JP3150625B2 - 液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
液晶表示装置の製造方法Info
- Publication number
- JP3150625B2 JP3150625B2 JP25474196A JP25474196A JP3150625B2 JP 3150625 B2 JP3150625 B2 JP 3150625B2 JP 25474196 A JP25474196 A JP 25474196A JP 25474196 A JP25474196 A JP 25474196A JP 3150625 B2 JP3150625 B2 JP 3150625B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- array
- substrate
- chips
- manufacturing
- array substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置の一
部を構成するアレイチップ、例えば、ガラス基板上に薄
膜トランジスタ(TFT)がマトリクス状に形成されたT
FTアレイチップや、ガラス基板上に複数の行電極また
は列電極が形成された単純構成アレイチップを製造する
液晶表示装置の製造方法に関する。
部を構成するアレイチップ、例えば、ガラス基板上に薄
膜トランジスタ(TFT)がマトリクス状に形成されたT
FTアレイチップや、ガラス基板上に複数の行電極また
は列電極が形成された単純構成アレイチップを製造する
液晶表示装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】図7は、従来の製造方法によりアレイチ
ップが形成された大型アレイ基板の平面図である。図に
示すとおり、通常、アレイチップ2を製造する場合、数
十cm程度の大型のガラス基板(アレイ基板1)上に、アレ
イチップ2を1個ないし複数個形成する。このようなア
レイチップ2は、TFTアレイチップにおいては、数回
の成膜とフォトリソグラフィ工程を、単純構成アレイチ
ップにおいては、1回の成膜とフォトリソグラフィの工
程を経てアレイ基板1上に形成される。その後、アレイ
チップ2の電気検査等を行い、その良否を判定し、良品
のみを液晶表示装置用部品として使用する。
ップが形成された大型アレイ基板の平面図である。図に
示すとおり、通常、アレイチップ2を製造する場合、数
十cm程度の大型のガラス基板(アレイ基板1)上に、アレ
イチップ2を1個ないし複数個形成する。このようなア
レイチップ2は、TFTアレイチップにおいては、数回
の成膜とフォトリソグラフィ工程を、単純構成アレイチ
ップにおいては、1回の成膜とフォトリソグラフィの工
程を経てアレイ基板1上に形成される。その後、アレイ
チップ2の電気検査等を行い、その良否を判定し、良品
のみを液晶表示装置用部品として使用する。
【0003】次に、液晶表示装置の組立工程を説明す
る。まず、アレイチップ2と、カラーフィルタ等の形成
されたもう1枚のチップ(図示省略)それぞれの画面領域
に、ポリイミドからなる配向膜を2枚の基板が対向する
面に印刷し、加熱処理を施す。この後、ラビング布等を
用いて配向膜の表面を擦り配向処理を施した後、画面周
辺部に、液晶を取り囲むシール段差を形成する。そし
て、2枚のチップを一定の間隔に隔てるため、約5μm
の径のガラス等からなるビーズをチップ上に分散した
後、2枚のチップを張り合わせる。そして、2枚のチッ
プの隙間に液晶を注入し、液晶注入口を封止した後、2
枚のチップの外面に偏光板を貼付し、液晶表示装置を駆
動する周辺回路を実装した後、液晶表示装置が完成す
る。
る。まず、アレイチップ2と、カラーフィルタ等の形成
されたもう1枚のチップ(図示省略)それぞれの画面領域
に、ポリイミドからなる配向膜を2枚の基板が対向する
面に印刷し、加熱処理を施す。この後、ラビング布等を
用いて配向膜の表面を擦り配向処理を施した後、画面周
辺部に、液晶を取り囲むシール段差を形成する。そし
て、2枚のチップを一定の間隔に隔てるため、約5μm
の径のガラス等からなるビーズをチップ上に分散した
後、2枚のチップを張り合わせる。そして、2枚のチッ
プの隙間に液晶を注入し、液晶注入口を封止した後、2
枚のチップの外面に偏光板を貼付し、液晶表示装置を駆
動する周辺回路を実装した後、液晶表示装置が完成す
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】現在、液晶表示装置
は、ラップトップコンピュータ,液晶ビデオカメラ,カ
ーナビゲーション等のOA,AV機器の分野で色々な用
途に用いられ、用途に合わせて非常に多種の画像サイズ
の液晶表示装置が製造されている。しかしながら、アレ
イ基板のサイズは、それを製造する装置によって限定さ
れ、1つの製造ラインにおいて、外形サイズが互いに異
なる複数種類のアレイ基板を製造することはほとんど不
可能である。また、アレイ基板を製造する装置は非常に
高額で、占有面積も広いため、多種の基板サイズ用に、
複数の製造ラインを設けることも困難である。液晶表示
装置を構成するアレイチップを一定の大型アレイ基板に
配置する場合、その基板サイズの有効部分において、有
効部分の1/1,1/2,1/3,1/4等の1/n
