JPH08101385A - 反射型液晶表示装置とその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 鮮やかな黒色表示とコントラストの高い画面
表示ができる反射型液晶表示装置とその製造方法を提供
すること。 【構成】 この反射型液晶表示装置は、背面電極板１と
この背面電極板に対向して配向された観察者側電極板２
とこれ等両電極板を周辺部で一体化させるシール材３と
これ等両電極板の間に封入された液晶物質４とで主要部
が構成され、かつ背面電極板は、ガラス基板11と、スト
ライプ形状の複数のクロム薄膜12と、このクロム薄膜上
の画素部に対応する部位に設けられた矩形状のアルミニ
ウム薄膜13とで構成されている。そしてアルミニウム薄
膜が画素間部に存在せずこの画素間部に入射された光は
光反射率の低いクロム薄膜の作用によりその光反射が抑
制されるため鮮やかな黒色表示とコントラストの高い画
面表示が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は反射型液晶表示装置とそ
の製造方法に係り、特に、鮮やかな黒色表示が可能でコ
ントラストの高い画面表示ができる反射型液晶表示装置
とその製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示装置は、画素毎に電圧の印加を
行える電極が配設された一対の電極板とこれ等電極板間
に封入された液晶物質とでその主要部が構成され、上記
両電極間に電圧を印加することにより液晶物質の配向状
態を画素毎に変化させてこの液晶物質を透過する光の偏
光面を制御すると共に、偏光フィルムによりその透過・
不透過を制御して画面表示を行うものである。そして、
上記一対の電極板の内の一方にカラーフィルター層を有
する電極板を適用することによりカラー画面の表示が可
能となる。

【０００３】ところで、この種の液晶表示装置として
は、液晶表示装置の背面側に位置する電極板（以下背面
電極板と称する）の裏面若しくは側面に光源（ランプ）
を配置し、背面電極板側から光線を入射させるバックラ
イト型あるいはライトガイド型のランプ内蔵式透過型液
晶表示装置が広く普及している。

【０００４】しかし、このランプ内蔵式透過型液晶表示
装置においてはそのランプによる消費電力が大きくＣＲ
Ｔやプラズマディスプレイ等他の種類のディスプレイと
略同等の電力を消費するため、液晶表示装置本来の低消
費電力といった特徴を損ない、かつ、携帯先での長時間
の利用が困難となるという欠点を有していた。

【０００５】他方、このようなランプを内蔵することな
く装置の観察者側に位置する電極板（観察者側電極板と
称する）から室内光や自然光等の外光を入射させ、か
つ、この入射光を光反射性背面電極板で反射させると共
に、この反射光で画面表示する反射型液晶表示装置も知
られている。そして、この反射型液晶表示装置ではラン
プを利用しないことから消費電力が小さく、携帯先での
長時間駆動に耐えるという利点を有している。

【０００６】そして、このような反射型液晶表示装置と
しては、例えば、図７に示すように背面電極板ａの電極
ａ２を金属薄膜で構成し、この金属電極ａ２により入射
光を反射させて画面表示するものが知られている。この
金属電極ａ２としては、銀、アルミニウム等の薄膜が知
られているが、銀は高価な上その表面が硫化されて反射
率が低下し易く、また銀元素のマイグレーションによる
汚染が生じ易いため、一般にはアルミニウム薄膜若しく
はアルミニウム合金の薄膜が利用されている。尚、図７
中、ｂは観察者側電極板、ｃは液晶物質、ｄは背面電極
板ａと観察者側電極板ｂとを周辺部で一体化させるシー
ル部材、ｂ２Ｒ、ｂ２Ｇ、ｂ２Ｂは画素部に対応する部
位に設けられ各部位を透過する光をそれぞれ赤、緑、青
色に着色させるカラーフィルター層、ｂ３は遮光膜を示
している。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記金属電
極ａ２は、入射光を反射させると共にこの金属電極ａ２
と観察者側電極板の透明電極との間に電圧を印加して液
晶物質を駆動させるものである。このため、この金属電
極ａ２は、図８の部分平面図に示すように画面表示に利
用される画素部Ｐ₂ を含んだストライプ状に形成されて
おり、かつ、各金属電極ａ２の端部には給電を行う端子
部（図示せず）が設けられている。

