JPS6079331A - カラ−液晶表示装置の製造方法 - Google Patents

カラ−液晶表示装置の製造方法

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JPS6079331A
JPS6079331A JP58186982A JP18698283A JPS6079331A JP S6079331 A JPS6079331 A JP S6079331A JP 58186982 A JP58186982 A JP 58186982A JP 18698283 A JP18698283 A JP 18698283A JP S6079331 A JPS6079331 A JP S6079331A
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crystal shutter
color
resist
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JP58186982A
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Hiroshi Tanabe
浩 田辺
Etsuo Yamamoto
悦夫 山本
Seigo Togashi
清吾 富樫
Kanetaka Sekiguchi
金孝 関口
Katsumi Aota
克己 青田
Kazuaki Tanmachi
和昭 反町
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Citizen Watch Co Ltd
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    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133514—Colour filters
    • G02F1/133516—Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0005—Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
    • G03F7/0007—Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S359/00—Optical: systems and elements
    • Y10S359/90—Methods

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はカラーフィルターを有する液晶表示装置の製造
方法に関する。
表示装置等と共に使用されるカラーフィルターは特に液
晶表示装置と組合せて使用されフルカラー化が達成され
つつある。フルカラーの液晶表示装置は面内分布した液
晶シャッターと該液晶シャッターに対応して設けられた
複数の色を何するカラーフィルターより構成される。
上記のフルカラー液晶表示装置とは例えは紀１図の如く
液晶シャッター装置１９と面分布型カラーフィルター２
０とに大別でき、前者は基板２゜マイクロガラス基板４
−２枚の偏光板１一液晶６から構成されパッシブ型及び
アクティブ型があり、後者は赤（Ｒ）６−緑（Ｇ）７、
青（Ｂ）８からなる分光特性を持つ３原色のフィルター
層及び拡散防止膜５から構成されている。
従来の面分布型カラーフィルターは基板上に染色層を形
成し該染色層をパターン化し染料にて染め拡散防止膜を
該染色層上に形成する。
以上の工程を３原色ならば３回行う。そのために従来の
カラーフィルター製造工程は染色層のパターン化の際に
レジスト露光用マスクを各色ごとに１枚必要とする事か
ら長く複雑化となり必然的に生産コストが高くなる。
本発明の目的は上記の様な従来のカラーフィルター製造
工程の欠点を償いかつ高品質である面分布型カラーフィ
ルター製造法を提供する事にある。
以下一本発明の面分布型カラーフィルター製造法を実施
例を用いて説明する。
第２図に示す如く、液晶シャッター装置１９上に順次染
色層９、ポジ型しジメ）（ＯＦＰＲ）１２或はネガ観レ
ジスト（ＯＭＲ）１７を形成し液晶シャッター装置１９
を３原色の各色に対応する必要なパターンに駆動して該
液晶シャッター装を該液晶シャッター装置１９を露光マ
スクとしてパターン化する。液晶シャッターが閉の状態
１６の部分に照射された光は吸収又は反射され透過せず
、該レジスト１２は照射部１０のみが現像操作によって
除去される。そして染色層９をパターン化及び染色し拡
散防止膜を形成すればＲフィルターが完成する。
次に第３図の如く拡散防止膜２２上に染色層１６及びネ
ガ型しジス）（ＯＭＲ）１７を順次形成し上記工程と同
様に液晶シャッター装置１９を必要パターンのみ駆動し
