JP3498763B2 - 光反射板と反射型液晶表示装置用光反射板並びに反射型液晶表示装置用光反射性電極板 - Google Patents
光反射板と反射型液晶表示装置用光反射板並びに反射型液晶表示装置用光反射性電極板Info
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- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133553—Reflecting elements
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- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光反射板と反射型液晶
表示装置用光反射板並びに反射型液晶表示装置用光反射
性電極板に係り、特に、光反射特性に優れた銀が適用さ
れた経時劣化のない保存安定性に優れた光反射板と反射
型液晶表示装置用光反射板並びに反射型液晶表示装置用
光反射性電極板の改良に関するものである。
表示装置用光反射板並びに反射型液晶表示装置用光反射
性電極板に係り、特に、光反射特性に優れた銀が適用さ
れた経時劣化のない保存安定性に優れた光反射板と反射
型液晶表示装置用光反射板並びに反射型液晶表示装置用
光反射性電極板の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置は、画素毎に電圧の印加を
行える電極が配設された一対の電極板とこれ等電極板間
に封入された液晶物質とでその主要部が構成され、上記
両電極間に電圧を印加することにより液晶物質の配向状
態を画素毎に変化させてこの液晶物質を透過する光の偏
光面を制御すると共に、偏光フィルムによりその透過・
不透過を制御して画面表示を行うものである。そして、
上記一対の電極板のうちの一方にカラーフィルター層を
有する電極板を適用することによりカラー画面の表示が
可能となる。
行える電極が配設された一対の電極板とこれ等電極板間
に封入された液晶物質とでその主要部が構成され、上記
両電極間に電圧を印加することにより液晶物質の配向状
態を画素毎に変化させてこの液晶物質を透過する光の偏
光面を制御すると共に、偏光フィルムによりその透過・
不透過を制御して画面表示を行うものである。そして、
上記一対の電極板のうちの一方にカラーフィルター層を
有する電極板を適用することによりカラー画面の表示が
可能となる。
【０００３】ところで、この種の液晶表示装置として
は、液晶表示装置の背面側に位置する電極板（以下背面
電極板と称する）の裏面若しくは側面に光源（ランプ）
を配置し、背面電極板側から光線を入射させるバックラ
イト型あるいはライトガイド型のランプ内蔵式透過型液
晶表示装置が広く普及している。
は、液晶表示装置の背面側に位置する電極板（以下背面
電極板と称する）の裏面若しくは側面に光源（ランプ）
を配置し、背面電極板側から光線を入射させるバックラ
イト型あるいはライトガイド型のランプ内蔵式透過型液
晶表示装置が広く普及している。
【０００４】しかし、このランプ内蔵式透過型液晶表示
装置においてはそのランプによる消費電力が大きくＣＲ
Ｔやプラズマディスプレイ等他の種類のディスプレイと
略同等の電力を消費するため、液晶表示装置本来の低消
費電力といった特徴を損ない、かつ、携帯先での長時間
の利用が困難になるという欠点を有していた。
装置においてはそのランプによる消費電力が大きくＣＲ
Ｔやプラズマディスプレイ等他の種類のディスプレイと
略同等の電力を消費するため、液晶表示装置本来の低消
費電力といった特徴を損ない、かつ、携帯先での長時間
の利用が困難になるという欠点を有していた。
【０００５】他方、このようなランプを内蔵することな
く装置の観察者側に位置する電極板（観察者側電極板と
称する）から室内光や自然光等の外光を入射させ、か
つ、この入射光を光反射性背面電極板で反射させると共
に、この反射光で画面表示する反射型液晶表示装置も知
られている。そして、この反射型液晶表示装置ではラン
プを利用しないことから消費電力が小さく、携帯先での
長時間駆動に耐えるという利点を有している。
く装置の観察者側に位置する電極板（観察者側電極板と
称する）から室内光や自然光等の外光を入射させ、か
つ、この入射光を光反射性背面電極板で反射させると共
に、この反射光で画面表示する反射型液晶表示装置も知
られている。そして、この反射型液晶表示装置ではラン
プを利用しないことから消費電力が小さく、携帯先での
長時間駆動に耐えるという利点を有している。
【０００６】ところで、このような反射型液晶表示装置
としては、例えば、図４に示すように光反射板ｅを背面
電極板ａの外側に配設しかつ２枚の偏光フィルムｄ，ｆ
を使用するタイプの反射型液晶表示装置や、図５に示す
ように光反射板ｅを背面電極板ａの外側に配設しかつ偏
光フィルムｆを１枚だけ使用したタイプの反射型液晶表
示装置、あるいは図６に示すように液晶物質ｃに電圧を
印加する電極として光反射性金属電極ａ'2を適用する反
射型液晶表示装置等が知られている。
としては、例えば、図４に示すように光反射板ｅを背面
電極板ａの外側に配設しかつ２枚の偏光フィルムｄ，ｆ
を使用するタイプの反射型液晶表示装置や、図５に示す
ように光反射板ｅを背面電極板ａの外側に配設しかつ偏
光フィルムｆを１枚だけ使用したタイプの反射型液晶表
示装置、あるいは図６に示すように液晶物質ｃに電圧を
印加する電極として光反射性金属電極ａ'2を適用する反
射型液晶表示装置等が知られている。
【０００７】以下順に説明すると、図４に示された反射
型液晶表示装置は液晶物質ｃに電圧を印加する透明電極
ａ２を基板ａ１上に備える背面電極板ａと、この背面電
極板ａに対向して配置され基板ｂ１上に透明電極ｂ２を
備える観察者側電極板ｂと、これら両電極板ａ、ｂの間
に封入された液晶物質ｃと、上記背面電極板ａの基板ａ
１の裏面に偏光フィルムｄを介して貼着された光反射板
ｅと、上記観察者側電極板ｂ表面に貼着された偏光フィ
ルムｆとでその主要部が構成され、観察者側電極板ｂ側
から入射した外光を上記光反射板ｅで反射させて画面表
示するものである。尚、上記光反射板ｅとしては、光散
乱性を付与して表示画面の視野角を拡大させるため、例
えば、エンボス加工して細かい凹凸を設けたアルミニウ
ム箔や、機械的に表面を粗化して設けた有機フィルムの
細かい凹凸面にアルミニウム薄膜を成膜したもの等が適
用されている。また、図４においてｇ及びｈは必要に応
じて設けられる位相差フィルムを示しており、説明の便
のため液晶物質ｃの配向膜はその図示を省略している。
型液晶表示装置は液晶物質ｃに電圧を印加する透明電極
ａ２を基板ａ１上に備える背面電極板ａと、この背面電
極板ａに対向して配置され基板ｂ１上に透明電極ｂ２を
備える観察者側電極板ｂと、これら両電極板ａ、ｂの間
に封入された液晶物質ｃと、上記背面電極板ａの基板ａ
１の裏面に偏光フィルムｄを介して貼着された光反射板
ｅと、上記観察者側電極板ｂ表面に貼着された偏光フィ
ルムｆとでその主要部が構成され、観察者側電極板ｂ側
から入射した外光を上記光反射板ｅで反射させて画面表
示するものである。尚、上記光反射板ｅとしては、光散
乱性を付与して表示画面の視野角を拡大させるため、例
えば、エンボス加工して細かい凹凸を設けたアルミニウ
ム箔や、機械的に表面を粗化して設けた有機フィルムの
細かい凹凸面にアルミニウム薄膜を成膜したもの等が適
用されている。また、図４においてｇ及びｈは必要に応
じて設けられる位相差フィルムを示しており、説明の便
のため液晶物質ｃの配向膜はその図示を省略している。
【０００８】また、図５に示された反射型液晶表示装置
は、偏光フィルムｄが設けられていない点を除き図４に
示された反射型液晶表示装置と略同一である。
は、偏光フィルムｄが設けられていない点を除き図４に
