JPH07218923A - 反射型液晶表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 明るい画面表示が可能で、表示欠陥が生じ難
く、信頼性に優れた反射型液晶表示装置を提供するこ
と。 【構成】 光反射性の金属電極を有する背面電極板１
と、この背面電極板に対向して配置されかつ透明電極22
を有する観察者側電極板２と、これ等両電極板間に封入
された液晶物質４とを備える反射型液晶表示装置であっ
て、上記金属電極が銀薄膜13とこの銀薄膜とガラス基板
11との間に介在し銀薄膜とガラス基板とを接着させるク
ロム薄膜（導電性薄膜）12とから成ることを特徴とす
る。そして、この導電性薄膜の作用により金属電極の剥
離及び物理的傷付きを防止できかつこの金属電極が光反
射性能と化学的安定性とに優れた銀薄膜をその表面に備
えているため、明るい画面表示が可能で表示欠陥が生じ
難くかつ信頼性の高い反射型液晶表示装置が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、画面観察者とは反対側
に位置する背面電極板に光反射性の金属電極を有する反
射型液晶表示装置に係り、特に明るい画面表示が可能で
かつ表示欠陥が生じ難く、しかも信頼性に優れた反射型
液晶表示装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示装置は、一般に、電極が配設さ
れた一対の電極板と、これ等電極板間に封入された液晶
物質とでその主要部が構成され、上記電極間に電圧を印
加することにより液晶物質の配向状態を変化させてこの
液晶物質を透過する光の偏光面を制御すると共に、偏光
フィルムによりその透過・不透過を制御して画面表示を
行うものである。そして、この種の液晶表示装置として
は、上記背面電極板の裏面若しくは側面に光源（ラン
プ）を配置し、背面電極板側から光線を入射させるバッ
クライト型あるいはライトガイド型のランプ内蔵式透過
型液晶表示装置が広く普及している。

【０００３】しかし、ランプ内蔵式透過型液晶表示装置
においては、そのランプによる消費電力が大きくＣＲＴ
やプラズマディスプレイ等他の種類のディスプレイと略
同等の電力を消費するため、液晶表示装置本来の低消費
電力といった特徴を損ない、また、携帯先での長時間の
利用が困難となるという欠点を有していた。

【０００４】他方、このようなランプを内蔵することな
く、装置の観察者側に位置する電極板（観察者側電極板
と称する）から室内光や自然光等の外光を入射させ、か
つ、この入射光を上記背面電極板に設けられた光反射材
で反射させると共に、この反射光で画面表示する反射型
液晶表示装置も知られている。そして、この反射型液晶
表示装置ではランプを利用しないことから消費電力が小
さく、携帯先での長時間駆動に耐えるという利点を有し
ている。

【０００５】このような反射型液晶表示装置として、例
えば、図４に示すように背面電極板ａの裏面に金属反射
板ａ３を設けたもの、あるいは、図５に示すように背面
電極板ａの電極ａ２を光反射性の金属薄膜で構成しこの
電極ａ２により入射光を反射させて画面表示するもの等
が知られているが、図４に示された反射型液晶表示装置
においては液晶物質ｃによって構成された表示画面が上
記金属反射板ａ３に映って虚像を生じ二重に観察される
という欠点があるため、このような欠点を有さない図５
に示された反射型液晶表示装置が主流を占めている。
尚、図４〜５中、ｂは観察者側電極板、ｃは液晶物質、
ｄは偏光フィルム、ｅは背面電極板ａと観察者側電極板
ｂとを周辺部で一体化させるシール材を示している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、図５の反射
型液晶表示装置に組込まれる光反射性の金属電極ａ２と
しては、従来、安価で光反射率に優れたアルミニウム薄
膜が広く利用されているが、アルミニウム薄膜は水分や
塩基により酸化され易くこの酸化に伴い光反射性能が低
下して経時的に表示欠陥を引起こし易いため、近年、水
分や塩基に対し高い耐性を有する銀薄膜が上記金属電極
ａ２として利用されている。

【０００７】しかし、アルミニウム薄膜に代えて銀薄膜
を適用した場合にも以下に示すような問題点を有してお
り未だ改善の余地を有していた。

【０００８】すなわち、背面電極板を構成する基板に対
して上記銀薄膜は密着性が良好でなく、液晶表示装置の
組み立て工程や装置駆動中において銀薄膜が基板から剥
離し易い問題があり、かつ、銀薄膜は硬度が余り高くな
いため液晶表示装置の組み立て工程の際にその表面に物
理的な力が作用すると損傷されて導電性が低下し易い問
題があった。