一液晶シャノターヲ閉の状態１３にする。液晶シャッタ
ー装置１９の背面より光１５を照射すると該液晶シャッ
ターが閉の状態１６の部分及びＲフィルタル６の部分ニ
ハ光１５は透過しないため上記レジスト１７は照射部１
０のみに該光１５が照射される、現像操作によって照射
部１０のみが染色層１６上に残存する。
続いて染色層１６をパターン化し、レジスト１７を剥離
し、該染色層を染め、拡散防止膜２６を形成すればＧフ
ィルター７が完成する。
次に第４図の如く拡散防止膜２３上に染色層１８及びネ
ガ型レジスト１７を順次形成し、液晶シャッター装置１
９の背面より光１５を照射する、光１５はＲフィルター
６及びＧフィルター７の吸収特性により殆んどが吸収さ
れてしまう。
従ってＲフィルター６及びＧフィルター７を露光マスク
として用いＢフィルターを形成すれば第１図の様な面分
布型カラーフィルターが完成する。
本発明の面分布型カラーフィルター製造法は液晶シャッ
ターとカラーフィルター或はカラーフィルター同士で自
己整合させるために露光マスクを必要とせずマスク合せ
等の作業がなく誤差も極く少ない。従って高品質な面分
布型カラーフィルターが簡単にかつ安価で製造出来る。
本実施例では、染色層を各色ごとに分離し拡散防止膜を
はさんで積み重ねて形成したが１本発明は第５図の如く
染色層を分離せず同一の染色層を染色した場合にも用い
る事が出来る、偏光板１上に染色層を形成し液晶シャッ
ター装置１９を３原色の各色に対応する必要なパターン
に駆動して一該液晶シャノター色毎に染色しようとする
領域のみ染色層を露出させ該領域を染色したる後レジス
トを除去し、新たなるレジストをコートし−バターニン
グを行い以下同様ｆして３原色の各色を同一染色層の夫
々異なる領域に染色する装置１９の背面より光を照射し
てレジストをパターン化し染色層を染色する。前記レジ
ストは紀１染色領域（最初に染色を行う領域）について
はポジ型或はネガ温を用い第２、第３の染色領域につい
てはネガ型を用いる。又本実施例ではＫＧＢの順序でカ
ラーフィルターを形成したが本発明はいかなる順序にて
形成しても用いる事が出来る。
以上明らかな様に本発明の面分布型カラーフィルター製
造法はうまく自己整合法を用いる事により高品質である
面分布型カラーフィルターを１司単にかつ安価に製造す
る事が出来る。
【図面の簡単な説明】
第１図は一般的な面分布型カラーフィルター及び液晶シ
ャッタ一群の断面図であり、幀２−　：１４図は本発明
の面分布型カラーフィルターの製造工程を示す断面図で
あり、第５図は染色層を単層とした面分布型カラーフィ
ルターの断面図である。 １・・・・偏光板−２・・・・・基板、６・・・・・液
晶−４・・　・マイクロガラス基板− ５，２１２３・・・・・・拡散防止膜、６°・・・・Ｒ
フィルター−７・・・Ｇフィルター−８・　・・Ｂフィ
ルター、 １１１１８・・・・・・染色層、１０・・・・・照射部
、１１・・・・・・反照封部、１２・・　・ポジ型レジ
スト、１６・・・・・・液晶駆動部、１４・・・−・・
液晶反駆動部、１５・・・・・光、 １７・・・・・ネガ型レジスト（ＯＭ　Ｒ）　。 １９・・　液晶シャッター装置。 ２０・・・・・・面分布型カラーフィルター、２１・・
・・・保礁膜。 第２図 第１頁の続き ■発明者青１）克己 ＠発明者反町　和昭 所沢市大字下富字武野８４０　シチズン時計株式会社技
術研究所内 所沢市大字下冨字武野８４０　シチズン時計株式会社技
術研究所内

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 （１）色フィルターと液晶シャッタ一部からなるカラー
    液晶表示装置の製造方法に於て、該カラーフィルターは
    液晶シャッタ一部を必要パターンに駆動することにより
    形成したパターンを光マスクとするホトリゾグラフィ法
    により３原色の色毎に順次自己整合的に形成することを
    特徴とするカラー液晶−水装置の製造方法。 （２）　＼原色の染色層をパターン化するレジストは、
    第１原色層にポジ型或はネガ型であり第２．３原色層は
    ネガ型である事を特徴とする特許請求の範囲第１項記載
    のカラー液晶表示装置の製造方法ｇ（３）３原色の染色
    層がそれぞれ３つに別れ、拡散防止膜をはさんで積み重
    ねて形成されている車を特徴とする特許請求の範囲第２
    項記載のカラー液晶表示装置の製造方法。 （４）３原色のカラーフィルターは同一の染色層からな
    り、第１染色領域をパターン化するレジストはポジ型或
    はネガ型であり第２−第３染色領域をパターン化するレ
    ジストはネガ型であることを特徴とする特許請求の範囲
    錆１項記載の液晶表示装置の製造方法。
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