示された反射型液晶表示装置と略同一である。
【０００９】次に、図６に示された光反射性金属電極を
適用した反射型液晶表示装置は、光反射性金属電極ａ'2
を備える背面電極板（光反射性電極板）ａと、これに対
向して配置され透明電極ｂ２を備える観察者側電極板ｂ
と、これら両電極板ａ、ｂの間に封入された液晶物質ｃ
とでその主要部が構成され、観察者側電極板ｂ側から入
射した外光を光反射性金属電極ａ'2で反射させて画面表
示するものである。尚、上記光反射性金属電極ａ'2とし
ては表面に凹凸が設けられたアルミニウム薄膜や銀薄膜
等が適用されている。また、図６中、ｂ３は光散乱層を
示している。
適用した反射型液晶表示装置は、光反射性金属電極ａ'2
を備える背面電極板（光反射性電極板）ａと、これに対
向して配置され透明電極ｂ２を備える観察者側電極板ｂ
と、これら両電極板ａ、ｂの間に封入された液晶物質ｃ
とでその主要部が構成され、観察者側電極板ｂ側から入
射した外光を光反射性金属電極ａ'2で反射させて画面表
示するものである。尚、上記光反射性金属電極ａ'2とし
ては表面に凹凸が設けられたアルミニウム薄膜や銀薄膜
等が適用されている。また、図６中、ｂ３は光散乱層を
示している。
【００１０】ところで、図４に示すような偏光フィルム
を２枚使用するタイプの反射型液晶表示装置において
は、外光は２枚の偏光フィルムｄ、ｆを２度づつ通過す
るためその通過の度に減衰し易く、その光利用効率が３
０〜１５％程度に低下して明るい画面表示を困難にして
いる。これに対し、図５や図６に示された反射型液晶表
示装置においては偏光フィルムを１枚しか使用しないた
め光減衰が少なく、明るい画面表示が可能である。この
ように明るい画面表示を得るためには偏光フィルムを１
枚だけ使用するタイプ（偏光フィルム１枚タイプ）の反
射型液晶表示装置が適している。
を２枚使用するタイプの反射型液晶表示装置において
は、外光は２枚の偏光フィルムｄ、ｆを２度づつ通過す
るためその通過の度に減衰し易く、その光利用効率が３
０〜１５％程度に低下して明るい画面表示を困難にして
いる。これに対し、図５や図６に示された反射型液晶表
示装置においては偏光フィルムを１枚しか使用しないた
め光減衰が少なく、明るい画面表示が可能である。この
ように明るい画面表示を得るためには偏光フィルムを１
枚だけ使用するタイプ（偏光フィルム１枚タイプ）の反
射型液晶表示装置が適している。
【００１１】そして、偏光フィルム１枚タイプの反射型
液晶表示装置においては、一般に、ノーマリーホワイト
表示方式が採用されている。以下、図５に従って説明す
ると、両電極ａ２、ｂ２に電圧を印加しない状態では、
観察者側電極板ｂ側から入射した外光はまず偏光フィル
ムｆを透過して直線偏光に変化し、位相差フィルムｇ及
びツイストされた液晶物質ｃによって偏光面が回転さ
れ、背面電極板ａを通過した後、光反射板ｅで反射され
て偏光面が反転し、更に液晶物質ｃと位相差フィルムｇ
で回転され、偏光フィルムｆを透過する。これに対し、
両電極ａ２、ｂ２に電圧が印加された場合には、位相差
フィルムｇを透過した光線は、その偏光面を維持したま
ま液晶物質ｃと背面電極板ａを透過し、光反射板ｅで反
射されて偏光面が反転し、再度、位相差フィルムｇによ
り回転され、偏光フィルムｆで遮断される。
液晶表示装置においては、一般に、ノーマリーホワイト
表示方式が採用されている。以下、図５に従って説明す
ると、両電極ａ２、ｂ２に電圧を印加しない状態では、
観察者側電極板ｂ側から入射した外光はまず偏光フィル
ムｆを透過して直線偏光に変化し、位相差フィルムｇ及
びツイストされた液晶物質ｃによって偏光面が回転さ
れ、背面電極板ａを通過した後、光反射板ｅで反射され
て偏光面が反転し、更に液晶物質ｃと位相差フィルムｇ
で回転され、偏光フィルムｆを透過する。これに対し、
両電極ａ２、ｂ２に電圧が印加された場合には、位相差
フィルムｇを透過した光線は、その偏光面を維持したま
ま液晶物質ｃと背面電極板ａを透過し、光反射板ｅで反
射されて偏光面が反転し、再度、位相差フィルムｇによ
り回転され、偏光フィルムｆで遮断される。
【００１２】尚、図６に示された光反射性金属電極タイ
プの反射型液晶表示装置においては、上記光反射板ｅの
代わりに光反射性金属電極ａ'2によって外光が反射され
る他は図５に示された液晶表示装置と同様である。
プの反射型液晶表示装置においては、上記光反射板ｅの
代わりに光反射性金属電極ａ'2によって外光が反射され
る他は図５に示された液晶表示装置と同様である。
【００１３】ところで、このような偏光フィルム１枚タ
イプの反射型液晶表示装置において上記光反射板ｅや光
反射性金属電極ａ'2としてアルミニウム薄膜を適用した
場合、その光反射率は入射光の偏光面と入射角とに応じ
て変化する。すなわち、アルミニウム薄膜におけるＳ偏
光の反射率ＳAlとＰ偏光の反射率ＰAlは、入射角θに応
じ図７に示すように大きく変化する。そして、入射角θ
の大きい斜め方向からアルミニウム薄膜製の光反射性金
属電極に直線偏光が入射して反射された場合、そのＳ偏
光成分の反射率ＳAlとＰ偏光成分の反射率ＰAlとが互い
に異なることから、反射光中に占めるＳ偏光とＰ偏光の
比率が上記入射光中の比率と異なため、反射光は入射光
と異なる偏光面を有することになる。そして、このよう
に反射光の偏光面が入射光の偏光面と異なりかつその凹
凸表面に対する入射角に応じて変化するため、反射光の
偏光面の制御及びその透過・不透過の制御が困難とな
り、表示画面のコントラストが低下し易い欠点があっ
た。
イプの反射型液晶表示装置において上記光反射板ｅや光
反射性金属電極ａ'2としてアルミニウム薄膜を適用した
場合、その光反射率は入射光の偏光面と入射角とに応じ
て変化する。すなわち、アルミニウム薄膜におけるＳ偏
光の反射率ＳAlとＰ偏光の反射率ＰAlは、入射角θに応
じ図７に示すように大きく変化する。そして、入射角θ
の大きい斜め方向からアルミニウム薄膜製の光反射性金
属電極に直線偏光が入射して反射された場合、そのＳ偏
光成分の反射率ＳAlとＰ偏光成分の反射率ＰAlとが互い
に異なることから、反射光中に占めるＳ偏光とＰ偏光の
比率が上記入射光中の比率と異なため、反射光は入射光
と異なる偏光面を有することになる。そして、このよう
に反射光の偏光面が入射光の偏光面と異なりかつその凹
凸表面に対する入射角に応じて変化するため、反射光の
偏光面の制御及びその透過・不透過の制御が困難とな
り、表示画面のコントラストが低下し易い欠点があっ
た。
【００１４】これに対し、偏光フィルム１枚タイプの反
射型液晶表示装置において上記光反射板ｅや光反射性金
属電極ａ'2として銀薄膜が適用された場合には、図７に
示すようにそのＳ偏光の反射率ＳAgとＰ偏光の反射率Ｐ
Agがほぼ等しく、しかも極めて高い反射率を有するた
め、明るくしかもコントラストの高い画面表示が可能と
なる。
射型液晶表示装置において上記光反射板ｅや光反射性金
属電極ａ'2として銀薄膜が適用された場合には、図７に
示すようにそのＳ偏光の反射率ＳAgとＰ偏光の反射率Ｐ
Agがほぼ等しく、しかも極めて高い反射率を有するた
め、明るくしかもコントラストの高い画面表示が可能と
なる。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】このように銀薄膜は優
れた光反射特性を有するが、その反面、空気中に存在す
るイオウ化合物や水分と化合しその表面に硫化物や酸化
物が生成されて変色し易く、液晶表示装置の製造工程に
おいて銀薄膜の光反射率が低下し液晶表示装置の表示画
面の明るさを低下させてしまうことがあった。
れた光反射特性を有するが、その反面、空気中に存在す
るイオウ化合物や水分と化合しその表面に硫化物や酸化
物が生成されて変色し易く、液晶表示装置の製造工程に
おいて銀薄膜の光反射率が低下し液晶表示装置の表示画
面の明るさを低下させてしまうことがあった。
