JPH11101906A - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
カラーフィルタの製造方法Info
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- JPH11101906A JPH11101906A JP27994297A JP27994297A JPH11101906A JP H11101906 A JPH11101906 A JP H11101906A JP 27994297 A JP27994297 A JP 27994297A JP 27994297 A JP27994297 A JP 27994297A JP H11101906 A JPH11101906 A JP H11101906A
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Abstract
示品質に優れた液晶表示装置を可能とするカラーフィル
タの製造方法を提供する。 【解決手段】 基板上に色毎に親水性の異なる複数色か
らなる着色層を形成する第1の工程と、第1の工程で形
成された着色層を覆うように保護層用の塗布液を用いて
塗布膜を形成し、着色層と塗布膜との親水性の程度差に
応じて着色層の色毎に塗布膜を所望の厚みにした後、前
記塗布膜を硬化させて保護層を形成する第2の工程とを
有する構成とした。
Description
造方法に係り、特に表示品質に優れた液晶表示装置用の
カラーフィルタの製造方法に関する。
ラーの液晶表示装置が注目されている。一般に、カラー
液晶表示装置は、ブラックマトリックスおよび複数の色
(通常、赤(R)、緑(G)、青(B)の3原色)から
なる着色層を備えたカラーフィルタと、薄膜トランジス
タ(TFT素子)を備えたTFTアレイ基板とを向かい
合わせ、所定の間隙をもたせて貼り合わせており、この
間隙部に液晶材料を注入している。したがって、この間
隙部は液晶層の厚みそのものであり、液晶層の厚みにム
ラがあると、カラー液晶表示装置内で輝度ムラ、色ムラ
が生じ、表示品質を著しく損なうことになるので、液晶
層の厚みはできる限り均一であることが望ましい。
ィルタの画素の色(R、G、B)によって光透過率が異
なるという事実がある。したがって、均一で最適な光透
過率を得るためには、液晶層の厚みを各色(R、G、
B)に最適なものとする必要がある。
色層の厚みに変化をもたせ、色毎に液晶層を所定の厚み
に設定することが行われている。
ようなR、G、Bの色毎に厚みの異なる着色層を、例え
ば、従来公知の顔料分散法により形成する場合、最も厚
みの小さい着色層の形成において使用する感光性塗料の
着色材含有率が高くなり、地汚れ、色ムラ、基板との密
着性不良等が発生するという問題があった。このため、
色毎に必要な厚みの差を有する着色層を備えたカラーフ
ィルタを簡便に製造できる方法の開発が望まれていた。
れたものであり、着色層の色毎に最適な液晶層の厚みを
もち表示品質に優れた液晶表示装置を可能とするカラー
フィルタの製造方法を提供することを目的とする。
るために、本発明のカラーフィルタの製造方法は、基板
上に色毎に親水性の異なる複数色からなる着色層を形成
する第1の工程、保護層用の塗布液を用いて前記着色層
を覆うように塗布膜を形成し、着色層と塗布膜との親水
性の程度差に応じて着色層の色毎に塗布膜を所望の厚み
にした後、前記塗布膜を硬化させて保護層を形成する第
2の工程、を有するような構成とした。
れた塗布膜が、着色層の各色が有する親水性の程度に応
じた表面張力の差により厚みに変化を生じ、その後、こ
の塗布膜を硬化させることによって色毎に必要な厚みの
差を有する保護層が形成される。
ついて図面を参照して説明する。
の一実施形態を示す工程図である。本発明のカラーフィ
ルタの製造方法では、まず、第1の工程として、所定の
パターン形状でブラックマトリックス(遮光層)3を備
えた基板2上に、赤色パターン4R、緑色パターン4G
および青色パターン4Bが配列されてなる着色層4を形
成する(図1(A))。
レックスガラス、合成石英板等の可撓性のないリジット
材、あるいは透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓
性を有するフレキシブル材を用いることができる。この
中で特にコーニング社製7059ガラスは、熱膨脹率の
小さい素材であり寸法安定性および高温加熱処理におけ
る作業性に優れ、また、ガラス中にアルカリ成分を含ま
ない無アルカリガラスであるため、アクティブマトリッ
クス方式によるLCD用のカラー液晶表示装置に適して
いる。
トリックス3は、スパッタリング法、真空蒸着法等によ
り厚み500〜1500Å程度のクロム等の金属薄膜を
形成し、この薄膜をパターニングして形成したもの、カ
ーボン微粒子等の遮光性粒子を含有させたポリイミド樹
脂、アクリル樹脂、感光性ポリビニルアルコール樹脂等
の樹脂層を形成し、この樹脂層をパターニングして形成
したもの、カーボン微粒子等の遮光性粒子を含有させた
感光性樹脂層を形成し、この感光性樹脂層をパターニン
グして形成したもの等、いずれであってもよい。
ーン4Gおよび青色パターン4Bがモザイク型、トライ
アングル型、ストライプ型、4画素配置型等の所望のパ
ターンで配列されたものである。この着色層4の形成
は、公知のポジ型あるいはネガ型の感光性レジストに着
色材を含有させた感光性着色材料を用いた顔料分散法に
より形成することができ、さらに、染色法、印刷法、電
着法等の公知の方法により形成することができる。
て、着色層4を構成する赤色パターン4R、緑色パター
ン4Gおよび青色パターン4B毎に所望の親水性を付与
することを特徴とする。
成用の塗布膜の表面の親水性、各パターン上に形成する
液晶層に要求される最適な厚み等を考慮して設定するこ
とができる。例えば、赤色パターン4R上に形成される
液晶層の最適厚みが最も大きく、以下、緑色パターン4
G、青色パターン4Bの順に液晶層の最適厚みが小さく
なる場合、各色パターンの親水性と塗布膜の親水性を、
4R>4G>4B>塗布膜の順、あるいは、4R<
4G<4B<塗布膜の順とすることができる。着色層の
各色パターン毎の親水性の制御は、例えば、顔料分散法
により着色層を形成する場合では、使用する樹脂成分に
導入するカルボキシル基、水酸基、アルキル基等の導入
基の量を適宜変える方法、表面に対して選択的に酸処
理、紫外線/オゾン(UV/O3 )処理、あるいは界面
活性剤処理を施す方法等により行うことができる。
みにより制御可能とするので、着色層4の厚みは0.7
〜2.0μm程度の範囲で均一に形成することができ
る。
を覆うように保護層用の塗布液を用いて塗布膜5を形成
する(図1(B))。保護層用の塗布液としては、例え
ば、感光性アクリル樹脂、感光性エポキシ樹脂、感光性
ウレタン樹脂、スチルバゾリウムキノリウム基を導入し
たポリビニルアルコール樹脂等の光透過性の感光性樹脂
の1種または2種以上を使用し、これに硬化剤、溶剤等
を適宜添加したものを使用することができる。尚、使用
する感光性樹脂は、上記の感光性樹脂の水酸基に適宜カ
ルボキシル基等を反応させることにより所望の親水性を
具備させたものを使用することができる。
後述する各色のパターン毎に最適な厚みをもつ保護層の
最終形状等を考慮して厚みを設定することができ、例え
ば、0.5〜5.0μm程度の範囲で設定することがで
きる。
除去することによってある程度の形状安定性を付与した
後、着色層4の各パターン4R、4G、4Bが有する親
水性と塗布膜5が有する親水性との関係から塗布膜5に
作用する表面張力の差によって、塗布膜5が流動するよ
うな温度に加熱する。この加熱温度は、着色層4の各パ
ターンの親水性と塗布膜5の親水性、および、塗布膜5
を構成する樹脂成分等を考慮して設定することができ、
例えば、70〜150℃程度の範囲で設定することがで
きる。尚、使用する保護層用の塗布液によっては、塗布
膜5を形成した後、乾燥工程を経ることなく所定の温度
に加熱して塗布膜5の流動を生じさせてもよい。
層4の各パターン4R、4G、4B毎に所定の厚みをも
つことになる(図1(C))。図示例では、赤色パター
ン4R上の塗布膜5Rの厚みが最も小さく、次いで、緑
色パターン4G上の塗布膜5G、青色パターン4B上の
塗布膜5Bの順に厚みが大きくなっている。
定のフォトマスクを介しての露光・現像等により塗布膜
5を硬化させて、着色層4の形成領域とその周辺の必要
箇所に保護層6を形成する。着色層4の形成領域では、
形成された保護層6は各パターン4R、4G、4Bに対
応して所定の厚みを有する保護層6R、6G、6Bから
構成されている。各保護層6R、6G、6Bの厚みは、
例えば、保護層6Rを0.3〜2.0μmの範囲、保護
層6Gを1.0〜3.0μmの範囲、保護層6Bを2.
0〜4.0μmの範囲で設定することができる。
ンで透明導電膜7を形成する(図1(D))。透明導電
膜7としては、例えば、酸化インジウムスズ(ITO)
膜を用いることができる。ITO膜は蒸着法、スパッタ
リング法等の公知の方法により形成することでき、厚さ
は200〜2000Å程度が好ましい。これにより、カ
ラーフィルタ1が得られる。
製されたカラーフィルタ1を使用した液晶表示装置の一
例を示す縦断面図である。図2において、カラーフィル
タ1は、液晶層20を介してTFTアレイ基板11と対
向されている。TFTアレイ基板11は、基板12上に
薄膜トランジスタ(図示せず)に接続された表示電極1
3を備えており、カラーフィルタ1の各パターン4R、
4G、4Bと、対応するTFTアレイ基板11の表示電
極13とが対向するように位置合わせがなされている。
の厚みTは均一ではなく、各色パターン4R、4G、4
B上においてそれぞれ最適な厚みとなっている。図示例
では、各色パターン4R、4G、4B上の保護層6R、
6G、6Bの厚みに対応して、液晶層20の厚みは、そ
れぞれTR、TG、TBとなっており、液晶層の厚みの
最適化がなされている。したがって、カラーフィルタの
画素の各色パターン4R、4G、4Bにおける光透過率
が均一で最適なものとなり、表示品質に優れた液晶表示
装置が可能となる。
明する。 (実施例)まず、ガラス基板(コーニング(株)製70
59ガラス 厚み1.1mm)上に真空蒸着法によりク
ロム薄膜(厚み1000Å)を成膜し、このクロム薄膜
上にスピン塗布方法により感光性レジスト(東京応化工
業(株)製OFPR800)を塗布し乾燥した。次い
で、ブラックマトリックス用のフォトマスクを介して感
光性レジスト層を露光・現像しレジストパターンを形成
し、このレジストパターンをマスクとしてクロム薄膜を
エッチングし、レジストパターンを剥離除去してブラッ
クマトリックスを形成した。エッチング液は硝酸第2セ
リウムアンモニウムと過塩素酸を混合した水溶液を使用
した。
樹脂組成物R、G、Bを調製した。これらの感光性樹脂
組成物R、G、Bは、使用する感光性樹脂の水酸基をカ
ルボキシル基に交換することによって各色毎に親水性を
設定した。
護層用の感光性塗布液の親水性は、R>G>B>保護層
用塗布液の順となっている。
成物Rをスピンコート法(回転数600r.p.m.)により
塗布して乾燥し、赤色パターン用のフォトマスクを介し
て露光し現像して赤色パターン(厚み1.4μm)を形
成した。同様にして、感光性樹脂組成物G、感光性樹脂
組成物Bを用いて、緑色パターン、青色パターンを形成
して着色層を形成した(図1(A)に相当)。
上記保護層用塗布液をスピンコート法(回転数900r.
p.m.)により塗布し、70℃で3分間乾燥して塗布膜を
形成した(図1(B)に相当)。その後、基板を120
℃に5分間保持し、着色層の各色パターンが有する親水
性と塗布膜が有する親水性との関係から塗布膜に作用す
る表面張力の差によって塗布膜を流動させ膜厚差を発生
させた(図1(C)に相当)。
フォトマスクを使用したアライナーにより2.0kWの
超高圧水銀ランプを用いて着色層の形成領域およびその
周辺部の塗布膜に紫外線を10秒間照射した。その後、
0.05%水酸化カリウム水溶液(液温23℃)に1分
間浸漬してアルカリ現像を行い、塗布膜の未硬化部分を
除去して所定パターンの保護層を形成した。更に、18
0℃で60分間の熱処理を行った後、保護層上にスパッ
タリング法によりITOの透明導電膜(厚み1000
Å)を形成してカラーフィルタを得た(図1(D)に相
当)。
色パターン部で0.7μm、緑色パターン部で1.7μ
m、青色パターン部で3.3μmであった。また、この
カラーフィルタは、地汚れ、色ムラ、ガラス基板と着色
層との密着性不良等がない良好なものであった。
液晶層の厚みを赤色パターン部で8.0μm、緑色パタ
ーン部で7.0μm、青色パターン部で5.5μmとし
て図2に示されるような液晶表示装置を作製した。この
液晶表示装置の表示品質は優れたものであった。 (比較例)まず、下記組成の各色の着色層用の感光性樹
脂組成物R´、G´、B´を調製した。
厚み1.1mm)上に感光性樹脂組成物R´をスピン
コート法(回転数700r.p.m.)により塗布して乾燥
し、赤色パターン用のフォトマスクを介して露光し現像
して赤色パターン(厚み0.9μm)を形成した。同様
にして、感光性樹脂組成物G´、感光性樹脂組成物B´
を用いて、緑色パターン(厚み2.0μm)、青色パタ
ーン(厚み3.5μm)を形成して各色パターン毎に厚
みの異なる構造を有する着色層を形成した。
ンコート法(回転数950r.p.m.)により塗布して乾燥
し、次に、フォトマスクを使用したアライナーにより
2.0kWの超高圧水銀ランプを用いて着色層の形成領
域およびその周辺部にのみ紫外線を10秒間照射した。
℃)に1分間浸漬してアルカリ現像を行い未硬化部分を
除去して所定パターンの保護層(厚み1.5μm)を形
成した。更に、180℃で60分間の熱処理を行った
後、保護層上にスパッタリング法によりITOの透明導
電膜(厚み1000Å)を形成して比較としてのカラー
フィルタ(比較試料1)を得た。
の地汚れ、色ムラ、ガラス基板との密着性不良が発生
し、液晶表示装置用のカラーフィルタとして使用に供し
得ないものであった。
1の工程において基板上に色毎に親水性の異なる複数色
からなる着色層を形成し、第2の工程において、まず、
この着色層上に保護層用の塗布液を用いて塗布膜を形成
するので、形成された塗布膜が着色層の各色が有する親
水性の程度に応じて厚みに変化を生じ、その後、この塗
布膜を硬化させて保護層を形成するので、形成された保
護層は着色層の色毎に必要な厚みの差を有するものとな
り、このようなカラーフィルタを用いて製造される液晶
表示装置では、着色層の色毎に最適な液晶層の厚みを設
定することができ、表示品質に優れた液晶表示装置が可
能となる。
態を示す工程図である。
の一例を示す縦断面図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 基板上に色毎に親水性の異なる複数色か
らなる着色層を形成する第1の工程、 保護層用の塗布液を用いて前記着色層を覆うように塗布
膜を形成し、着色層と塗布膜との親水性の程度差に応じ
て着色層の色毎に塗布膜を所望の厚みにした後、前記塗
布膜を硬化させて保護層を形成する第2の工程、を有す
ることを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27994297A JP3992801B2 (ja) | 1997-09-27 | 1997-09-27 | カラーフィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27994297A JP3992801B2 (ja) | 1997-09-27 | 1997-09-27 | カラーフィルタの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11101906A true JPH11101906A (ja) | 1999-04-13 |
JP3992801B2 JP3992801B2 (ja) | 2007-10-17 |
Family
ID=17618076
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27994297A Expired - Fee Related JP3992801B2 (ja) | 1997-09-27 | 1997-09-27 | カラーフィルタの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3992801B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100595294B1 (ko) * | 1999-12-14 | 2006-07-03 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 횡전계방식 액정표시장치용 칼라필터 기판의 제조방법 |
US11215865B2 (en) * | 2017-04-11 | 2022-01-04 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Color filter substrate, manufacturing method thereof, and related devices |
CN115061298A (zh) * | 2022-08-05 | 2022-09-16 | 惠科股份有限公司 | 显示面板、显示面板的制备方法及显示器 |
-
1997
- 1997-09-27 JP JP27994297A patent/JP3992801B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR100595294B1 (ko) * | 1999-12-14 | 2006-07-03 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 횡전계방식 액정표시장치용 칼라필터 기판의 제조방법 |
US11215865B2 (en) * | 2017-04-11 | 2022-01-04 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Color filter substrate, manufacturing method thereof, and related devices |
CN115061298A (zh) * | 2022-08-05 | 2022-09-16 | 惠科股份有限公司 | 显示面板、显示面板的制备方法及显示器 |
CN115061298B (zh) * | 2022-08-05 | 2022-11-25 | 惠科股份有限公司 | 显示面板、显示面板的制备方法及显示器 |
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---|---|
JP3992801B2 (ja) | 2007-10-17 |
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