【０００８】このように上記金属電極ａ２はストライプ
状に形成されているため、画面表示に利用される画素部
Ｐ₂ の他に画素部と画素部の間の部位（画素間部）Ｐ'₂
にも金属電極が存在しこの部位に入射した光も反射させ
る。このため、この反射光が表示画面を全体的に明るく
しこれに伴い黒色の表示が困難となり表示画面のコント
ラストを低下させてしまう問題点があった。

【０００９】本発明はこのような問題点に着目してなさ
れたもので、その課題とするところは、鮮やかな黒色表
示が可能でコントラストの高い画面表示ができる反射型
液晶表示装置とその製造方法を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】すなわち、請求項１に係
る発明は、ストライプ状に配列された複数の光反射性電
極を有する背面電極板と、この背面電極板に対向して配
置されかつストライプ状に配列された透明電極を有する
観察者側電極板と、これ等両電極板間に封入された液晶
物質とを具備し、上記光反射性電極と透明電極間に電圧
を印加して液晶物質を駆動させ画面表示する反射型液晶
表示装置を前提とし、上記背面電極板の光反射性電極
が、この光反射性電極の形成部位に設けられたクロム薄
膜と、画素間部に対応した部位を除く上記クロム薄膜上
に設けられたアルミニウム若しくはその合金薄膜とで構
成されていることを特徴とするものである。

【００１１】この請求項１記載の発明に係る反射型液晶
表示装置においては、上記背面電極板の光反射性電極に
おける画素間部に対応した部位に光反射性を有するアル
ミニウム若しくはその合金薄膜が存在していない。そし
て、上記画素間部位に入射した光は光反射率の低いクロ
ム薄膜により僅かに反射されるに過ぎないため、この画
素間部位からの光反射が抑制されて鮮やかな黒色表示を
可能にすると共にコントラストの高い高品質の画面表示
が可能となる。

【００１２】また、各画素部に対応する部位に設けられ
たアルミニウム若しくはその合金薄膜は光反射性電極の
形成部位に設けられたクロム薄膜にて互いに電気的に接
続されているため、各々のアルミニウム若しくはその合
金薄膜への給電に支障を来すこともない。

【００１３】尚、上記アルミニウム若しくはその合金薄
膜については画素間部に対応した部位を除くそれ以外の
任意な部位に設けられてもよく、例えば、画面表示領域
の外側に通常配置される配線引き回し部に上記アルミニ
ウム若しくはその合金薄膜を設けることも可能である。
この場合、上記配線引き回し部のアルミニウム若しくは
その合金薄膜をエポキシ樹脂等で覆いパシベーションを
行うこともできる。

【００１４】次に、請求項１記載の発明において上記ク
ロム薄膜としては不純物を含まない金属クロムが適用で
きるが、他の金属元素が微量添加されて合金化している
クロム合金を適用することも可能である。また、成膜雰
囲気中に酸素、窒素あるいは二酸化炭素等のガスを導入
してクロム薄膜内に酸化クロムや窒化クロムあるいは炭
化クロム等の結晶が生成された薄膜でこれを構成しても
よい。尚、表面が酸化されたクロム薄膜を適用した場
合、画素間部に入射された光が上記酸化膜により吸収さ
れてその光反射を著しく抑制させることが可能となる。
請求項２に係る発明はこの様な技術的理由によりなされ
ている。

【００１５】すなわち、請求項２に係る発明は、請求項
１記載の発明に係る反射型液晶表示装置を前提とし、上
記クロム薄膜の表面が酸化されていることを特徴とする
ものである。

【００１６】また、上記クロム薄膜とアルミニウム若し
くはその合金薄膜の合計膜厚が３００ｎｍを越えた場
合、これ等薄膜が存在する部位と存在しない部位とで３
００ｎｍ以上の段差ができるため、段差周囲の液晶物質
の配向が乱れて画面表示の品質が低下してしまうことが
ある。請求項３に係る発明はこの様な問題を回避した発
明に関する。