(nは正の整数)の何れかのサイズとほぼ同一で、その面
内に全体が収まるサイズのアレイチップにおいては問題
ないが、そのサイズより僅かに大きいサイズのアレイチ
ップを製造する場合においては、アレイチップとして使
用しないアレイ基板の無効領域の面積が非常に大きくな
る。よって、そのようなサイズのアレイチップを製造す
る場合、アレイチップのコストが上昇するという問題が
あった。
は、ラップトップコンピュータ,液晶ビデオカメラ,カ
ーナビゲーション等のOA,AV機器の分野で色々な用
途に用いられ、用途に合わせて非常に多種の画像サイズ
の液晶表示装置が製造されている。しかしながら、アレ
イ基板のサイズは、それを製造する装置によって限定さ
れ、1つの製造ラインにおいて、外形サイズが互いに異
なる複数種類のアレイ基板を製造することはほとんど不
可能である。また、アレイ基板を製造する装置は非常に
高額で、占有面積も広いため、多種の基板サイズ用に、
複数の製造ラインを設けることも困難である。液晶表示
装置を構成するアレイチップを一定の大型アレイ基板に
配置する場合、その基板サイズの有効部分において、有
効部分の1/1,1/2,1/3,1/4等の1/n
(nは正の整数)の何れかのサイズとほぼ同一で、その面
内に全体が収まるサイズのアレイチップにおいては問題
ないが、そのサイズより僅かに大きいサイズのアレイチ
ップを製造する場合においては、アレイチップとして使
用しないアレイ基板の無効領域の面積が非常に大きくな
る。よって、そのようなサイズのアレイチップを製造す
る場合、アレイチップのコストが上昇するという問題が
あった。
【0005】本発明の目的は、上記の問題を解決するた
め、アレイチップが形成されたアレイ基板における無効
領域の面積を減少し、アレイチップのコスト低減を可能
にする液晶表示装置の製造方法を提供することにある。
め、アレイチップが形成されたアレイ基板における無効
領域の面積を減少し、アレイチップのコスト低減を可能
にする液晶表示装置の製造方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の液晶表示
装置の製造方法は、外形サイズが互いに異なる複数種類
のアレイチップを、それぞれ1個ないし複数個、同一の
アレイ基板上に形成するアレイチップ形成工程と、アレ
イ基板に配向膜を印刷する配向膜印刷工程とを備えた液
晶表示装置の製造方法であって、アレイチップ形成工程
においては、アレイ基板上に形成される全てのアレイチ
ップの画面領域または画面領域群を、アレイ基板上での
対称軸となる互いに直交したX軸あるいはY軸の何れか
に対してほぼ対称となるように配置してアレイチップを
形成し、配向膜印刷工程においては、アレイ基板と、こ
のアレイ基板に張り合わされるカラーフィルタ基板と
に、同一の印刷板を用いて配向膜を形成するようにした
ことにより、アレイ基板とカラーフィルタ基板との配向
膜印刷工程が同一の製造ラインで行えるようになって、
製造治具が省略できる上、製造ラインも縮小できるの
で、アレイチップのコストが低減される。
装置の製造方法は、外形サイズが互いに異なる複数種類
のアレイチップを、それぞれ1個ないし複数個、同一の
アレイ基板上に形成するアレイチップ形成工程と、アレ
イ基板に配向膜を印刷する配向膜印刷工程とを備えた液
晶表示装置の製造方法であって、アレイチップ形成工程
においては、アレイ基板上に形成される全てのアレイチ
ップの画面領域または画面領域群を、アレイ基板上での
対称軸となる互いに直交したX軸あるいはY軸の何れか
に対してほぼ対称となるように配置してアレイチップを
形成し、配向膜印刷工程においては、アレイ基板と、こ
のアレイ基板に張り合わされるカラーフィルタ基板と
に、同一の印刷板を用いて配向膜を形成するようにした
ことにより、アレイ基板とカラーフィルタ基板との配向
膜印刷工程が同一の製造ラインで行えるようになって、
製造治具が省略できる上、製造ラインも縮小できるの
で、アレイチップのコストが低減される。
【0007】
【0008】
【0009】また、請求項2記載の液晶表示装置の製造
方法は、1枚のアレイ基板から複数個のアレイチップを
製造する液晶表示装置の製造方法であって、外形サイズ
が互いに異なる複数種類のアレイチップをアレイ基板上
に、それぞれ1個ないし複数個、形成する工程と、複数
個のアレイチップを形成したアレイ基板上に、複数の検
査パッドあるいは複数の検査パッド群の何れかを一定の
ピッチで配設する工程と、この検査パッドあるいは検査
パッド群を用いてアレイ基板上の複数個のアレイチップ
を検査する工程とを備えたもので、異なるサイズのアレ
イチップを同一の検査プローブを用いて、同一の検査装
置で検査を行えるので、検査治具の低減および検査の効
率化が図れる。
方法は、1枚のアレイ基板から複数個のアレイチップを
製造する液晶表示装置の製造方法であって、外形サイズ
が互いに異なる複数種類のアレイチップをアレイ基板上
に、それぞれ1個ないし複数個、形成する工程と、複数
個のアレイチップを形成したアレイ基板上に、複数の検
査パッドあるいは複数の検査パッド群の何れかを一定の
ピッチで配設する工程と、この検査パッドあるいは検査
パッド群を用いてアレイ基板上の複数個のアレイチップ
を検査する工程とを備えたもので、異なるサイズのアレ
イチップを同一の検査プローブを用いて、同一の検査装
