KR101035570B1 - Lcd 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치 - Google Patents

Lcd 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101035570B1
KR101035570B1 KR1020110036282A KR20110036282A KR101035570B1 KR 101035570 B1 KR101035570 B1 KR 101035570B1 KR 1020110036282 A KR1020110036282 A KR 1020110036282A KR 20110036282 A KR20110036282 A KR 20110036282A KR 101035570 B1 KR101035570 B1 KR 101035570B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
plate
probe unit
replacement
locking
loading
Prior art date
Application number
KR1020110036282A
Other languages
English (en)
Inventor
박현상
오승희
이보라
Original Assignee
(주)유비프리시젼
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)유비프리시젼 filed Critical (주)유비프리시젼
Priority to KR1020110036282A priority Critical patent/KR101035570B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101035570B1 publication Critical patent/KR101035570B1/ko

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/073Multiple probes
    • G01R1/07307Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/04Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • G01R1/0433Sockets for IC's or transistors
    • G01R1/0441Details
    • G01R1/0466Details concerning contact pieces or mechanical details, e.g. hinges or cams; Shielding
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/01Subjecting similar articles in turn to test, e.g. "go/no-go" tests in mass production; Testing objects at points as they pass through a testing station
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/282Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere
    • G01R31/2825Testing of electronic circuits specially adapted for particular applications not provided for elsewhere in household appliances or professional audio/video equipment
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2887Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations
    • GPHYSICS
    • G09EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09GARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Abstract

본 발명은 LCD 검사 장비에 관한 것으로서, 상세하게는 각기 다른 규격의 프로브 유니트를 LCD 검사 장비 내에 형성된 적재 플레이트에 적재한 상태에서 로딩 장치를 이용하여 기설치된 프로브 유니트를 워크 스테이지에서 탈착한 후 이동하여 적재 플레이트에 부착한 후 검사에 필요한 프로브 유니트를 적재 플레이트에서 탈착시킨 다음 이동하여 워크 스테이지에 부착시켜 검사를 수행하도록 하는 LCD 검사 장비용 프로브 유니트의 자동 변경 장치에 관한 것이다.

Description

LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치{APPARATUS FOR CHANGING AUTOMATIC PROBE UNIT FOR LCD CHECKING DEVICE}
본 발명은 LCD 검사 장비에 관한 것으로서, 상세하게는 각기 다른 규격의 프로브 유니트를 LCD 검사 장비 내에 형성된 적재 플레이트에 적재한 상태에서 로딩 장치를 이용하여 기설치된 프로브 유니트를 워크 스테이지에서 탈착한 후 이동하여 적재 플레이트에 부착한 후 검사에 필요한 프로브 유니트를 적재 플레이트에서 탈착시킨 다음 이동하여 워크 스테이지에 부착시켜 검사를 수행하도록 하는 LCD 검사 장비용 프로브 유니트의 자동 변경 장치에 관한 것이다.
일반적으로, LCD 검사 장비는 LCD 패널이 불량품인지 양품인지를 육안상으로 용이하게 검사할 수 있도록 작업자가 위치한 지점까지 LCD 패널을 자동으로 이송시켜주고, 검사가 완료되면 검사결과에 따라 LCD 패널을 양품(good), 수리대상(repair), 폐기(reject)로 분류하여 카세트(cassette)에 구분 적치하여 주는 장치를 일컫는다.
도 1 및 도 2에 도시된 것과 같이, 일반적인 LCD 검사 장비는 본체(1)의 일측에 LCD 패널(P)의 검사를 수행하는 검사부(2)가 배치되고, 이 검사부(2)의 일측에 LCD 패널(P)을 공급 및 회수하는 로딩/언로딩부(7)가 배치된 구성으로 이루어진다.
또한, LCD 검사 장비에는 LCD 패널(P)을 상기 로딩/언로딩부(7)에서 검사부(2)로, 검사부(2)에서 로딩/언로딩부(7)로 반송하여 주는 캐리어(9)가 좌/우로 이동이 가능하게 설치되어 있다.