【００１７】すなわち、請求項３に係る発明は、請求項
１又は２記載の発明に係る反射型液晶表示装置を前提と
し、上記クロム薄膜とアルミニウム若しくはその合金薄
膜の合計膜厚が３００ｎｍ以下であることを特徴とする
ものである。

【００１８】次に、上記背面電極板の製造に際しては、
背面電極板の基板上にクロム薄膜及びアルミニウム若し
くはその合金薄膜を一様に成膜した後、これ等両薄膜の
上にポジ型の感光性レジストを塗布し、このポジ型レジ
ストを所定パターンに露光して露光部位の上記レジスト
を現像・除去し、レジストから露出した両薄膜をエッチ
ングして上記光反射性電極形状にパターニングした場
合、このパターニングの後に残留する上記レジストをそ
のまま利用して上記アルミニウム若しくはその合金薄膜
のパターニングが可能となる。請求項４に係る発明はこ
のような技術的理由に基づいてなされたものである。

【００１９】すなわち、請求項４に係る発明は、ストラ
イプ状に配列された複数の光反射性電極を有する背面電
極板と、この背面電極板に対向して配置されかつストラ
イプ状に配列された透明電極を有する観察者側電極板
と、これ等両電極板間に封入された液晶物質とを具備
し、上記光反射性電極と透明電極間に電圧を印加して液
晶物質を駆動させ画面表示する反射型液晶表示装置の製
造方法を前提とし、上記背面電極板の基板上にクロム薄
膜とアルミニウム若しくはその合金薄膜を一様に成膜す
る成膜工程と、一様に成膜された上記アルミニウム若し
くはその合金薄膜上にポジ型の感光性レジストを塗布
し、この感光性レジストに対し上記光反射性電極パター
ンと同一パターンの遮光膜を有するフォトマスクを介し
て露光し、かつ、現像して露光部位の感光性レジストを
除去する第一のレジストパターン形成工程と、部分的に
除去された感光性レジストから露出するアルミニウム若
しくはその合金薄膜とクロム薄膜をエッチングしてこれ
等アルミニウム若しくはその合金薄膜とクロム薄膜とを
上記光反射性電極形状にパターニングする第一のパター
ニング工程と、残留する上記感光性レジストに対し光反
射性電極のストライプパターンと直交するストライプパ
ターンの遮光膜を有する第二のフォトマスクを介して露
光し、かつ、現像して露光部位の感光性レジストを除去
する第二のレジストパターン形成工程と、画素間部に対
応する部位が除去された上記感光性レジストから露出す
るアルミニウム若しくはその合金薄膜をエッチングして
このアルミニウム若しくはその合金薄膜を矩形状にパタ
ーニングする第二のパターニング工程、とを具備するこ
とを特徴とするものである。

【００２０】この請求項４記載の発明に係る反射型液晶
表示装置の製造方法によれば、第一のパターニング工程
においてアルミニウム若しくはその合金薄膜とクロム薄
膜のパターニングに使用された感光性レジストを残留さ
せると共に、第二のレジストパターン形成工程において
この感光性レジストの画素間部に対応する部位を除去し
て別形状の感光性レジストに変化させ、第二のパターニ
ング工程においてこの感光性レジストを再利用してアル
ミニウム若しくはその合金薄膜のパターニングを行って
いるため、クロム薄膜とアルミニウム若しくはその合金
薄膜を互いに位置精度良くパターニングすることが可能
となる。

【００２１】このため、画素部位からの光反射が確実に
なると共に画素間部位からの光反射が抑制され画面表示
のコントラストを向上させることが可能となる。

【００２２】尚、請求項４記載の発明において上記ポジ
型の感光性レジストとしては、紫外線や電子線照射によ
り分解されて現像液溶解性を増大させるものが利用で
き、具体的には東京応化（株）製；商品名ＰＭＥＲ等が
挙げられる。