置で検査を行えるので、検査治具の低減および検査の効
率化が図れる。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。 (実施の形態1)図1は、本発明の製造方法によりアレ
イチップが形成されたアレイ基板の一例を示す平面図で
ある。アレイ基板1には、互いに画面サイズが異なる2
種類のアレイチップ2,3が形成されている。従来のア
レイチップ製造方法によれば、図7に基づいて説明した
ように、大サイズのアレイチップ2は1枚のアレイ基板
1から2チップが製造されるが、この場合、図7に示す
ように、アレイ基板1において無効領域7の占める面積
が非常に大きくなる。一方、本発明のアレイチップの製
造方法によれば、2個のアレイチップ2と共に12個のア
レイチップ3が同一のアレイ基板1に形成される。
を参照して説明する。 (実施の形態1)図1は、本発明の製造方法によりアレ
イチップが形成されたアレイ基板の一例を示す平面図で
ある。アレイ基板1には、互いに画面サイズが異なる2
種類のアレイチップ2,3が形成されている。従来のア
レイチップ製造方法によれば、図7に基づいて説明した
ように、大サイズのアレイチップ2は1枚のアレイ基板
1から2チップが製造されるが、この場合、図7に示す
ように、アレイ基板1において無効領域7の占める面積
が非常に大きくなる。一方、本発明のアレイチップの製
造方法によれば、2個のアレイチップ2と共に12個のア
レイチップ3が同一のアレイ基板1に形成される。
【0011】具体的には、370×470mmのサイズのアレイ
基板を用いて、アレイチップを製造する場合、対角10.4
インチの画面サイズのアレイチップは、その外形サイズ
が170×220mmで、アレイ基板の周辺10mmを除いた有効領
域の1/4内に収まるため、1枚のアレイ基板に4チッ
プが形成可能である。しかしながら、従来のアレイチッ
プの製造方法によれば、対角11.3インチの画面サイズの
アレイチップは、その外形サイズが185×240mmで、1枚
のアレイ基板には2チップのみが形成可能となる。この
ような場合にも、本発明のアレイチップの製造方法によ
れば、対角11.3インチの画面サイズのアレイチップを2
チップ、および外形サイズ55×70mmの対角3インチのア
レイチップを12チップ同一のアレイ基板に形成すること
が可能になる。
基板を用いて、アレイチップを製造する場合、対角10.4
インチの画面サイズのアレイチップは、その外形サイズ
が170×220mmで、アレイ基板の周辺10mmを除いた有効領
域の1/4内に収まるため、1枚のアレイ基板に4チッ
プが形成可能である。しかしながら、従来のアレイチッ
プの製造方法によれば、対角11.3インチの画面サイズの
アレイチップは、その外形サイズが185×240mmで、1枚
のアレイ基板には2チップのみが形成可能となる。この
ような場合にも、本発明のアレイチップの製造方法によ
れば、対角11.3インチの画面サイズのアレイチップを2
チップ、および外形サイズ55×70mmの対角3インチのア
レイチップを12チップ同一のアレイ基板に形成すること
が可能になる。
【0012】アレイ基板1に形成されたアレイチップ
2,3は、以後の製造工程では従来と全く同じ工程によ
り製造され、そして、アレイ基板1からアレイチップ2
とアレイチップ3とを割断した後、これらを用いて液晶
表示装置を組み立てる。
2,3は、以後の製造工程では従来と全く同じ工程によ
り製造され、そして、アレイ基板1からアレイチップ2
とアレイチップ3とを割断した後、これらを用いて液晶
表示装置を組み立てる。
【0013】以上説明した実施の形態1のアレイチップ
の製造方法によれば、アレイ基板1においてアレイチッ
プ2,3として使用されない無効領域の面積が減少し、
アレイ基板1が有効に活用されるので、アレイチップ
2,3の1枚あたりの製造コストを低減することができ
る。
の製造方法によれば、アレイ基板1においてアレイチッ
プ2,3として使用されない無効領域の面積が減少し、
アレイ基板1が有効に活用されるので、アレイチップ
2,3の1枚あたりの製造コストを低減することができ
る。
【0014】(実施の形態2)図2は、本発明の製造方
法によりアレイチップが形成されたアレイ基板の一例を
示す平面図である。アレイ基板1には、互いに画面サイ
ズが異なる2つのアレイチップ2と4つのアレイチップ
4が形成されている。これらのアレイチップ2,4の短
辺側には、それぞれ走査回路が設けられる。アレイチッ
プ2,アレイチップ4のそれぞれの画面は、矢印Aの方
向に走査され、矢印Aの始点側が画面の上側となる。一
方、矢印Bはそれぞれのアレイチップ2,4の液晶表示
装置における主視角方向を示している。主視角方向と
は、液晶表示装置において最もコントラストが高くな
り、良好な画質が得られる方向で、液晶表示装置の用途
によって、画面上での上方向、または下方向に設定され
る。本実施形態においては、アレイチップ2およびアレ
イチップ4は共に画面での下方向を主視角方向に設定し
た。
法によりアレイチップが形成されたアレイ基板の一例を
示す平面図である。アレイ基板1には、互いに画面サイ
ズが異なる2つのアレイチップ2と4つのアレイチップ
4が形成されている。これらのアレイチップ2,4の短
辺側には、それぞれ走査回路が設けられる。アレイチッ
プ2,アレイチップ4のそれぞれの画面は、矢印Aの方