상기 검사부(2)는 프로브 유니트(3) 및 LCD 패널(P)을 상기 프로브 유니트(3)에 콘택시킴과 더불어 광원을 제공하는 워크 스테이지(4)(work stage)로 구성된다. 상기 워크 스테이지(4)는 편광판(4a) 및 백라이트(4b)로 이루어지고, 이 워크 스테이지(4)의 후방에는 워크 스테이지(4)를 프로브 유니트(3)에 대해 정렬함과 더불어 프로브 유니트(3)에 접속시키는 XYZθ스테이지(5)가 설치된다.
상기 로딩/언로딩부(7)에는 로더(미도시)로부터 반송된 LCD 패널을 소정 각도(예컨대 60도)로 기울여주는 서브테이블(8)이 설치된다.
또한, 상기 검사부(2)의 전방에는 LCD 패널(P)의 육안 검사시 이상이 발견되었을 때 작업자가 이를 더욱 정밀히 확인하기 위한 현미경(6)이 상하 및 좌우로 이동이 가능하게 설치되어 있다.
상기와 같은 종래의 LCD 검사 장비에서 이루어지는 검사 과정을 간략하게 설명하면 다음과 같다.
로딩/언로딩부(7)의 로더(미도시)로부터 서브테이블(8)에 LCD 패널(P)이 전달되고, 서브테이블(8)은 소정 각도로 기울어지면서 캐리어(9)에 LCD 패널(P)을 전달한다. 이어서, 캐리어(9)는 LCD 패널(P)을 검사부(2)로 반송한다. 검사부(2)에 테스트할 LCD 패널(P)이 위치되면, 후방에서 XYZθ스테이지(5)가 전진하여 캐리어(9)의 LCD 패널(P)을 진공 흡착하여 고정하고, 고정된 LCD 패널(P)의 패드(미도시)를 프로브 유니트(3)의 리드핀(미도시)에 접속시킨다.
이와 같이 LCD 패널(P)과 프로브 유니트(3) 간의 전기적 접속이 이루어지면, 프로브 유니트(3)를 통해 소정의 영상 신호가 인가됨과 동시에, 백라이트(4b)의 조명이 외부의 영상신호 입력 장치인 패턴제너레이터(pattern generator)에 의해 다양한 패턴으로 바뀌게 되고, 작업자는 이 때 구현되는 패턴으로 패널의 불량을 판별하게 된다.
한편, 상기의 프로브 유니트는 도 3에 도시된 바와 같이 직사각 형태의 베이스 플레이트(3-1)와, 베이스 플레이트(3-1)의 상면 일단에 등간격을 가지며 설치되는 프로브 블록(3-3)과, 프로브 블록(3-3)으로 신호를 전달하도록 이와 전기적으로 접속되고, 베이스 플레이트(3-1)의 상면에 설치되는 데이터 PCB(3-5)와, 얼라인을 확인하도록 베이스 플레이트(3-1)의 상면에 설치되는 얼라인 카메라(3-7)로 구성된다.
한편, 이러한 종래의 프로브 유니트는 LCD 패널의 규격에 따라 해당 패널과 대응되는 프로브 유니트를 LCD 검사 장비에 부착하여 사용하는 데, LCD 패널의 규격이 변경되면 프로브 유니트를 교환해야하고, 교환 후 유니트 셋-업이란 공정을 거친다.