【００２３】次に、請求項１〜４記載の発明において上
記アルミニウム若しくはその合金薄膜としては、純度９
９．９％以上のアルミニウム薄膜が適用できる他、その
硬度やクロム薄膜との密着性を向上させるためアルミニ
ウムとの固溶限界以下の添加量で他の金属元素や非金属
元素をアルミニウムに添加して構成されるものが利用で
きる。アルミニウムに添加できる金属元素又は非金属元
素としては、例えば、チタン、バナジウム、ニッケル、
ニオブ、タンタル、コバルト、クロム、ジルコニウム、
ハフニウム、銅、銀、シリコン、アンチモン、セリウム
等が挙げられる。尚、これ等の金属元素や非金属元素の
添加量がアルミニウムとの固溶限界を越えると光反射率
が低下して表示画面の品質を低下させてしまうことがあ
る。

【００２４】また、アルミニウム若しくはその合金薄膜
は微結晶体から構成されていてもよいが、その光反射率
を増大させて表示画面の明るさを向上させるためその結
晶の密度は高いことが望ましく、また、その配向面が光
反射率の高い配向面に揃っていることが望ましい。例え
ば、（１１１）面である。

【００２５】尚、これ等クロム薄膜及びアルミニウム若
しくはその合金薄膜については、それぞれ別の真空室を
使用して成膜することも可能であるが、その生産性を考
慮して同一の真空室内でこの真空を破ることなくクロム
薄膜及びアルミニウム若しくはその合金薄膜を連続して
成膜することが好ましい。これ等の成膜方法としては真
空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法
等の物理的成膜法が例示される。また、これ等薄膜をス
パッタリング法で成膜する場合、スパッタチャンバー内
部におけるパーティクルの発生を抑制するため、高温の
基板加熱を行うことなく比較的低温で成膜することが望
ましく、また、アルミニウム若しくはその合金薄膜をス
パッタリング法で成膜する場合には、アルミニウム若し
くはその合金薄膜の密度を高めてその光反射率を増大さ
せるため、真空度の高いスパッタチャンバー内部でスパ
ッターレートを大きくして成膜することが望ましい。

【００２６】次に、請求項１〜４記載の発明において上
記背面電極板の基板としては、例えばガラス基板が挙げ
られ、この他にプラスチックフィルム、プラスチックボ
ード等の適用も可能である。この基板は透明に限らず、
黒色、白色、その他の色に着色したものであってもよ
い。

【００２７】尚、この基板上に上記薄膜を成膜するに当
たっては、成膜前にこの基板表面を洗浄することが望ま
しい。洗浄の方法としては、イオンボンバート、逆スパ
ッタリング、アッシング、紫外線洗浄、グロー放電処理
等が例示できる。

【００２８】また、背面電極板は、液晶表示装置の有効
表示領域（端子部やシール部を除いた領域）において上
記電極を覆ってこれを保護する無機酸化物の透明薄膜を
備えるものであってもよい。このような無機酸化物の透
明薄膜としては、ＳｉＯ₂ 、ＺｒＯ₂ 、ＴｉＯ₂ 、Ｔａ
₂Ｏ₅ 、ＨｆＯ₂ 、ＣｅＯ₂ 、Ａｌ₂Ｏ₃ 等が例示でき
る。

【００２９】次に、上記観察者側電極板を構成する基板
としては、ガラス基板、プラスチックフィルム、プラス
チックボード等の透明基板が適用でき、また、透明電極
としてはＩＴＯやネサ膜等の透明導電膜が適用できる。

【００３０】尚、背面電極板や観察者側電極板に光散乱
層を設けて表示光を散乱させ表示画面の視野角を拡大さ
せたり、カラーフィルター層を設け表示光を着色させて
カラー表示することも可能であるが、上記クロム薄膜や
アルミニウム若しくはその合金薄膜の高い導電性を生か
すため、上記光散乱層やカラーフィルター層は観察者側
電極板に設けることが望ましい。また、上記光散乱層は
背面電極板や観察者側電極板を構成する基板の液晶物質
と接触する内側、あるいは偏光フィルムと接触する外側
のいずれに設けてもよい。