向に走査され、矢印Aの始点側が画面の上側となる。一
方、矢印Bはそれぞれのアレイチップ2,4の液晶表示
装置における主視角方向を示している。主視角方向と
は、液晶表示装置において最もコントラストが高くな
り、良好な画質が得られる方向で、液晶表示装置の用途
によって、画面上での上方向、または下方向に設定され
る。本実施形態においては、アレイチップ2およびアレ
イチップ4は共に画面での下方向を主視角方向に設定し
た。
【0015】また、図3は本発明の製造方法によりアレ
イチップが形成されたアレイ基板の他の例を示す平面図
である。アレイ基板1には画面サイズが互いに異なる1
つのアレイチップ5と2つのアレイチップ6が形成され
ている。このアレイ基板1においては、アレイチップ5
は画面上での下方向を主視角方向に、アレイチップ6は
画面上での上方向を主視角方向に設定した。
イチップが形成されたアレイ基板の他の例を示す平面図
である。アレイ基板1には画面サイズが互いに異なる1
つのアレイチップ5と2つのアレイチップ6が形成され
ている。このアレイ基板1においては、アレイチップ5
は画面上での下方向を主視角方向に、アレイチップ6は
画面上での上方向を主視角方向に設定した。
【0016】ところで、この主視角方向は、アレイ基板
1ともう一方のカラーフィルタ基板との配向処理方向で
決定される。図4は、図2に示すアレイ基板とこれに張
り合わされるカラーフィルタ基板に対する配向処理の説
明図であり、アレイ基板1は、アレイチップ2,4の形
成後、割断しないでそのまま配向膜を印刷し、矢印Cの
示す方向に配向処理を施す。これにより、アレイチップ
2,アレイチップ4は、ともに画面上での下方向が主視
角方向となる。そして、それぞれのアレイチップ2,4
にシール段差を形成した後、ビーズを分散し、アレイ基
板1とカラーフィルタ基板10とを張り合わせる。そし
て、その後、各アレイチップ2,4の周囲を切断し、ア
レイチップ2,4ごとに割断する。
1ともう一方のカラーフィルタ基板との配向処理方向で
決定される。図4は、図2に示すアレイ基板とこれに張
り合わされるカラーフィルタ基板に対する配向処理の説
明図であり、アレイ基板1は、アレイチップ2,4の形
成後、割断しないでそのまま配向膜を印刷し、矢印Cの
示す方向に配向処理を施す。これにより、アレイチップ
2,アレイチップ4は、ともに画面上での下方向が主視
角方向となる。そして、それぞれのアレイチップ2,4
にシール段差を形成した後、ビーズを分散し、アレイ基
板1とカラーフィルタ基板10とを張り合わせる。そし
て、その後、各アレイチップ2,4の周囲を切断し、ア
レイチップ2,4ごとに割断する。
【0017】上記したように、アレイ基板1上において
アレイチップ2,4またはアレイチップ5,6の液晶表
示装置における主視角方向を、それぞれ同一方向、また
は180度異なる方向とすることにより、液晶表示装置の
組み立て工程において、配向膜印刷,配向処理,2枚の
ガラス基板の張り合わせまでの前半の工程を、アレイ基
板1を割断することなく、それぞれ一度に処理すること
が可能になり、液晶表示装置の組立工程が効率化され
る。
アレイチップ2,4またはアレイチップ5,6の液晶表
示装置における主視角方向を、それぞれ同一方向、また
は180度異なる方向とすることにより、液晶表示装置の
組み立て工程において、配向膜印刷,配向処理,2枚の
ガラス基板の張り合わせまでの前半の工程を、アレイ基
板1を割断することなく、それぞれ一度に処理すること
が可能になり、液晶表示装置の組立工程が効率化され
る。
【0018】さらに、図2に示すアレイ基板1では、ア
レイ基板1に形成された2つのアレイチップ2は、その
画面領域がアレイ基板1上での対称軸であるY軸に対し
て対称となるようにそれぞれ配置され、かつ4つのアレ
イチップ4も、その画面領域群がY軸に対して対称とな
るようにそれぞれ配置されている。また、図3に示すア
レイ基板1では、アレイ基板1に形成された1つのアレ
イチップ5は、その画面領域がアレイ基板1上での対称
軸であるX軸に対して対称となるように配置され、かつ
2つのアレイチップ6は、その画面領域群がX軸に対し
て対称となるように配置されている。
レイ基板1に形成された2つのアレイチップ2は、その
画面領域がアレイ基板1上での対称軸であるY軸に対し
て対称となるようにそれぞれ配置され、かつ4つのアレ
イチップ4も、その画面領域群がY軸に対して対称とな
るようにそれぞれ配置されている。また、図3に示すア
レイ基板1では、アレイ基板1に形成された1つのアレ
イチップ5は、その画面領域がアレイ基板1上での対称
軸であるX軸に対して対称となるように配置され、かつ
2つのアレイチップ6は、その画面領域群がX軸に対し
て対称となるように配置されている。
【0019】図5は、図4に示すアレイ基板とカラーフ
ィルタ基板との画面領域とに配向膜を印刷する印刷版の
平面図である。アレイ基板1に形成されたアレイチップ
2の画面領域およびアレイチップ4の画面領域群が共に
Y軸に対して対称となるようにそれぞれ配置され、この
アレイ基板1に張り合わされるカラーフィルタ基板10で
も、当然、各画面領域または画面領域群がY軸に対して
対称となるように配置されることにより、アレイ基板1
とカラーフィルタ基板10とのそれぞれの画面領域に、同
一の印刷版11により配向膜を印刷することが可能になる