그러나, 이러한 유니트 셋-업 공정은 LCD 패널의 패드와 프로브 유니트의 리드핀을 1:1로 맞추는 작업을 진행하기 때문에 그 작업 시간이 보통 수시간씩 소요되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 각기 다른 규격의 프로브 유니트를 LCD 검사 장비 내에 형성된 적재 플레이트에 적재한 상태에서 로딩 장치를 이용하여 기설치된 프로브 유니트를 워크 스테이지에서 탈착한 후 이동하여 적재 플레이트에 부착한 후 검사에 필요한 프로브 유니트를 적재 플레이트에서 탈착시킨 다음 이동하여 워크 스테이지에 부착시켜 검사를 수행함으로써 탈부착 공정과 유니트 셋-업이란 공정을 단축시킬 수 있도록 하는 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은,
각기 다른 규격의 LCD 패널의 데이터 라인 크기에 대응되도록 서로 다른 규격을 갖는 복수의 교체용 프로브 유니트와; 복수의 교체용 프로브 유니트중 어느 하나의 교체용 프로브 유니트가 상단에서 상하로 이동되도록 고정되고, 양단에 고정용 프로브 유니트가 좌우로 이동되도록 고정되어 상기 LCD 패널의 규격에 따라 상기 어느 하나의 교체용 프로브 유니트 및 고정용 프로브 유니트의 위치를 가변시키는 워크 스테이지와; LCD 검사 장비의 내측 상단에 설치되고, 상기 프로브 유니트가 적재되는 적재 플레이트와; 상기 LCD 패널의 규격 변화시 상기 워크 스테이지에서 상기 어느 하나의 교체용 프로브 유니트를 탈착한 후 상기 적재 플레이트에 고정시킨 다음, 상기 적재 플레이트에서 상기 LCD 패널의 규격에 대응되는 해당 교체용 프로브 유니트를 탈착한 후 상기 워크 스테이지에 고정시키는 로딩 장치; 및 상기 프로브 유니트와, 워크 스테이지와, 적재 플레이트 및 로딩 장치에 각각 설치되어 공압에 의해 동작되어 상기 프로브 유니트와 워크 스테이지, 상기 프로브 유니트와 적재 플레이트 및 상기 프로브 유니트와 로딩 장치의 결합을 고정 및 해제하는 록킹 장치로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
여기에서, 상기 워크 스테이지는 상기 어느 하나의 교체용 프로브 유니트가 이동 플레이트에 상기 록킹 장치에 의해 고정된다.
여기에서 또한, 상기 이동 플레이트는 디귿자 형태로 형성되고, 양측에 길이 방향으로 제1 LM 가이드와 볼스크류가 설치되는 베이스 플레이트와; 상기 베이스 플레이트의 볼스크류에 양단이 고정되고, 상기 록킹 장치가 설치되어 상기 볼 스크류와 제 1샤프트 및 제 1커플러에 연결된 제 1모터에 의해 상기 제1 LM 가이드를 따라 승하강되는 승하강 플레이트로 이루어진다.
여기에서 또한, 상기 적재 플레이트는 수평 플레이트와; 상기 수평 플레이트에서 수직 하방향으로 연장되어 설치되되, 상호 이격되어 설치되고, 일측면 양단에서 수직 방향으로 제2 LM 가이드가 설치되는 복수의 수직 플레이트와; 상기 수직 플레이트의 중앙부에 수직 방향으로 설치되는 제1 공압 실린더; 및 상기 제1 공압 실린더의 이동에 따라 상기 수직 플레이트의 제2 LM 가이드에서 상하로 이동되고, 일측면에 상기 록킹 장치가 설치되는 구동 플레이트로 이루어진다.
여기에서 또, 상기 수직 플레이트는 상기 어느 하나의 교체용 프로브 유니트의 교환시 이를 고정할 수 있도록 상기 LCD 검사 장비에서 필요로 하는 상기 교체용 프로브 유니트의 개수와 동일 개수 또는 이보다 더 많은 개수로 형성된다.
여기에서 또, 상기 로딩 장치는 상기 LCD 검사 장비의 내측 양단에 길이 방향으로 설치되고, 일단에 제 2커플러가 설치되는 수평 LM 가이드와; 상기 수평 LM 가이드에 양단이 수평으로 결합되어 상기 수평 LM 가이드를 따라 전후로 이동되고, 중앙부에 상기 록킹 장치가 설치되는 교체 바와; 각각의 상기 수평 LM 가이드의 제 2커플러와 결합되는 제 2샤프트와; 상기 제 2샤프트를 회전시켜 상기 수평 LM 가이드 상에서 상기 교체 바를 이동시키는 제 2모터로 이루어진다.
여기에서 또, 상기 록킹 장치는 상기 워크 스테이지의 이동 플레이트와, 적재 플레이트의 구동 플레이트와, 상기 로딩 장치의 교체 바에 각각 설치되고, 공압에 의해 동작되는 암 고정부와; 각각의 상기 프로브 유니트의 상단 양측에서 서로 대응되도록 설치되는 수 고정부로 이루어진다.