【００３１】また、上記背面電極板に設けられたクロム
薄膜やアルミニウム若しくはその合金薄膜の電気抵抗が
小さいため、本発明に係る反射型液晶表示装置が単純マ
トリクス駆動方式（液晶物質又はその配向状態がＳＴ
Ｎ、ＥＣＢ、ＯＣＢ、ホメオトロピック若しくは反強誘
電性液晶の場合に主に適用されている）の場合には、ク
ロム薄膜やアルミニウム若しくはその合金薄膜を走査側
電極として適用することが望ましい。また、画素毎に駆
動素子（ＴＦＴ、ＭＩＭ等）を備えるアクティブマトリ
ックス駆動方式の液晶表示装置に適用することも可能で
ある。また、１枚の偏光板を使用する反射型液晶表示装
置（ＳＴＮ型又はＴＮ型）の場合には、液晶による光の
位相差や旋光分散に起因して視野角による画面の色彩が
変化する現象を補償するため、観察者側電極板の基板に
位相差フィルムを適用することが望ましい。位相差フィ
ルムとしては、ポリカーボネートフィルムやトリアセチ
ルセルロースフィルム等の一軸異方性のプラスチックフ
ィルムや液晶ポリマーを配列させた一軸異方性フィルム
が使用できる。

【００３２】

【作用】請求項１〜３に係る発明によれば、上記背面電
極板の光反射性電極における画素間部に対応した部位に
光反射性を有するアルミニウム若しくはその合金薄膜が
存在していない。そして、上記画素間部位に入射した光
は光反射率の低いクロム薄膜により僅かに反射されるに
過ぎないため、この画素間部位からの光反射が抑制され
て鮮やかな黒色表示を可能にすると共にコントラストの
高い高品質の画面表示が可能となる。

【００３３】また、各画素部に対応する部位に設けられ
たアルミニウム若しくはその合金薄膜は光反射性電極の
形成部位に設けられたクロム薄膜にて互いに電気的に接
続されているため、各々のアルミニウム若しくはその合
金薄膜への給電に支障を来すこともない。

【００３４】また、請求項４に係る発明によれば、第一
のパターニング工程においてアルミニウム若しくはその
合金薄膜とクロム薄膜のパターニングに使用された感光
性レジストを残留させると共に、第二のレジストパター
ン形成工程においてこの感光性レジストの画素間部に対
応する部位を除去して別形状の感光性レジストに変化さ
せ、第二のパターニング工程においてこの感光性レジス
トを再利用してアルミニウム若しくはその合金薄膜のパ
ターニングを行っているため、上記クロム薄膜とアルミ
ニウム若しくはその合金薄膜を互いに位置精度良くパタ
ーニングすることが可能となる。

【００３５】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て詳細に説明する。

【００３６】この実施例に係る反射型液晶表示装置は、
図１に示すように背面電極板１と、この背面電極板１に
対向して配向された観察者側電極板２と、これ等両電極
板１、２を周辺部で一体化させるシール材３と、これ等
両電極板１、２の間に封入された液晶物質４とでその主
要部が構成されている。

【００３７】そして、上記背面電極板１は、厚さ０．７
mmのガラス基板１１と、このガラス基板１１上に設けら
れかつ給電を行う端子部（図示せず）を各端部側に有す
るストライプ形状（幅２００μｍ、ピッチ２１０μｍ）
の複数のクロム薄膜（厚さ；０．０５μｍ）１２と、こ
のクロム薄膜１２上の画素部に対応する部位に設けられ
一辺２００μｍの矩形状に形成されたアルミニウム薄膜
（厚さ；０．１６μｍ）１３とでその主要部が構成され
ており、他方、観察者側電極板２は、厚さ０．７mmのガ
ラス基板２１と、このガラス基板２１上に幅２００μ
ｍ、ピッチ２１０μｍのストライプ形状（上記クロム薄
膜１２と直交する方向のストライプパターン）に設けら
れかつＩＴＯから成る厚さ０．２４μｍの透明電極２２
とでその主要部が構成されている。

【００３８】そして、上記背面電極板１は以下の工程に
より形成されたものである。

【００３９】まず、ガラス基板１１の表面をアルカリ系
界面活性剤と水とで洗浄した後、真空槽内に収容し、グ
ロー放電と呼ばれるプラズマ処理を施して表面の付着水
を除去した。

【００４０】次に、図２に示すようにガラス基板１１を
真空槽中から取り出すことなく、またこのガラス基板１
１を加熱することなくスパッタリング法によりクロム薄
膜１２とアルミニウム薄膜１３とを成膜した。