ので、液晶表示装置の製造治具の省略化が可能となる。
また、アレイ基板1とカラーフィルタ基板10に配向膜を
印刷する工程を同一の製造ラインを用いることが可能に
なるので、製造ラインの縮小化が図れる。また、図3に
示すアレイ基板1の画面領域および、それに張り合わさ
れるカラーフィルタ基板の画面領域に配向膜を印刷する
場合にも、X軸に対して対称の同一の印刷版によりそれ
ぞれ配向膜を印刷することが可能になり、図4に示す基
板1,10の場合と同様の効果が得られる。
ィルタ基板との画面領域とに配向膜を印刷する印刷版の
平面図である。アレイ基板1に形成されたアレイチップ
2の画面領域およびアレイチップ4の画面領域群が共に
Y軸に対して対称となるようにそれぞれ配置され、この
アレイ基板1に張り合わされるカラーフィルタ基板10で
も、当然、各画面領域または画面領域群がY軸に対して
対称となるように配置されることにより、アレイ基板1
とカラーフィルタ基板10とのそれぞれの画面領域に、同
一の印刷版11により配向膜を印刷することが可能になる
ので、液晶表示装置の製造治具の省略化が可能となる。
また、アレイ基板1とカラーフィルタ基板10に配向膜を
印刷する工程を同一の製造ラインを用いることが可能に
なるので、製造ラインの縮小化が図れる。また、図3に
示すアレイ基板1の画面領域および、それに張り合わさ
れるカラーフィルタ基板の画面領域に配向膜を印刷する
場合にも、X軸に対して対称の同一の印刷版によりそれ
ぞれ配向膜を印刷することが可能になり、図4に示す基
板1,10の場合と同様の効果が得られる。
【0020】(実施の形態3)図6は、本発明の製造方
法によりアレイチップが形成されたアレイ基板およびア
レイ基板上に配置された検査パッドの平面図である。ア
レイ基板1には、互いに画面サイズが異なる2種類のア
レイチップ2とアレイチップ4とが形成されている。こ
のアレイ基板1上においては、検査パッド12,13が大サ
イズのアレイチップ2に対しては画面領域内に、小サイ
ズのアレイチップ4に対しては画面領域外にそれぞれ配
置されている。ここで、検査パッド12,13は、一定の数
ごとにブロック化された検査パット群14,15として構成
されており、検査パット群14はX軸の方向において、ま
た検査パット群15はY軸の方向においてそれぞれ一定の
ピッチで配置されている。また、アレイチップ2,4の
短辺側の検査パッド12は、アレイチップ2,4内の走査
配線16と接続され、アレイチップ2,4の長辺側の検査
パッド13は、アレイチップ2,4内の信号配線17と接続
されている。
法によりアレイチップが形成されたアレイ基板およびア
レイ基板上に配置された検査パッドの平面図である。ア
レイ基板1には、互いに画面サイズが異なる2種類のア
レイチップ2とアレイチップ4とが形成されている。こ
のアレイ基板1上においては、検査パッド12,13が大サ
イズのアレイチップ2に対しては画面領域内に、小サイ
ズのアレイチップ4に対しては画面領域外にそれぞれ配
置されている。ここで、検査パッド12,13は、一定の数
ごとにブロック化された検査パット群14,15として構成
されており、検査パット群14はX軸の方向において、ま
た検査パット群15はY軸の方向においてそれぞれ一定の
ピッチで配置されている。また、アレイチップ2,4の
短辺側の検査パッド12は、アレイチップ2,4内の走査
配線16と接続され、アレイチップ2,4の長辺側の検査
パッド13は、アレイチップ2,4内の信号配線17と接続
されている。
【0021】Y軸に対して一方の側にある2つのアレイ
チップ4においては、互いの信号配線17間が接続されて
いる。そして、すべての検査パット群14,15内の検査パ
ッド12,13の数は同一である。また、検査パッド12,13
の数と配線16,17の本数とは必ずしも一致させる必要は
なく、これらが一致しないときには、配線16,17と接続
されない検査パッド12,13が存在することになる。
チップ4においては、互いの信号配線17間が接続されて
いる。そして、すべての検査パット群14,15内の検査パ
ッド12,13の数は同一である。また、検査パッド12,13
の数と配線16,17の本数とは必ずしも一致させる必要は
なく、これらが一致しないときには、配線16,17と接続
されない検査パッド12,13が存在することになる。
【0022】そして、1個のアレイチップ2、あるいは
2個のアレイチップ4のいずかに対応する走査配線16側
の検査パッド14のすべてに針を落せる検査プローブ針18
と、1個のアレイチップ2および1個のアレイチップ4
に対応する信号配線17側の電極パッド13のすべてに針を
落せる検査プローブ針19とを作製し、これらの検査プロ
ーブ針18および検査プローブ針19をそれぞれ独立に移動
できるように構成する。検査時には先ず、Y軸に対して
左側のアレイチップ2の走査配線16側の検査パッド12に
検査プローブ針18の針を落す。これとともに、左側のア
レイチップ2およびアレイチップ4の信号配線17側の検
査パッド13に検査プローブ針19の針を落す。そして、走
査配線16側の検査プローブ針18を通じて、走査配線16の
1本ずつに順番に信号を入力する。そして、ある信号配
線17に伝達された信号の波形,大きさにより走査配線16
と信号配線17の層間クロスショート不良,信号配線17の
断線不良,点欠陥不良等とその位置を判断することが可
