JPH10142418A - カラーフィルター及び液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
カラーフィルター及び液晶表示装置の製造方法Info
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- JPH10142418A JPH10142418A JP20632897A JP20632897A JPH10142418A JP H10142418 A JPH10142418 A JP H10142418A JP 20632897 A JP20632897 A JP 20632897A JP 20632897 A JP20632897 A JP 20632897A JP H10142418 A JPH10142418 A JP H10142418A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 インクジェット等によってブラックマトリッ
クスの間隙に着色インクを付与する際に、インクのはじ
き等がなく間隙部分を均一に着色することで、欠陥やム
ラがなく、コントラストの高いカラーフィルターを製造
する方法を提供する。 【解決手段】 透明基板上に樹脂のブラックマトリック
スパターンを形成する工程と、該ブラックマトリックス
パターンの間隙の基板表面の表面エネルギーを増加させ
る表面改質処理を行う工程と、該ブラックマトリックス
パターンの間隙にインクを付与する工程を有するカラー
フィルターの製造方法。
クスの間隙に着色インクを付与する際に、インクのはじ
き等がなく間隙部分を均一に着色することで、欠陥やム
ラがなく、コントラストの高いカラーフィルターを製造
する方法を提供する。 【解決手段】 透明基板上に樹脂のブラックマトリック
スパターンを形成する工程と、該ブラックマトリックス
パターンの間隙の基板表面の表面エネルギーを増加させ
る表面改質処理を行う工程と、該ブラックマトリックス
パターンの間隙にインクを付与する工程を有するカラー
フィルターの製造方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルター
の製造方法、特にインクジェット印刷法を用いるカラー
フィルターの製造方法に関する。本発明で製造されるカ
ラーフィルターはカラー液晶表示装置等の分野で使用さ
れる。また、本発明は、液晶表示装置の製造方法に関す
る。
の製造方法、特にインクジェット印刷法を用いるカラー
フィルターの製造方法に関する。本発明で製造されるカ
ラーフィルターはカラー液晶表示装置等の分野で使用さ
れる。また、本発明は、液晶表示装置の製造方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、パーソナルコンピューターの進
歩、特に携帯用パーソナルコンピューターの進歩に伴
い、液晶ディスプレイ、とりわけカラ一液晶ディスプレ
イの需要が増加している。しかしながら、さらなる普及
のために大幅なコストダウンが必要であり、特にコスト
的に比重の高いカラーフィルターのコストダウンが求め
られている。
歩、特に携帯用パーソナルコンピューターの進歩に伴
い、液晶ディスプレイ、とりわけカラ一液晶ディスプレ
イの需要が増加している。しかしながら、さらなる普及
のために大幅なコストダウンが必要であり、特にコスト
的に比重の高いカラーフィルターのコストダウンが求め
られている。
【０００３】カラーフィルターの低コスト化のための製
造方法として、ガラス基板上に遮光性に優れたブラック
マトリックスを形成し、インクジェット印刷機を用いて
ブラックマトリックスの間隙にインクを付与して着色す
る方法が提案されている。この方法に関して、インクが
それぞれの画素に対応するブラックマトリックスの間隙
にうまく収まるようにするため、ブラックマトリックス
の材料として、インクに濡れにくく、インクをはじきや
すいものが検討されている。
造方法として、ガラス基板上に遮光性に優れたブラック
マトリックスを形成し、インクジェット印刷機を用いて
ブラックマトリックスの間隙にインクを付与して着色す
る方法が提案されている。この方法に関して、インクが
それぞれの画素に対応するブラックマトリックスの間隙
にうまく収まるようにするため、ブラックマトリックス
の材料として、インクに濡れにくく、インクをはじきや
すいものが検討されている。
【０００４】例えば、特開平７−３５９１７号公報に
は、インキに対し２０°以上の接触角を有するブラック
マトリックス材料を用いてブラックマトリックスを形成
し、この間隙にインキを吐出する方法が提案されてい
る。特開平７−３５９１５号公報には、ブラックマトリ
ックス材料として水に対し４０°以上の接触角を有する
材料を使用することが提案されている。特開平６−３４
７６３７号公報には、それぞれの材料の臨界表面張力
を、基板面＞インキ＞ブラックマトリックス面とし、ブ
ラックマトリックス面＜３５ｄｙｎｅ／ｃｍ、基板面≧
３５ｄｙｎｅ／ｃｍ、インキは両者から５ｄｙｎｅ／ｃ
ｍ以上の差を有するように設定することが提案されてい
る。これらの例ではいずれもブラックマトリックスの材
料として、撥水性を持たせるために、フッ素化合物やケ
イ素化合物を含むことが提案されている。
は、インキに対し２０°以上の接触角を有するブラック
マトリックス材料を用いてブラックマトリックスを形成
し、この間隙にインキを吐出する方法が提案されてい
る。特開平７−３５９１５号公報には、ブラックマトリ
ックス材料として水に対し４０°以上の接触角を有する
材料を使用することが提案されている。特開平６−３４
７６３７号公報には、それぞれの材料の臨界表面張力
を、基板面＞インキ＞ブラックマトリックス面とし、ブ
ラックマトリックス面＜３５ｄｙｎｅ／ｃｍ、基板面≧
３５ｄｙｎｅ／ｃｍ、インキは両者から５ｄｙｎｅ／ｃ
ｍ以上の差を有するように設定することが提案されてい
る。これらの例ではいずれもブラックマトリックスの材
料として、撥水性を持たせるために、フッ素化合物やケ
イ素化合物を含むことが提案されている。
【０００５】また、特開平４−１２１７０２号公報に
は、基板と逆の親媒性を有する堤を形成し、その間にイ
ンクを注入する方法が提案されているが、材料について
の詳しい記載はない。
は、基板と逆の親媒性を有する堤を形成し、その間にイ
ンクを注入する方法が提案されているが、材料について
の詳しい記載はない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これら
の例のように、ブラックマトリックス材料に撥水剤であ
るフッ素化合物やケイ素化合物を混ぜると、ブラックマ
トリックスパターンを形成するための最終工程であるポ
ストベークの際に、ブラックマトリックス材料中の撥水
剤が蒸発し、ブラックマトリックスの間隙のガラス表面
に薄く付着する。また、撥水剤を添加しない場合であっ
ても、ブラックマトリックス材料等に含まれる低分子の
有機物が蒸発し、同じようにガラス表面に付着する。ど
ちらの場合でも、ガラス表面が撥水性を示すようにな
り、画素部となるブラックマトリックスの間隙にインク
を付与したときに、インクが付着しなくなる問題があ
る。
の例のように、ブラックマトリックス材料に撥水剤であ
るフッ素化合物やケイ素化合物を混ぜると、ブラックマ
トリックスパターンを形成するための最終工程であるポ
ストベークの際に、ブラックマトリックス材料中の撥水
剤が蒸発し、ブラックマトリックスの間隙のガラス表面
に薄く付着する。また、撥水剤を添加しない場合であっ
ても、ブラックマトリックス材料等に含まれる低分子の
有機物が蒸発し、同じようにガラス表面に付着する。ど
ちらの場合でも、ガラス表面が撥水性を示すようにな
り、画素部となるブラックマトリックスの間隙にインク
を付与したときに、インクが付着しなくなる問題があ
る。
【０００７】本発明は、このような問題点に鑑みてなさ
れたものであり、インクジェット等によってブラックマ
トリックスの間隙に着色インクを付与する際に、インク
のはじき等がなく、間隙部分を均一に着色することで、
欠陥やムラがなく、コントラストの高いカラーフィルタ
ー及び液晶表示装置を製造する方法を提供することを目
的とする。
れたものであり、インクジェット等によってブラックマ
トリックスの間隙に着色インクを付与する際に、インク
のはじき等がなく、間隙部分を均一に着色することで、
欠陥やムラがなく、コントラストの高いカラーフィルタ
ー及び液晶表示装置を製造する方法を提供することを目
的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、透明基板上に
樹脂のブラックマトリックスパターンを形成する工程
と、該ブラックマトリックスパターンの間隙の基板表面
の表面エネルギーを増加させる表面改質処理を行う工程
と、該ブラックマトリックスパターンの間隙にインクを
付与する工程を有することを特徴とするカラーフィルタ
ーの製造方法に関する。
樹脂のブラックマトリックスパターンを形成する工程
と、該ブラックマトリックスパターンの間隙の基板表面
の表面エネルギーを増加させる表面改質処理を行う工程
と、該ブラックマトリックスパターンの間隙にインクを
付与する工程を有することを特徴とするカラーフィルタ
ーの製造方法に関する。
【０００９】また、本発明は、透明基板上に樹脂のブラ
ックマトリックスパターンを形成する工程と、該ブラッ
クマトリックスパターンの間隙の基板表面の表面エネル
ギーを増加させる表面改質処理を行う工程と、該ブラッ
クマトリックスパターンの間隙にインクを付与する工程
を経てカラーフィルター基板を形成する工程、該カラー
フィルター基板に対向させて画素電極を有する対向基板
を配置する工程、カラーフィルター基板と対向基板の間
隙に液晶組成物を封入する工程を有することを特徴とす
る液晶表示装置の製造方法に関する。
ックマトリックスパターンを形成する工程と、該ブラッ
クマトリックスパターンの間隙の基板表面の表面エネル
ギーを増加させる表面改質処理を行う工程と、該ブラッ
クマトリックスパターンの間隙にインクを付与する工程
を経てカラーフィルター基板を形成する工程、該カラー
フィルター基板に対向させて画素電極を有する対向基板
を配置する工程、カラーフィルター基板と対向基板の間
隙に液晶組成物を封入する工程を有することを特徴とす
る液晶表示装置の製造方法に関する。
【００１０】前記製造方法は、前記ブラックマトリック
スパターンの形成工程が、黒色の感光性樹脂組成物を露
光してパターニングする工程であることを含む。
スパターンの形成工程が、黒色の感光性樹脂組成物を露
光してパターニングする工程であることを含む。
【００１１】前記製造方法は、前記ブラックマトリック
スパターンの形成工程が、黒色の非感光性樹脂組成物を
フォトレジストを用いてパターニングする工程であるこ
とを含む。
スパターンの形成工程が、黒色の非感光性樹脂組成物を
フォトレジストを用いてパターニングする工程であるこ
とを含む。
【００１２】前記製造方法は、前記表面改質処理が洗浄
処理であることを含む。
処理であることを含む。
【００１３】前記製造方法は、前記表面改質処理がＵＶ
オゾン処理を含む工程からなることを含む。
オゾン処理を含む工程からなることを含む。
【００１４】前記製造方法は、前記ＵＶオゾン処理を含
む工程が、（ａ）ＵＶオゾン処理を行う工程、（ｂ）Ｕ
Ｖオゾン処理を行い、さらに加熱処理を行う工程、
（ｃ）ＵＶオゾン処理、加熱処理および洗浄処理を行う
工程のいずれかであることを含む。
む工程が、（ａ）ＵＶオゾン処理を行う工程、（ｂ）Ｕ
Ｖオゾン処理を行い、さらに加熱処理を行う工程、
（ｃ）ＵＶオゾン処理、加熱処理および洗浄処理を行う
工程のいずれかであることを含む。
【００１５】前記製造方法は、前記表面改質処理がコロ
ナ放電処理を含む工程であることを含む。
ナ放電処理を含む工程であることを含む。
【００１６】前記製造方法は、前記コロナ放電処理を含
む工程が、（ａ）コロナ放電処理を行う工程、（ｂ）コ
ロナ放電処理を行い、さらに加熱処理を行う工程、
（ｃ）コロナ放電処理、加熱処理および洗浄処理を行う
工程のいずれかであることを含む。
む工程が、（ａ）コロナ放電処理を行う工程、（ｂ）コ
ロナ放電処理を行い、さらに加熱処理を行う工程、
（ｃ）コロナ放電処理、加熱処理および洗浄処理を行う
工程のいずれかであることを含む。
【００１７】前記製造方法は、前記表面改質処理がエッ
チング処理であることを含む。
チング処理であることを含む。
【００１８】前記製造方法は、前記エッチング処理にお
いて基板表面を０．０５〜０．１５μｍエッチングする
ことを含む。
いて基板表面を０．０５〜０．１５μｍエッチングする
ことを含む。
【００１９】前記製造方法は、表面改質処理により、ブ
ラックマトリックスとその間隙の基板表面との水に対す
る接触角の差を１５°以上にすることを含む。
ラックマトリックスとその間隙の基板表面との水に対す