【０００９】本発明はこのような問題点に着目してなさ
れたもので、その課題とするところは、液晶表示装置の
組み立て工程や装置駆動中において金属電極の剥離や損
傷が起こり難く、長期に亘って明るい画面表示が可能で
かつ表示欠陥が起こり難い反射型液晶表示装置を提供す
ることにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】すなわち、請求項１に係
る発明は、光反射性の金属電極を有する背面電極板と、
この背面電極板に対向して配置されかつ透明電極を有す
る観察者側電極板と、これ等両電極板間に封入された液
晶物質とを備え、上記金属電極と透明電極との間に電圧
を印加して液晶物質を駆動させ画面表示する反射型液晶
表示装置を前提とし、光反射性の上記金属電極が、銀薄
膜とこの銀薄膜と基板の間に介在してこれ等を互いに接
着させる導電性薄膜とから成ることを特徴とする。

【００１１】そして、請求項１に係る発明によれば、銀
薄膜と基板とが上記導電性薄膜を介して強固に接着する
ため、液晶表示装置の組み立て工程及び使用中の金属電
極の剥離を防止することが可能となる。

【００１２】また、上記導電性薄膜は一般に銀薄膜より
固く傷付き難いため、液晶表示装置組み立て工程におけ
る金属電極の損傷が防止され、電気的特性の劣化を防止
することも可能となる。

【００１３】このように請求項１に係る発明によれば、
上記金属電極の剥離及び物理的損傷を防止でき、しかも
この金属電極が光反射性能と化学的安定性とに優れた銀
薄膜をその表面に備えているため、明るい画面表示が可
能で、表示欠陥が生じ難く、かつ、信頼性の高い反射型
液晶表示装置を得ることが可能となる。

【００１４】このような技術的手段において上記導電性
薄膜としては、例えば、周期率表のＩＶ族の遷移金属、
Ｖ族の遷移金属、ＶＩ族の遷移金属、又はこれ等遷移金
属を主成分とする薄膜が適用できる。請求項２に係る発
明はこの導電性薄膜を構成する材料を特定した発明に関
するものである。

【００１５】すなわち、請求項２に係る発明は、請求項
１記載の発明に係る反射型液晶表示装置を前提とし、上
記導電性薄膜が、周期率表のＩＶ族、Ｖ族、及び、ＶＩ
族の遷移金属から選択された一種又は二種以上の金属を
主成分とすることを特徴とする。

【００１６】そして、これ等遷移金属の薄膜を銀薄膜と
基板との間に介在させることにより銀薄膜の剥離及び物
理的損傷を良好に防止することが可能となる。

【００１７】このような遷移金属としては、例えば、チ
タン、ジルコニウム、ハフニウム、バナジウム、ニオ
ブ、タンタル、クロム、モリブデン、タングステン等が
挙げられる。また、これ等の遷移金属単体で上記導電性
薄膜を構成することもできるが、これ等遷移金属を主成
分とし、他の異種金属を添加した合金で上記導電性薄膜
を構成することも可能である。尚、導電性薄膜を上記合
金で構成する場合には、銀薄膜との接着性及び基板との
接着性の双方を損なわないことに留意する必要がある。

【００１８】また、上記導電性薄膜として導電性を有す
る金属酸化物を主成分とする薄膜を適用することも可能
である。請求項３に係る発明も上記導電性薄膜を構成す
る材料を特定した発明に関するものである。

【００１９】すなわち、請求項３に係る発明は、請求項
１記載の発明に係る反射型液晶表示装置を前提とし、上
記導電性薄膜が、導電性金属酸化物を主成分とすること
を特徴とする。

【００２０】そして、導電性金属酸化物を導電性薄膜と
して上記銀薄膜と基板との間に介在させることにより、
銀薄膜の剥離及び物理的損傷を良好に防止することが可
能となる。

【００２１】次に、請求項４に係る発明は上記導電性金
属酸化物の材料を具体的に特定した発明に関する。

【００２２】すなわち、請求項４に係る発明は、請求項
３記載の発明に係る反射型液晶表示装置を前提とし、上
記導電性金属酸化物が、酸化インジウム、酸化亜鉛若し
くは酸化インジウム、又は、酸化亜鉛を基材とし他の金
属酸化物を添加したものから成ることを特徴とする。