【００１６】本発明はこのような問題点に着目してなさ
れたもので、その課題とするところは、入射光の入射角
と偏光面に拘らず高い光反射率を有する銀の薄膜を適用
し、しかも経時劣化がなく保存安定性に優れた光反射板
と反射型液晶表示装置用光反射板並びに反射型液晶表示
装置用光反射性電極板を提供することにある。
れたもので、その課題とするところは、入射光の入射角
と偏光面に拘らず高い光反射率を有する銀の薄膜を適用
し、しかも経時劣化がなく保存安定性に優れた光反射板
と反射型液晶表示装置用光反射板並びに反射型液晶表示
装置用光反射性電極板を提供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】すなわち、請求項１記載
の発明に係る光反射板は、基板上に、膜厚６０ｎｍ以上
の銀または銀合金から成る光反射性金属薄膜と、この光
反射性金属薄膜の上側に設けられた防湿性透明薄膜と、
上記光反射性金属薄膜と防湿性透明薄膜との間に設けら
れこれら両薄膜を互いに接着させる透明無機薄膜とを備
えると共に、上記透明無機薄膜が、Ｂｉ、Ｈｆ、Ｃｅ、
Ｔａ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｐｂ、Ｔｉ、Ｚｒから選択された無
機酸化物を含有する酸化インジウムの薄膜にて構成され
ていることを特徴とするものである。
の発明に係る光反射板は、基板上に、膜厚６０ｎｍ以上
の銀または銀合金から成る光反射性金属薄膜と、この光
反射性金属薄膜の上側に設けられた防湿性透明薄膜と、
上記光反射性金属薄膜と防湿性透明薄膜との間に設けら
れこれら両薄膜を互いに接着させる透明無機薄膜とを備
えると共に、上記透明無機薄膜が、Ｂｉ、Ｈｆ、Ｃｅ、
Ｔａ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｐｂ、Ｔｉ、Ｚｒから選択された無
機酸化物を含有する酸化インジウムの薄膜にて構成され
ていることを特徴とするものである。
【００１８】そして、この請求項１記載の発明に係る光
反射板においては、上記透明無機薄膜が光反射性金属薄
膜と防湿性透明薄膜の双方を強固に接着してこれら３層
の薄膜を一体化させ、かつ、強固に接着された防湿性透
明薄膜が上記光反射性金属薄膜を空気中のイオウ化合物
や水分から保護する。従って、上記光反射性金属薄膜の
経時劣化が防止されてその保存安定性が向上するため、
空気中のイオウ化合物や水分に起因した表示欠陥のな
い、明るくコントラストの高い液晶表示装置等を安定し
て製造することが可能となる。
反射板においては、上記透明無機薄膜が光反射性金属薄
膜と防湿性透明薄膜の双方を強固に接着してこれら３層
の薄膜を一体化させ、かつ、強固に接着された防湿性透
明薄膜が上記光反射性金属薄膜を空気中のイオウ化合物
や水分から保護する。従って、上記光反射性金属薄膜の
経時劣化が防止されてその保存安定性が向上するため、
空気中のイオウ化合物や水分に起因した表示欠陥のな
い、明るくコントラストの高い液晶表示装置等を安定し
て製造することが可能となる。
【００１９】この様な技術的手段において上記防湿性透
明薄膜としては空気中の水分を透過させ難いものであれ
ばよく、例えば、有機材料や無機材料から構成される薄
膜が適用できる。尚、高い防湿性の点から、酸化珪素、
酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化セリウム、酸化タ
ンタル等の金属酸化物の薄膜が好ましく（但し、銀と固
溶しにくい金属の酸化物であることが好ましい）、中で
も価格や成膜速度等の加工適性の点から酸化珪素を基材
とする薄膜が好ましい。請求項２に係る発明はこのよう
な技術的理由に基づいてなされている。
明薄膜としては空気中の水分を透過させ難いものであれ
ばよく、例えば、有機材料や無機材料から構成される薄
膜が適用できる。尚、高い防湿性の点から、酸化珪素、
酸化チタン、酸化ジルコニウム、酸化セリウム、酸化タ
ンタル等の金属酸化物の薄膜が好ましく（但し、銀と固
溶しにくい金属の酸化物であることが好ましい）、中で
も価格や成膜速度等の加工適性の点から酸化珪素を基材
とする薄膜が好ましい。請求項２に係る発明はこのよう
な技術的理由に基づいてなされている。
【００２０】すなわち、請求項２に係る発明は、請求項
１記載の発明に係る光反射板を前提とし、上記防湿性透
明薄膜が、酸化珪素を基材とする酸化膜にて構成されて
いることを特徴とするものである。
１記載の発明に係る光反射板を前提とし、上記防湿性透
明薄膜が、酸化珪素を基材とする酸化膜にて構成されて
いることを特徴とするものである。
【００２１】尚、酸化珪素を基材とする酸化膜として
は、光透過特性の観点からその組成がＳｉＯ2 に近いも
のが望ましい。
は、光透過特性の観点からその組成がＳｉＯ2 に近いも
のが望ましい。
【００２２】 次に、上記透明無機薄膜としては、光反
射性金属薄膜を反射型液晶表示装置の光反射性金属電極
に利用した場合そのパターニング適性に優れ、しかも上
記光反射性金属薄膜及び防湿性透明薄膜との密着性に優
れた（特に、防湿性透明薄膜が酸化珪素を基材とする場
合にはこの酸化珪素製の防湿性透明薄膜との密着性に極
めて優れている）酸化インジウムを主成分とする薄膜が
適用できる。
射性金属薄膜を反射型液晶表示装置の光反射性金属電極
に利用した場合そのパターニング適性に優れ、しかも上
記光反射性金属薄膜及び防湿性透明薄膜との密着性に優
れた（特に、防湿性透明薄膜が酸化珪素を基材とする場
合にはこの酸化珪素製の防湿性透明薄膜との密着性に極
めて優れている）酸化インジウムを主成分とする薄膜が
適用できる。
【００２３】
【００２４】 このような透明無機薄膜としては、酸化
インジウムに、銀との固溶域がないか又は小さく、か
つ、液晶物質へのイオン性不純物の溶出による液晶物質
の損傷が起こり難い無機酸化物を添加して構成される酸
化インジウムの薄膜が利用できる。上記無機酸化物とし
ては、Ｂｉ、Ｈｆ、Ｃｅ、Ｔａ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｐｂ、Ｔ
ｉ、Ｚｒから選択された無機酸化物が挙げられる。
インジウムに、銀との固溶域がないか又は小さく、か
つ、液晶物質へのイオン性不純物の溶出による液晶物質
の損傷が起こり難い無機酸化物を添加して構成される酸
化インジウムの薄膜が利用できる。上記無機酸化物とし
ては、Ｂｉ、Ｈｆ、Ｃｅ、Ｔａ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｐｂ、Ｔ
ｉ、Ｚｒから選択された無機酸化物が挙げられる。
【００２５】 ところで、上記防湿性透明薄膜の膜厚と
透明無機薄膜の膜厚の合計が可視波長の１／４以上の場
合、防湿性透明薄膜表面の反射光と光反射性金属薄膜表
面の反射光が互いに干渉してこの反射光が着色すること
がある。このような着色を防止するため、防水性透明薄
膜と透明無機薄膜の合計膜厚は可視波長の１／４以下で
あることが望ましい。また、十分な防湿性を得るためそ
の合計膜厚は５ｎｍ以上であることが望ましい。請求項
３に係る発明はこのような技術的理由に基づいてなされ
ている。
透明無機薄膜の膜厚の合計が可視波長の１／４以上の場
合、防湿性透明薄膜表面の反射光と光反射性金属薄膜表
面の反射光が互いに干渉してこの反射光が着色すること
がある。このような着色を防止するため、防水性透明薄
膜と透明無機薄膜の合計膜厚は可視波長の１／４以下で
あることが望ましい。また、十分な防湿性を得るためそ
の合計膜厚は５ｎｍ以上であることが望ましい。請求項
３に係る発明はこのような技術的理由に基づいてなされ
ている。
【００２６】 すなわち、請求項３に係る発明は、請求
項１〜２のいずれかに記載の光反射板を前提とし、上記
防湿性透明薄膜と透明無機薄膜の合計膜厚が、可視光線
の波長の１／４以下で、かつ、５ｎｍ以上であることを