る接触角の差を１５°以上にすることを含む。
【００２０】前記製造方法は、表面改質処理により、ブ
ラックマトリックスとその間隙の基板表面との水に対す
る接触角の差を４０°以上にすることを含む。
ラックマトリックスとその間隙の基板表面との水に対す
る接触角の差を４０°以上にすることを含む。
【００２１】前記製造方法は、インクをインクジェット
プリンティング方式を用いて付与することを含む。
プリンティング方式を用いて付与することを含む。
【００２２】前記製造方法は、インクが熱硬化性を示す
ことを含む。
ことを含む。
【００２３】カラーフィルターの製造において、ブラッ
クマトリックスの間隙を赤、緑、青のインクで着色する
際、インクがブラックマトリックスパターンを乗り越え
て隣の画素と混色しないためには、ブラックマトリック
スはインクに濡れにくい材料であること、すなわち、表
面エネルギーがインクの表面エネルギーより小さいこと
が必要である。一方、インクがブラックマトリックスパ
ターンで囲まれた画素の間に十分拡がり、良好なコント
ラストのカラーフィルターを得るためには、画素部の表
面が、インクに十分濡れやすいこと、すなわち、画素部
の表面エネルギーが、インクの表面エネルギーより大き
いことが必要である。従って、インクに対する濡れ性
が、ブラックマトリックスとブラックマトリックス間隙
の画素部の間で、ある程度差があることが必要である。
また、濡れ性は、表面エネルギーや水に対する接触角で
表すことができる。
クマトリックスの間隙を赤、緑、青のインクで着色する
際、インクがブラックマトリックスパターンを乗り越え
て隣の画素と混色しないためには、ブラックマトリック
スはインクに濡れにくい材料であること、すなわち、表
面エネルギーがインクの表面エネルギーより小さいこと
が必要である。一方、インクがブラックマトリックスパ
ターンで囲まれた画素の間に十分拡がり、良好なコント
ラストのカラーフィルターを得るためには、画素部の表
面が、インクに十分濡れやすいこと、すなわち、画素部
の表面エネルギーが、インクの表面エネルギーより大き
いことが必要である。従って、インクに対する濡れ性
が、ブラックマトリックスとブラックマトリックス間隙
の画素部の間で、ある程度差があることが必要である。
また、濡れ性は、表面エネルギーや水に対する接触角で
表すことができる。
【００２４】本発明では、ブラックマトリックスを形成
する際のポストベーク等の高温でブラックマトリックス
を加熱する工程により、ブラックマトリックスとブラッ
クマトリックスの間隙部の表面エネルギーの差が小さく
なった場合であっても、表面改質処理を行うことにより
ブラックマトリックス間隙部の表面エネルギーを増加さ
せ（水との接触角を小さくする）、ブラックマトリック
スの表面エネルギーとの差を大きくすることができる。
このため、本発明によれば、ブラックマトリックスの間
隙に着色インクを付与する際に、インクのはじき等がな
く、間隙部分を均一に着色することで、欠陥やムラがな
く、コントラストの高いカラーフィルターを製造するこ
とができるのである。
する際のポストベーク等の高温でブラックマトリックス
を加熱する工程により、ブラックマトリックスとブラッ
クマトリックスの間隙部の表面エネルギーの差が小さく
なった場合であっても、表面改質処理を行うことにより
ブラックマトリックス間隙部の表面エネルギーを増加さ
せ（水との接触角を小さくする）、ブラックマトリック
スの表面エネルギーとの差を大きくすることができる。
このため、本発明によれば、ブラックマトリックスの間
隙に着色インクを付与する際に、インクのはじき等がな
く、間隙部分を均一に着色することで、欠陥やムラがな
く、コントラストの高いカラーフィルターを製造するこ
とができるのである。
【００２５】
【発明の実施の形態】本発明でブラックマトリックスを
形成する材料としては、黒色の感光性樹脂組成物であっ
ても黒色の非感光性の樹脂組成物であってもいずれでも
よい。撥水性を向上させるために、樹脂の側鎖にメチル
基等の後工程で分解され易い基を有する樹脂を用いるこ
とが好ましい。このような材料は通常、ブラックマトリ
ックス形成に加熱処理を必要とするブラックマトリック
ス材料であって、この加熱処理中にブラックマトリック
ス材料から撥水剤や未反応物（例えば光開始剤やモノマ
ー成分）、基板との密着性を向上させるために添加され
るシランカップリング剤、溶媒としての有機溶剤などを
蒸発し、ブラックマトリックス間隙部の撥水性を上げて
インクの濡れ性を悪化させるようなものである。
形成する材料としては、黒色の感光性樹脂組成物であっ
ても黒色の非感光性の樹脂組成物であってもいずれでも
よい。撥水性を向上させるために、樹脂の側鎖にメチル
基等の後工程で分解され易い基を有する樹脂を用いるこ
とが好ましい。このような材料は通常、ブラックマトリ
ックス形成に加熱処理を必要とするブラックマトリック
ス材料であって、この加熱処理中にブラックマトリック
ス材料から撥水剤や未反応物（例えば光開始剤やモノマ
ー成分）、基板との密着性を向上させるために添加され
るシランカップリング剤、溶媒としての有機溶剤などを
蒸発し、ブラックマトリックス間隙部の撥水性を上げて
インクの濡れ性を悪化させるようなものである。
【００２６】上記の黒色の感光性樹脂組成物は、黒色の
顔料または染料と感光性材料を含み、その他必要に応じ
て非感光性の樹脂を含んでいてもよい。また、基板に塗
布する際には低沸点有機溶剤と高沸点有機溶剤からなる
溶媒に分散されている。
顔料または染料と感光性材料を含み、その他必要に応じ
て非感光性の樹脂を含んでいてもよい。また、基板に塗
布する際には低沸点有機溶剤と高沸点有機溶剤からなる
溶媒に分散されている。
【００２７】黒色の顔料としては、カーボンブラックや
黒色有機顔科などを用いることができる。
黒色有機顔科などを用いることができる。
【００２８】感光性材料としては、ＵＶレジスト、ＤＥ
ＥＰ−ＵＶレジストおよび紫外線硬化型樹脂等から、適
宜選択して用いることができる。
ＥＰ−ＵＶレジストおよび紫外線硬化型樹脂等から、適
宜選択して用いることができる。
【００２９】ＵＶレジストとしては、環化ポリイソプレ
ン−芳香族ビスアジド系レジストおよびフェノール樹脂
−芳香族アジド化合物系レジスト等のネガ型レジスト、
ノボラック樹脂−ジアゾナフトキノン系レジスト等のポ
ジ型レジストを挙げることができる。
ン−芳香族ビスアジド系レジストおよびフェノール樹脂
−芳香族アジド化合物系レジスト等のネガ型レジスト、
ノボラック樹脂−ジアゾナフトキノン系レジスト等のポ
ジ型レジストを挙げることができる。
【００３０】また、ＤＥＥＰ−ＵＶレジストとしては、
ポジ型レジストとして、例えばポリメチルメタクリレー
ト、ポリスチレンスルホン、ポリヘキサフルオロブチル
メタクリレート、ポリメチルイソプロペニルケトンおよ
び臭素化ポリ１−トリメチルシリルプロピン等の放射線
分解型ポリマーレジスト、コール酸ｏ−ニトロベンジル
エステル類等の溶解抑制剤系ポジ型レジスト等；ネガ型
レジストとして、ポリビニルフェノール−３，３’−ジ
アジドジフェニルスルホンおよびポリメタクリル酸グリ
シジル等を挙げることができる。
ポジ型レジストとして、例えばポリメチルメタクリレー
ト、ポリスチレンスルホン、ポリヘキサフルオロブチル
メタクリレート、ポリメチルイソプロペニルケトンおよ
び臭素化ポリ１−トリメチルシリルプロピン等の放射線
分解型ポリマーレジスト、コール酸ｏ−ニトロベンジル
エステル類等の溶解抑制剤系ポジ型レジスト等；ネガ型
レジストとして、ポリビニルフェノール−３，３’−ジ
アジドジフェニルスルホンおよびポリメタクリル酸グリ
シジル等を挙げることができる。
【００３１】紫外線硬化型樹脂としては、ベンゾフェノ
ンおよびその置換誘導体、ベンゾインおよびその置換誘
導体、アセトフェノンおよびその置換誘導体、ベンジル
等のオキシム系化合物等の中から選ばれる１種または２
種以上の光重合開始剤を２〜１０重量％程度含有した、
ポリエステルアクリレート、エポキシアクリレートおよ
びウレタンアクリレート等を挙げることができる。
ンおよびその置換誘導体、ベンゾインおよびその置換誘
導体、アセトフェノンおよびその置換誘導体、ベンジル
等のオキシム系化合物等の中から選ばれる１種または２
種以上の光重合開始剤を２〜１０重量％程度含有した、
ポリエステルアクリレート、エポキシアクリレートおよ
びウレタンアクリレート等を挙げることができる。
【００３２】また、ブラックマトリックスの撥水性を高
めるために、ブラックマトリックス中に撥水剤を添加し
ておくこともできる。
めるために、ブラックマトリックス中に撥水剤を添加し
ておくこともできる。
【００３３】このような黒色の感光性組成物を用いる場
合は、例えば図１（ａ）〜（ｇ）に示すような一連の工
程によってカラーフィルターを製造することができる。
尚、図１（ａ）〜（ｇ）は、以下の工程（ａ）〜（ｇ）
に対応する。
合は、例えば図１（ａ）〜（ｇ）に示すような一連の工
程によってカラーフィルターを製造することができる。
尚、図１（ａ）〜（ｇ）は、以下の工程（ａ）〜（ｇ）
に対応する。
【００３４】工程（ａ）：透明基板１上に、黒色の感光
性樹脂組成物２を塗布する。塗布の方法は、スピンコー
ター、ダイコーター、ディップコートなどさまざまな方
法を使用することができる。また、塗布膜の厚さは、必
要な遮光性を得る厚さであり、例えば１μｍ程度であ
る。尚、透明基板は、例えばガラスが多く用いられる
が、プラスチックフィルムやプラスチックシートでも構
わない。また、必要に応じて、透明基板とブラックマト
リックスおよび着色インクとの密着性を向上させるため
に、透明基板上に予め密着性を向上させる薄膜を形成し
ておくこともできる。
性樹脂組成物２を塗布する。塗布の方法は、スピンコー
ター、ダイコーター、ディップコートなどさまざまな方
法を使用することができる。また、塗布膜の厚さは、必
要な遮光性を得る厚さであり、例えば１μｍ程度であ
る。尚、透明基板は、例えばガラスが多く用いられる
が、プラスチックフィルムやプラスチックシートでも構
わない。また、必要に応じて、透明基板とブラックマト
リックスおよび着色インクとの密着性を向上させるため
に、透明基板上に予め密着性を向上させる薄膜を形成し
ておくこともできる。
【００３５】工程（ｂ）：塗布された層２を例えばホッ
トプレート等を用い仮硬化し、感光性樹脂組成物の感度
に合致した波長を有する露光装置と、所定のパターンを
有するマスク３を使い、露光する。
トプレート等を用い仮硬化し、感光性樹脂組成物の感度
に合致した波長を有する露光装置と、所定のパターンを
有するマスク３を使い、露光する。
【００３６】工程（ｃ）：現像を行うことにより、ネガ
型であれば、露光時にマスクで遮光された部分が現像液
で溶出し、基板表面が露出し、露光された部分がブラッ
クマトリックスパターン２として残る。現像液を洗い流
すためにリンスを行う。
型であれば、露光時にマスクで遮光された部分が現像液
で溶出し、基板表面が露出し、露光された部分がブラッ
クマトリックスパターン２として残る。現像液を洗い流
すためにリンスを行う。
【００３７】工程（ｄ）：ブラックマトリックスを本硬
化させるため加熱乾燥処理（ポストベーク）を行い、ブ
ラックマトリックスを形成する。ここで本硬化とは、ブ
ラックマトリクス中の溶剤成分をほとんど蒸発させ、基
板表面に強固にブラックマトリクスを密着させる処理を
いう。
化させるため加熱乾燥処理（ポストベーク）を行い、ブ
ラックマトリックスを形成する。ここで本硬化とは、ブ
ラックマトリクス中の溶剤成分をほとんど蒸発させ、基
板表面に強固にブラックマトリクスを密着させる処理を
いう。
【００３８】工程（ｅ）：ブラックマトリクス間隙部４
のガラス面の表面改質処理を行う。この表面改質処理
は、インク塗布の直前に行うのが好ましい。
のガラス面の表面改質処理を行う。この表面改質処理
は、インク塗布の直前に行うのが好ましい。
【００３９】工程（ｆ）：ブラックマトリックス間隙部
に所定の色のインク５を付与する。インクの付与方法と
しては、オフセット印刷、グラビア印刷、スクリーン印
刷等の一般の印刷法等を用いることもできるが、特にイ
ンクジェット印刷機を用いるインクジェット印刷法によ
れば印刷時に版を使用しないためにインク滴径を操作す
れば高精度のパターニングが可能となる点で好ましい。
ここで使用されるインクは、上記のブラックマトリック
スでははじかれやすく、ブラックマトリックス間隙の画
素部には濡れやすいものを適宜選択して使用する。表面
エネルギー（表面張力）としては、通常３０〜７０ｄｙ
ｎｅ／ｃｍである。このようなインクは、染料系、顔料
系のいずれでも良く、溶媒は水を主成分として、親水性
の有機溶媒等を含んでいてもよい。
に所定の色のインク５を付与する。インクの付与方法と
しては、オフセット印刷、グラビア印刷、スクリーン印
刷等の一般の印刷法等を用いることもできるが、特にイ
ンクジェット印刷機を用いるインクジェット印刷法によ
れば印刷時に版を使用しないためにインク滴径を操作す