【００２３】尚、酸化インジウムや酸化亜鉛を基材とし
他の金属酸化物を添加して成る導電性酸化物としては、
例えば、酸化インジウムを基材とし酸化錫を添加して成
るＩＴＯ、あるいは酸化インジウムを基材とし酸化アル
ミニウムを添加して成る金属酸化物等が挙げられる。

【００２４】また、これ等金属酸化物の単体で上記導電
性薄膜を構成できる他、銀薄膜及び基板との接着性を損
なわないことを条件としてこれ等金属酸化物を主成分と
し他の金属酸化物を添加して上記導電性薄膜を構成する
ことも可能である。

【００２５】尚、本発明において上記銀薄膜としては銀
単体のものが適用できることは勿論であるが、０．５〜
１０重量％程度の遷移金属が添加された銀薄膜を適用す
ることもできる。この遷移金属としては、例えば、チタ
ン、ジルコニウム、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、
タンタル、クロム、モリブデン、タングステン等が挙げ
られる。

【００２６】また、上記導電性薄膜及び銀薄膜は、真空
蒸発法やスパッタリング法等の周知の方法で背面電極板
の基板上に成膜することが可能である。また、これ等導
電性薄膜と銀薄膜とをそれぞれ別の成膜装置内で成膜す
ることも可能であるが、同一装置内部で連続して（すな
わち、その途中で装置内を常圧に戻すことなく）成膜す
ると、その成膜工程の短縮化を図ることが可能となる。

【００２７】こうして成膜された導電性薄膜と銀薄膜と
を周知のフォトリソプロセスに従ってパターニングする
ことにより上記金属電極を形成することが可能となる。
金属電極のパターンは液晶表示装置の駆動形式や液晶の
種類によって異なり、例えば、単純マトリクス駆動方式
の液晶表示装置においてはストライプ状又は万線状のパ
ターンであり、他方、ＴＦＴやＭＩＭ等の液晶駆動素子
を利用するアクティブマトリクス駆動方式の液晶表示装
置においては略矩形状の互いに独立した画素パターンで
ある。

【００２８】また、導電性薄膜と銀薄膜とは同一のパタ
ーンを有する必要はなく、例えば、単純マトリクス駆動
方式の液晶表示装置においては、銀薄膜を矩形状の画素
パターンに構成して画素部位の光反射性能を増大させる
と共に導電性薄膜を上記矩形状銀薄膜を結ぶストライプ
状に構成することも可能である。銀薄膜と導電性薄膜と
をこのようなパターン形状に構成しかつ導電性薄膜を光
反射性能の低い上記金属酸化物で構成した場合には、こ
の金属酸化物の存在部位（非画素部位）からの反射光を
防止して表示画面のコントラストを向上させることが可
能になる。

【００２９】また、外部信号線との接続の必要のない画
面表示領域の上記銀薄膜を物理的損傷から保護するた
め、この領域の銀薄膜上に透明な電気絶縁性の無機保護
膜を設けることも可能である。このような無機保護薄膜
としては、例えば、ＳｉＯ₂ 、ＭｇＯ、ＭｇＦ₂、Ｚｒ
Ｏ₂、ＣｅＯ₂等が例示できる。

【００３０】次に、請求項１〜４に係る発明において金
属電極を設ける背面電極板の基板としては、例えば、ガ
ラス基板が適用できる。また、この他にセラミック基
板、プラスチックフィルム、プラスチックボード等も適
用できる。この基板は透明に限らず、黒色、白色、その
他の色に着色したものであってもよい。基板として黒色
のものを使用する場合には、液晶表示装置の画素と画素
との間隙部位（画素間部位）に遮光膜を形成することな
く上記金属電極が存在しない部位に入射した光線の反射
を防止して表示画面のコントラストの向上を図ることが
可能になる。また、液晶表示装置が、室内光の多い明る
い部屋で使用するときには上記室内光を利用して画面表
示を行うと共に、この室内光が不足する暗い部屋で使用
するときに備えて装置内部にランプを内蔵する半透過形
の反射型液晶表示装置の場合には、透明な基板を利用す
ることが望ましい。