能となる。同様に、信号配線17側の検査プローブ針19を
通じて、信号配線17の1本ずつに順番に信号を入力す
る。そして、1本の走査配線16に伝達された信号の波
形,大きさにより走査配線16の断線不良,点欠陥不良等
とその位置を判断することが可能となる。次に、検査プ
ローブ針18の針を、左側の2つのアレイチップ4の走査
配線16側の検査パッド12に移動させ、アレイチップ4に
対しても同様な検査を実行する。この後、右側のアレイ
チップ2およびアレイチップ4についても同様の検査を
実行してすべてのアレイチップ2,4に対する検査が完
了する。
2個のアレイチップ4のいずかに対応する走査配線16側
の検査パッド14のすべてに針を落せる検査プローブ針18
と、1個のアレイチップ2および1個のアレイチップ4
に対応する信号配線17側の電極パッド13のすべてに針を
落せる検査プローブ針19とを作製し、これらの検査プロ
ーブ針18および検査プローブ針19をそれぞれ独立に移動
できるように構成する。検査時には先ず、Y軸に対して
左側のアレイチップ2の走査配線16側の検査パッド12に
検査プローブ針18の針を落す。これとともに、左側のア
レイチップ2およびアレイチップ4の信号配線17側の検
査パッド13に検査プローブ針19の針を落す。そして、走
査配線16側の検査プローブ針18を通じて、走査配線16の
1本ずつに順番に信号を入力する。そして、ある信号配
線17に伝達された信号の波形,大きさにより走査配線16
と信号配線17の層間クロスショート不良,信号配線17の
断線不良,点欠陥不良等とその位置を判断することが可
能となる。同様に、信号配線17側の検査プローブ針19を
通じて、信号配線17の1本ずつに順番に信号を入力す
る。そして、1本の走査配線16に伝達された信号の波
形,大きさにより走査配線16の断線不良,点欠陥不良等
とその位置を判断することが可能となる。次に、検査プ
ローブ針18の針を、左側の2つのアレイチップ4の走査
配線16側の検査パッド12に移動させ、アレイチップ4に
対しても同様な検査を実行する。この後、右側のアレイ
チップ2およびアレイチップ4についても同様の検査を
実行してすべてのアレイチップ2,4に対する検査が完
了する。
【0023】従来においては、画面サイズが互いに異な
るアレイチップ2,アレイチップ4に対してそれぞれ異
なる検査プローブ針が必要であったが、以上説明したよ
うに、アレイチップ2,4が形成されたアレイ基板1上
に配置される検査パット群14,15をそれぞれ一定のピッ
チで配置することにより、アレイチップ2,アレイチッ
プ4に対して同一の検査プローブ針18,19によって検査
が可能となるため、検査プローブ針18,19のコストの低
減が可能となる。また、アレイチップ2,アレイチップ
4に対して、検査プローブ針18,19を交換する必要がな
くなることから、検査時間の短縮が可能となる。また、
以上の説明では、検査パット群14,15を一定のピッチで
配置した場合について説明したが、アレイ基板1上に検
査パッド12,13を一定のピッチで配置し、この検査パッ
ド12,13に対応した検査プローブ針18,19によってアレ
イチップ2,4を検査しても同様の効果が得られる。
るアレイチップ2,アレイチップ4に対してそれぞれ異
なる検査プローブ針が必要であったが、以上説明したよ
うに、アレイチップ2,4が形成されたアレイ基板1上
に配置される検査パット群14,15をそれぞれ一定のピッ
チで配置することにより、アレイチップ2,アレイチッ
プ4に対して同一の検査プローブ針18,19によって検査
が可能となるため、検査プローブ針18,19のコストの低
減が可能となる。また、アレイチップ2,アレイチップ
4に対して、検査プローブ針18,19を交換する必要がな
くなることから、検査時間の短縮が可能となる。また、
以上の説明では、検査パット群14,15を一定のピッチで
配置した場合について説明したが、アレイ基板1上に検
査パッド12,13を一定のピッチで配置し、この検査パッ
ド12,13に対応した検査プローブ針18,19によってアレ
イチップ2,4を検査しても同様の効果が得られる。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
アレイ基板とカラーフィルタ基板との配向膜印刷工程が
同一の製造ラインで行えるようになって、製造治具が省
略できる上、製造ラインも縮小できるので、アレイチッ
プのコストが低減されるという効果がある。 また、本発
明によれば、異なるサイズのアレイチップを同一の検査
プローブを用いて、同一の検査装置で検査を行えるの
で、検査治具の低減および検査の効率化が図れるという
効果がある。
アレイ基板とカラーフィルタ基板との配向膜印刷工程が
同一の製造ラインで行えるようになって、製造治具が省
略できる上、製造ラインも縮小できるので、アレイチッ
プのコストが低減されるという効果がある。 また、本発
明によれば、異なるサイズのアレイチップを同一の検査
プローブを用いて、同一の検査装置で検査を行えるの
で、検査治具の低減および検査の効率化が図れるという
効果がある。
【図1】本発明の実施の形態1の製造方法によりアレイ
チップが形成されたアレイ基板の一例を示す平面図であ
る。
チップが形成されたアレイ基板の一例を示す平面図であ
る。
【図2】本発明の実施の形態2の製造方法によりアレイ