れば高精度のパターニングが可能となる点で好ましい。
ここで使用されるインクは、上記のブラックマトリック
スでははじかれやすく、ブラックマトリックス間隙の画
素部には濡れやすいものを適宜選択して使用する。表面
エネルギー（表面張力）としては、通常３０〜７０ｄｙ
ｎｅ／ｃｍである。このようなインクは、染料系、顔料
系のいずれでも良く、溶媒は水を主成分として、親水性
の有機溶媒等を含んでいてもよい。
【００４０】インクとして、熱硬化性のインクを用いる
ことが、加熱手段以外の特別な手段を設ける必要がない
ため好ましい。インク中に含ませる熱硬化成分として
は、ブラックマトリクスの本硬化と同程度の温度条件で
硬化する材料が好ましく、アクリ系樹脂、エポキシ系樹
脂、フェノール系樹脂、エンチオール系樹脂等の中から
適宜使用できる。また、要求されるプロセス温度に応じ
て上記の樹脂に芳香族アミン系化合物、酸無水物等を導
入したものも使用可能である。
ことが、加熱手段以外の特別な手段を設ける必要がない
ため好ましい。インク中に含ませる熱硬化成分として
は、ブラックマトリクスの本硬化と同程度の温度条件で
硬化する材料が好ましく、アクリ系樹脂、エポキシ系樹
脂、フェノール系樹脂、エンチオール系樹脂等の中から
適宜使用できる。また、要求されるプロセス温度に応じ
て上記の樹脂に芳香族アミン系化合物、酸無水物等を導
入したものも使用可能である。
【００４１】工程（ｇ）：加熱しインクの本硬化を行
う。
う。
【００４２】この中で、工程（ｄ）は、通常１５０〜２
５０℃程度の加熱を行うため、ブラックマトリックス材
料から撥水剤成分またはその他の有機成分が蒸発し、画
素部のガラス表面に付着する。このためブラックマトリ
ックス間隙は、インクに濡れにくく、インクが十分に広
がらない状態になっているが、工程（ｅ）の表面改質処
理を行い、ガラス表面に付着している撥水成分を除去す
ると濡れやすい表面になる。
５０℃程度の加熱を行うため、ブラックマトリックス材
料から撥水剤成分またはその他の有機成分が蒸発し、画
素部のガラス表面に付着する。このためブラックマトリ
ックス間隙は、インクに濡れにくく、インクが十分に広
がらない状態になっているが、工程（ｅ）の表面改質処
理を行い、ガラス表面に付着している撥水成分を除去す
ると濡れやすい表面になる。
【００４３】一方、ブラックマトリックスを形成する材
料として、黒色の顔料または染料と非感光性の樹脂を含
む非感光性樹脂組成物を用いることもできる。この黒色
の非感光性樹脂組成物は、基板に塗布する際には適当な
溶媒に分散されている。
料として、黒色の顔料または染料と非感光性の樹脂を含
む非感光性樹脂組成物を用いることもできる。この黒色
の非感光性樹脂組成物は、基板に塗布する際には適当な
溶媒に分散されている。
【００４４】用いられる非感光性樹脂としては、例えば
ポリイミド、アクリル酸モノマー、ウレタンアクリレー
ト等を挙げることができる。
ポリイミド、アクリル酸モノマー、ウレタンアクリレー
ト等を挙げることができる。
【００４５】この場合のカラーフィルターの製造工程
は、上記の感光性樹脂組成物を用いる場合と同様に、基
板上に黒色の非感光性樹脂組成物の１μｍ程度の塗膜を
形成した後、フォトレジストをマスクとして用いて、ブ
ラックマトリックス材料をエッチングして、パターンを
形成することができる。また、フォトレジストを用いて
リフトオフによってパターン形成しても良い。その後、
上記（ｄ）以後の工程によりカラーフィルターを製造す
ることができる。
は、上記の感光性樹脂組成物を用いる場合と同様に、基
板上に黒色の非感光性樹脂組成物の１μｍ程度の塗膜を
形成した後、フォトレジストをマスクとして用いて、ブ
ラックマトリックス材料をエッチングして、パターンを
形成することができる。また、フォトレジストを用いて
リフトオフによってパターン形成しても良い。その後、
上記（ｄ）以後の工程によりカラーフィルターを製造す
ることができる。
【００４６】本発明に係る表面改質処理とは、ブラック
マトリックス間隙の表面エネルギー（通常ジスマンプロ
ット法により求められる）を増加させるようなすべての
方法をいうが、さらに詳しくは、ブラックマトリックス
間隙の表面エネルギーを増加させた結果、ブラックマト
リックスとブラックマトリックスの間隙部の水に対する
接触角の差が１５°以上、好ましくは４０°以上となる
ような方法をいう。
マトリックス間隙の表面エネルギー（通常ジスマンプロ
ット法により求められる）を増加させるようなすべての
方法をいうが、さらに詳しくは、ブラックマトリックス
間隙の表面エネルギーを増加させた結果、ブラックマト
リックスとブラックマトリックスの間隙部の水に対する
接触角の差が１５°以上、好ましくは４０°以上となる
ような方法をいう。
【００４７】このような方法としては、洗浄処理、ＵＶ
オゾン処理、コロナ放電処理、及び基板表面のエッチン
グ処理を挙げることができる。
オゾン処理、コロナ放電処理、及び基板表面のエッチン
グ処理を挙げることができる。
【００４８】洗浄処理としては、アルカリ洗浄処理が好
ましく、例えばライオン社製サンウォッシュＴＬ−３
０、ネオス社製ＣＭ−１０Ｌ、第一工業製薬社製ＤＫビ
ークリヤＣＷ−５５２４等の市販の洗浄剤およびエチレ
ンジアミン等のアルカリ性の界面活性剤等を用いる洗浄
を挙げることができる。
ましく、例えばライオン社製サンウォッシュＴＬ−３
０、ネオス社製ＣＭ−１０Ｌ、第一工業製薬社製ＤＫビ
ークリヤＣＷ−５５２４等の市販の洗浄剤およびエチレ
ンジアミン等のアルカリ性の界面活性剤等を用いる洗浄
を挙げることができる。
【００４９】ＵＶオゾン処理とは、ＵＶによってオゾン
を発生する装置を用いる処理であって、ＵＶおよび／ま
たはオゾンの効果により、基板表面の撥水剤成分や有機
物成分を除去するものである。また、この処理によって
ブラックマトリックス表面の撥水性もある程度減少する
ため、ブラックマトリックス表面の撥水性を元に戻すた
めに、ＵＶオゾン処理後さらに熱処理を行ってもよい。
また、その後さらにアルカリ洗浄を行い、この熱処理で
再び付着した撥水剤成分や有機物成分を除去してもよ
い。この加熱処理およびその後のアルカリ洗浄処理は、
いずれにしても、ブラックマトリックスとブラックマト
リックス間隙の表面エネルギーの差ができるだけ大きく
し、インクの表面エネルギーに対し最適の表面状態にな
るように必要に応じて行うものである。
を発生する装置を用いる処理であって、ＵＶおよび／ま
たはオゾンの効果により、基板表面の撥水剤成分や有機
物成分を除去するものである。また、この処理によって
ブラックマトリックス表面の撥水性もある程度減少する
ため、ブラックマトリックス表面の撥水性を元に戻すた
めに、ＵＶオゾン処理後さらに熱処理を行ってもよい。
また、その後さらにアルカリ洗浄を行い、この熱処理で
再び付着した撥水剤成分や有機物成分を除去してもよ
い。この加熱処理およびその後のアルカリ洗浄処理は、
いずれにしても、ブラックマトリックスとブラックマト
リックス間隙の表面エネルギーの差ができるだけ大きく
し、インクの表面エネルギーに対し最適の表面状態にな
るように必要に応じて行うものである。
【００５０】コロナ放電処理とは、コロナ発生装置を用
いて基板表面の撥水剤成分や有機物成分を除去するもの
である。この場合も同様に、引き続き熱処理や、さらに
その後にアルカリ洗浄処理を行ってもよい。
いて基板表面の撥水剤成分や有機物成分を除去するもの
である。この場合も同様に、引き続き熱処理や、さらに
その後にアルカリ洗浄処理を行ってもよい。
【００５１】エッチング処理とは、ガラス表面に付着し
ている撥水成分を除去し、インクに濡れやすい表面にす
るものである。
ている撥水成分を除去し、インクに濡れやすい表面にす
るものである。
【００５２】エッチング量は、透明基板表面に付着して
いる撥水成分が除去され、インクに濡れやすい表面にす
ることができれば特に制限されないが、好ましくは０．
０５〜０．１５μｍである。０．０５μｍ未満ではエッ
チング量が不十分であることが多く、着色の際、画素部
表面の濡れが不十分で着色ムラが発生しやすい。一方、
０．１５μｍを超える場合は、均一な濡れは達成できる
がそれだけ時間が費やされるため、大量生産においては
コスト高を招く。
いる撥水成分が除去され、インクに濡れやすい表面にす
ることができれば特に制限されないが、好ましくは０．
０５〜０．１５μｍである。０．０５μｍ未満ではエッ
チング量が不十分であることが多く、着色の際、画素部
表面の濡れが不十分で着色ムラが発生しやすい。一方、
０．１５μｍを超える場合は、均一な濡れは達成できる
がそれだけ時間が費やされるため、大量生産においては
コスト高を招く。
【００５３】透明基板のエッチング方法としては、コス
ト的には、酸またはアルカリによるウエット法が好まし
く、再現性などの点からは、反応性イオンエッチングや
逆スパッター等のドライエッチングが好ましい。
ト的には、酸またはアルカリによるウエット法が好まし
く、再現性などの点からは、反応性イオンエッチングや
逆スパッター等のドライエッチングが好ましい。
【００５４】図２に、本発明によるカラーフィルターを
組み込んだＴＦＴカラー液晶表示装置の断面を示す。
尚、その形態は本例に限定されるものではない。
組み込んだＴＦＴカラー液晶表示装置の断面を示す。
尚、その形態は本例に限定されるものではない。
【００５５】カラー液晶表示装置は、一般的にカラーフ
ィルター基板１と対向基板１４を合わせ込み、液晶組成
物１２を封入することにより形成される。液晶表示装置
の一方の基板１４の内側に、ＴＦＴ（不図示）と透明な
画素電極１３がマトリクス状に形成される。また、もう
一方の基板１の内側には、画素電極に対向する位置にＲ
ＧＢの色材が配列するようにカラーフィルター９が設置
され、その上に透明な対向電極（共通電極）１０が一面
に形成される。ブラックマトリクスは、通常カラーフィ
ルター基板側に形成される。さらに、両基板の面内には
配向膜１１が形成されており、これをラビング処理する
ことにより液晶分子を一定方向に配列させることができ
る。また、それぞれのガラス基板の外側には偏光板１５
が接着されており、液晶組成物１２は、これらのガラス
基板の間隙（２〜５μｍ程度）に充填される。また、バ
ックライトとしては蛍光灯（不図示）と散乱板（不図
示）の組み合せが一般的に用いられており、液晶組成物
をバックライト光の透過率を変化させる光シャッターと
して機能させることにより表示を行う。
ィルター基板１と対向基板１４を合わせ込み、液晶組成
物１２を封入することにより形成される。液晶表示装置
の一方の基板１４の内側に、ＴＦＴ（不図示）と透明な
画素電極１３がマトリクス状に形成される。また、もう
一方の基板１の内側には、画素電極に対向する位置にＲ
ＧＢの色材が配列するようにカラーフィルター９が設置
され、その上に透明な対向電極（共通電極）１０が一面
に形成される。ブラックマトリクスは、通常カラーフィ
ルター基板側に形成される。さらに、両基板の面内には
配向膜１１が形成されており、これをラビング処理する
ことにより液晶分子を一定方向に配列させることができ
る。また、それぞれのガラス基板の外側には偏光板１５
が接着されており、液晶組成物１２は、これらのガラス
基板の間隙（２〜５μｍ程度）に充填される。また、バ
ックライトとしては蛍光灯（不図示）と散乱板（不図
示）の組み合せが一般的に用いられており、液晶組成物
をバックライト光の透過率を変化させる光シャッターと
して機能させることにより表示を行う。
【００５６】
【実施例】以下に実施例を示し、本発明をさらに詳細に
説明する。
説明する。
【００５７】［実施例１］ガラス基板を、２％水酸化ナ
トリウム水溶液を用いてアルカリ超音波洗浄し、次いで
ＵＶオゾン処理をした後、ガラス基板上に、カーボンブ
ラックを含有したレジスト材（新日鉄化学社製ブラック
マトリックス用ネガ型レジストインキＶ−２５９ ＢＫ
７３９Ｐ）を、スピンコーターで膜厚ｌμｍになるよう
塗布した。この基板をホットプレートで８０℃で１８０
秒加熱し、レジストを仮硬化させた。
トリウム水溶液を用いてアルカリ超音波洗浄し、次いで
ＵＶオゾン処理をした後、ガラス基板上に、カーボンブ
ラックを含有したレジスト材（新日鉄化学社製ブラック
マトリックス用ネガ型レジストインキＶ−２５９ ＢＫ
７３９Ｐ）を、スピンコーターで膜厚ｌμｍになるよう
塗布した。この基板をホットプレートで８０℃で１８０
秒加熱し、レジストを仮硬化させた。
【００５８】ＤＥＥＰ−ＵＶ露光装置を使用し、所定の
パターンマスクを用いてプロキミティ露光し、続いて無
機アルカリ水溶液の現像液でスピン現像機を用いて現像
し、さらに純水でリンス処理し、現像液を完全に除去
し、クリーンオーブン中で、２００℃で３０分加熱し本
硬化処理を行って、所定パターン形状のブラックマトリ
ックスを得た。
パターンマスクを用いてプロキミティ露光し、続いて無
機アルカリ水溶液の現像液でスピン現像機を用いて現像