【００３１】他方、上記観察者側電極板の基板として
は、ガラス基板、セラミック基板、プラスチックフィル
ム、プラスチックボード等の透明な基板が適用でき、透
明電極としてはＩＴＯやネサ膜等の透明導電膜が適用で
きる。また、この観察者側電極板に光散乱層を設けて表
示光を散乱させ表示画面の視野角を拡大させたり、カラ
ーフィルター層を設けて表示光を着色してカラー表示す
ることも可能である。光散乱層は上記基板の液晶物質と
接触する内側あるいは偏光フィルムと接触する外側のい
ずれに設けてもよい。このような光散乱層として、例え
ば、透明樹脂バインダー中にこれと屈折率の異なる微粒
子を分散させたものが適用でき、上記微粒子としては、
例えば、ＭｇＦ₂、ＣａＦ₂、ＬｉＦ、ＮａＦ、Ｂａ
Ｆ₂、ＳｉＯ₂、ＴｉＯ₂、ＨｆＯ₂、ＭｇＯ、ＣａＯ、Ａ
ｌ₂Ｏ₃、ＳｎＯ₂、ＰｂＯ、Ｓｂ₂Ｏ₅ 、ＺｒＯ₂、Ｃｅ
Ｏ₂等の無機微粉末、あるいはＰＴＦＥ（ポリテトラフ
ルオロエチレン）等のフッ素樹脂の微粉末、アモルファ
スポリオレフィン微粉末、ポリジビニルベンゼンのビー
ズ、ポリスチレンの中空ビーズ、ポリサルフォン微粉
末、溶融石英の微粉末、ＦＫ−６等のフッ化物含有珪酸
ガラスの微粉末等が使用できる。また、上記基板の表面
を粗面化処理してこの表面にサブミクロンオーダーの深
さの凹凸を形成し、この凹凸を上記光散乱層の代わりに
利用して表示光を散乱させ表示画面の視野角を拡大させ
ることも可能である。

【００３２】次に、上記カラーフィルター層としては、
着色材を含有するインキを画素パターンに印刷して形成
した印刷法によるカラーフィルター層、透明樹脂を画素
パターンに染色して形成した染色法によるカラーフィル
ター層、あるいは着色材を含有する感光性透明樹脂を塗
布した後フォトリソプロセスに従って画素パターンに露
光・現像して形成した顔料分散法によるカラーフィルタ
ー層、着色材を含有する電着塗料を画素パターンに電着
させて形成した電着法によるカラーフィルター層、着色
材を含有するトナーを電子写真法に従って画素パターン
に付着させて形成した電子写真法によるカラーフィルタ
ー層等の周知のカラーフィルター層を利用することがで
きる。

【００３３】尚、本発明に係る金属電極は観察者側電極
板の透明電極に比較して電気抵抗が小さいため、液晶表
示装置が単純マトリクス駆動方式（液晶物質又はその配
向状態がＳＴＮ、ＥＣＢ、ホメオトロピック又は反強誘
電性液晶の場合に主に適用されている）の場合には、上
記金属電極を走査側電極として使用し、観察者側電極板
の透明電極を信号電極として使用することが好ましい。
また、画素毎に液晶物質を駆動させる駆動素子（ＴＦＴ
等）を備えるアクティブマトリクス駆動方式のものの場
合には、上記背面電極板と観察者側電極板のいずれに駆
動素子を設けてもよい。

【００３４】

【作用】請求項１〜４に係る発明によれば、光反射性の
金属電極が、銀薄膜とこの銀薄膜と基板の間に介在して
これ等を互いに接着させる導電性薄膜とから成ることか
ら、銀薄膜と基板とが導電性薄膜を介し強固に接着され
るため、液晶表示装置の組み立て工程及び使用中の金属
電極の剥離を防止することが可能となる。

【００３５】また、上記導電性薄膜は一般に銀薄膜より
固く傷が付き難いため、上記液晶表示装置組み立て工程
における金属電極の損傷を防止し電気的特性の劣化を防
止することも可能となる。