【００４１】次に、図３に示すようにアルミニウム薄膜
１３上にポジ型フォトレジスト（東京応化（株）製；商
品名ＰＭＥＲ）５を塗布し、９０℃の温度で乾燥させた
後、このフォトレジスト５にストライプパターンの遮光
膜６１を備えたフォトマスク６を重ね、このフォトマス
ク６を介して上記フォトレジスト５をパターン状に露光
させた。そして、上記フォトレジスト５を現像して露光
部位を除去し、上記遮光膜６１に対応したストライプパ
ターンのフォトレジスト５を選択的に残存させた。

【００４２】次に、残存するフォトレジスト５の間隙か
ら露出したアルミニウム薄膜１３を燐酸、酢酸、硝酸及
び水から成る混酸を用いたエッチング処理により除去
し、かつ、アルミニウム薄膜１３が除去された部位から
露出したクロム薄膜１２を硝酸第二セリウムアンモニウ
ム、過塩素酸及び水から成る混酸を使用してエッチング
により除去した。

【００４３】次に、残存する上記フォトレジスト５の上
にストライプパターン（但し、上記フォトマスク６の遮
光膜６１と直交する方向のストライプパターン）の遮光
膜７１を備えたフォトマスク７を重ね、このフォトマス
ク７を介して上記フォトレジスト５をパターン状に露光
させた（図４参照）。そして、上記フォトレジスト５を
現像して露光部位を除去し、上記遮光膜６１と７１に対
応した矩形状のフォトレジスト５を選択的に残存させ
た。

【００４４】次に、残存するフォトレジスト５の間隙か
ら露出したアルミニウム薄膜１３を燐酸、酢酸、硝酸及
び水から成る混酸を用いたエッチング処理により除去
し、上記フォトレジスト５に正確に対応した矩形状のア
ルミニウム薄膜１３を残存させた（図４参照）。

【００４５】そして、残存する上記フォトレジスト５を
剥膜して除去して背面電極板を製造した。

【００４６】こうして得られた背面電極板は、図５の部
分断面図及び図６の部分平面図に示すように表示画面を
構成する画素Ｐ₁ の部位に選択的に光反射性のアルミニ
ウム薄膜１３とクロム薄膜１２が配設され、他方、これ
等画素と画素との間の部位（画素間部位）Ｐ'₁にクロム
薄膜１２が配設されており、このクロム薄膜１２を介し
て上記端子部（図示せず）とアルミニウム薄膜１３とが
電気的に接続されている。

【００４７】そして、この背面電極板１を使用し、観察
者側電極板２と重ね、周辺でシールして一体化させると
共に、これ等両電極板１、２の間に液晶物質を封入して
上記液晶表示装置とした。

【００４８】

【発明の効果】請求項１〜３に係る発明によれば、背面
電極板の光反射性電極における画素間部に対応した部位
に光反射性を有するアルミニウム若しくはその合金薄膜
が存在していない。そして、上記画素間部位に入射した
光は反射率の低いクロム薄膜により僅かに反射されるに
過ぎないため、この画素間部位からの光反射が抑制され
て鮮やかな黒色表示を可能にすると共にコントラストの
高い高品質の画面表示が可能となる。

【００４９】また、各画素部に対応する部位に設けられ
たアルミニウム若しくはその合金薄膜は光反射性電極の
形成部位に設けられたクロム薄膜にて互いに電気的に接
続されているため、各々のアルミニウム若しくはその合
金薄膜への給電に支障を来すこともない。

【００５０】従って、反射型液晶表示装置の表示品質に
対する信頼性を著しく向上させる効果を有している。

【００５１】また、請求項４に係る発明によれば、第一
のパターニング工程においてアルミニウム若しくはその
合金薄膜とクロム薄膜のパターニングに使用された感光
性レジストを残留させると共に、第二のレジストパター
ン形成工程においてこの感光性レジストの画素間部に対
応する部位を除去して別形状の感光性レジストに変化さ
せ、第二のパターニング工程においてこの感光性レジス
トを再利用してアルミニウム若しくはその合金薄膜のパ
ターニングを行っているため、上記クロム薄膜とアルミ
ニウム若しくはその合金薄膜を互いに位置精度良くパタ
ーニングすることが可能となる。