し、さらに純水でリンス処理し、現像液を完全に除去
し、クリーンオーブン中で、２００℃で３０分加熱し本
硬化処理を行って、所定パターン形状のブラックマトリ
ックスを得た。
【００５９】この状態で、ブラックマトリックス表面の
水に対する接触角を測定したところ、７５°と濡れにく
い状態となっていた。また、ブラックマトリックスの間
隙のガラス表面の水に対する接触角は、６８°であり、
撥水性が大きく、ブラックマトリックス表面との撥水性
の差も小さかった。
水に対する接触角を測定したところ、７５°と濡れにく
い状態となっていた。また、ブラックマトリックスの間
隙のガラス表面の水に対する接触角は、６８°であり、
撥水性が大きく、ブラックマトリックス表面との撥水性
の差も小さかった。
【００６０】この基板をアルカリ系界面活性剤（ヘンケ
ル白水社製 精密ガラス・レンズ洗浄用超音波併用型洗
浄剤 Ｓｉｌｉｒｏｎ ＨＳ）３％の洗浄液で超音波洗
浄機を用い、１０分間洗浄処理を行った。この状態で、
ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を測定し
たところ、７０°とあまり変化がなく、濡れにくい状態
であったが、一方ガラス表面の水に対する接触角は、３
０°であり、撥水性が著しく減少し、ブラックマトリッ
クス表面との表面エネルギーの差が大きくなっていた。
ル白水社製 精密ガラス・レンズ洗浄用超音波併用型洗
浄剤 Ｓｉｌｉｒｏｎ ＨＳ）３％の洗浄液で超音波洗
浄機を用い、１０分間洗浄処理を行った。この状態で、
ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を測定し
たところ、７０°とあまり変化がなく、濡れにくい状態
であったが、一方ガラス表面の水に対する接触角は、３
０°であり、撥水性が著しく減少し、ブラックマトリッ
クス表面との表面エネルギーの差が大きくなっていた。
【００６１】次に、インクジェット装置を用い、赤、
緑、青それぞれの染料系インクをブラックマトリックス
パターンの間隙に付与して着色した。このインクは、染
料（例えば、アントラキノン染料、アゾ染料、トリフェ
ニルメタン染料、ポリメチン染料等から適宜選ばれるも
のである。）を樹脂（アクリル−シリコーングラフトポ
リマーを主成分とする自己架橋熱硬化型樹脂）に分散さ
せ、溶剤（例えばイソプロピルアルコール、エチレング
リコール、Ｎ−メチル−２−ピロリドン等）で溶かした
ものに表面張力調整剤（アセチレノールＥＨ；商品名、
川崎ファインケミカル）を添加したものであり、表面エ
ネルギーは、３２ｄｙｎｅ／ｃｍである。
緑、青それぞれの染料系インクをブラックマトリックス
パターンの間隙に付与して着色した。このインクは、染
料（例えば、アントラキノン染料、アゾ染料、トリフェ
ニルメタン染料、ポリメチン染料等から適宜選ばれるも
のである。）を樹脂（アクリル−シリコーングラフトポ
リマーを主成分とする自己架橋熱硬化型樹脂）に分散さ
せ、溶剤（例えばイソプロピルアルコール、エチレング
リコール、Ｎ−メチル−２−ピロリドン等）で溶かした
ものに表面張力調整剤（アセチレノールＥＨ；商品名、
川崎ファインケミカル）を添加したものであり、表面エ
ネルギーは、３２ｄｙｎｅ／ｃｍである。
【００６２】インクは、ブラックマトリックスの間隙の
表面を均一に覆い、また、にじみ、はみ出し、隣接画素
との混色および白抜けなどの欠陥となる不良は見つから
なかった。その後加熱処理してインクを硬化させた後、
保護膜を塗布し透明導電膜を成膜しても、密着性に優
れ、何ら不具合は生じなかった。このようにして製造さ
れたカラーフィルターを用いて、図２に示す液晶表示装
置を組み立てたところ、欠陥のない、色特性にすぐれた
液晶表示装置が得られた。
表面を均一に覆い、また、にじみ、はみ出し、隣接画素
との混色および白抜けなどの欠陥となる不良は見つから
なかった。その後加熱処理してインクを硬化させた後、
保護膜を塗布し透明導電膜を成膜しても、密着性に優
れ、何ら不具合は生じなかった。このようにして製造さ
れたカラーフィルターを用いて、図２に示す液晶表示装
置を組み立てたところ、欠陥のない、色特性にすぐれた
液晶表示装置が得られた。
【００６３】［実施例２］ガラス基板を、２％水酸化ナ
トリウム水溶液を用いてアルカリ超音波洗浄し、次いで
ＵＶオゾン処理をした後、ガラス基板上に、カーボンブ
ラックを含有したレジスト材（富士ハント社製ブラック
マトリックス用ネガ型レジストインキカラーモザイクＣ
ＫーＳ１７１）を、スピンコーターで膜厚１μｍになる
よう塗布した。ホットプレートで１００℃で１８０秒加
熱し、仮硬化させた。
トリウム水溶液を用いてアルカリ超音波洗浄し、次いで
ＵＶオゾン処理をした後、ガラス基板上に、カーボンブ
ラックを含有したレジスト材（富士ハント社製ブラック
マトリックス用ネガ型レジストインキカラーモザイクＣ
ＫーＳ１７１）を、スピンコーターで膜厚１μｍになる
よう塗布した。ホットプレートで１００℃で１８０秒加
熱し、仮硬化させた。
【００６４】ｉ線露光装置を使用し、所定のパターンマ
スクを用いてプロキミティ露光し、無機アルカリ水溶液
の現像液に浸漬し現像を行った後、純水を高圧噴射し、
リンス処理を行いつつパターンを完全な形にした。次い
でクリーンオーブン中で、２００℃で３０分加熱し本硬
化処理を行い、所定パターン形状のブラックマトリック
スを得た。
スクを用いてプロキミティ露光し、無機アルカリ水溶液
の現像液に浸漬し現像を行った後、純水を高圧噴射し、
リンス処理を行いつつパターンを完全な形にした。次い
でクリーンオーブン中で、２００℃で３０分加熱し本硬
化処理を行い、所定パターン形状のブラックマトリック
スを得た。
【００６５】この状態で、ブラックマトリックス表面の
水に対する接触角を測定したところ、５５°であった。
また、ブラックマトリックスの間隙のガラス表面の水に
対する接触角は、５０°であり、ブラックマトリックス
表面との差はほとんどなく、場所によってはブラックマ
トリックス表面接触角の方が小さいところもあった。こ
の基板をアルカリ系界面活性剤（ヘンケル白水社製 精
密ガラス・レンズ洗浄用超音波併用型洗浄剤 Ｓｉｌｉ
ｒｏｎ ＨＳ）３％の洗浄液で超音波洗浄機を用い、１
０分間洗浄処理を行った。この状態で、ブラックマトリ
ックス表面の水に対する接触角を測定したところ、５２
°となっていた。また、一方ガラス表面の水に対する接
触角は、３６°と撥水性が小さくなっており、ブラック
マトリックス表面と表面エネルギーの差が大きくなって
いた。
水に対する接触角を測定したところ、５５°であった。
また、ブラックマトリックスの間隙のガラス表面の水に
対する接触角は、５０°であり、ブラックマトリックス
表面との差はほとんどなく、場所によってはブラックマ
トリックス表面接触角の方が小さいところもあった。こ
の基板をアルカリ系界面活性剤（ヘンケル白水社製 精
密ガラス・レンズ洗浄用超音波併用型洗浄剤 Ｓｉｌｉ
ｒｏｎ ＨＳ）３％の洗浄液で超音波洗浄機を用い、１
０分間洗浄処理を行った。この状態で、ブラックマトリ
ックス表面の水に対する接触角を測定したところ、５２
°となっていた。また、一方ガラス表面の水に対する接
触角は、３６°と撥水性が小さくなっており、ブラック
マトリックス表面と表面エネルギーの差が大きくなって
いた。
【００６６】次に、インクジェット装置を用い、赤、
緑、青それぞれの染料系インクを、ブラックマトリック
スパターンの間隙部に付与した。このインクは、染料
（例えば、アントラキノン染料、アゾ染料、トリフェニ
ルメタン染料、ポリメチン染料等から適宜選ばれるもの
である。）を樹脂（自己架橋性アクリル酸−アクリル酸
エステルエマルジョン）に分散させ、溶剤（イソプロピ
ルアルコール、エチレングリコール、Ｎ−メチル−２−
ピロリドン等）で溶かしたものに表面張力調整剤（アセ
チレノール）を添加したものであり、表面エネルギー
は、４８ｄｙｎｅ／ｃｍである。
緑、青それぞれの染料系インクを、ブラックマトリック
スパターンの間隙部に付与した。このインクは、染料
（例えば、アントラキノン染料、アゾ染料、トリフェニ
ルメタン染料、ポリメチン染料等から適宜選ばれるもの
である。）を樹脂（自己架橋性アクリル酸−アクリル酸
エステルエマルジョン）に分散させ、溶剤（イソプロピ
ルアルコール、エチレングリコール、Ｎ−メチル−２−
ピロリドン等）で溶かしたものに表面張力調整剤（アセ
チレノール）を添加したものであり、表面エネルギー
は、４８ｄｙｎｅ／ｃｍである。
【００６７】インクは、ブラックマトリックスの間隙の
表面を均一に覆い、また、にじみ、はみ出し、隣接画素
との混色および白抜けなどの欠陥となる不良は見つから
なかった。その後加熱処理してインクを硬化させた後、
保護膜を塗布し透明導電膜を成膜しても、密着性に優
れ、何ら不具合は生じなかった。このように製造された
カラーフィルターを用いて、図２に示す液晶表示装置を
組み立てたところ、色特性に優れた液晶表示装置が得ら
れた。
表面を均一に覆い、また、にじみ、はみ出し、隣接画素
との混色および白抜けなどの欠陥となる不良は見つから
なかった。その後加熱処理してインクを硬化させた後、
保護膜を塗布し透明導電膜を成膜しても、密着性に優
れ、何ら不具合は生じなかった。このように製造された
カラーフィルターを用いて、図２に示す液晶表示装置を
組み立てたところ、色特性に優れた液晶表示装置が得ら
れた。
【００６８】［実施例３］実施例１と同様の材料および
方法でガラス基板上にブラックマトリックスを形成し
た。
方法でガラス基板上にブラックマトリックスを形成し
た。
【００６９】ブラックマトリックス表面及び間隙のガラ
ス基板の水に対する接触角はそれぞれ７５°、６８°で
あった。
ス基板の水に対する接触角はそれぞれ７５°、６８°で
あった。
【００７０】この基板を、ＵＶオゾン洗浄装置（滝沢産
業社製、ドライクリーナーＳＴ−３１００）を用いて３
分間ＵＶオゾン処理を行った。この状態で、ブラックマ
トリックス表面の水に対する接触角を測定したところ、
４５°となっていた。一方、ガラス表面の水に対する接
触角は２０°となり、ブラックマトリックス表面と表面
エネルギーの差が大きくなっていた。
業社製、ドライクリーナーＳＴ−３１００）を用いて３
分間ＵＶオゾン処理を行った。この状態で、ブラックマ
トリックス表面の水に対する接触角を測定したところ、
４５°となっていた。一方、ガラス表面の水に対する接
触角は２０°となり、ブラックマトリックス表面と表面
エネルギーの差が大きくなっていた。
【００７１】次に、インクジェット装置を用い、赤、
緑、青それぞれの染料系インクを用いて、ブラックマト
リックスパターンの間隙部に付与して着色した。このイ
ンクは、染料（例えば、アントラキノン染料、アゾ染
料、トリフェニルメタン染料、ポリメチン染料等から適
宜選ばれるものである。）を樹脂（アクリル−シリコー
ングラフトポリマーを主成分とする自己架橋熱硬化型樹
脂）に分散させ、溶剤（例えばイソプロピルアルコー
ル、エチレングリコール、Ｎーメチル−２−ピロリドン
等）で溶かしたものであり、表面エネルギーは５８ｄｙ
ｎｅ／ｃｍである。
緑、青それぞれの染料系インクを用いて、ブラックマト
リックスパターンの間隙部に付与して着色した。このイ
ンクは、染料（例えば、アントラキノン染料、アゾ染
料、トリフェニルメタン染料、ポリメチン染料等から適
宜選ばれるものである。）を樹脂（アクリル−シリコー
ングラフトポリマーを主成分とする自己架橋熱硬化型樹
脂）に分散させ、溶剤（例えばイソプロピルアルコー
ル、エチレングリコール、Ｎーメチル−２−ピロリドン
等）で溶かしたものであり、表面エネルギーは５８ｄｙ
ｎｅ／ｃｍである。
【００７２】この場合も実施例１と同様に、インクは、
ブラックマトリックスの間隙の表面を均一に覆い、ま
た、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜け
等の欠陥となる不良は見つからなかった。その後、加熱
処理してインクを硬化させた後、保護膜を塗布し透明導
電膜を成膜しても、密着性に優れ、何ら不具合は生じな
かった。このように製造されたカラーフィルターを用い
て、図２に示す液晶表示装置を組み立てたところ、色特
性に優れた液晶表示装置が得られた。
ブラックマトリックスの間隙の表面を均一に覆い、ま
た、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜け
等の欠陥となる不良は見つからなかった。その後、加熱
処理してインクを硬化させた後、保護膜を塗布し透明導
電膜を成膜しても、密着性に優れ、何ら不具合は生じな
かった。このように製造されたカラーフィルターを用い
て、図２に示す液晶表示装置を組み立てたところ、色特
性に優れた液晶表示装置が得られた。
【００７３】［実施例４］実施例１と同様の材料および
方法でガラス基板上にブラックマトリックスを形成し
た。
方法でガラス基板上にブラックマトリックスを形成し
た。
