JP2000075122A - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
カラーフィルタの製造方法Info
- Publication number
- JP2000075122A JP2000075122A JP24215598A JP24215598A JP2000075122A JP 2000075122 A JP2000075122 A JP 2000075122A JP 24215598 A JP24215598 A JP 24215598A JP 24215598 A JP24215598 A JP 24215598A JP 2000075122 A JP2000075122 A JP 2000075122A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mask
- color filter
- pattern
- parts
- pattern exposure
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- Pending
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- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】液晶表示装置用カラーフィルタ基板の大型化に
伴うパターン露光用マスクのコスト高に対応して、比較
的安価に大型のパターン露光用マスクを作成する手段を
提供することを目的とする。 【解決手段】パターン露光用マスクとして、複数枚のガ
ラス板をマスクパターンの非パターン部となる部分にお
いて溶接した基板ガラスを用いて作成したマスクを用
い、カラーフィルタを大型基板上に多数形成する。
伴うパターン露光用マスクのコスト高に対応して、比較
的安価に大型のパターン露光用マスクを作成する手段を
提供することを目的とする。 【解決手段】パターン露光用マスクとして、複数枚のガ
ラス板をマスクパターンの非パターン部となる部分にお
いて溶接した基板ガラスを用いて作成したマスクを用
い、カラーフィルタを大型基板上に多数形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラー液晶表示装
置等に内蔵されるカラーフィルター、とりわけ大面積の
基板を用いるカラーフィルタの製造方法に関する。
置等に内蔵されるカラーフィルター、とりわけ大面積の
基板を用いるカラーフィルタの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置用カラーフィルタの製造
は、従来より、フォトリソグラフィー法による着色レジ
ストのパターニングによって行われている。すなわち、
透明なガラス基板上に、着色顔料を分散したフォトレジ
ストをスピンコート等により薄く均一に塗布し、乾燥し
た後、フォトマスクを介して紫外光を露光、現像してフ
ィルターパターンを得るものである。通常この工程を
赤、緑、青の３色分繰り返して行う。また、この工程の
前に、着色フィルタパターンの画素部以外の間隙部およ
び外周部にブラックマトリクスをパターン形成する場合
もある。また、このようなカラーフィルタパターンは、
液晶表示装置の１画面分のサイズに応じて、１枚のガラ
ス基板に多面付けされることが多い。
は、従来より、フォトリソグラフィー法による着色レジ
ストのパターニングによって行われている。すなわち、
透明なガラス基板上に、着色顔料を分散したフォトレジ
ストをスピンコート等により薄く均一に塗布し、乾燥し
た後、フォトマスクを介して紫外光を露光、現像してフ
ィルターパターンを得るものである。通常この工程を
赤、緑、青の３色分繰り返して行う。また、この工程の
前に、着色フィルタパターンの画素部以外の間隙部およ
び外周部にブラックマトリクスをパターン形成する場合
もある。また、このようなカラーフィルタパターンは、
液晶表示装置の１画面分のサイズに応じて、１枚のガラ
ス基板に多面付けされることが多い。
【０００３】しかし、近年の液晶表示装置（ＬＣＤ）画
面の大型化に伴い、それに応じて従来通り多面付けを行
って効率よく製造するために、また、さらなる多面付け
による効率生産のために、カラーフィルタのガラス基板
サイズも大型化してきている。それに対応して、カラー
フィルタの製造に用いるパターン露光用マスクも大型化
している。パターン露光用マスクの基板であるガラス透
明基板も極めて高価なものになっている。例えば、６２
０×７２０ｍｍ角で厚さ５〜８ｍｍの石英ガラス製マス
ク基板で１枚約３００万円、１ｍ角クラスのサイズにな
ると２０００〜３０００万円と推定される。
面の大型化に伴い、それに応じて従来通り多面付けを行
って効率よく製造するために、また、さらなる多面付け
による効率生産のために、カラーフィルタのガラス基板
サイズも大型化してきている。それに対応して、カラー
フィルタの製造に用いるパターン露光用マスクも大型化
している。パターン露光用マスクの基板であるガラス透
明基板も極めて高価なものになっている。例えば、６２
０×７２０ｍｍ角で厚さ５〜８ｍｍの石英ガラス製マス
ク基板で１枚約３００万円、１ｍ角クラスのサイズにな
ると２０００〜３０００万円と推定される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な基板の大型化に伴うパターン露光用マスクのコスト高
に対応して、比較的安価に大型のパターン露光用マスク
を作成する手段を提供し、カラーフィルタ製造の高コス
ト化を防止しようとするものである。
な基板の大型化に伴うパターン露光用マスクのコスト高
に対応して、比較的安価に大型のパターン露光用マスク
を作成する手段を提供し、カラーフィルタ製造の高コス
ト化を防止しようとするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、液晶表示装置
用カラーフィルタを大型のガラス基板上に多面付けして
製造する方法において、用いるパターン露光用マスクの
基板ガラスが、多面付け配列された複数のカラーフィル
タパターンの境界部の非パターン部となる部分において
溶接された大型基板ガラスであることを特徴とするカラ
ーフィルタの製造方法である。
用カラーフィルタを大型のガラス基板上に多面付けして
製造する方法において、用いるパターン露光用マスクの
基板ガラスが、多面付け配列された複数のカラーフィル
タパターンの境界部の非パターン部となる部分において
溶接された大型基板ガラスであることを特徴とするカラ
ーフィルタの製造方法である。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面を用い
て説明する。本発明では、小型のパターン露光用マスク
