａｚ
ｏ・・・ ・・・シャドー−７スグ、（２１（ＩＺ・・
・労属層、（４）（７）・・・保脆膜、 ＋５１（５１
・・・１Ｎ５１ａ９・・・ ・・・透明電極、 ＋６１
（６１・・・（１６１１１６１・・・ ・・・カラーフ
ィルタ層。 ＣＩＯ＋・・・液晶。 呂願人 三洋電機株式会社外１名 代理人 弁理士 佐 野 静 夫 第４図
図で、第２図（１！Ｌ）乃至ｅ）はその基板の製造品表
示器の断面図である。 （１１（１１）・・・基板、 （２１（２＋・・・ａｚ
ｏ・・・ ・・・シャドー−７スグ、（２１（ＩＺ・・
・労属層、（４）（７）・・・保脆膜、 ＋５１（５１
・・・１Ｎ５１ａ９・・・ ・・・透明電極、 ＋６１
（６１・・・（１６１１１６１・・・ ・・・カラーフ
ィルタ層。 ＣＩＯ＋・・・液晶。 呂願人 三洋電機株式会社外１名 代理人 弁理士 佐 野 静 夫 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）基板にシャドーマスクを形成する工程と、シャドー
マスクをパターンマスクとして基板に電極を設ける工程
と、シャドーマスクの間にカラーフィルタを形成する工
程とを具備した事を特徴とする多色液晶表示器用基板の
製造方法。 ２）前記電極と前記カラーフィルターとは対応する画素
同志において所定量だけ位置をずらして設ける事を特徴
とする前記特許請求の範囲第１項記載の多色液晶表示器
用基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59238120A JPS61116333A (ja) | 1984-11-12 | 1984-11-12 | 多色液晶表示器用基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59238120A JPS61116333A (ja) | 1984-11-12 | 1984-11-12 | 多色液晶表示器用基板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61116333A true JPS61116333A (ja) | 1986-06-03 |
Family
ID=17025473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59238120A Pending JPS61116333A (ja) | 1984-11-12 | 1984-11-12 | 多色液晶表示器用基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61116333A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6360427A (ja) * | 1986-09-01 | 1988-03-16 | Ricoh Co Ltd | 液晶カラ−表示素子 |
| JPS63200121A (ja) * | 1987-02-17 | 1988-08-18 | Canon Inc | 強誘電性液晶素子 |
| JPS63220202A (ja) * | 1987-03-10 | 1988-09-13 | Seiko Instr & Electronics Ltd | カラ−フイルタ−の製造方法 |
| JPH04326328A (ja) * | 1991-04-26 | 1992-11-16 | Nec Corp | 液晶表示装置及びカラーフィルター基板 |
| US5420708A (en) * | 1990-08-31 | 1995-05-30 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Color filters, including taking out electrodes or post-ito layer |
-
1984
- 1984-11-12 JP JP59238120A patent/JPS61116333A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6360427A (ja) * | 1986-09-01 | 1988-03-16 | Ricoh Co Ltd | 液晶カラ−表示素子 |
| JPS63200121A (ja) * | 1987-02-17 | 1988-08-18 | Canon Inc | 強誘電性液晶素子 |
| JPS63220202A (ja) * | 1987-03-10 | 1988-09-13 | Seiko Instr & Electronics Ltd | カラ−フイルタ−の製造方法 |
| JPH0786564B2 (ja) * | 1987-03-10 | 1995-09-20 | セイコー電子工業株式会社 | カラ−フイルタ−の製造方法 |
| US5420708A (en) * | 1990-08-31 | 1995-05-30 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Color filters, including taking out electrodes or post-ito layer |
| JPH04326328A (ja) * | 1991-04-26 | 1992-11-16 | Nec Corp | 液晶表示装置及びカラーフィルター基板 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11237438B2 (en) | Display substrate, fabricating method thereof, and display apparatus | |
| US8189162B2 (en) | Liquid crystal display device and fabricating method thereof | |
| TWI327656B (en) | Liquid crystal display device and method of fabricating the same | |
| WO2016095278A1 (zh) | 用于显示器的彩膜基板及其制造方法和彩膜基板的光罩 | |
| TWI491968B (zh) | 液晶顯示裝置及其製造方法 | |
| EP2525250B1 (en) | Color filter substrate and method of manufacturing the same | |
| JP3207136B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
| CN106896571B (zh) | 彩膜基板的制作方法及液晶面板的制作方法 | |
| CN100487534C (zh) | 液晶显示装置及其制造方法 | |
| JPS61116333A (ja) | 多色液晶表示器用基板の製造方法 | |
| CN108073033B (zh) | 光掩模、其制造方法以及显示装置的制造方法 | |
| CN106990597B (zh) | 彩色滤光基板及其制造方法及显示面板及显示装置 | |
| CN110579903A (zh) | 一种阵列基板、其制作方法、液晶显示面板及显示装置 | |
| KR20070002758A (ko) | 미세 패턴 형성 방법과 그를 이용한 액정 표시 장치 및 그제조 방법 | |
| US20030090610A1 (en) | Transflective color liquid crystal display and method for fabricating a substrate therefor | |
| KR20000019504A (ko) | 액정 표시 장치 제조 방법 | |
| JPH04171420A (ja) | 液晶表示装置とその製造方法 | |
| JPS63241522A (ja) | 液晶カラ−表示装置用フイルタ | |
| JP4361979B2 (ja) | カラーフィルタ | |
| US11675227B2 (en) | Metal wire grid polarizer and manufacturing method thereof, display device | |
| JPS59188690A (ja) | 多色液晶表示素子及びその製造方法 | |
| JP2753465B2 (ja) | 液晶表示素子の製造方法 | |
| JPH01102504A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JP2008052169A (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルタ及び液晶表示装置 | |
| JP2948171B2 (ja) | 液晶表示素子 |