【００７４】この基板を、ＵＶオゾン洗浄装置（滝沢産
業社製 ドライクリーナーＳＴ−３１００）を用いて５
分間ＵＶオゾン処理を行い、その後２２０℃１０分間の
熱処理を行った。この状態で、ブラックマトリックス表
面の水に対する接触角を測定したところ、５３°となっ
ていた。一方、ガラス表面の水に対する接触角は、1１
°となり、ブラックマトリックス表面と表面エネルギー
の差が大きくなっていた。
業社製 ドライクリーナーＳＴ−３１００）を用いて５
分間ＵＶオゾン処理を行い、その後２２０℃１０分間の
熱処理を行った。この状態で、ブラックマトリックス表
面の水に対する接触角を測定したところ、５３°となっ
ていた。一方、ガラス表面の水に対する接触角は、1１
°となり、ブラックマトリックス表面と表面エネルギー
の差が大きくなっていた。
【００７５】次に、インクジェット装置を用い、実施例
３で用いたインクを用いて、ブラックマトリックスパタ
ーンの間隙部に付与して着色した。
３で用いたインクを用いて、ブラックマトリックスパタ
ーンの間隙部に付与して着色した。
【００７６】この場合も実施例１と同様に、インクは、
ブラックマトリックスの間隙の表面を均一に覆い、ま
た、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜け
などの欠陥となる不良は見つからなかった。その後加熱
処理してインクを硬化させた後、保護膜を塗布し透明導
電膜を成膜しても、密着性に優れ、何ら不具合は生じな
かった。このように製造されたカラーフィルターを用い
て、図２に示す液晶表示装置を組み立てたところ、色特
性に優れた液晶表示装置が得られた。
ブラックマトリックスの間隙の表面を均一に覆い、ま
た、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜け
などの欠陥となる不良は見つからなかった。その後加熱
処理してインクを硬化させた後、保護膜を塗布し透明導
電膜を成膜しても、密着性に優れ、何ら不具合は生じな
かった。このように製造されたカラーフィルターを用い
て、図２に示す液晶表示装置を組み立てたところ、色特
性に優れた液晶表示装置が得られた。
【００７７】［実施例５］実施例２と同様の材料および
方法でガラス基板上にブラックマトリックスを形成し
た。
方法でガラス基板上にブラックマトリックスを形成し
た。
【００７８】基板を、ＵＶオゾン洗浄装置（滝沢産業社
製 ドライクリーナーＳＴ−３１００）を用いて５分間
ＵＶオゾン処理を行い、その後２２０℃１０分間の熱処
理を行い、さらにアルカリ系界面活性剤３％の洗浄液で
超音波洗浄１０分間行った。この状態で、ブラックマト
リックス表面の水に対する接触角を測定したところ、５
５°であった。また、ブラックマトリックス間隙のガラ
ス表面の水に対する接触角は、５°であり、ブラックマ
トリックス表面とのかなりの表面エネルギーの差を得る
ことができた。
製 ドライクリーナーＳＴ−３１００）を用いて５分間
ＵＶオゾン処理を行い、その後２２０℃１０分間の熱処
理を行い、さらにアルカリ系界面活性剤３％の洗浄液で
超音波洗浄１０分間行った。この状態で、ブラックマト
リックス表面の水に対する接触角を測定したところ、５
５°であった。また、ブラックマトリックス間隙のガラ
ス表面の水に対する接触角は、５°であり、ブラックマ
トリックス表面とのかなりの表面エネルギーの差を得る
ことができた。
【００７９】次に、インクジェット装置を用い、実施例
３で用いた表面エネルギー５８ｄｙｎｅ／ｃｍの赤、
緑、青それぞれの染料系インクを用いて、ブラックマト
リックスパターンの間隙部に吐出して着色した。
３で用いた表面エネルギー５８ｄｙｎｅ／ｃｍの赤、
緑、青それぞれの染料系インクを用いて、ブラックマト
リックスパターンの間隙部に吐出して着色した。
【００８０】この場合も実施例１と同様に、インクは、
ブラックマトリックスの間隙の表面を均一に覆い、ま
た、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜け
などの欠陥となる不良は見つからなかった。その後加熱
処理してインクを硬化させた後、保護膜を塗布し透明導
電膜を成膜しても、密着性に優れ、何ら不具合は生じな
かった。このように製造されたカラーフィルターを用い
て、図２に示す液晶表示装置を組み立てたところ、色特
性に優れた液晶表示装置が得られた。
ブラックマトリックスの間隙の表面を均一に覆い、ま
た、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜け
などの欠陥となる不良は見つからなかった。その後加熱
処理してインクを硬化させた後、保護膜を塗布し透明導
電膜を成膜しても、密着性に優れ、何ら不具合は生じな
かった。このように製造されたカラーフィルターを用い
て、図２に示す液晶表示装置を組み立てたところ、色特
性に優れた液晶表示装置が得られた。
【００８１】［実施例６］ガラス基板を、ＵＶオゾン処
理し、次いで２％水酸化ナトリウム水溶液を用いてアル
カリ超音波洗浄した後、ガラス基板上に、カーボンブラ
ックを含有したレジスト材（東京応化工業製ブラックマ
トリックス用ネガ型レジストインキＣＦＰＲ ＢＫ−７
２９Ｓ）を、スピンコーターで膜厚１μｍになるように
塗布した。この基板をホットプレートで９０℃、１８０
秒間加熱処理し、仮硬化させた。この状態でブラックマ
トリックス表面及び間隙のガラス基板の水に対する接触
角はそれぞれ８０°、６８°であった。
理し、次いで２％水酸化ナトリウム水溶液を用いてアル
カリ超音波洗浄した後、ガラス基板上に、カーボンブラ
ックを含有したレジスト材（東京応化工業製ブラックマ
トリックス用ネガ型レジストインキＣＦＰＲ ＢＫ−７
２９Ｓ）を、スピンコーターで膜厚１μｍになるように
塗布した。この基板をホットプレートで９０℃、１８０
秒間加熱処理し、仮硬化させた。この状態でブラックマ
トリックス表面及び間隙のガラス基板の水に対する接触
角はそれぞれ８０°、６８°であった。
【００８２】この基板を、コロナ放電装置（春日電気製
高周波電源ＨＦＳＳ−１０３）を用いて、３分間コロ
ナ放電処理（電流４Ａ、電極基板間距離１０ｍｍ）を行
った。この状態で、ブラックマトリックス表面の水に対
する接触角を測定したところ、６０°となっていた。一
方、ガラス表面の水に対する接触角は、１５°であり、
ブラックマトリックス表面と十分な表面エネルギーの差
が生じていた。
高周波電源ＨＦＳＳ−１０３）を用いて、３分間コロ
ナ放電処理（電流４Ａ、電極基板間距離１０ｍｍ）を行
った。この状態で、ブラックマトリックス表面の水に対
する接触角を測定したところ、６０°となっていた。一
方、ガラス表面の水に対する接触角は、１５°であり、
ブラックマトリックス表面と十分な表面エネルギーの差
が生じていた。
【００８３】次に、インクジェット装置を用い、実施例
２で用いた表面エネルギー４８ｄｙｎｅ／ｃｍの赤、
緑、青それぞれの染料系インクを用いて、ブラックマト
リックスパターンの間隙部に付与して着色した。
２で用いた表面エネルギー４８ｄｙｎｅ／ｃｍの赤、
緑、青それぞれの染料系インクを用いて、ブラックマト
リックスパターンの間隙部に付与して着色した。
【００８４】この場合も実施例１と同様に、インクは、
ブラックマトリックスの間隙の表面を均一に覆い、ま
た、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜け
等の欠陥となる不良は見つからなかった。その後、熱処
理してインクを硬化させた後、保護膜を塗布し透明電極
を成膜しても、密着性に優れ、何ら不具合は生じなかっ
た。このカラーフィルターを用いて、図２に示す液晶表
示装置を組み立てたところ、色特性に優れた液晶表示装
置が得られた。
ブラックマトリックスの間隙の表面を均一に覆い、ま
た、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜け
等の欠陥となる不良は見つからなかった。その後、熱処
理してインクを硬化させた後、保護膜を塗布し透明電極
を成膜しても、密着性に優れ、何ら不具合は生じなかっ
た。このカラーフィルターを用いて、図２に示す液晶表
示装置を組み立てたところ、色特性に優れた液晶表示装
置が得られた。
【００８５】［実施例７］実施例１と同様の材料および
方法でガラス基板上にブラックマトリックスを形成し
た。
方法でガラス基板上にブラックマトリックスを形成し
た。
【００８６】この基板を、コロナ放電装置（春日電機製
高周波電源ＨＦＳＳ−１０３）を用いて、５分間コロ
ナ放電処理（電流４Ａ、電極基板間距離１０ｍｍ）を行
い、その後２２０℃１０分間の熱処理を行った。この状
態で、ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を
測定したところ、７２°となっていた。一方、ガラス表
面の水に対する接触角は、８°であり、ブラックマトリ
ックス表面と十分な表面エネルギーの差が生じていた。
高周波電源ＨＦＳＳ−１０３）を用いて、５分間コロ
ナ放電処理（電流４Ａ、電極基板間距離１０ｍｍ）を行
い、その後２２０℃１０分間の熱処理を行った。この状
態で、ブラックマトリックス表面の水に対する接触角を
測定したところ、７２°となっていた。一方、ガラス表
面の水に対する接触角は、８°であり、ブラックマトリ
ックス表面と十分な表面エネルギーの差が生じていた。
【００８７】次に、インクジェット装置を用い、実施例
２で用いた表面エネルギー４８ｄｙｎｅ／ｃｍの赤、
緑、青それぞれの染料系インクを用いて、ブラックマト
リックスパターンの間隙部に吐出して着色した。
２で用いた表面エネルギー４８ｄｙｎｅ／ｃｍの赤、
緑、青それぞれの染料系インクを用いて、ブラックマト
リックスパターンの間隙部に吐出して着色した。
【００８８】この場合も実施例１と同様に、インクは、
ブラックマトリックスの間隙の表面を均一に覆い、ま
た、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜け
などの欠陥となる不良は見つからなかった。その後加熱
処理してインクを硬化させた後、保護膜を塗布し透明導
電膜を成膜しても、密着性に優れ、何ら不具合は生じな
かった。このように製造されたカラーフィルターを用い
て、図２に示す液晶表示装置を組み立てたところ、色特
性に優れた液晶表示装置が得られた。
ブラックマトリックスの間隙の表面を均一に覆い、ま
た、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜け
などの欠陥となる不良は見つからなかった。その後加熱
処理してインクを硬化させた後、保護膜を塗布し透明導
電膜を成膜しても、密着性に優れ、何ら不具合は生じな
かった。このように製造されたカラーフィルターを用い
て、図２に示す液晶表示装置を組み立てたところ、色特
性に優れた液晶表示装置が得られた。
【００８９】［実施例８］実施例１と同様の材料および
方法でガラス基板上にブラックマトリックスを形成し
た。
方法でガラス基板上にブラックマトリックスを形成し
た。
【００９０】この基板を、実施例７と同様にコロナ放電
装置を用いて、５分間コロナ放電処理（電流４Ａ、電極
基板間距離１０ｍｍ）を行い、引き続き２２０℃１０分
間の熱処理を行った後、さらにアルカリ系界面活性剤
（ヘンケル白水社製 精密ガラス・レンズ洗浄用超音波
併用型洗浄剤 Ｓｉｌｉｒｏｎ ＨＳ）３％の洗浄液で
超音波洗浄を１０分間行った。
装置を用いて、５分間コロナ放電処理（電流４Ａ、電極
基板間距離１０ｍｍ）を行い、引き続き２２０℃１０分
間の熱処理を行った後、さらにアルカリ系界面活性剤
（ヘンケル白水社製 精密ガラス・レンズ洗浄用超音波
併用型洗浄剤 Ｓｉｌｉｒｏｎ ＨＳ）３％の洗浄液で
超音波洗浄を１０分間行った。
【００９１】この状態で、ブラックマトリックス表面の
水に対する接触角を測定したところ、４６°となってい
た。一方、ガラス表面の水に対する接触角は、６°であ
り、ブラックマトリックス表面と十分な表面エネルギー
の差が生じた。
水に対する接触角を測定したところ、４６°となってい
た。一方、ガラス表面の水に対する接触角は、６°であ
り、ブラックマトリックス表面と十分な表面エネルギー
の差が生じた。
【００９２】次に、インクジェット装置を用い、実施例
３で用いた表面エネルギー５８ｄｙｎｅ／ｃｍの赤、
緑、青それぞれの染料系インクを用いて、ブラックマト
リックスパターンの間隙部に付与して着色した。
３で用いた表面エネルギー５８ｄｙｎｅ／ｃｍの赤、
緑、青それぞれの染料系インクを用いて、ブラックマト
リックスパターンの間隙部に付与して着色した。
【００９３】この場合も実施例１と同様に、インクは、
ブラックマトリックスの間隙の表面を均一に覆い、ま
た、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜け
などの欠陥となる不良は見つからなかった。その後加熱
処理してインクを硬化させた後、保護膜を塗布し透明導