【００３６】

【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て詳細に説明する。

【００３７】［実施例１］この実施例に係る反射型液晶
表示装置は、図１に示すように背面電極板１と、この背
面電極板に対向して配置された観察者側電極板２と、こ
れ等両電極板１、２を周辺部で一体化させるシール材３
と、これ等両電極板１、２の間に封入された液晶物質４
とでその主要部が構成されている。また、上記背面電極
板１は、厚さ０．７μｍのガラス基板１１と、このガラ
ス基板１１上に幅３１５μｍ、ピッチ３３０μｍのスト
ライプパターンに設けられたクロム薄膜（厚さ０．０５
μｍ）１２と、このクロム薄膜１２に位置整合して設け
られた銀薄膜（厚さ０．２μｍ）１３と、この銀薄膜１
３を被覆して設けられたＳｉＯ₂ 薄膜１６とで構成さ
れ、他方、観察者側電極板２は、厚さ０．７μｍのガラ
ス基板２１と、このガラス基板２１上に幅３１５μｍ、
ピッチ３３０μｍのストライプパターン（上記クロム薄
膜１２と直交する方向のストライプパターン）に設けら
れた透明導電膜（厚さ０．２４μｍ）から成る透明電極
２２とで構成されている。尚、この液晶表示装置は単純
マトリクス駆動方式のもので、上記銀薄膜１３を走査側
電極とし透明電極２２を信号側電極として利用するもの
である。

【００３８】そして、この液晶表示装置は以下の工程に
より製造したものである。

【００３９】まず、室温に維持したガラス基板１１上に
クロム薄膜１２をスパッタリングにより成膜し、かつ、
成膜装置内部を常圧に戻すことなく連続して銀薄膜１３
を成膜し、最後に周知のフォトリソプロセスに従い、銀
薄膜１３上にフォトレジストを塗布し、露光・現像した
後、残存したフォトレジストをエッチングレジストとし
て銀薄膜１３及びクロム薄膜１２をエッチングし上記ス
トライプパターンに加工して背面電極板１を製造した。
他方、室温に維持した上記ガラス基板２１上に透明導電
膜を真空蒸着し、かつ、フォトリソプロセスに従って上
記ストライプパターンに加工した後、この透明導電膜に
対しその導電率を増大させるために加熱処理を施して観
察者側基板２を製造した。そして、これ等背面電極板１
と観察者側電極板２とをシール材３を介して重ね合わ
せ、２００〜３００℃の温度で加熱かつ加圧して一体化
させ上記液晶表示装置を製造した。

【００４０】尚、こうして製造した液晶表示装置のクロ
ム薄膜１２と銀薄膜１３から成る金属電極の光反射率を
測定したところ、９５％を示し、優れた光反射性能を有
することが確認できた。また、この金属電極上にセロハ
ンテープを接着した後引き剥がし、このセロハンテープ
の剥離に伴って引き剥がされた金属薄膜の有無により上
記金属電極とガラス基板１１との密着性を評価したとこ
ろ、高い導電性を維持し、表示欠陥を生じ難いことが確
認できた。

【００４１】また、上記クロム薄膜１２と銀薄膜１３と
から成る金属電極の面積抵抗率を測定したところ、約
０．５Ω／□であり、優れた導電性を有していることも
確認できた。

【００４２】［実施例２］この実施例に係る反射型液晶
表示装置は、図２に示すように背面電極板１と、この背
面電極板１に対向して配置された観察者側電極板２と、
これ等両電極板１、２を周辺部で一体化させるシール材
３と、これ等両電極板１、２の間に封入された液晶物質
４と、背面側電極板１の背後に配置されかつ照明の暗い
室内で点灯して使用されるランプ（図示せず）とでその
主要部が構成されている。また、上記背面電極板１は、
厚さ０．７μｍのガラス基板１１と、このガラス基板１
１上に幅１９５μｍ、ピッチ２１０μｍのストライプパ
ターンに設けられかつ酸化錫を７．５重量％含有する酸
化インジウムから成るＩＴＯ薄膜（厚さ０．１μｍ）１
４と、このＩＴＯ薄膜１４上の画素部位にパターン（図
３に示すように中央部に径７０μｍの円形の穴開きパタ
ーン１５ａを有する一辺が１９５μｍの矩形パターン）
状に設けられた銀の薄膜（厚さ０．２μｍ）１５と、こ
の銀の薄膜１５を被覆して設けられたＳｉＯ₂ 薄膜１６
とで構成され、他方、観察者側電極板２は、厚さ０．７
μｍのガラス基板２１と、このガラス基板２１上に幅１
９５μｍ、ピッチ２１０μｍのストライプパターン（上
記ＩＴＯ薄膜１４と直交する方向のストライプパター
ン）に設けられかつ厚さ０．２μｍの透明導電膜から成
る透明電極２２とで構成されている。