여기에서 또, 상기 암 고정부는 직사각 형태로 형성되고, 양단에서 날개판이 수직으로 연장 형성되며, 중앙부가 개구되어 개구홀이 형성되고, 상기 개구홀의 일측에 "U"자 형태의 걸림턱이 형성되고, 일측면에 쐐기 형태의 가이드 슬롯이 형성되는 록킹용 플레이트와; 사각 형태로 형성되고, 중앙부에 테이퍼 형태의 관통홀이 형성되며, 상기 가이드 슬롯와 치합되는 가이드 돌기가 형성되는 고정 블록과; 상기 고정 블록의 일측면과 상기 록킹용 플레이트의 어느 하나의 날개판 사이에 고정되어 공압에 의해 상기 록킹용 플레이트를 상기 고정 블록에서 좌우로 이동시키는 제2 공압 실린더; 및 상기 록킹용 플레이트에 다른 하나의 날개판에 고정되어 상기 고정 블록에 탄성을 제공하는 코일 스프링으로 이루어진다.
여기에서 또, 상기 수 고정부는 사각 형태의 몸체와; 상기 몸체의 일측면에서 돌출되되, 상기 고정 블록의 관통홀에 삽입되도록 테이퍼 형태로 형성되고, 상기 걸림턱에 고정되도록 끝단에 걸림홈이 형성되며, 상기 고정 블록의 관통홀에 삽입시 상기 걸림홈이 외부로 돌출되는 길이를 갖는 돌기로 이루어진다.
여기에서 또, 상기 암 고정부의 걸림턱은 상기 돌기가 상기 고정 블록의 관통홀에 삽입된 상태에서 상기 록킹용 플레이트가 슬라이딩될 시 상기 돌기의 걸림홈이 용이하게 결합되도록 경사면을 구비한다.
상기와 같이 구성되는 본 발명인 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치에 따르면, 각기 다른 규격의 프로브 유니트를 LCD 검사 장비 내에 형성된 적재 플레이트에 적재한 상태에서 로딩 장치를 이용하여 기설치된 프로브 유니트를 워크 스테이지에서 탈착한 후 이동하여 적재 플레이트에 부착한 후 검사에 필요한 프로브 유니트를 적재 플레이트에서 탈착시킨 다음 이동하여 워크 스테이지에 부착시켜 검사를 수행함으로써 탈부착 공정과 유니트 셋-업이란 공정을 단축시킬 수 있다.
도 1 및 도 2는 일반적인 엘씨디 테스트 장치의 구성을 나타낸 도면이다.
도 3은 종래의 프로브 유니트의 구성을 나타낸 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치의 구성을 나타낸 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치중 교체용 프로브 유니트의 구성을 나타낸 사시도이다.
도 6 및 도 7은 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치중 워크 스테이지의 구성을 나타낸 사시도이다.
도 8은 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치중 적재 플레이트의 구성을 나타낸 사시도이다.
도 9는 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치중 로딩 장치의 구성을 나타낸 사시도이다.
도 10은 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치중 록킹 장치의 구성을 나타낸 사시도이다.
도 11은 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치중 록킹 장치의 구성을 나타낸 분해 사시도이다.
도 12 내지 도 16은 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치의 동작 상태를 나타낸 설명도이다.
이하, 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치의 구성을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
하기에서 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치의 구성을 나타낸 사시도이고, 도 5는 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치중 교체용 프로브 유니트의 구성을 나타낸 사시도이며, 도 6 및 도 7은 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치중 워크 스테이지의 구성을 나타낸 사시도이고, 도 8은 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치중 적재 플레이트의 구성을 나타낸 사시도이며, 도 9는 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치중 로딩 장치의 구성을 나타낸 사시도이고, 도 10은 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치중 록킹 장치의 구성을 나타낸 사시도이고, 도 11은 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치중 록킹 장치의 구성을 나타낸 분해 사시도이다.
도 4 내지 도 11을 참조하면, 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치(100)는 교체용 프로브 유니트(110)와, 워크 스테이지(120)와, 적재 플레이트(130)와, 로딩 장치(140)와, 록킹 장치(150)로 구성된다.