特徴とするものである。
項１〜２のいずれかに記載の光反射板を前提とし、上記
防湿性透明薄膜と透明無機薄膜の合計膜厚が、可視光線
の波長の１／４以下で、かつ、５ｎｍ以上であることを
特徴とするものである。
【００２７】 次に、請求項１〜３に係る発明におい
て、基板と光反射性金属薄膜とを強固に接着させるた
め、これら基板と光反射性金属薄膜との間に接着層を設
けることが望ましい。この接着層としては、基板との接
着力及び光反射性金属薄膜との接着力に優れたものであ
れば任意のものを利用することができるが、基板が有機
材料の場合、この基板を透過する水分により光反射性金
属薄膜が損傷を受けないように上記接着剤として防湿性
に優れたものが望ましい。また、光反射性金属薄膜が反
射型液晶表示装置の光反射性金属電極として利用される
場合には、イオン溶出が少なく、耐性面で安定した酸化
インジウム又は酸化アルミニウムを基材とする無機酸化
物が好ましい。請求項４及び５に係る発明はこのような
技術的理由に基づいてなされたものである。
て、基板と光反射性金属薄膜とを強固に接着させるた
め、これら基板と光反射性金属薄膜との間に接着層を設
けることが望ましい。この接着層としては、基板との接
着力及び光反射性金属薄膜との接着力に優れたものであ
れば任意のものを利用することができるが、基板が有機
材料の場合、この基板を透過する水分により光反射性金
属薄膜が損傷を受けないように上記接着剤として防湿性
に優れたものが望ましい。また、光反射性金属薄膜が反
射型液晶表示装置の光反射性金属電極として利用される
場合には、イオン溶出が少なく、耐性面で安定した酸化
インジウム又は酸化アルミニウムを基材とする無機酸化
物が好ましい。請求項４及び５に係る発明はこのような
技術的理由に基づいてなされたものである。
【００２８】 すなわち、請求項４に係る発明は、請求
項１〜３のいずれかに記載の光反射板を前提とし、上記
光反射性金属薄膜と基板との間に、これらを互いに接着
させる接着層が設けられていることを特徴とし、また、
請求項５に係る発明は、請求項４記載の光反射板を前提
とし、上記接着層が、酸化インジウム又は酸化アルミニ
ウムを基材とする無機酸化物にて構成されていることを
特徴とするものである。
項１〜３のいずれかに記載の光反射板を前提とし、上記
光反射性金属薄膜と基板との間に、これらを互いに接着
させる接着層が設けられていることを特徴とし、また、
請求項５に係る発明は、請求項４記載の光反射板を前提
とし、上記接着層が、酸化インジウム又は酸化アルミニ
ウムを基材とする無機酸化物にて構成されていることを
特徴とするものである。
【００２９】 尚、請求項１〜５記載の発明に係る光反
射板は、反射型液晶表示装置の光反射板や光反射性金属
電極として利用できる他、太陽電池素子の光入射側とは
反対側に配置され、太陽電池素子を透過した光線を反射
させる光反射性電極として利用することもできる。すな
わち、この光反射性電極を配置した場合、太陽電池素子
を透過した光線がこの光反射性電極の作用で反射され、
再度、太陽電池素子に入射されるためその発電効率を向
上させることが可能となる。
射板は、反射型液晶表示装置の光反射板や光反射性金属
電極として利用できる他、太陽電池素子の光入射側とは
反対側に配置され、太陽電池素子を透過した光線を反射
させる光反射性電極として利用することもできる。すな
わち、この光反射性電極を配置した場合、太陽電池素子
を透過した光線がこの光反射性電極の作用で反射され、
再度、太陽電池素子に入射されるためその発電効率を向
上させることが可能となる。
【００３０】 次に、請求項６〜９係る発明は、請求項
１〜５記載の発明に係る光反射板の用途を特定した発明
に関する。
１〜５記載の発明に係る光反射板の用途を特定した発明
に関する。
【００３１】 すなわち、請求項６に係る発明は、透明
電極を有する背面電極板と、この背面電極板に対向して
配設されかつ透明電極を有する観察者側電極板と、これ
等両電極板間に封入された液晶物質と、上記背面電極板
の外側に設けられた光反射板とを備え、上記透明電極間
に電圧を印加し液晶物質を駆動させて画面表示する反射
型液晶表示装置に適用される上記光反射板を前提とし、
基板上に、膜厚６０ｎｍ以上の銀または銀合金から成る
光反射性金属薄膜と、この光反射性金属薄膜の上側に設
けられた防湿性透明薄膜と、上記光反射性金属薄膜と防
湿性透明薄膜との間に設けられこれら両薄膜を互いに接
着させる透明無機薄膜とを備えると共に、上記透明無機
薄膜が、Ｂｉ、Ｈｆ、Ｃｅ、Ｔａ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｐｂ、
Ｔｉ、Ｚｒから選択された無機酸化物を含有する酸化イ
ンジウムの薄膜にて構成されていることを特徴とし、ま
た、請求項７に係る発明は、光反射性の金属電極を有す
る光反射性電極板と、この光反射性電極板に対向して配
設されかつ透明電極を有する観察者側電極板と、これ等
両電極板間に封入された液晶物質とを備え、上記電極間
に電圧を印加し液晶物質を駆動させて画面表示する反射
型液晶表示装置に適用される上記光反射性電極板を前提
とし、基板上に、膜厚６０ｎｍ以上の銀または銀合金か
ら成る光反射性金属電極と、この光反射性金属電極の上
側に設けられた防湿性の電気絶縁性透明薄膜と、上記光
反射性金属電極と電気絶縁性透明薄膜との間に設けられ
これらを互いに接着させる透明無機薄膜とを備えると共
に、上記透明無機薄膜が、Ｂｉ、Ｈｆ、Ｃｅ、Ｔａ、Ｇ
ｅ、Ｓｉ、Ｐｂ、Ｔｉ、Ｚｒから選択された無機酸化物
を含有する酸化インジウムの薄膜にて構成されているこ
とを特徴とするものである。
電極を有する背面電極板と、この背面電極板に対向して
配設されかつ透明電極を有する観察者側電極板と、これ
等両電極板間に封入された液晶物質と、上記背面電極板
の外側に設けられた光反射板とを備え、上記透明電極間
に電圧を印加し液晶物質を駆動させて画面表示する反射
型液晶表示装置に適用される上記光反射板を前提とし、
基板上に、膜厚６０ｎｍ以上の銀または銀合金から成る
光反射性金属薄膜と、この光反射性金属薄膜の上側に設
けられた防湿性透明薄膜と、上記光反射性金属薄膜と防
湿性透明薄膜との間に設けられこれら両薄膜を互いに接
着させる透明無機薄膜とを備えると共に、上記透明無機
薄膜が、Ｂｉ、Ｈｆ、Ｃｅ、Ｔａ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｐｂ、
Ｔｉ、Ｚｒから選択された無機酸化物を含有する酸化イ
ンジウムの薄膜にて構成されていることを特徴とし、ま
た、請求項７に係る発明は、光反射性の金属電極を有す
る光反射性電極板と、この光反射性電極板に対向して配
設されかつ透明電極を有する観察者側電極板と、これ等
両電極板間に封入された液晶物質とを備え、上記電極間
に電圧を印加し液晶物質を駆動させて画面表示する反射
型液晶表示装置に適用される上記光反射性電極板を前提
とし、基板上に、膜厚６０ｎｍ以上の銀または銀合金か
ら成る光反射性金属電極と、この光反射性金属電極の上
側に設けられた防湿性の電気絶縁性透明薄膜と、上記光
反射性金属電極と電気絶縁性透明薄膜との間に設けられ
これらを互いに接着させる透明無機薄膜とを備えると共
に、上記透明無機薄膜が、Ｂｉ、Ｈｆ、Ｃｅ、Ｔａ、Ｇ
ｅ、Ｓｉ、Ｐｂ、Ｔｉ、Ｚｒから選択された無機酸化物
を含有する酸化インジウムの薄膜にて構成されているこ
とを特徴とするものである。
【００３２】 尚、請求項６及び７に係る発明において
上記光反射性金属薄膜（光反射性金属電極）、防湿性透
明薄膜（電気絶縁性透明薄膜）、及び、透明無機薄膜に
ついては、請求項１〜５に係る発明において適用される
光反射性金属薄膜、防湿性透明薄膜、及び、透明無機薄
膜と同一の薄膜が利用できる。
上記光反射性金属薄膜（光反射性金属電極）、防湿性透
明薄膜（電気絶縁性透明薄膜）、及び、透明無機薄膜に