【００４３】尚、上記銀薄膜１５の中央部に設けられた
穴開きパターン１５ａは、照明の暗い室内で液晶表示装
置を駆動する際に点灯される上記ランプの光線を画素部
位に誘導するものである。また、この液晶表示装置も単
純マトリクス駆動方式のもので、上記銀薄膜１５を走査
側電極とし、透明電極２２を信号側電極として利用する
ものである。

【００４４】そして、この液晶表示装置は以下の工程に
より製造したものである。

【００４５】まず、室温に維持したガラス基板１１上に
酸化錫を７．５重量％含有する酸化インジウムから成る
ＩＴＯ薄膜１４と銀の薄膜１５をスパッタリングにより
成膜し、周知のフォトリソプロセスに従って上記銀薄膜
１５を穴開きパターンを有する上記矩形パターンに加工
した後、上記ＩＴＯ薄膜１４を上記ストライプパターン
に加工し、かつ、２００℃、１時間の熱処理を施しＩＴ
Ｏ薄膜１４の導電性を増大させて背面電極板１を製造し
た。他方、室温に維持した上記ガラス基板２１上に透明
導電膜を真空蒸着し、フォトリソプロセスに従って上記
ストライプパターンに加工した後、この透明導電膜に対
しその導電率を増大させるために加熱処理を施して観察
者側基板２を製造した。そして、これ等背面電極板１と
観察者側電極板２とをシール材３を介して重ね合わせ、
２００〜３００℃の温度で加熱かつ加圧して一体化させ
上記液晶表示装置を製造した。

【００４６】得られた液晶表示装置は高い光反射性能を
示し、かつ、セロハンテープ剥離試験においても高い導
電性を維持し、表示欠陥を生じ難いことが確認できた。

【００４７】

【発明の効果】請求項１〜４に係る発明によれば、光反
射性金属電極の剥離及び物理的傷付きを防止でき、しか
もこの金属電極が光反射性能と化学的安定性とに優れた
銀薄膜をその表面に備えているため、明るい画面表示が
可能で、表示欠陥が生じ難く、かつ、信頼性の高い反射
型液晶表示装置を提供できる効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１に係る反射型液晶表示装置の断面図。

【図２】実施例２に係る反射型液晶表示装置の断面図。

【図３】実施例２に係る金属電極のパターンを示す要部
平面図。

【図４】従来例に係る反射型液晶表示装置の断面図。

【図５】従来例に係る反射型液晶表示装置の断面図。

【符号の説明】

１ 背面電極板 ２ 観察者側電極板 ３ シール材 ４ 液晶物質 １１ ガラス基板 １２ クロム薄膜 １３ 銀薄膜 １４ ＩＴＯ薄膜 １５ 銀薄膜 １６ ＳｉＯ₂ 薄膜 ２１ ガラス基板 ２２ 透明電極

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】光反射性の金属電極を有する背面電極板
   と、この背面電極板に対向して配置されかつ透明電極を
   有する観察者側電極板と、これ等両電極板間に封入され
   た液晶物質とを備え、上記金属電極と透明電極との間に
   電圧を印加して液晶物質を駆動させ画面表示する反射型
   液晶表示装置において、 光反射性の上記金属電極が、銀薄膜とこの銀薄膜と基板
   の間に介在してこれ等を互いに接着させる導電性薄膜と
   から成ることを特徴とする反射型液晶表示装置。
2. 【請求項２】上記導電性薄膜が、周期率表のＩＶ族、Ｖ
   族、及び、ＶＩ族の遷移金属から選択された一種又は二
   種以上の金属を主成分とすることを特徴とする請求項１
   記載の反射型液晶表示装置。
3. 【請求項３】上記導電性薄膜が、導電性金属酸化物を主
   成分とすることを特徴とする請求項１記載の反射型液晶
   表示装置。
4. 【請求項４】上記導電性金属酸化物が、酸化インジウ
   ム、酸化亜鉛若しくは酸化インジウム、又は、酸化亜鉛
   を基材とし他の金属酸化物を添加したものから成ること
   を特徴とする請求項３記載の反射型液晶表示装置。