チップが形成されたアレイ基板の一例を示す平面図であ
る。
チップが形成されたアレイ基板の一例を示す平面図であ
る。
【図3】本発明の実施の形態2の製造方法によりアレイ
チップが形成されたアレイ基板の他の例を示す平面図で
ある。
チップが形成されたアレイ基板の他の例を示す平面図で
ある。
【図4】図2に示すアレイ基板とこれに張り合わされる
カラーフィルタ基板とに対する配向処理の説明図であ
る。
カラーフィルタ基板とに対する配向処理の説明図であ
る。
【図5】図4に示すカラーフィルタ基板とアレイ基板と
の画面領域とに配向膜を印刷する印刷版の平面図であ
る。
の画面領域とに配向膜を印刷する印刷版の平面図であ
る。
【図6】本発明の製造方法によりアレイチップが形成さ
れたアレイ基板およびアレイ基板上に配置された検査パ
ッドの平面図である。
れたアレイ基板およびアレイ基板上に配置された検査パ
ッドの平面図である。
【図7】従来の製造方法によりアレイチップが形成され
た大型アレイ基板の平面図である。
た大型アレイ基板の平面図である。
【符号の説明】 1…アレイ基板、 2,3,4,5,6…アレイチッ
プ、 10…カラーフィルタ基板、 11…印刷版、 12,
13…検査パッド、 14,15…検査パット群、 16…走査
配線、 17…信号配線、 18,19…検査プローブ針。
プ、 10…カラーフィルタ基板、 11…印刷版、 12,
13…検査パッド、 14,15…検査パット群、 16…走査
配線、 17…信号配線、 18,19…検査プローブ針。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山岸 庸恭 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭60−3609(JP,A) 特開 昭62−240926(JP,A) 特開 平7−287250(JP,A) 特開 平9−265062(JP,A) 特開 平7−168202(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02F 1/13 101 G02F 1/1337
Claims (2)
- 【請求項1】 外形サイズが互いに異なる複数種類のア
レイチップを、それぞれ1個ないし複数個、同一のアレ
イ基板上に形成するアレイチップ形成工程と、前記アレ
イ基板に配向膜を印刷する配向膜印刷工程とを備えた液
晶表示装置の製造方法であって、 前記アレイチップ形成工程においては、前記アレイ基板
上に形成される全てのアレイチップの画面領域または画
面領域群を、アレイ基板上での対称軸となる互いに直交
したX軸あるいはY軸の何れかに対してほぼ対称となる
ように配置して前記アレイチップを形成すること、 前記配向膜印刷工程においては、前記アレイ基板と、該
アレイ基板に張り合わされるカラーフィルタ基板とに、
同一の印刷板を用いて配向膜を形成することを特徴とす
る液晶表示装置の製造方法。 - 【請求項2】 1枚のアレイ基板から複数個のアレイチ
ップを製造する液晶表示装置の製造方法であって、 外形サイズが互いに異なる複数種類のアレイチップを前
記アレイ基板上に、それぞれ1個ないし複数個、形成す
る工程と、 複数個の前記アレイチップを形成した前記アレイ基板上
に、複数の検査パッドあるいは複数の検査パッド群の何
れかを一定のピッチで配設する工程と、 該検査パッドあるいは該検査パッド群を用いて前記アレ
イ基板上の複数個の前記アレイチップを検査する工程と
を備えたことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25474196A JP3150625B2 (ja) | 1996-09-26 | 1996-09-26 | 液晶表示装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP25474196A JP3150625B2 (ja) | 1996-09-26 | 1996-09-26 | 液晶表示装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10107289A JPH10107289A (ja) | 1998-04-24 |
JP3150625B2 true JP3150625B2 (ja) | 2001-03-26 |
Family
ID=17269229
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP25474196A Expired - Fee Related JP3150625B2 (ja) | 1996-09-26 | 1996-09-26 | 液晶表示装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3150625B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4531898B2 (ja) * | 1999-12-28 | 2010-08-25 | 株式会社日本製鋼所 | レーザアニール方法及び装置 |
JP3937692B2 (ja) * | 2000-06-15 | 2007-06-27 | セイコーエプソン株式会社 | アレイ基板の検査方法、アレイ基板の製造方法、アレイ基板及び電気光学装置 |