ついては、請求項１〜５に係る発明において適用される
光反射性金属薄膜、防湿性透明薄膜、及び、透明無機薄
膜と同一の薄膜が利用できる。
【００３３】 次に、酸化インジウムを基材とする薄膜
にて構成される上記透明無機薄膜は導電性を有すること
からこの透明無機薄膜を上記光反射性金属電極の形状に
位置整合させて電極の一部として利用することが可能と
なる。請求項８に係る発明はこの様な理由によりなされ
ている。
にて構成される上記透明無機薄膜は導電性を有すること
からこの透明無機薄膜を上記光反射性金属電極の形状に
位置整合させて電極の一部として利用することが可能と
なる。請求項８に係る発明はこの様な理由によりなされ
ている。
【００３４】 すなわち、請求項８に係る発明は、請求
項７記載の発明に係る反射型液晶表示装置用光反射性電
極板を前提とし、上記透明無機薄膜と光反射性金属電極
とが互いに位置整合して電極形状に積層されていること
を特徴とするものである。
項７記載の発明に係る反射型液晶表示装置用光反射性電
極板を前提とし、上記透明無機薄膜と光反射性金属電極
とが互いに位置整合して電極形状に積層されていること
を特徴とするものである。
【００３５】尚、本発明において上記電極の形状は、そ
の適用される表示装置の種類により異なる。例えば、単
純マトリクス駆動方式の反射型液晶表示装置においては
表示画面の画素に対応する部位をつなぐストライプ形状
である。
の適用される表示装置の種類により異なる。例えば、単
純マトリクス駆動方式の反射型液晶表示装置においては
表示画面の画素に対応する部位をつなぐストライプ形状
である。
【００３６】 また、銀又は銀合金から成る光反射性金
属電極と酸化インジウムを基材とする無機酸化物は、い
ずれも硝酸をエッチング液としたエッチング処理により
パターニングすることが可能となる。すなわち、基板上
に銀又は銀合金から成る光反射性金属薄膜と酸化インジ
ウムを基材とする無機酸化物とを成膜し、かつ、この無
機酸化物薄膜上に電極形状のレジスト膜を形成した後、
このレジスト膜から露出した部位を硝酸系エッチング液
によってエッチング除去することにより、上記光反射性
金属薄膜と無機酸化物薄膜が互いに位置整合した電極形
状にパターニングすることが可能である。また、上記接
着層が酸化インジウムを基材とする無機酸化物の場合、
この接着層も上記光反射性金属薄膜と無機酸化物薄膜の
パターニングと同時に、これら光反射性金属薄膜と無機
酸化物薄膜に位置整合した上記電極形状にパターニング
することが可能である。このエッチング液としては、硝
酸の他、塩酸や硫酸又は酢酸等の他種の酸を硝酸に添加
して成る硝酸系の混酸、あるいは界面活性剤を若干量添
加した硝酸等が利用できる。
属電極と酸化インジウムを基材とする無機酸化物は、い
ずれも硝酸をエッチング液としたエッチング処理により
パターニングすることが可能となる。すなわち、基板上
に銀又は銀合金から成る光反射性金属薄膜と酸化インジ
ウムを基材とする無機酸化物とを成膜し、かつ、この無
機酸化物薄膜上に電極形状のレジスト膜を形成した後、
このレジスト膜から露出した部位を硝酸系エッチング液
によってエッチング除去することにより、上記光反射性
金属薄膜と無機酸化物薄膜が互いに位置整合した電極形
状にパターニングすることが可能である。また、上記接
着層が酸化インジウムを基材とする無機酸化物の場合、
この接着層も上記光反射性金属薄膜と無機酸化物薄膜の
パターニングと同時に、これら光反射性金属薄膜と無機
酸化物薄膜に位置整合した上記電極形状にパターニング
することが可能である。このエッチング液としては、硝
酸の他、塩酸や硫酸又は酢酸等の他種の酸を硝酸に添加
して成る硝酸系の混酸、あるいは界面活性剤を若干量添
加した硝酸等が利用できる。
【００３７】 次に、上記電気絶縁性透明薄膜が電極形
状の光反射性金属薄膜と無機酸化物薄膜を被覆してその
表面と側端面を保護している場合、この側端面等からの
空気の侵入を抑制してその変色を防止し光反射性金属電
極の保存安定性を一層向上させることが可能となる。請
求項９に係る発明はこのような技術的理由に基づいてな
されたものである。
状の光反射性金属薄膜と無機酸化物薄膜を被覆してその
表面と側端面を保護している場合、この側端面等からの
空気の侵入を抑制してその変色を防止し光反射性金属電
極の保存安定性を一層向上させることが可能となる。請
求項９に係る発明はこのような技術的理由に基づいてな
されたものである。
【００３８】 すなわち、請求項９に係る発明は、請求
項７記載の発明に係る反射型液晶表示装置用光反射性電
極板を前提とし、上記電気絶縁性透明薄膜が、互いに位
置整合して電極形状に積層された透明無機薄膜と光反射
性金属電極の表面と側端面を被覆していることを特徴と
するものである。
項７記載の発明に係る反射型液晶表示装置用光反射性電
極板を前提とし、上記電気絶縁性透明薄膜が、互いに位
置整合して電極形状に積層された透明無機薄膜と光反射
性金属電極の表面と側端面を被覆していることを特徴と
するものである。
【００３９】尚、本発明における基板としては、例え
ば、ガラス又は有機樹脂フィルムが利用できる。また、
この基板表面に可視波長と同程度の深さ又はそれ以上の
深さの微細凹凸を設け、この凹凸面に沿って光反射性金
属薄膜（光反射性金属電極）を形成した場合、この光反
射性金属薄膜（光反射性金属電極）表面に上記微細凹凸
が再現されるため入射光を乱反射させて表示画面の視野
角を増大させることが可能となる。また、本発明に係る
光反射板を光反射板外付タイプの反射型液晶表示装置の
光反射板として利用する場合には、上記基板として厚さ
２００〜５００μｍのものが好ましく、他方、光反射性
金属電極タイプの反射型液晶表示装置の光反射性電極板
として利用する場合には、その物理的強度を確保するた
め厚さ０．１〜１．２ｍｍのものが好ましい。
ば、ガラス又は有機樹脂フィルムが利用できる。また、
この基板表面に可視波長と同程度の深さ又はそれ以上の
深さの微細凹凸を設け、この凹凸面に沿って光反射性金
属薄膜（光反射性金属電極）を形成した場合、この光反
射性金属薄膜（光反射性金属電極）表面に上記微細凹凸
が再現されるため入射光を乱反射させて表示画面の視野
角を増大させることが可能となる。また、本発明に係る
光反射板を光反射板外付タイプの反射型液晶表示装置の
光反射板として利用する場合には、上記基板として厚さ
２００〜５００μｍのものが好ましく、他方、光反射性
金属電極タイプの反射型液晶表示装置の光反射性電極板
として利用する場合には、その物理的強度を確保するた
め厚さ０．１〜１．２ｍｍのものが好ましい。
【００４０】また、本発明における銀又は銀合金の金属
薄膜としては、銀単体の薄膜の他、銀の拡散を防止しあ
るいはその硬度を増大させるため、銀の固溶限度以下の
濃度で他の元素を添加した合金が利用できる。このよう
な添加元素としては、例えば、Ｍｇ、Ｉｎ、Ａｌ、Ｔ
ｉ、Ｚｒ、Ｃｅ又はＳｉ等が適用できる。
薄膜としては、銀単体の薄膜の他、銀の拡散を防止しあ
るいはその硬度を増大させるため、銀の固溶限度以下の
濃度で他の元素を添加した合金が利用できる。このよう
な添加元素としては、例えば、Ｍｇ、Ｉｎ、Ａｌ、Ｔ
ｉ、Ｚｒ、Ｃｅ又はＳｉ等が適用できる。
【００４１】尚、銀又は銀合金の金属薄膜は、一般に、
反射面の密度が高いほどその光反射率が増大するため、
上記薄膜表面の法線方向が密度の高い（１１１）面とな
るように揃えて配向させることが望ましい。また、銀又
は銀合金の金属薄膜を成膜するに際して、高成膜速度
で、しかも、高真空側で成膜するほどその密度が増大し
て光反射率が増大する。
反射面の密度が高いほどその光反射率が増大するため、
上記薄膜表面の法線方向が密度の高い（１１１）面とな
るように揃えて配向させることが望ましい。また、銀又
は銀合金の金属薄膜を成膜するに際して、高成膜速度
で、しかも、高真空側で成膜するほどその密度が増大し