電膜を成膜しても、密着性に優れ、何ら不具合は生じな
かった。このように製造されたカラーフィルターを用い
て、図２に示す液晶表示装置を組み立てたところ、色特
性に優れた液晶表示装置が得られた。
ブラックマトリックスの間隙の表面を均一に覆い、ま
た、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜け
などの欠陥となる不良は見つからなかった。その後加熱
処理してインクを硬化させた後、保護膜を塗布し透明導
電膜を成膜しても、密着性に優れ、何ら不具合は生じな
かった。このように製造されたカラーフィルターを用い
て、図２に示す液晶表示装置を組み立てたところ、色特
性に優れた液晶表示装置が得られた。
【００９４】［実施例９］実施例１において、ブラック
マトリックス材料として、レジスト材（新日鉄化学社製
ブラックマトリックス用ネガ型レジストインキＶ−２５
７ ＢＫ７３９Ｐ）にフッ素化合物撥水剤（住友３Ｍ社
製、フロラードＦＣ４３０）を１重量％入れた材料を用
いた以外は、同様の操作により実施例１の表面改質処理
前までの操作を繰り返して、ガラス基板上にブラックマ
トリックスを形成した。
マトリックス材料として、レジスト材（新日鉄化学社製
ブラックマトリックス用ネガ型レジストインキＶ−２５
７ ＢＫ７３９Ｐ）にフッ素化合物撥水剤（住友３Ｍ社
製、フロラードＦＣ４３０）を１重量％入れた材料を用
いた以外は、同様の操作により実施例１の表面改質処理
前までの操作を繰り返して、ガラス基板上にブラックマ
トリックスを形成した。
【００９５】この状態で、ブラックマトリックス表面の
水に対する接触角を測定したところ、８８°と水に濡れ
にくい状態となっていた。ところが、ガラス面の接触角
も７８°とブラックマトリックス表面と同様に濡れにく
い状態になっていた。
水に対する接触角を測定したところ、８８°と水に濡れ
にくい状態となっていた。ところが、ガラス面の接触角
も７８°とブラックマトリックス表面と同様に濡れにく
い状態になっていた。
【００９６】その後実施例７と同様にコロナ放電処理に
よる表面改質処理を行い、引き続き２２０°１０分間の
熱処理を行ったところ、ブラックマトリックス表面の水
に対する接触角は７０°で、ガラス面の接触角は４１°
と両者の表面エネルギーには十分な差が生じた。
よる表面改質処理を行い、引き続き２２０°１０分間の
熱処理を行ったところ、ブラックマトリックス表面の水
に対する接触角は７０°で、ガラス面の接触角は４１°
と両者の表面エネルギーには十分な差が生じた。
【００９７】次に、インクジェット装置を用い、実施例
１で用いた表面エネルギー３２ｄｙｎｅ／ｃｍの赤、
緑、青それぞれの染料系インクを用いて、ブラックマト
リックスパターンの間隙部に吐出して着色した。
１で用いた表面エネルギー３２ｄｙｎｅ／ｃｍの赤、
緑、青それぞれの染料系インクを用いて、ブラックマト
リックスパターンの間隙部に吐出して着色した。
【００９８】この場合も実施例１と同様に、インクは、
ブラックマトリックスの間隙の表面を均一に覆い、ま
た、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜け
などの欠陥となる不良は見つからなかった。このように
製造されたカラーフィルターを用いて、図２に示す液晶
表示装置を組み立てたところ、色特性に優れた液晶表示
装置が得られた。
ブラックマトリックスの間隙の表面を均一に覆い、ま
た、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜け
などの欠陥となる不良は見つからなかった。このように
製造されたカラーフィルターを用いて、図２に示す液晶
表示装置を組み立てたところ、色特性に優れた液晶表示
装置が得られた。
【００９９】［比較例１］実施例１において、表面改質
処理前までの操作を繰り返して、ガラス基板上にブラッ
クマトリックスを形成した。この状態でのブラックマト
リックス表面およびブラックマトリックス間隙のガラス
表面の水に対する接触角は、実施例１で表面改質処理を
する前と同じで、それぞれ７５°、６８°であり、表面
エネルギーの差は小さかった。
処理前までの操作を繰り返して、ガラス基板上にブラッ
クマトリックスを形成した。この状態でのブラックマト
リックス表面およびブラックマトリックス間隙のガラス
表面の水に対する接触角は、実施例１で表面改質処理を
する前と同じで、それぞれ７５°、６８°であり、表面
エネルギーの差は小さかった。
【０１００】この基板の、ブラックマトリックスの間隙
をインクジェット装置を用いて、実施例２と同じインク
で着色しようとしたが、間隙部のガラス表面でインクが
はじかれ、画素の中に十分濡れ拡がらなかった。
をインクジェット装置を用いて、実施例２と同じインク
で着色しようとしたが、間隙部のガラス表面でインクが
はじかれ、画素の中に十分濡れ拡がらなかった。
【０１０１】［比較例２］実施例１において、ブラック
マトリックス材料として、レジスト材（新日鉄化学社製
ブラックマトリックス用ネガ型レジストインキＶ−２５
９ ＢＫ７３９Ｐ）にフッ素化合物撥水剤（住友３Ｍ社
製、フロラードＦＣ４３０）を１重量％入れた材料を用
いた以外は、実施例１の表面改質処理前までの操作を繰
り返して、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成
した。
マトリックス材料として、レジスト材（新日鉄化学社製
ブラックマトリックス用ネガ型レジストインキＶ−２５
９ ＢＫ７３９Ｐ）にフッ素化合物撥水剤（住友３Ｍ社
製、フロラードＦＣ４３０）を１重量％入れた材料を用
いた以外は、実施例１の表面改質処理前までの操作を繰
り返して、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成
した。
【０１０２】この状態で、ブラックマトリックス表面の
水に対する接触角を測定したところ、８８°と水に濡れ
にくい状態となっていた。ところが、ガラス面の接触角
も７８°とブラックマトリックス表面と同様に濡れにく
い状態になっていた。
水に対する接触角を測定したところ、８８°と水に濡れ
にくい状態となっていた。ところが、ガラス面の接触角
も７８°とブラックマトリックス表面と同様に濡れにく
い状態になっていた。
【０１０３】インクジェット装置を用い、実施例１で用
いた赤、緑、青それぞれの染料系インクを、ブラックマ
トリックスパターンの間隙部に付与しようとしたとこ
ろ、全面にインクが拡がってしまい、画素の中のみにイ
ンクを充填させることはできなかった。
いた赤、緑、青それぞれの染料系インクを、ブラックマ
トリックスパターンの間隙部に付与しようとしたとこ
ろ、全面にインクが拡がってしまい、画素の中のみにイ
ンクを充填させることはできなかった。
【０１０４】［比較例３］実施例１において、ブラック
マトリックス材料として、レジスト材（新日鉄化学社製
ブラックマトリックス用ネガ型レジストインキＶ−２５
９ ＢＫ７３９Ｐ）にフッ素化合物撥水剤（住友３Ｍ社
製、フロラードＦＣ４３０）を０．５重量％入れた材料
を用いた以外は、実施例１の表面改質処理前までの操作
を繰り返して、ガラス基板上にブラックマトリックスを
形成した。
マトリックス材料として、レジスト材（新日鉄化学社製
ブラックマトリックス用ネガ型レジストインキＶ−２５
９ ＢＫ７３９Ｐ）にフッ素化合物撥水剤（住友３Ｍ社
製、フロラードＦＣ４３０）を０．５重量％入れた材料
を用いた以外は、実施例１の表面改質処理前までの操作
を繰り返して、ガラス基板上にブラックマトリックスを
形成した。
【０１０５】この状態で、ブラックマトリックス表面の
水に対する接触角を測定したところ、８０°と水に濡れ
にくい状態となっていた。ガラス面の接触角は７４°で
あった。インクジェット装置を用い、実施例３で用いた
赤、緑、青それぞれの染料系インクを、ブラックマトリ
ックスパターンの間隙部に着色したところ、間隙部のガ
ラス表面でインクがはじく部分が観察された。
水に対する接触角を測定したところ、８０°と水に濡れ
にくい状態となっていた。ガラス面の接触角は７４°で
あった。インクジェット装置を用い、実施例３で用いた
赤、緑、青それぞれの染料系インクを、ブラックマトリ
ックスパターンの間隙部に着色したところ、間隙部のガ
ラス表面でインクがはじく部分が観察された。
【０１０６】［実施例１０］アルカリ洗浄後にＵＶＯ3
処理をしたガラス基板上に、黒色材料を含有したレジス
ト材（新日鉄化学社製、ブラックマトリックス用ネガ型
レジストインキＢＫ７３９Ｐ）を、スピンコーターで膜
厚１μｍになるように塗布した。
処理をしたガラス基板上に、黒色材料を含有したレジス
ト材（新日鉄化学社製、ブラックマトリックス用ネガ型
レジストインキＢＫ７３９Ｐ）を、スピンコーターで膜
厚１μｍになるように塗布した。
【０１０７】次に、ホットプレートにより８０℃で１８
０秒間加熱して仮硬化させた。次いで、所定のパターン
マスクを用い、ＤＥＥＰ−ＵＶ露光装置でプロキシ露光
した。続いて、無機アルカリ水溶液の現像液でスピン現
像機を用いて現像し、ブラックマトリックスパターンを
形成した。その後、純水でリンス処理して現像液を完全
に除去し、クリーンオーブン中で２００℃、３０分間加
熱して本硬化処理を行なった。
０秒間加熱して仮硬化させた。次いで、所定のパターン
マスクを用い、ＤＥＥＰ−ＵＶ露光装置でプロキシ露光
した。続いて、無機アルカリ水溶液の現像液でスピン現
像機を用いて現像し、ブラックマトリックスパターンを
形成した。その後、純水でリンス処理して現像液を完全
に除去し、クリーンオーブン中で２００℃、３０分間加
熱して本硬化処理を行なった。
【０１０８】上記工程後において、ブラックマトリック
ス表面の水に対する接触角を測定したところ、７５°と
濡れにくい状態となっていた。また、ガラス基板表面の
水に対する接触角は６８°であり、ブラックマトリック
ス表面との差は小さかった。
ス表面の水に対する接触角を測定したところ、７５°と
濡れにくい状態となっていた。また、ガラス基板表面の
水に対する接触角は６８°であり、ブラックマトリック
ス表面との差は小さかった。
【０１０９】次の工程として、ガラス基板表面を５０℃
に保持した２％ＮａＯＨ水溶液で１０分間エッチング処
理した。この処理により、ガラス基板が表面から約０．
１μｍエッチングされた。
に保持した２％ＮａＯＨ水溶液で１０分間エッチング処
理した。この処理により、ガラス基板が表面から約０．
１μｍエッチングされた。
【０１１０】このエッチング後、ブラックマトリックス
表面の水に対する接触角を測定したところ、７０°と濡
れにくい状態のままであった。これに対して、ガラス基
板表面の水に対する接触角は１０°であり、ブラックマ
トリックス表面との差が大きくなっていた。
表面の水に対する接触角を測定したところ、７０°と濡
れにくい状態のままであった。これに対して、ガラス基
板表面の水に対する接触角は１０°であり、ブラックマ
トリックス表面との差が大きくなっていた。
【０１１１】次に、インクジェット装置を用い、赤、
緑、青のそれぞれの染料系インクを、ブラックマトリッ
クスの間隙に付与し着色を行った。インクは、染料を樹
脂に分散させて溶剤で溶かしたものであり、表面エネル
ギーが３２ダイン／ｃｍのものを使用した。インクはブ
ラックマトリックスの間隙に十分に均一に拡がり、にじ
み、はみ出し、隣接画素との混色、白抜け等の欠陥とな
る不良は見つからなかった。
緑、青のそれぞれの染料系インクを、ブラックマトリッ
クスの間隙に付与し着色を行った。インクは、染料を樹
脂に分散させて溶剤で溶かしたものであり、表面エネル
ギーが３２ダイン／ｃｍのものを使用した。インクはブ
ラックマトリックスの間隙に十分に均一に拡がり、にじ
み、はみ出し、隣接画素との混色、白抜け等の欠陥とな
る不良は見つからなかった。
【０１１２】その後、加熱処理してインクを硬化させ、
保護膜を塗布し、透明導電膜を成膜た。膜の密着性は優
れ、何ら不具合は生じなかった。
保護膜を塗布し、透明導電膜を成膜た。膜の密着性は優
れ、何ら不具合は生じなかった。
【０１１３】以上のようにして製造されたカラーフィル
ターを用いて図２に示すカラー液晶表示装置を組み立て
たところ、欠陥のない、色特性の優れたカラー液晶表示
装置が得られた。
ターを用いて図２に示すカラー液晶表示装置を組み立て
たところ、欠陥のない、色特性の優れたカラー液晶表示
装置が得られた。
【０１１４】［実施例１１］アルカリ洗浄後にＵＶＯ3
処理をしたガラス基板上に、黒色材科を含有したレジス
ト材（新日鉄化学社製、ブラックマトリックス用ネガ型
レジストインキＢＫ７３９Ｐ）にフッ素化合物撥水剤
（住友３Ｍ製、フロラードＦＣ−４３０）を１重量％混
合した材料を、スピンコーターで膜厚１μｍになるよう
塗布した。
処理をしたガラス基板上に、黒色材科を含有したレジス
ト材（新日鉄化学社製、ブラックマトリックス用ネガ型
レジストインキＢＫ７３９Ｐ）にフッ素化合物撥水剤