【００５２】従って、画素部位からの光反射が確実にな
りかつ画素間部位からの光反射も確実に抑制されたされ
るため、鮮やかな黒色表示が可能でコントラストの高い
画面表示ができる反射型液晶表示装置を製造できる効果
を有している。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例に係る反射型液晶表示装置の断面図。

【図２】実施例に係る反射型液晶表示装置の製造工程を
示す説明図。

【図３】実施例に係る反射型液晶表示装置の製造工程を
示す説明図。

【図４】実施例に係る反射型液晶表示装置の製造工程を
示す説明図。

【図５】実施例に係る背面電極板の部分断面図。

【図６】実施例に係る背面電極板の部分平面図。

【図７】従来例に係る反射型液晶表示装置の断面図。

【図８】従来例に係る背面電極板の部分平面図。

【符号の説明】

１ 背面電極板 １１ ガラス基板 １２ クロム薄膜 １３ アルミニウム薄膜 ２ 観察者側電極板 ２１ ガラス基板 ２２ 透明電極 ３ シール材 ４ 液晶物質

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ストライプ状に配列された複数の光反射性
   電極を有する背面電極板と、この背面電極板に対向して
   配置されかつストライプ状に配列された透明電極を有す
   る観察者側電極板と、これ等両電極板間に封入された液
   晶物質とを具備し、上記光反射性電極と透明電極間に電
   圧を印加して液晶物質を駆動させ画面表示する反射型液
   晶表示装置において、 上記背面電極板の光反射性電極が、この光反射性電極の
   形成部位に設けられたクロム薄膜と、画素間部に対応し
   た部位を除く上記クロム薄膜上に設けられたアルミニウ
   ム若しくはその合金薄膜とで構成されていることを特徴
   とする反射型液晶表示装置。
2. 【請求項２】上記クロム薄膜の表面が酸化されているこ
   とを特徴とする請求項１記載の反射型液晶表示装置。
3. 【請求項３】上記クロム薄膜とアルミニウム若しくはそ
   の合金薄膜の合計膜厚が３００ｎｍ以下であることを特
   徴とする請求項１又は２記載の反射型液晶表示装置。
4. 【請求項４】ストライプ状に配列された複数の光反射性
   電極を有する背面電極板と、この背面電極板に対向して
   配置されかつストライプ状に配列された透明電極を有す
   る観察者側電極板と、これ等両電極板間に封入された液
   晶物質とを具備し、上記光反射性電極と透明電極間に電
   圧を印加して液晶物質を駆動させ画面表示する反射型液
   晶表示装置の製造方法において、 上記背面電極板の基板上にクロム薄膜とアルミニウム若
   しくはその合金薄膜を一様に成膜する成膜工程と、 一様に成膜された上記アルミニウム若しくはその合金薄
   膜上にポジ型の感光性レジストを塗布し、この感光性レ
   ジストに対し上記光反射性電極パターンと同一パターン
   の遮光膜を有するフォトマスクを介して露光し、かつ、
   現像して露光部位の感光性レジストを除去する第一のレ
   ジストパターン形成工程と、 部分的に除去された感光性レジストから露出するアルミ
   ニウム若しくはその合金薄膜とクロム薄膜をエッチング
   してこれ等アルミニウム若しくはその合金薄膜とクロム
   薄膜とを上記光反射性電極形状にパターニングする第一
   のパターニング工程と、 残留する上記感光性レジストに対し光反射性電極のスト
   ライプパターンと直交するストライプパターンの遮光膜
   を有する第二のフォトマスクを介して露光し、かつ、現
   像して露光部位の感光性レジストを除去する第二のレジ
   ストパターン形成工程と、 画素間部に対応する部位が除去された上記感光性レジス
   トから露出するアルミニウム若しくはその合金薄膜をエ
   ッチングしてこのアルミニウム若しくはその合金薄膜を
   矩形状にパターニングする第二のパターニング工程、と
   を具備することを特徴とする反射型液晶表示装置の製造
   方法。