て光反射率が増大する。
【００４２】また、上記銀又は銀合金の金属薄膜の成膜
に際しては基板の温度が低温に維持されていることが望
ましい。基板を高温に加熱した状態で成膜することも可
能であるが、この場合、成膜された薄膜の光反射率が低
下することがある。このような理由から、成膜時におけ
る基板の温度は、好ましくは１８０℃以下、あるいは室
温である。尚、透明無機薄膜や接着層が酸化インジウム
を基材とする場合、そのエッチング適性を確保するた
め、これら透明無機薄膜や接着層も１８０℃以下又は室
温の基板温度で成膜することが望ましい。そして、銀又
は銀合金の金属薄膜と透明無機薄膜及び接着層の全体を
１８０℃以下又は室温の基板温度で成膜した後、これら
積層膜全体を硝酸でエッチングしてパターニングし、次
に２００℃以上の温度でアニーリング処理を施すことに
よりこれら積層膜全体の導電性を増大させることが可能
である。
に際しては基板の温度が低温に維持されていることが望
ましい。基板を高温に加熱した状態で成膜することも可
能であるが、この場合、成膜された薄膜の光反射率が低
下することがある。このような理由から、成膜時におけ
る基板の温度は、好ましくは１８０℃以下、あるいは室
温である。尚、透明無機薄膜や接着層が酸化インジウム
を基材とする場合、そのエッチング適性を確保するた
め、これら透明無機薄膜や接着層も１８０℃以下又は室
温の基板温度で成膜することが望ましい。そして、銀又
は銀合金の金属薄膜と透明無機薄膜及び接着層の全体を
１８０℃以下又は室温の基板温度で成膜した後、これら
積層膜全体を硝酸でエッチングしてパターニングし、次
に２００℃以上の温度でアニーリング処理を施すことに
よりこれら積層膜全体の導電性を増大させることが可能
である。
【００４３】尚、この基板上に上述した銀又は銀合金の
金属薄膜や透明無機薄膜等を成膜するに際しては、成膜
前に、この基板表面を洗浄することが望ましい。洗浄の
方法としては、イオンボンバート、逆スパッタリング、
アッシング、紫外線洗浄、グロー放電処理等が例示でき
る。
金属薄膜や透明無機薄膜等を成膜するに際しては、成膜
前に、この基板表面を洗浄することが望ましい。洗浄の
方法としては、イオンボンバート、逆スパッタリング、
アッシング、紫外線洗浄、グロー放電処理等が例示でき
る。
【００４４】次に、本発明に係る光反射板を反射型液晶
表示装置の光反射板又は光反射性電極板として利用する
場合、これと共に観察者側電極板を構成する基板として
は、ガラス基板、プラスチックフィルム、プラスチック
ボード等の透明基板が適用でき、また、透明電極として
はＩＴＯやネサ膜等の透明導電膜が適用できる。
表示装置の光反射板又は光反射性電極板として利用する
場合、これと共に観察者側電極板を構成する基板として
は、ガラス基板、プラスチックフィルム、プラスチック
ボード等の透明基板が適用でき、また、透明電極として
はＩＴＯやネサ膜等の透明導電膜が適用できる。
【００４５】また、上記観察者側電極板に光散乱層を設
けて表示光を散乱させ表示画面の視野角を拡大させた
り、反射防止膜を設けてこの観察者側電極板表面からの
反射を防止することも可能である。この光散乱層は上記
光反射板を構成する基板の液晶物質と接触する内側、あ
るいは偏光フィルムと接触する外側のいずれに設けても
よい。また、観察者側電極板にカラーフィルター層を設
け表示光を着色させてカラー表示することも可能であ
る。
けて表示光を散乱させ表示画面の視野角を拡大させた
り、反射防止膜を設けてこの観察者側電極板表面からの
反射を防止することも可能である。この光散乱層は上記
光反射板を構成する基板の液晶物質と接触する内側、あ
るいは偏光フィルムと接触する外側のいずれに設けても
よい。また、観察者側電極板にカラーフィルター層を設
け表示光を着色させてカラー表示することも可能であ
る。
【００４６】
【作用】この様な技術的手段によれば、基板上に、膜厚
６０ｎｍ以上の銀または銀合金から成る光反射性金属薄
膜と、この光反射性金属薄膜の上側に設けられた防湿性
透明薄膜と、上記光反射性金属薄膜と防湿性透明薄膜と
の間に設けられこれら両薄膜を互いに接着させる透明無
機薄膜とを備えると共に、上記透明無機薄膜が、Ｂｉ、
Ｈｆ、Ｃｅ、Ｔａ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｐｂ、Ｔｉ、Ｚｒから
選択された無機酸化物を含有する酸化インジウムの薄膜
にて構成されているため、上記透明無機薄膜が光反射性
金属薄膜と防湿性透明薄膜の双方に強固に接着してこれ
ら３層の薄膜を一体化させ、かつ、強固に接着された防
湿性透明薄膜が上記光反射性金属薄膜を空気中のイオウ
化合物や水分から保護する。
６０ｎｍ以上の銀または銀合金から成る光反射性金属薄
膜と、この光反射性金属薄膜の上側に設けられた防湿性
透明薄膜と、上記光反射性金属薄膜と防湿性透明薄膜と
の間に設けられこれら両薄膜を互いに接着させる透明無
機薄膜とを備えると共に、上記透明無機薄膜が、Ｂｉ、
Ｈｆ、Ｃｅ、Ｔａ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｐｂ、Ｔｉ、Ｚｒから
選択された無機酸化物を含有する酸化インジウムの薄膜
にて構成されているため、上記透明無機薄膜が光反射性
金属薄膜と防湿性透明薄膜の双方に強固に接着してこれ
ら３層の薄膜を一体化させ、かつ、強固に接着された防
湿性透明薄膜が上記光反射性金属薄膜を空気中のイオウ
化合物や水分から保護する。
【００４７】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例につい
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００４８】［実施例１］この実施例に係る光反射性電
極板１は、図１に示すように、厚さ０．７ｍｍのガラス
基板１１と、各々位置整合して電極形状に積層された厚
さ１０ｎｍの接着層１２と厚さ１２０ｎｍの銀から成る
光反射性金属電極１３及び厚さ７０ｎｍの透明無機薄膜
１４と、これら接着層１２、光反射性金属電極１３及び
透明無機薄膜１４を一様に被覆してその表面及び側端面
を保護する厚さ３５ｎｍの防湿性透明薄膜１５とでその
主要部が構成されており、かつ、上記接着層１２と透明
無機薄膜１４は、いずれも、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ
2 ）を３atom％（原子％）含有する酸化インジウムの薄
膜にて構成されている。また、上記防湿性透明薄膜１５
は酸化珪素（ＳｉＯ2 ）にて構成されている。尚、上記
電極形状は、ピッチ２１０μｍ、幅２００μｍ、電極間
ギャップ１０μｍのストライプパターンに設定されてい
る。
極板１は、図１に示すように、厚さ０．７ｍｍのガラス
基板１１と、各々位置整合して電極形状に積層された厚
さ１０ｎｍの接着層１２と厚さ１２０ｎｍの銀から成る
光反射性金属電極１３及び厚さ７０ｎｍの透明無機薄膜
１４と、これら接着層１２、光反射性金属電極１３及び
透明無機薄膜１４を一様に被覆してその表面及び側端面
を保護する厚さ３５ｎｍの防湿性透明薄膜１５とでその
主要部が構成されており、かつ、上記接着層１２と透明
無機薄膜１４は、いずれも、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ
2 ）を３atom％（原子％）含有する酸化インジウムの薄
膜にて構成されている。また、上記防湿性透明薄膜１５
は酸化珪素（ＳｉＯ2 ）にて構成されている。尚、上記
電極形状は、ピッチ２１０μｍ、幅２００μｍ、電極間
ギャップ１０μｍのストライプパターンに設定されてい
る。
【００４９】そして、この光反射性電極板は、以下のよ
うな方法で製造したものである。
うな方法で製造したものである。
【００５０】まず、ガラス基板１１の表面をアルカリ系
界面活性剤と水とで洗浄した後、真空槽内に収容し、逆
スパッタリングと呼ばれるプラズマ処理を施してさらに
洗浄した。
界面活性剤と水とで洗浄した後、真空槽内に収容し、逆
スパッタリングと呼ばれるプラズマ処理を施してさらに
洗浄した。
【００５１】次に、ガラス基板１１を真空槽中から取り
出すことなく、このガラス基板１１を室温に維持した状
態で、スパッタリング法により、上記接着層１２を構成
する薄膜、光反射性金属電極１３を構成する薄膜並びに
透明無機薄膜１４を順次成膜した。
出すことなく、このガラス基板１１を室温に維持した状
態で、スパッタリング法により、上記接着層１２を構成
する薄膜、光反射性金属電極１３を構成する薄膜並びに
透明無機薄膜１４を順次成膜した。
【００５２】次に、周知のフォトリソプロセスに従い、
上記透明無機薄膜１４上にストライプパターン形状のレ
ジスト膜を形成し、５０％硝酸溶液を適用して上記３層
の薄膜をエッチングして上記ストライプパターンに加工
した。
上記透明無機薄膜１４上にストライプパターン形状のレ
ジスト膜を形成し、５０％硝酸溶液を適用して上記３層
の薄膜をエッチングして上記ストライプパターンに加工
した。
【００５３】次に、防湿性透明薄膜１５を成膜し、続い
て、２２０℃、３０分のアニール処理を施して上記光反
射性電極板１を形成した。
て、２２０℃、３０分のアニール処理を施して上記光反
射性電極板１を形成した。
【００５４】こうして得られた光反射性電極板１を空気
中で１ケ月間放置してその光反射特性の変化を検査し
た。この結果、光反射性金属電極１３の表面に外観の変
化はまったく観察されず、また光反射率の変化もなかっ
た。
中で１ケ月間放置してその光反射特性の変化を検査し
た。この結果、光反射性金属電極１３の表面に外観の変
化はまったく観察されず、また光反射率の変化もなかっ
た。
【００５５】尚、比較のため、ガラス基板上に銀薄膜を
成膜しこれを空気中で１ケ月間放置したところ、表面が
変色し、その反射率も約１０％低下した。
成膜しこれを空気中で１ケ月間放置したところ、表面が
変色し、その反射率も約１０％低下した。
【００５６】［実施例２］この実施例に係る光反射性電
極板２は、図２に示すように、厚さ０．７ｍｍのガラス
基板２１と、各々位置整合して電極形状に積層された厚
さ２０ｎｍの接着層２２と厚さ１２０ｎｍの銀から成る
光反射性金属電極２３並びに厚さ６５ｎｍの透明無機薄
膜２４と、これら接着層２２、光反射性金属電極２３並
びに透明無機薄膜２４を一様に被覆してその側端面を保
護する厚さ４０ｎｍの防湿性透明薄膜２５とでその主要
部が構成されており、かつ、上記接着層２２は酸化アル
ミニウム（Ａｌ2Ｏ3）の薄膜にて構成され、他方、透明
無機薄膜２４は酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2 ）を３atom
％含有する酸化インジウムの薄膜にて構成されている。
また、防湿性透明薄膜２５は酸化珪素（ＳｉＯ2 ）にて
構成されている。尚、上記電極形状は、ピッチ３００μ
ｍ、幅２９０μｍ、電極間ギャップ１０μｍのストライ
プパターンである。
極板２は、図２に示すように、厚さ０．７ｍｍのガラス
基板２１と、各々位置整合して電極形状に積層された厚
さ２０ｎｍの接着層２２と厚さ１２０ｎｍの銀から成る
光反射性金属電極２３並びに厚さ６５ｎｍの透明無機薄
膜２４と、これら接着層２２、光反射性金属電極２３並
びに透明無機薄膜２４を一様に被覆してその側端面を保
護する厚さ４０ｎｍの防湿性透明薄膜２５とでその主要
部が構成されており、かつ、上記接着層２２は酸化アル
ミニウム（Ａｌ2Ｏ3）の薄膜にて構成され、他方、透明
無機薄膜２４は酸化ジルコニウム（ＺｒＯ2 ）を３atom
％含有する酸化インジウムの薄膜にて構成されている。
また、防湿性透明薄膜２５は酸化珪素（ＳｉＯ2 ）にて
構成されている。尚、上記電極形状は、ピッチ３００μ
ｍ、幅２９０μｍ、電極間ギャップ１０μｍのストライ
プパターンである。
【００５７】そして、この光反射性電極板２を使用し
て、図３に示すように偏光フィルム１枚タイプの反射型
液晶表示装置を製造した。すなわち、この反射型液晶表
示装置は、光反射性電極板２を背面電極板とし、これに
対向して配置され基板３１上に透明電極３２を備える観
察者側電極板３と、これら両電極板２、３の間に封入さ
れた液晶物質４とでその主要部が構成され、観察者側電
極板３側から入射した外光を光反射性電極２３で反射さ
せて画面表示するものである。
て、図３に示すように偏光フィルム１枚タイプの反射型
液晶表示装置を製造した。すなわち、この反射型液晶表
示装置は、光反射性電極板２を背面電極板とし、これに
対向して配置され基板３１上に透明電極３２を備える観
察者側電極板３と、これら両電極板２、３の間に封入さ
れた液晶物質４とでその主要部が構成され、観察者側電
極板３側から入射した外光を光反射性電極２３で反射さ
せて画面表示するものである。
【００５８】尚、図３中、３３は観察者側電極板の基板
上に設けられた光散乱層、５は偏光フィルム、６は位相
差フィルム、７は反射防止膜を示している。
上に設けられた光散乱層、５は偏光フィルム、６は位相
差フィルム、７は反射防止膜を示している。
【００５９】
【発明の効果】本発明によれば、基板上に、膜厚６０ｎ
ｍ以上の銀または銀合金から成る光反射性金属薄膜と、
この光反射性金属薄膜の上側に設けられた防湿性透明薄
膜と、上記光反射性金属薄膜と防湿性透明薄膜との間に
設けられこれら両薄膜を互いに接着させる透明無機薄膜
とを備えると共に、上記透明無機薄膜が、Ｂｉ、Ｈｆ、
Ｃｅ、Ｔａ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｐｂ、Ｔｉ、Ｚｒから選択さ
れた無機酸化物を含有する酸化インジウムの薄膜にて構
成されているため、上記透明無機薄膜が光反射性金属薄
膜と防湿性透明薄膜の双方に強固に接着してこれら３層
の薄膜を一体化させ、かつ、強固に接着された防湿性透
明薄膜が上記光反射性金属薄膜を空気中のイオウ化合物
や水分から保護する。
ｍ以上の銀または銀合金から成る光反射性金属薄膜と、
この光反射性金属薄膜の上側に設けられた防湿性透明薄
膜と、上記光反射性金属薄膜と防湿性透明薄膜との間に
設けられこれら両薄膜を互いに接着させる透明無機薄膜
とを備えると共に、上記透明無機薄膜が、Ｂｉ、Ｈｆ、
Ｃｅ、Ｔａ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｐｂ、Ｔｉ、Ｚｒから選択さ
れた無機酸化物を含有する酸化インジウムの薄膜にて構
成されているため、上記透明無機薄膜が光反射性金属薄
膜と防湿性透明薄膜の双方に強固に接着してこれら３層
の薄膜を一体化させ、かつ、強固に接着された防湿性透
明薄膜が上記光反射性金属薄膜を空気中のイオウ化合物
や水分から保護する。
【００６０】従って、光反射性金属薄膜の経時劣化が防
止されてその保存安定性が向上するため、空気中のイオ
ウ化合物や水分に起因した表示欠陥のない反射型液晶表
示装置等を安定して製造できる効果を有している。
止されてその保存安定性が向上するため、空気中のイオ
ウ化合物や水分に起因した表示欠陥のない反射型液晶表
示装置等を安定して製造できる効果を有している。
【図１】実施例１に係る光反射性電極板の断面図。
【図２】実施例２に係る光反射性電極板の断面図。
【図３】実施例２に係る光反射性電極板が適用された反
射型液晶表示装置の断面図。
射型液晶表示装置の断面図。
【図４】従来例に係る反射型液晶表示装置の断面図。
【図５】従来例に係る他の反射型液晶表示装置の断面
図。
図。
【図６】従来例に係る他の反射型液晶表示装置の断面
図。
図。
【図７】アルミニウム薄膜及び銀薄膜における光反射率
を示すグラフ図。
を示すグラフ図。
１ 光反射性電極板
２ 光反射性電極板
３ 観察者側電極板
４ 液晶物質
１１ ガラス基板
１２ 接着層
１３ 反射性金属電極
１４ 透明無機薄膜
１５ 防湿性透明薄膜
２１ ガラス基板
２２ 接着層
２３ 反射性金属電極
２４ 透明無機薄膜
２５ 防湿性透明薄膜
３１ 透明電極
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G02B 5/08
G02F 1/1335 520
Claims (9)
- 【請求項１】基板上に、膜厚６０ｎｍ以上の銀または銀
合金から成る光反射性金属薄膜と、この光反射性金属薄
膜の上側に設けられた防湿性透明薄膜と、上記光反射性
金属薄膜と防湿性透明薄膜との間に設けられこれら両薄
膜を互いに接着させる透明無機薄膜とを備えると共に、
上記透明無機薄膜が、Ｂｉ、Ｈｆ、Ｃｅ、Ｔａ、Ｇｅ、
Ｓｉ、Ｐｂ、Ｔｉ、Ｚｒから選択された無機酸化物を含
有する酸化インジウムの薄膜にて構成されていることを
特徴とする光反射板。 - 【請求項２】上記防湿性透明薄膜が、酸化珪素を基材と
する酸化膜にて構成されていることを特徴とする請求項
１記載の光反射板。 - 【請求項３】上記防湿性透明薄膜と透明無機薄膜の合計
膜厚が、可視光線の波長の１／４以下で、かつ、５ｎｍ
以上であることを特徴とする請求項１〜２のいずれかに
記載の光反射板。 - 【請求項４】上記光反射性金属薄膜と基板との間に、こ
れらを互いに接着させる接着層が設けられていることを
特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の光反射板。 - 【請求項５】上記接着層が、酸化インジウム又は酸化ア
ルミニウムを基材とする無機酸化物にて構成されている
ことを特徴とする請求項４記載の光反射板。 - 【請求項６】透明電極を有する背面電極板と、この背面
電極板に対向して配設されかつ透明電極を有する観察者
側電極板と、これ等両電極板間に封入された液晶物質
と、上記背面電極板の外側に設けられた光反射板とを備
え、上記透明電極間に電圧を印加し液晶物質を駆動させ
て画面表示する反射型液晶表示装置に適用される上記光
反射板において、 基板上に、膜厚６０ｎｍ以上の銀または銀合金から成る
光反射性金属薄膜と、この光反射性金属薄膜の上側に設
けられた防湿性透明薄膜と、上記光反射性金属薄膜と防
湿性透明薄膜との間に設けられこれら両薄膜を互いに接
着させる透明無機薄膜とを備えると共に、上記透明無機
薄膜が、Ｂｉ、Ｈｆ、Ｃｅ、Ｔａ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｐｂ、
Ｔｉ、Ｚｒから選択された無機酸化物を含有する酸化イ
ンジウムの薄膜にて構成されていることを特徴とする反
射型液晶表示装置用光反射板。 - 【請求項７】光反射性の金属電極を有する光反射性電極
板と、この光反射性電極板に対向して配設されかつ透明
電極を有する観察者側電極板と、これ等両電極板間に封
入された液晶物質とを備え、上記電極間に電圧を印加し
液晶物質を駆動させて画面表示する反射型液晶表示装置
に適用される上記光反射性電極板において、 基板上に、膜厚６０ｎｍ以上の銀または銀合金から成る
光反射性金属電極と、この光反射性金属電極の上側に設
けられた防湿性の電気絶縁性透明薄膜と、上記光反射性
金属電極と電気絶縁性透明薄膜との間に設けられこれら
を互いに接着させる透明無機薄膜とを備えると共に、上
記透明無機薄膜が、Ｂｉ、Ｈｆ、Ｃｅ、Ｔａ、Ｇｅ、Ｓ
ｉ、Ｐｂ、Ｔｉ、Ｚｒから選択された無機酸化物を含有
する酸化インジウムの薄膜にて構成されていることを特
徴とする反射型液晶表示装置用光反射性電極板。 - 【請求項８】上記透明無機薄膜と光反射性金属電極とが
互いに位置整合して電極形状に積層されていることを特
徴とする請求項７記載の反射型液晶表示装置用光反射性
電極板。 - 【請求項９】上記電気絶縁性透明薄膜が、互いに位置整
合して電極形状に積層された透明無機薄膜と光反射性金
属電極の表面と側端面を被覆していることを特徴とする
請求項７記載の反射型液晶表示装置用光反射性電極板。
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|---|---|---|---|
| JP08879595A JP3498763B2 (ja) | 1995-03-22 | 1995-03-22 | 光反射板と反射型液晶表示装置用光反射板並びに反射型液晶表示装置用光反射性電極板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08879595A JP3498763B2 (ja) | 1995-03-22 | 1995-03-22 | 光反射板と反射型液晶表示装置用光反射板並びに反射型液晶表示装置用光反射性電極板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08262207A JPH08262207A (ja) | 1996-10-11 |
| JP3498763B2 true JP3498763B2 (ja) | 2004-02-16 |
Family
ID=13952800
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP08879595A Expired - Fee Related JP3498763B2 (ja) | 1995-03-22 | 1995-03-22 | 光反射板と反射型液晶表示装置用光反射板並びに反射型液晶表示装置用光反射性電極板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US7872728B1 (en) | 1996-10-22 | 2011-01-18 | Seiko Epson Corporation | Liquid crystal panel substrate, liquid crystal panel, and electronic device and projection display device using the same |
| KR100508022B1 (ko) * | 1997-12-31 | 2005-11-14 | 삼성전자주식회사 | 반사형 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 및 그 제조 방법 |
| JP4614483B2 (ja) * | 1999-11-10 | 2011-01-19 | 京セラ株式会社 | 反射型液晶表示装置 |
| JP4632519B2 (ja) * | 1999-11-26 | 2011-02-16 | 株式会社フルヤ金属 | 反射体 |
| JP3384397B2 (ja) * | 2000-05-25 | 2003-03-10 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶装置、その製造方法および電子機器 |
| JP3384398B2 (ja) * | 2000-05-25 | 2003-03-10 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶装置、その製造方法および電子機器 |
| JP2007291529A (ja) * | 2001-03-13 | 2007-11-08 | Kiyousera Opt Kk | 金属膜被覆部材およびその製造方法 |
-
1995
- 1995-03-22 JP JP08879595A patent/JP3498763B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH08262207A (ja) | 1996-10-11 |
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