（住友３Ｍ製、フロラードＦＣ−４３０）を１重量％混
合した材料を、スピンコーターで膜厚１μｍになるよう
塗布した。
【０１１５】次に、ホットプレートにより８０℃で１８
０秒間加熱して仮硬化させた。次いで、所定のパターン
マスクを用い、ＤＥＥＰ−ＵＶ露光装置でプロキシ露光
した。続いて、無機アルカリ水溶液の現像液でスピン現
像機を用いて現像し、ブラックマトリックスパターンを
形成した。その後、純水でリンス処理して現像液を完全
に除去し、クリーンオーブン中で２００℃、３０分間加
熱して本硬化処理を行なった。
０秒間加熱して仮硬化させた。次いで、所定のパターン
マスクを用い、ＤＥＥＰ−ＵＶ露光装置でプロキシ露光
した。続いて、無機アルカリ水溶液の現像液でスピン現
像機を用いて現像し、ブラックマトリックスパターンを
形成した。その後、純水でリンス処理して現像液を完全
に除去し、クリーンオーブン中で２００℃、３０分間加
熱して本硬化処理を行なった。
【０１１６】上記工程後において、ブラックマトリック
ス表面の水に対する接触角を測定したところ、８０°と
濡れにくい状態となっていた。また、ガラス基板表面の
水に対する接触角は７１°であり、ブラックマトリック
ス表面との差は小さかった。
ス表面の水に対する接触角を測定したところ、８０°と
濡れにくい状態となっていた。また、ガラス基板表面の
水に対する接触角は７１°であり、ブラックマトリック
ス表面との差は小さかった。
【０１１７】次の工程として、ガラス基板表面を４０℃
に保持した１０％フッ化水素水溶液で３分間エッチング
処理した。この処理により、ガラス基板が表面から約
０．１５μｍエッチングされた。
に保持した１０％フッ化水素水溶液で３分間エッチング
処理した。この処理により、ガラス基板が表面から約
０．１５μｍエッチングされた。
【０１１８】このエッチング後、ブラックマトリックス
表面の水に対する接触角を測定したところ、７５°と濡
れにくい状態のままであった。また、ガラス表面の水に
対する接触角は１３°であり、ブラックマトリックス表
面との差が大きくなっていた。
表面の水に対する接触角を測定したところ、７５°と濡
れにくい状態のままであった。また、ガラス表面の水に
対する接触角は１３°であり、ブラックマトリックス表
面との差が大きくなっていた。
【０１１９】次に、インクジェット装置を用い、赤、
緑、青のそれぞれの染料系インクを、ブラックマトリッ
クスの間隙に付与し着色を行った。インクは、染料を樹
脂に分散させ、溶剤で溶かしたものであり、表面エネル
ギーが３２ダイン／ｃｍのものを使用した。インクはブ
ラックマトリックスの間隙に十分に均一に拡がり、にじ
み、はみ出し、隣接画素との混色、白抜け等の欠陥とな
る不良は見つからなかった。
緑、青のそれぞれの染料系インクを、ブラックマトリッ
クスの間隙に付与し着色を行った。インクは、染料を樹
脂に分散させ、溶剤で溶かしたものであり、表面エネル
ギーが３２ダイン／ｃｍのものを使用した。インクはブ
ラックマトリックスの間隙に十分に均一に拡がり、にじ
み、はみ出し、隣接画素との混色、白抜け等の欠陥とな
る不良は見つからなかった。
【０１２０】その後、加熱処理してインクを硬化させ、
保護膜を塗布し、透明導電膜を成膜した。膜の密着性は
優れ、何ら不具合は生じなかった。
保護膜を塗布し、透明導電膜を成膜した。膜の密着性は
優れ、何ら不具合は生じなかった。
【０１２１】以上のようにして製造されたカラーフィル
ターを用いて図２に示すカラー液晶表示装置を組み立て
たところ、欠陥のない、色特性の優れたカラー液晶表示
装置が得られた。
ターを用いて図２に示すカラー液晶表示装置を組み立て
たところ、欠陥のない、色特性の優れたカラー液晶表示
装置が得られた。
【０１２２】［実施例１２］アルカリ洗浄後にＵＶＯ3
処理をしたガラス基板上に、黒色材料を含有したレジス
ト材（富士ハント社製、ブラックマトリックス用ネガ型
レジストインキ カラーモザイクＣＫ−Ｓ １７１）
を、スピンコーターで膜厚１μｍになるように塗付し
た。
処理をしたガラス基板上に、黒色材料を含有したレジス
ト材（富士ハント社製、ブラックマトリックス用ネガ型
レジストインキ カラーモザイクＣＫ−Ｓ １７１）
を、スピンコーターで膜厚１μｍになるように塗付し
た。
【０１２３】次に、ホットプレートにより１００℃で１
８０秒間加熱して仮硬化させた。次いで、所定のパタ−
ンマスクを用い、ｉ線露光装置でプロキシ露光した。続
いて、無機アルカリ水溶液の現像液に浸漬して現像を行
い、ブラックマトリックスパターンを形成した。その
後、純水を高圧噴射してリンス処理を行いつつパターン
を完全な形にした。クリーンオーブン中で２００℃、３
０分間加熱して本硬化処理を行なった。
８０秒間加熱して仮硬化させた。次いで、所定のパタ−
ンマスクを用い、ｉ線露光装置でプロキシ露光した。続
いて、無機アルカリ水溶液の現像液に浸漬して現像を行
い、ブラックマトリックスパターンを形成した。その
後、純水を高圧噴射してリンス処理を行いつつパターン
を完全な形にした。クリーンオーブン中で２００℃、３
０分間加熱して本硬化処理を行なった。
【０１２４】上記工程後において、ブラックマトリック
ス表面の水に対する接触角を測定したところ５５°であ
った。また、ガラス基板表面の水に対する接触角は５０
°であり、ブラックマトリックス表面との差はほとんど
なく、場所によってはブラックマトリックス表面の接触
角の方が小さいところもあった。
ス表面の水に対する接触角を測定したところ５５°であ
った。また、ガラス基板表面の水に対する接触角は５０
°であり、ブラックマトリックス表面との差はほとんど
なく、場所によってはブラックマトリックス表面の接触
角の方が小さいところもあった。
【０１２５】次の工程として、反応性イオンエッチング
装置を使用して、ガラス基板表面部分のエッチング処理
を行った。エッチング条件としては、投入パワー：５０
０Ｗ、ＣＦ4：２０SCCM、処理時間：５分間とし、この
条件におけるエッチング深さは約０．１２μｍであっ
た。
装置を使用して、ガラス基板表面部分のエッチング処理
を行った。エッチング条件としては、投入パワー：５０
０Ｗ、ＣＦ4：２０SCCM、処理時間：５分間とし、この
条件におけるエッチング深さは約０．１２μｍであっ
た。
【０１２６】このエッチング後、ブラックマトリックス
表面の水に対する接触角を測定したところ５２°であっ
た。これに対して、ガラス基板表面の水に対する接触角
は８°であり、ブラックマトリックス表面との差が大き
くなっていた。
表面の水に対する接触角を測定したところ５２°であっ
た。これに対して、ガラス基板表面の水に対する接触角
は８°であり、ブラックマトリックス表面との差が大き
くなっていた。
【０１２７】次に、インクジェット装置を用い、赤、
緑、青のそれぞれの染料系インクを、ブラックマトリッ
クスの間隙に付与し着色を行った。インクは、染料を樹
脂に分散させ、溶剤で溶かしたものであり、表面エネル
ギーが５８ダイン／ｃｍのものを使用した。インクはブ
ラックマトリックスの間隙に十分に均一に拡がり、にじ
み、はみ出し、隣接画素との混色、白抜け等の欠陥とな
る不良は見つからなかった。
緑、青のそれぞれの染料系インクを、ブラックマトリッ
クスの間隙に付与し着色を行った。インクは、染料を樹
脂に分散させ、溶剤で溶かしたものであり、表面エネル
ギーが５８ダイン／ｃｍのものを使用した。インクはブ
ラックマトリックスの間隙に十分に均一に拡がり、にじ
み、はみ出し、隣接画素との混色、白抜け等の欠陥とな
る不良は見つからなかった。
【０１２８】その後、加熱処理してインクを硬化させ、
保護膜を塗付し、透明導電膜を成膜した。膜の密着性は
優れ、何ら不具合は生じなかった。
保護膜を塗付し、透明導電膜を成膜した。膜の密着性は
優れ、何ら不具合は生じなかった。
【０１２９】以上のようにして製造されたカラーフィル
ターを用いて図２に示すカラー液晶表示装置を組み立て
たところ、欠陥のない、色特性の優れたカラー液晶表示
装置が得られた。
ターを用いて図２に示すカラー液晶表示装置を組み立て
たところ、欠陥のない、色特性の優れたカラー液晶表示
装置が得られた。
【０１３０】［実施例１３］アルカリ洗浄後にＵＶＯ3
処理をしたガラス基板上に、黒色材料を含有したレジス
ト材（富士ハント社製、ブラックマトリックス用ネガ型
レジストインキ カラーモザイクＣＫ−Ｓ １７１）
を、スピンコーターで膜厚１μｍになるように塗布し
た。
処理をしたガラス基板上に、黒色材料を含有したレジス
ト材（富士ハント社製、ブラックマトリックス用ネガ型
レジストインキ カラーモザイクＣＫ−Ｓ １７１）
を、スピンコーターで膜厚１μｍになるように塗布し
た。
【０１３１】次に、ホットプレートにより１００℃で１
８０秒間加熱して仮硬化させた。次いで、所定のパタ−
ンマスクを用い、ｉ線露光装置でプロキシ露光した。続
いて、無機アルカリ水溶液の現像液に浸漬して現像を行
い、ブラックマトリックスパターンを形成した。その
後、純水を高圧噴射してリンス処理を行いつつパターン
を完全な形にした。クリーンオーブン中で２００℃、３
０分間加熱して本硬化処理を行った。
８０秒間加熱して仮硬化させた。次いで、所定のパタ−
ンマスクを用い、ｉ線露光装置でプロキシ露光した。続
いて、無機アルカリ水溶液の現像液に浸漬して現像を行
い、ブラックマトリックスパターンを形成した。その
後、純水を高圧噴射してリンス処理を行いつつパターン
を完全な形にした。クリーンオーブン中で２００℃、３
０分間加熱して本硬化処理を行った。
【０１３２】上記工程後において、ブラックマトリック
ス表面の水に対する接触角を測定したところ５５°であ
った。また、ガラス基板表面の水に対する接触角は５０
°であり、ブラックマトリックス表面との差はほとんど
なく、場所によってはブラックマトリックス表面の接触
角の方が小さいところもあった。
ス表面の水に対する接触角を測定したところ５５°であ
った。また、ガラス基板表面の水に対する接触角は５０
°であり、ブラックマトリックス表面との差はほとんど
なく、場所によってはブラックマトリックス表面の接触
角の方が小さいところもあった。
【０１３３】次の工程として、逆スパッターによりガラ
ス基板表面部分のエッチング処理を行った。逆スパッタ
ー条件としては、投入パワー：８００Ｗ、Ａｒ：３０SC
CM、処理時間：７．５分間とし、この条件におけるエッ
チング深さは約０．０９μｍであった。
ス基板表面部分のエッチング処理を行った。逆スパッタ
ー条件としては、投入パワー：８００Ｗ、Ａｒ：３０SC
CM、処理時間：７．５分間とし、この条件におけるエッ
チング深さは約０．０９μｍであった。
【０１３４】上記工程後、ブラックマトリックス表面の
水に対する接触角を測定したところ４９°であった。こ
れに対して、ガラス基板表面の水に対する接触角は１０
°であり、ブラックマトリックス表面との差が大きくな
っていた。
水に対する接触角を測定したところ４９°であった。こ
れに対して、ガラス基板表面の水に対する接触角は１０
°であり、ブラックマトリックス表面との差が大きくな
っていた。
【０１３５】次に、インクジェット装置を用い、赤、
緑、青のそれぞれの染料系インクを、ブラックマトリッ
クスの間隙に付与し着色を行った。インクは、実施例１
２と同じ表面エネルギー５８ダイン／ｃｍのものを使用
した。インクはブラックマトリックスの間隙に十分に均
一に拡がり、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色、白
抜けなどの欠陥となる不良は見つからなかった。
緑、青のそれぞれの染料系インクを、ブラックマトリッ
クスの間隙に付与し着色を行った。インクは、実施例１
２と同じ表面エネルギー５８ダイン／ｃｍのものを使用
した。インクはブラックマトリックスの間隙に十分に均
一に拡がり、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色、白
抜けなどの欠陥となる不良は見つからなかった。
【０１３６】その後、加熱処理してインクを硬化させ、
保護膜を塗布し、透明導電膜を成膜した。膜の密着性は
優れ、なんら不具合は発生しなかった。すなわち、この
場合も画素部のガラス基板表面をエッチングすることに
より、再現性良くインクで均一に着色することができ
る。
保護膜を塗布し、透明導電膜を成膜した。膜の密着性は
優れ、なんら不具合は発生しなかった。すなわち、この
場合も画素部のガラス基板表面をエッチングすることに
より、再現性良くインクで均一に着色することができ
る。
【０１３７】以上のようにして製造されたカラーフィル
ターを用いて図２に示すカラー液晶表示装置を組み立て
たところ、欠陥のない、色特性の優れたカラー液晶表示
装置が得られた。
ターを用いて図２に示すカラー液晶表示装置を組み立て
たところ、欠陥のない、色特性の優れたカラー液晶表示
装置が得られた。
【０１３８】
【発明の効果】本発明によれば、インクジェット装置等
によってブラックマトリックスの間隙に着色インクを付