US7362410B2 (en) | 2002-10-19 | 2008-04-22 | Lg.Philips Lcd Co., Ltd. | Method for designing mask and fabricating panel |
KR100698044B1 (ko) | 2002-10-19 | 2007-03-23 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 마스크 설계 방법 및 패널 형성 방법 |
KR100771907B1 (ko) | 2002-12-20 | 2007-11-01 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정 표시패널의 디스펜서 및 디스펜싱방법 |
KR100652212B1 (ko) | 2002-12-30 | 2006-11-30 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정패널의 제조방법 및 이에 사용되는 씰패턴 형성장치 |
KR100930917B1 (ko) | 2003-06-30 | 2009-12-10 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정 패널 배치 구조 및 액정 패널 노광 방법 |
KR100568959B1 (ko) | 2003-12-11 | 2006-04-07 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치의 액정셀 공정 |
WO2012169458A1 (ja) * | 2011-06-09 | 2012-12-13 | シャープ株式会社 | パターン検査方法およびパターン検査装置 |
-
1996
- 1996-09-26 JP JP25474196A patent/JP3150625B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH10107289A (ja) | 1998-04-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2275861B1 (en) | Active matrix substrate, display device, method for inspecting active matrix substrate, and method for inspecting display device | |
WO2010010750A1 (ja) | アクティブマトリクス基板、表示装置、アクティブマトリクス基板の検査方法、および表示装置の検査方法 | |
US20110287561A1 (en) | Thin film transistor array substrate with improved test terminals | |
JP3150625B2 (ja) | 液晶表示装置の製造方法 | |
US5473261A (en) | Inspection apparatus and method for display device | |
JP2001281689A (ja) | 液晶表示装置及びその検査方法 | |
US6791634B2 (en) | Display device having connecting pads crossing a spare line | |
JP3119357B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
KR20110071271A (ko) | 구동아이씨칩 테스트장비 | |
JPH05341246A (ja) | マトリクス型表示素子の製造方法 | |
JPH11295755A (ja) | 配線基板の検査方法及び液晶装置の製造方法 | |
JPH07199210A (ja) | 液晶表示素子 | |
JP3095733B2 (ja) | 表示パネル及びその製造方法 | |
KR100954329B1 (ko) | 액정 표시 장치 | |
JP2002277896A (ja) | 液晶表示装置及び画面表示応用装置 | |
JPH11212102A (ja) | 液晶表示パネル | |
JPH04179926A (ja) | 液晶表示装置 | |
JP2004205852A (ja) | 液晶表示装置 | |
JPH09113562A (ja) | 液晶マトリックス表示パネルの検査方法 | |
US20240087492A1 (en) | Display substrate, test method for the same and display device | |
KR20050053407A (ko) | 액정표시장치용 어레이기판 | |
KR20050003255A (ko) | 액정 표시패널의 검사방법 | |
JP2802156B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
KR20050069005A (ko) | 액정 표시소자 | |
JPH0917843A (ja) | 表示装置およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |