JPH0372322A - カラー液晶表示装置およびその製造方法 - Google Patents

カラー液晶表示装置およびその製造方法

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JPH0372322A
JPH0372322A JP2190888A JP19088890A JPH0372322A JP H0372322 A JPH0372322 A JP H0372322A JP 2190888 A JP2190888 A JP 2190888A JP 19088890 A JP19088890 A JP 19088890A JP H0372322 A JPH0372322 A JP H0372322A
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liquid crystal
crystal display
color
color filter
layer
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JP2190888A
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English (en)
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Jack A Dickerson
ジヤツク・アルヴイン・デイツカーソン
Neil M Poley
ネイル・マイロン・ポレイ
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International Business Machines Corp
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Publication date
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    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
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    • G02F1/136Liquid crystal cells structurally associated with a semi-conducting layer or substrate, e.g. cells forming part of an integrated circuit
    • G02F1/1362Active matrix addressed cells
    • G02F1/1368Active matrix addressed cells in which the switching element is a three-electrode device

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 A、産業上の利用分野 本発明は液晶表示装置、特にカラー表示できる液晶表示
装置に関する。
B、従来技術 薄膜トランジスタ液晶表示装置(TFT LCD)の技
術はカラー表示コンピュータ端末の陰極線管に代わる技
術として開発されている。所与の表示画面領域を持つ液
晶表示装置が占める容積は同じ画面領域を持つ陰極線管
装置よりも小さくなる。これは商業的に重要である。な
ぜなら、液晶表示装置が小さければ、それを設置する領
域(footprint)が小さくなるからである。即
ち、液晶表示装置が占有するユーザのデスク又は端末ス
タンドの領域が小さくなる。また、液晶表示装置は対応
する陰極線管装置よりも所要電力が少ない、これは、液
晶装置の動作電圧が陰極線管の動作電圧よりもかなり低
いからである。これらの特徴はコンピュータ端末に望ま
しいだけではなく、テレビジョン、ビデオ表示装置及び
他の種々の電子装置にも望ましいものである。
カラー液晶表示装置には種々のタイプのものがあるが、
一般に前記装置は1間隔をおいた2枚のガラス・パネル
を含む、これらのパネルは液晶表示材料で満たされた密
閉された空洞(cavit!/)の境界を決める。1枚
のガラス・パネルに接した該境界を決められた空洞の内
側に透明な共用電極がつくられる。他のガラス・パネル
に接した該決められた空洞の内側にも個々の電極がつく
られる。
各個の電極は1つのピクチャー・エレメント即ち画素(
pal)、又はその一部分の領域に対応する表面領域を
有する1画素の各々は小さすぎて人間の肉眼では容易に
見ることができない、装置にカラー表示能力を持たせる
ためには、赤、緑及び青のカラー領域をもつカラー・フ
ィルタも装置内に含まなければならない、カラー領域の
各々は電極の領域と位置調整される。赤、緑及び青のカ
ラー領域のセットの各々は三つ組(triad)、反復
ストライプ。
又は他の一貫した画素内パターンに分類される。
典型的な液晶表示(LCD)では、各個の電極は薄膜ト
ランジスタによってアドレス指定できる。
表示されるイメージに応じて表示動作中に1又は2以上
の画素電極が活動化され、当該画素電極に関連したカラ
ー・フィルタを介して全部又は一部の光が送られるか、
又は光は全く送られない、ユーザが知覚するイメージは
隣接するカラー・フィルタ領域を通った光の伝送によっ
てつくられたカラーの混合である。
観察者から見て表示面の反対側に光源を設けることによ
り、表示をバックライトすることができる0代りに、表
示面の背面に反射層を取付け、観察者と同じ側の光源に
依存することがある。
前記装置に用いるカラー・フィルタは幾つかの異なるア
プローチにより製作されている。1つのアプローチでは
、感光性接着剤のフィルムをガラス・パネルにかけるか
沈積させることになっている。そして連続する3つのス
テップでフィルムがパターン化される。各ステップ中に
フィルムの所定の領域に特定のカラーの色素が加えられ
る。もう1つのアプローチでは、真空蒸発によって有機
色素が沈積される。これらの色素は通常のりフトオフ 
(lift−off)手法によってパターン化される。
更にもう1つのアプローチでは、内部のカラー偏光フィ
ルタをつくるために、着色・パターン化・引き伸ばしさ
れたフィルム材料が用いられる。
C0発明が解決しようとする課題 これらのアプローチの各々は一定の不利点がある。大部
分のアプローチはポリマー沈積手法及び光パターン化手
法を必要とする。これらの手法は割合に高価であり、要
求された精度で実行することが困難である。これは特に
装置が大量生産される場合にあてはまり、各アプローチ
は透明な共用電極と個々にアドレス可能な画素電極の1
m(装置のギャップ)に挿入されるカラー・フィルタ・
フィルムをつくる。前述のアプローチによってつくられ
たカラー・フィルタの光学濃度(即ちカラー濃度)を高
めるために、カラー・フィルタ・フィルムの厚さを増す
ことがある。しかしながら、フィルタのフィルムの厚さ
を増すことは、透明な共用電極と個々にアドレス可能な
画素電極の間の間隔も増す1間隔が増すと、ギャップと
関連LCDの厚さが更に不均一になるので、LCDの電
気的特性も不均一になる。
前述のアプローチの主な問題の1つはレジストレーショ
ン、即ち画素電極とカラー・フィルタ層内の該カラー領
域との間の位置調整の維持が困難なことである。従来の
技術のカラー・フィルタはガラス・パネル自体での処理
を要する有機材料で構成される。有機材料は高温では不
安定である。
これは薄膜トランジスタ(TPT)はカラー・フィルム
沈積前に、即ち沈積とは別個につくらなければならない
ことを意味する。2つのフィルムを別鋼につくってから
一緒にすると、トランジスタをフィルタに結合する際の
誤差が画素の大きさよりも大きくなることがあるので、
ミスレジストレーションの問題はどちらの場合にも起き
る。また、カラー・フィルムをつくる前にTPTをつく
ると。
カラー・フィルムを印刷し画素に着色しなければならな
い、これはTPTによる光伝送をカラー・フィルム位置
が補償するようにするためである。
フィルタの有機質のため、カラー・フィルタをつくる前
にTPTをつくり又はカラー・フィルタとは別個にTP
Tをつくることは、既に困難なレジストレーションの問
題を悪化させる。
TFT LCDの製作に関する更にもう1つの問題は感
光乳剤の層の使用である。特定のカラーの光が感光乳剤
の層に注がれている間に該乳剤の層の所定の領域を順次
に露光するために液晶シャッター装置が用いられる。関
連した薄膜トランジスタによって3つの異なるグループ
の画素電極を順次に活動化することにより3つの異なる
カラー領域がつくられる。感光乳剤の層につくられた見
えないイメージが現像され、多重カラー・フィルタをっ
くるためにガラス基板にフィルムがラミネートされる。
感光乳剤の層の使用はレジストレーション即ち位置調整
の問題を単純にするが、それでもなお前述の他のアプロ
ーチの幾つかの不利点が残る。ガラス基板に感光乳剤層
をラミネートするステップと一緒に異なるカラーの光に
関する多重露光動作が必要になる。これらのステップの
ステップ数及び関連する複雑さは必然的に製造費用に反
映されるに相違ない。
本発明の目的はすぐれたカラー表示能力をもつ薄膜トラ
ンジスタ液晶表示装置(TFT LCD)を提供するこ
とである。
更に本発明の目的はカラー・フィルタと画素電極の間の
位置調整の精度を高めることにより従来のものよりも光
学濃度が高く電圧要求が低いカラーTFT LCDを提
供することである。
更に本発明の目的は画素電極とカラー・フィルタを直に
位置調整することによりカラー・フィルタと画素電極の
間の位置調整の精度が高いカラーTFT LCD tt
vk供することである。
更に本発明の目的は干渉フィルム・カラー・フィルタが
TFT LCDの透明なプレートにラミネートされるカ
ラー表示可能なTFT LCDを製作するすぐれた方法
を提供することである。
01課題を解決するための手段 本発明はカラー表示可能な改良された薄膜トランジスタ
液晶表示である。干渉フィルム及び印刷技術が表示装置
の製作に用いられ1画素電極をカラー・フィルタ層の関
連したカラー領域により位置調整するタスクを単純にす
る。この液晶表示装置は間隔をあけた正面及び背面のガ
ラス・パネル。
透明な電極層、及び液晶材料で満たされた空洞によって
透明な電極層から離された個々にアドレス可能な画素電
極アレイを持つタイプである。改良点は干渉フィルムの
アレイからなるカラー・フィルタ層を含む、このフィル
タ層はガラス・パネルに感光接着剤のパターンを印刷し
選択的に干渉カラー・フィルムを接着剤のパターンに転
写することによってつくられたカラー・フィルタのアレ
イである。干渉フィルム手法によって製作されたカラー
・フィルタは高い分解能のものを生産することができる
が、ガラス上でのフィルタ自身の処理を必要とせず、高
温でも安定している。よって。
量産ラインでカラー・フィルタ層内のカラー領域と画素
電極の間のレジストレーションを成し遂げる際の問題点
は減少することが期待される。更に。
フィルタと画素電極の間のレジストレーションに影響を
与えずに、所望する均一のどの色相及び明暗度でもカラ
ー・フィルタを処理できる。
E、実施例 第1図は本発明に従って製作することができる薄膜トラ
ンジスタ液晶表示装置の部分断面図である。この表示装
置は2枚の透明なプレート(一般にガラス・パネル)1
0及び12)偏光フィルタ14、透明な共用電極18及
び複数の個々にアドレス可能な画素電極20A、20B
、20C,等を含む0画素電極は関連した薄膜トランジ
スタ22A、22B、22G1等により個々にアドレス
指定、即ち活動化される。後で詳細に説明するように1
画素電極及び薄膜トランジスタはカラー・エレメント1
5A、15B、15G、等とともにフィルタ層に直に沈
積される0画素電極及び薄膜トランジスタは絶縁材料の
層24で覆われ、絶縁層24は位置調整フィルム26で
覆われる。もう1つの位置調整フィルム28は透明な共
用電極18に沈積される0位置調整フィルム26及び2
8の間の間隙は、液晶材料で満たされる空洞3oである
。ガラスのプレート10及び12はもう1つの空洞の境
界を定め、その中には位置調整フィルム26及び28と
画素電極及び薄膜トランジスタとの組合せによるLCD
材料が入れられる。一般に偏光フィルタ14はガラス・
プレートの一方に取付けられる。
前述のコンポーネントの大部分は在来のものであり、既
知の技法を用いて製作される。しがしながら、カラー・
フィルタの層は独特のものである、即ち、無機材料から
つくられた干渉フィルムであり、フィルム転写技術を用
いてガラス・パネル12に転写される。これは薄膜トラ
ンジスタを直にカラー・フィルタに置きレジストレーシ
ョン誤差を小さくすることを可能にする。干渉フィルム
は曲げやすい膜−通常はプラスチック−の基板上に形成
され、膜を干渉フィルムから離すことができるように剥
離可能な層でコーティングされている。一般に、剥離可
能な層でコーティングされている膜でつくられた基板は
真空ロール・コーティング装置で連続生産される6本発
明では、干渉フィルムは薄膜誘電体及び金属材料の層か
ら成る。
これらの誘電体及び金属材料は、スペーサ層の厚さが電
極の1つに所望の特定カラーを与えるように調整された
ファプリー・ペロー光干渉フィルタの形態で基板全面に
沈積される。
前記光干渉フィルタのデザインは光学機械産業では周知
のものである。このフィルタは蒸着、即ちスパッタ(s
putter)された種々の耐熱性の無機の薄膜から製
作することができる。このフィルタは一般に3つの層か
ら成り、第1及び第3の一層の間に第2の層が挿入され
る。第1及び第3の層は銀のように反射率が高く透過率
が低いフィルムである。第2の層、即ちスペーサ層は誘
電体の層、例えば硫化亜鉛(ZnS)である、スペーサ
層の厚さは出力光の波長、従ってカラーを決定する。光
の投射角に対する透過波長の依存度を減少させるために
5通常は屈折率の高い誘電体のスペーサ層が用いられる
。送られた光の通過帯域を狭め通過帯域の周波数範囲の
外側での通過を最小にすることを保証するために1反射
層はlに近い反射率を持つべきである。この反射層はス
ペーサ層に類似の誘電体フィルムからつくることができ
る。なぜなら、高い屈折率の媒体がそのなかに低い屈折
率のフィルムを埋込んでいるとき層の反射率は高くなる
からである。よって、高い反射率のフィルムは低い屈折
率の誘電体の層及び高い屈折率の誘電体の層を交互に置
いてつくることができる。この結果、二酸化チタン及び
二酸化珪素のような材料を交互に置いた層を用いて全フ
ィルタを製造することができる。
誘電体及び金属の層のグループは剥離可能な層に沈積さ
れ1画素アレイに関連した個々のカラー・フィルタをつ
くる0反復可能な各画素アレイのセグメントは関連した
3つのカラー・フィルタを持つ1画素アレイの第1の部
分及び第1のカラーに対応する第1のフィルタは第1の
基板に沈積される0画素アレイの第2の部分及び第2の
カラーに対応する第2のフィルタは第2の基板に沈積さ
れる。同様に、画素アレイの第3の部分及び第3のカラ
ーに対応する第3のフィルタは第3の基板に沈積される
モしてlっのカラー・フィルタのパターンに対応する接
着剤のパターンがガラス部材12に当てられる。幾つか
の既知の接着剤1例えば、感熱接着剤、紫外線感応接着
剤又は光セメントが本発明に使用できる。接着剤は印刷
、即ち従来の写真平版技法でパターン化される。そして
1つのカラーを出し剥離可能な基板バッキング(bac
king)を持つことができる干渉フィルムは接着剤に
よってガラス部材にラミネートされる。接着剤は硬化し
、曲げやすい膜の基板は物理的に剥離される、即ちカラ
ー・フィルタから分離される。この物理的な分離により
2つの結果が生まれる。−第1に、基板バッキングは、
接着剤によってガラス部材12にラミネートされている
干渉フィルムの領域で干渉フィルムから剥離する。第2
に、接着剤が干渉フィルムをガラス基板に固定しなかっ
た領域では、干渉フィルムは基板バッキングに留まる。
この領域では、物理的な剥離、即ち分離は、基板バッキ
ングに接着している干渉フィルムを、ガラス部材12に
接着している干渉フィルムから分離させる。
剥離可能なフィルムが干渉フィルムを基板バッキングか
ら分離させる前に干渉フィルム自身が分離するように、
剥離可能なフィルムは干渉フィルムに十分強力に接着す
る。更に、剥離可能なフィルムは干渉フィルムをガラス
部材12に固定する接着剤よりも接着力が弱い、その結
果、干渉フィルムがガラス部材12の表面から引き剥が
されることなく、基板バッキングは干渉フィルムから剥
離する。
この物理的な分離は無機カラー・フィルタの第1のパタ
ーンをガラス部材に残す、このプロセスは第4図に示す
、カラー・フィルタ層のガラス・パネルへの転写プロセ
ス80は、ステップ81で1つのカラーの無機フィルム
を剥離可能な基板の層にパターン化し、ステップ82で
接着剤をガラス・パネルにパターン化し、ステップ83
でカラー・フィルタを位置調整してガラス・パネルにラ
ミネートし、ステップ84で基板を外す、カラー・フィ
ルタをガラス部材にラミネートする転写プロセス80は
第1のカラーに加えて第2及び第3のカラーをガラス・
パネルにラミネートするために更に2回用いられる。プ
ロセスは第2及び第3のパターン化された接着剤の層並
びに第2及び第3の干渉フィルムにより剥離可能な基板
上で反復される。各基板は画素アレイの反復可能な各々
のセグメント内の1つのカラー・フィルタをガラス部材
に置く。
各カラー・フィルタの位置は印刷された接着剤の位置に
より決定される。その結果生じるカラー・フィルタのパ
ターンは第1図に示されており。
エレメント15A、15B及び15Gを含む。
印刷、即ち従来の平版によって接着剤の小さいパターン
をつくる能力は、カラー・フィルタの大きさを、およそ
TPT及び画素電極の大きさに縮小する際に特に役立つ
、これはフィルタがひとたびガラス上の所定の位置に置
かれると1寸法が常にカラー・フィルタ製作の場合より
もずっと正確なトランジスタ及び電極の製作がカラー・
フィルタに位置調整される0位置調整順序は従来のフィ
ルタ位置調整順序からトランジスタ及び電極の位置調整
順序に逆転する。この位置調整は、干渉フィルム転写プ
ロセスからガラス部材につくられた位置調整マークによ
り容易になる。無機質のため、フィルタ自身は寸法が正
確であり且つ(熱処理その他の処理に関して)安定して
いるから、カラー・フィルタのサイズは接着剤をパター
ン化する能力に対応して縮小することができる。
第2図に本発明の代替実施例を示す0代替実施例は基本
的には第1図に示す実施例と同じコンポーネントを含む
が、カラー・フィルタ層が異なる位置にある。詳細に説
明すれば、第2図に示す装置は透明な正面及び背面のプ
レート50及び52(一般にどちらもガラス)、偏光フ
ィルタ54゜透明な共用電極層58、個々にアドレス可
能な画素電極アレイ60A、60B、60G、等及び関
連した薄膜トランジスタ62A、62B、62C。
等を有する6画素電極及び薄膜トランジスタは絶縁材料
の層55で覆われている0位置調整フィルム56は絶縁
層55を覆う、もう1つの位置調整フィルム68は共用
電極層58に沈積される1位置調整フィルムは液晶材料
を含む空洞70の境界を決める。
フィルタ・エレメント65A、65B、65C1等を含
むフィルタ層は共用電極層58の下の正面ガラス・パネ
ル50に当てられる。この実施例では、トランジスタを
位置調整せずに、既に所定の位置にあるカラー・フィル
タに置くので、第1図の実施例の改良された位置調整は
利用しない、しかしながら、カラー・フィルタ材料は、
その性質により、第2図のような構成で用いられ、それ
でもなおりラー・フィルタの寸法はすぐれた精度のもの
になる。更に、カラー・フィルタ層と共用電極層58の
相対位置は置き換えることができる。
第3図は第1図に示す装置を製作する際に実行すべき特
定の操作の概略を示す、第3図で、正面及び背面のガラ
ス・パネルに関連したサブアセンブリをつくるために別
個の独立した操作が行なわれる6背面ガラス・パネル・
サブアセンブリをつくる際、カラー・フィルタは背面ガ
ラス・パネルに転写され且つ転写プロセス80によって
所定の位置に永続的に固定される。転写プロセス80は
、第4図で詳細に説明したように、カラー・フィルタ・
アレイで用いるカラー毎に1回ずつ(一般に合計3回)
繰返される。カラー・フィルタが所定の位置に置かれる
と5画素電極及び薄膜トランジスタはカラー・フィルタ
層に直に沈積することができる(ステップ86)、そし
て位置調整フィルムが沈積され(ステップ88)、背面
ガラス・パネル・サブアセンブリは完成する。
正面ガラス・パネル・サブアセンブリは背面ガラス・パ
ネル・サブアセンブリとは別個に製作される0表示装置
の共用電極層は正面ガラス・パネルにつくられ(ステッ
プ90)、もう1つの位置調整フィルムで覆われ(ステ
ップ92)、正面ガラス・パネル・サブアセンブリは完
成する。そして、正面及び背面のサブアセンブリは相互
に位置調整され、液晶表示材料の空洞をつくる(ステッ
プ94)、そして液晶表示材料が加えられ空洞は密閉さ
れる(ステップ96)0次に駆動電子装置がTPT電極
に接続され、表示画面は完成する。
第2図に示す代替実施例の表示装置は第5図に示すステ
ップによって製作される。カラー・フィルタ層はステッ
プ80(第4図)によって正面ガラス・パネル50に転
写される。透明な共用電極層58はカラー・フィルタ層
によって沈積される(ステップ104)、最後に、位置
調整フィルム68はカラー・フィルタ・フィルムと共用
電極層の組合せの上に置かれる(ステップ106)。
画素電極及びTPTは背面ガラス・パネル52に直に沈
積される(ステップ108)、この組合せはもう1つの
位置調整フィルム56で覆われる(ステップ110)、
正面及び背面ガラス・パネルは互いに位置調整して組立
られ、液晶表示材料の空洞70がつくられる(ステップ
112)、液晶表示材料が加えられ、空洞は密閉される
(ステップ114)、次に、駆動電子装置がTPT電極
に接続され1表示画面は完成する(ステップ116)。
10発明の詳細 な説明したように本発明によれば無機カラー・フィルタ
・エレメントをガラス上の接着層に転写しているので、
画素電極やTPTとの位置合わせを容易に行うことがで
きる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に従って製作された薄膜トランジスタ液
晶表示装置の良好な実施例の部分断面図である。 第2図は本発明に従って製作された薄膜トランジスタ液
晶表示装置の代替実施例の部分断面図である。 第3図は第1図に示す装置を生産する際に必要な特定の
ステップのブロック図である。 第4図は開示された装置のカラー・フィルタ層を形成す
る際に実行されるステップのブロック図である。 第5図は第2図に示す装置を生産する際に必要とする特
定のステップのブロック図である。 10.12・・・・プレート、14・・・・偏光フィル
タ、15A、、15B、15C・・・・カラー・エレメ
ント、18・・・・共用電極、2OA、20B、20C
・・・・画素電極、22A、22B、22C・・・・薄
膜トランジスタ、24・・・・絶縁層、26.28・・
・・位Wt11整フィルム、30・・・・空洞、50.
52・・・・プレート、54・・・・偏光フィルタ、5
5・・・・絶縁層、56・・・・位置調整フィルム、5
8・・・・共用電極、60A、60B、60G・・・・
画素電極。 62A、62B、62C・・・・薄膜トランジスタ。 65A、65B、65G・・・・フィルタ・エレメント
、68・・・・位置調整フィルム、70・・・・空洞。 5B 第1明 第2図 第3図 カラー・フィルタのガラス・パネルへの転写プロセス0 M4図

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)カラー液晶表示装置であって、 2つの空洞の境界を決める2枚の透明なプレートを含み
    、前記空洞は共用電極と複数の画素電極の間に挿入され
    た液晶材料の層を有し、 前記複数の画素電極は対応する薄膜トランジスタ及び無
    機カラー・フィルタ・エレメントを持つカラー液晶表示
    装置。
  2. (2)特許請求の範囲第(1)項記載の装置において、
    前記無機カラー・フィルタ・エレメントは前記対応する
    薄膜トランジスタ及び前記対応する画素電極に接触する
    カラー液晶表示装置。
  3. (3)特許請求の範囲第(1)項記載の装置において、
    前記無機カラー・フィルタ・エレメントは前記共用電極
    層に接触するカラー液晶表示装置。
  4. (4)カラー液晶表示装置製造方法であって、該製造方
    法は 複数の基板を剥離可能な層でコーティングするステップ
    、 複数の無機薄膜材料を前記剥離可能な層に沈積するステ
    ップ。 液晶表示内の画素電極に対応する各々のカラー・フィル
    タのパターンをつくるために前記薄膜材料をパターン化
    するステップ、 前記カラー・フィルタのパターンを最初の透明なプレー
    トにラミネートするステップ、及び前記基板を前記パタ
    ーンから外すステップ を含むカラー液晶表示装置製造方法。
  5. (5)特許請求の範囲第(4)項記載の方法において、
    更に、前記ラミネートするステップ及び前記外すステッ
    プを、少なくとも2つの他のカラー・フィルタのパター
    ンについて反復するステップを含むカラー液晶表示装置
    製造方法。
  6. (6)カラー液晶表示装置製造方法であって、複数の基
    板を剥離可能な層でコーティングするステップ、 複数の無機薄膜材料を前記剥離可能な層に沈積するステ
    ップ、 液晶表示内の画素電極に対応する各々のカラー・フィル
    タのパターンをつくるために前記薄膜材料をパターン化
    するステップ、 前記カラー・フィルタのパターンを最初の透明なプレー
    トにラミネートするステップ、 前記基板を前記パターンから外すステップ、前記カラー
    ・フィルタの各々に画素電極及び薄膜トランジスタを形
    成し、前記カラー・フィルタのパターンを前記画素電極
    と最初の透明なプレートの間に挿入するステップ、 2番目の透明なプレートに共用電極の層をラミネートす
    るステップ、及び 前記共用電極の層と前記画素電極の間に液晶表示材料を
    挿入するステップ を含むカラー液晶表示装置製造方法。
  7. (7)特許請求の範囲第(6)項記載の方法において、
    更に、前記ラミネートするステップ及び前記外すステッ
    プを、少なくとも2つの他のカラー・フィルタのパター
    ンについて反復するステップを含むカラー液晶表示装置
    製造方法。
  8. (8)カラー液晶表示装置製造方法であって、複数の基
    板を剥離可能な層でコーティングするステップ、 複数の無機薄膜材料を前記剥離可能な層に沈積するステ
    ップ、 液晶表示内の画素電極に対応する各々のカラー・フィル
    タのパターンをつくるために前記薄膜材料をパターン化
    するステップ、 前記カラー・フィルタのパターンを最初の透明なプレー
    トにラミネートするステップ、 前記基板を前記パターンから外すステップ、前記カラー
    ・フィルタのパターンに共用電極の層をラミネートし、
    前記カラー・フィルタのパターンを前記最初の透明なプ
    レートと前記共用電極の間に挿入するステップ、 2番目の透明なプレート上に画素電極及び薄膜トランジ
    スタを形成するステップ、及び 前記共用電極の層と前記画素電極の間に液晶表示材料を
    挿入するステップ を含むカラー液晶表示装置製造方法。
  9. (9)特許請求の範囲第(8)項記載の方法において、
    更に、前記ラミネートするステップ及び前記外すステッ
    プを、少なくとも2つの他のカラー・フィルタのパター
    ンについて反復するステップを含むカラー液晶表示装置
    製造方法。
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