与する際に、インクのはじき等がなく間隙部分を均一に
着色することで、欠陥やムラ、混色がなく、コントラス
トの高いカラーフィルターを容易に製造することができ
る。また、このカラーフィルターを用いることにより、
欠陥のない、色特性の優れた液晶表示装置が得られる。
によってブラックマトリックスの間隙に着色インクを付
与する際に、インクのはじき等がなく間隙部分を均一に
着色することで、欠陥やムラ、混色がなく、コントラス
トの高いカラーフィルターを容易に製造することができ
る。また、このカラーフィルターを用いることにより、
欠陥のない、色特性の優れた液晶表示装置が得られる。
【図１】本発明のカラーフィルターの製造工程を示す図
である。
である。
【図２】本発明の液晶表示装置の構成を示す断面図であ
る。
る。
１ 透明基板 ２ 感光性樹脂組成物（ブラックマトリックス） ３ マスク ４ 間隙部（着色部） ５ インク ６ 保護膜 ９ カラーフィルター １０ 共通電極 １１ 配向膜 １２ 液晶組成物 １３ 画素電極 １４ ガラス基板 １５ 偏光板 １６ バックライト光
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 坂本 淳一 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 吉村 文孝 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内
Claims (28)
- 【請求項１】 透明基板上に樹脂のブラックマトリック
スパターンを形成する工程と、該ブラックマトリックス
パターンの間隙の基板表面の表面エネルギーを増加させ
る表面改質処理を行う工程と、該ブラックマトリックス
パターンの間隙にインクを付与する工程を有することを
特徴とするカラーフィルターの製造方法。 - 【請求項２】 前記ブラックマトリックスパターンの形
成工程が、黒色の感光性樹脂組成物を露光してパターニ
ングする工程である請求項１記載のカラーフィルターの
製造方法。 - 【請求項３】 前記ブラックマトリックスパターンの形
成工程が、黒色の非感光性樹脂組成物をフォトレジスト
を用いてパターニングする工程である請求項１記載のカ
ラーフィルターの製造方法。 - 【請求項４】 前記表面改質処理が洗浄処理である請求
項１記載のカラーフィルターの製造方法。 - 【請求項５】 前記表面改質処理がＵＶオゾン処理を含
む工程からなる請求項１記載のカラーフィルターの製造
方法。 - 【請求項６】 前記ＵＶオゾン処理を含む工程が、
（ａ）ＵＶオゾン処理を行う工程、（ｂ）ＵＶオゾン処
理を行い、さらに加熱処理を行う工程、（ｃ）ＵＶオゾ
ン処理、加熱処理および洗浄処理を行う工程のいずれか
である請求項５記載のカラーフィルターの製造方法。 - 【請求項７】 前記表面改質処理がコロナ放電処理を含
む工程である請求項１記載のカラーフィルターの製造方
法。 - 【請求項８】 前記コロナ放電処理を含む工程が、
（ａ）コロナ放電処理を行う工程、（ｂ）コロナ放電処
理を行い、さらに加熱処理を行う工程、（ｃ）コロナ放
電処理、加熱処理および洗浄処理を行う工程のいずれか
である請求項７記載のカラーフィルターの製造方法。 - 【請求項９】 前記表面改質処理がエッチング処理であ
る請求項１記載のカラーフィルターの製造方法。 - 【請求項１０】 基板表面を０．０５〜０．１５μｍエ
ッチングする請求項９記載のカラーフィルターの製造方
法。 - 【請求項１１】 表面改質処理により、ブラックマトリ
ックスとその間隙の基板表面との水に対する接触角の差
を１５°以上にする請求項１記載のカラーフィルターの
製造方法。 - 【請求項１２】 表面改質処理により、ブラックマトリ
ックスとその間隙の基板表面との水に対する接触角の差
を４０°以上にする請求項１記載のカラーフィルターの
製造方法。 - 【請求項１３】 インクをインクジェットプリンティン
グ方式を用いて付与する請求項１記載のカラーフィルタ
ーの製造方法。 - 【請求項１４】 インクが熱硬化性を示す請求項１記載
のカラーフィルターの製造方法。 - 【請求項１５】 透明基板上に樹脂のブラックマトリッ
クスパターンを形成する工程と、該ブラックマトリック
スパターンの間隙の基板表面の表面エネルギーを増加さ
せる表面改質処理を行う工程と、該ブラックマトリック
スパターンの間隙にインクを付与する工程を経てカラー
フィルター基板を形成する工程、該カラーフィルター基
板に対向させて画素電極を有する対向基板を配置する工
程、カラーフィルター基板と対向基板の間隙に液晶組成
物を封入する工程を有することを特徴とする液晶表示装
置の製造方法。 - 【請求項１６】 前記ブラックマトリックスパターンの
形成工程が、黒色の感光性樹脂組成物を露光してパター
ニングする工程である請求項１５記載の液晶表示装置の
製造方法。 - 【請求項１７】 前記ブラックマトリックスパターンの
形成工程が、黒色の非感光性樹脂組成物をフォトレジス
トを用いてパターニングする工程である請求項１５記載
の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項１８】 前記表面改質処理が洗浄処理である請
求項１５記載の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項１９】 前記表面改質処理がＵＶオゾン処理を
含む工程からなる請求項１５記載の液晶表示装置の製造
方法。 - 【請求項２０】 前記ＵＶオゾン処理を含む工程が、
（ａ）ＵＶオゾン処理を行う工程、（ｂ）ＵＶオゾン処
理を行い、さらに加熱処理を行う工程、（ｃ）ＵＶオゾ
ン処理、加熱処理および洗浄処理を行う工程のいずれか
である請求項１９記載の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項２１】 前記表面改質処理がコロナ放電処理を
含む工程である請求項１５記載の液晶表示装置の製造方
法。 - 【請求項２２】 前記コロナ放電処理を含む工程が、
（ａ）コロナ放電処理を行う工程、（ｂ）コロナ放電処
理を行い、さらに加熱処理を行う工程、（ｃ）コロナ放
電処理、加熱処理および洗浄処理を行う工程のいずれか
である請求項２１記載の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項２３】 前記表面改質処理がエッチング処理で
ある請求項１５記載の液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項２４】 基板表面を０．０５〜０．１５μｍエ
ッチングする請求項２３記載の液晶表示装置の製造方
法。 - 【請求項２５】 表面改質処理により、ブラックマトリ
ックスとその間隙の基板表面との水に対する接触角の差
を１５°以上にする請求項１５記載の液晶表示装置の製
造方法。 - 【請求項２６】 表面改質処理により、ブラックマトリ
ックスとその間隙の基板表面との水に対する接触角の差
を４０°以上にする請求項１５記載の液晶表示装置の製
造方法。 - 【請求項２７】 インクをインクジェットプリンティン
グ方式を用いて付与する請求項１５記載の液晶表示装置
の製造方法。 - 【請求項２８】 インクが熱硬化性を示す請求項１５記
載の液晶表示装置の製造方法。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20632897A JP3996979B2 (ja) | 1996-08-08 | 1997-07-31 | カラーフィルターの製造方法、カラーフィルター及び液晶表示装置 |
| US08/906,160 US6042974A (en) | 1996-08-08 | 1997-08-05 | Production processes of color filter and liquid crystal display device |
| EP97113603A EP0823644B1 (en) | 1996-08-08 | 1997-08-06 | Production processes of color filter and liquid crystal display device |
| DE69735611T DE69735611T2 (de) | 1996-08-08 | 1997-08-06 | Herstellungsverfahren für Farbfilter und Flüssigkristallanzeigevorrichtung |
| CN97117328A CN1102745C (zh) | 1996-08-08 | 1997-08-08 | 滤色器和液晶显示器的制造方法 |
| TW086111402A TW405048B (en) | 1996-08-08 | 1997-08-08 | Production processes of color filter and liquid crystal display device |
| KR1019970037898A KR100297214B1 (ko) | 1996-08-08 | 1997-08-08 | 컬러필터및액정표시장치의제조공정 |
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20978996 | 1996-08-08 | ||
| JP8-209789 | 1996-09-13 | ||
| JP8-243195 | 1996-09-13 | ||
| JP24319596 | 1996-09-13 | ||
| JP20632897A JP3996979B2 (ja) | 1996-08-08 | 1997-07-31 | カラーフィルターの製造方法、カラーフィルター及び液晶表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10142418A true JPH10142418A (ja) | 1998-05-29 |
| JP3996979B2 JP3996979B2 (ja) | 2007-10-24 |
Family
ID=27328621
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20632897A Expired - Fee Related JP3996979B2 (ja) | 1996-08-08 | 1997-07-31 | カラーフィルターの製造方法、カラーフィルター及び液晶表示装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6042974A (ja) |
| EP (1) | EP0823644B1 (ja) |
| JP (1) | JP3996979B2 (ja) |
| KR (1) | KR100297214B1 (ja) |
| CN (1) | CN1102745C (ja) |
| DE (1) | DE69735611T2 (ja) |
| TW (1) | TW405048B (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2001343518A (ja) * | 2000-06-02 | 2001-12-14 | Canon Inc | 光学素子とその製造方法 |
| JP2002207114A (ja) * | 2001-01-10 | 2002-07-26 | Canon Inc | 光学素子とその製造方法、該光学素子を用いた液晶素子 |
| US6630274B1 (en) | 1998-12-21 | 2003-10-07 | Seiko Epson Corporation | Color filter and manufacturing method therefor |
| EP1643276A1 (en) * | 1998-12-21 | 2006-04-05 | Seiko Epson Corporation | Method of manufacturing color filters, method for manufacturing a display device and method for manufacturing an electronic device |
| US7098121B2 (en) | 2002-03-14 | 2006-08-29 | Seiko Epson Corporation | Method of forming a film of predetermined pattern on a surface as well as device manufactured by employing the same, and method of manufacturing device |
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