のガラス基板を複数枚突き合わせ、マスクパターンの非
パターン部が溶接部となるように溶接して大型化し、接
合部表面を研磨処理するものとする。
て説明する。本発明では、小型のパターン露光用マスク
のガラス基板を複数枚突き合わせ、マスクパターンの非
パターン部が溶接部となるように溶接して大型化し、接
合部表面を研磨処理するものとする。
【０００７】溶接には酸素〜水素バーナー（２０００℃
程度）にて行い、溶接後は接合部表面を表面研磨装置で
研磨処理して表面段差を解消する。このようにすれば、
接合部にはわずかな接合痕が確認できるものの、表面平
滑性、接合した基板全体の平面度は問題ないレベルに仕
上げることができる。
程度）にて行い、溶接後は接合部表面を表面研磨装置で
研磨処理して表面段差を解消する。このようにすれば、
接合部にはわずかな接合痕が確認できるものの、表面平
滑性、接合した基板全体の平面度は問題ないレベルに仕
上げることができる。
【０００８】このようにして仕上げられたパターン露光
用マスク基板表面に、金属クロム膜をスパッタ蒸着した
後、ブラックマトリクスのパターン形成をフォトリソグ
ラフィーにより行う。マスクパターンの非パターン部に
はガラス基板の接合部が存在するが、ネガ型であればマ
スキングして使用すれば問題なく使用できる。図１に示
すように、パターン部２以外の非パターン部で溶接して
大きな一枚のパターン露光用マスク１としており、３で
示した部分が溶接部である。
用マスク基板表面に、金属クロム膜をスパッタ蒸着した
後、ブラックマトリクスのパターン形成をフォトリソグ
ラフィーにより行う。マスクパターンの非パターン部に
はガラス基板の接合部が存在するが、ネガ型であればマ
スキングして使用すれば問題なく使用できる。図１に示
すように、パターン部２以外の非パターン部で溶接して
大きな一枚のパターン露光用マスク１としており、３で
示した部分が溶接部である。
【０００９】以上のようにして作成した大型のパターン
露光用マスクを用いて、従来通り、カラーフィルタ基板
への着色フォトレジストコート、マスク露光、現像とい
う一連のフォトリソグラフィー工程を経てカラーフィル
タを多面付け形成する。
露光用マスクを用いて、従来通り、カラーフィルタ基板
への着色フォトレジストコート、マスク露光、現像とい
う一連のフォトリソグラフィー工程を経てカラーフィル
タを多面付け形成する。
【００１０】
【発明の効果】上記のようにして比較的サイズの小さな
複数枚の基板ガラスを溶接してマスクとして使用するこ
とで、パターン露光用マスクの製造コストの大幅な上昇
を軽減しながら、１ｍ角クラスのガラス基板上に多数の
カラーフィルタを製造することができる。したがって、
カラーフィルタ自体の生産コストも低減させることがで
きる。
複数枚の基板ガラスを溶接してマスクとして使用するこ
とで、パターン露光用マスクの製造コストの大幅な上昇
を軽減しながら、１ｍ角クラスのガラス基板上に多数の
カラーフィルタを製造することができる。したがって、
カラーフィルタ自体の生産コストも低減させることがで
きる。
【００１１】
【図１】本発明に用いるパターン露光用マスクの概要を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
１ パターン露光用マスク ２ パターン部 ３ 溶接部
Claims (1)
- 【請求項１】液晶表示装置用カラーフィルタを大型のガ
ラス基板上に多面付けして製造する方法において、用い
るパターン露光用マスクの基板ガラスが、多面付け配列
された複数のカラーフィルタパターンの境界部の非パタ
ーン部となる部分において溶接された大型基板ガラスで
あることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24215598A JP2000075122A (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | カラーフィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24215598A JP2000075122A (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | カラーフィルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000075122A true JP2000075122A (ja) | 2000-03-14 |
Family
ID=17085154
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24215598A Pending JP2000075122A (ja) | 1998-08-27 | 1998-08-27 | カラーフィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000075122A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017067239A1 (zh) * | 2015-10-19 | 2017-04-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩膜板及其制作方法、利用掩膜板构图的方法、滤光片 |
-
1998
- 1998-08-27 JP JP24215598A patent/JP2000075122A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017067239A1 (zh) * | 2015-10-19 | 2017-04-27 | 京东方科技集团股份有限公司 | 掩膜板及其制作方法、利用掩膜板构图的方法、滤光片 |
| US10620526B2 (en) | 2015-10-19 | 2020-04-14 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Mask, manufacturing method thereof, patterning method employing mask, optical filter |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050621 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080611 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080617 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090106 |