먼저, 프로브 유니트(110)는 통상의 구조로 다수의 프로브 블록(111)이 배열되고, 양끝단에 각각 얼라인 카메라(113)를 구비하고, 교체용 프로브 유니트(115)와, 고정용 프로브 유니트(미도시)로 구분된다. 여기에서, 교체용 프로브 유니트(115)는 각기 다른 규격(예를 들면, 37인치, 42인치, 47인치, 52인치 등)의 LCD 패널(미도시)의 데이터 라인 크기에 대응되도록 여러 개가 구비된다. 여기에서 또한, 고정용 프로브 유니트는 작업자에 의해 수동으로 교환되는 데, 수동으로 교환하는 이유는 LCD 패널의 규격이 가변하는 경우 LCD 패널의 상단에 위치한 데이터 라인의 변화가 크고, LCD 패널의 양단에 위치한 게이트 라인의 변화가 적거나 거의 없기 때문이다.
그리고, 워크 스테이지(120)는 복수의 교체용 프로브 유니트(115)중 임의의 교체용 프로브 유니트가 상단에서 상하로 이동되도록 고정되고, 양단에 고정용 프로브 유니트가 좌우로 이동되도록 고정되어 LCD 패널의 규격에 따라 임의의 교체용 프로브 유니트 및 고정용 프로브 유니트의 위치를 가변시킨다.
여기에서, 워크 스테이지(120)는 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이 임의의 교체용 프로브 유니트의 교체시 상승되어 하기에서 설명할 로딩 장치(140)와 인접되도록 디귿자 형태로 형성되고, 양측에 길이 방향으로 제1 LM 가이드(121-1)와 볼스크류(121-3)가 설치되는 베이스 플레이트(121)와, 베이스 플레이트(121)의 볼스크류(121-3)에 양단이 고정되고, 볼스크류(121-3)와 제 1샤프트(123-1) 및 제 1커플러(123-3)에 연결된 제 1모터(123-5)에 의해 제1 LM 가이드(121-1)를 따라 승하강되는 승하강 플레이트(123)를 구비한다.
또한, 적재 플레이트(130)는 도 8에 도시된 바와 같이 수평 플레이트(131)와, 수직 플레이트(133)와, 제2 공압 실린더(135)와, 구동 플레이트(137)로 구성된다.
수평 플레이트(131)는 LCD 검사 장비의 내측 상단에 설치된다.
수직 플레이트(133)는 수평 플레이트(131)에서 수직 하방향으로 연장되어 설치되되, 상호 이격되어 설치되고, 일측면 양단에서 수직 방향으로 제2 LM 가이드(133-1)가 설치된다. 이때, 수직 플레이트(133)는 임의의 교체용 프로브 유니트의 교환시 이를 고정할 수 있도록 LCD 검사 장비에서 필요로 하는 교체용 프로브 유니트의 개수와 동일 개수 또는 이보다 더 많은 개수로 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 수직 플레이트(133)에서 교체용 프로브 유니트(115)는 지정된 위치에 고정된다.
제1 공압 실린더(135)는 수직 플레이트의 중앙부에 수직 방향으로 설치된다.
구동 플레이트(137)는 제1 공압 실린더(135)의 이동에 따라 수직 플레이트(133)의 제2 LM 가이드(133-1)에서 상하로 이동되고, 일측면에 록킹 장치(150)가 설치된다.
또, 로딩 장치(140)는 도 9에 도시된 바와 같이 수평 LM 가이드(141)와, 교체 바(143)와, 제 2샤프트(145)와, 제 2모터(147)로 이루어진다.
수평 LM 가이드(141)는 LCD 검사 장비의 내측 양단에 길이 방향으로 설치되고, 일단에 제 2커플러(141-1)가 설치된다. 여기에서, 수평 LM 가이드(141)는 워크 스테이지(120)의 승하강 플레이트(123)가 상승되면 이와 근접되도록 저면에 경사 플레이트(141-3)가 각각 설치된다.
교체 바(143)는 각각의 수평 LM 가이드(141)에 양단이 수평으로 결합되어 수평 LM 가이드(141)를 따라 대각 방향으로 전후 이동된다.
제 2샤프트(145)는 각각의 수평 LM 가이드(141)의 제 2커플러(141-1)와 결합되어 동력을 전달한다.
제 2모터(147)는 제 2샤프트(145)를 회전시켜 수평 LM 가이드(141) 상에서 교체 바(143)를 동일하게 이동시킨다.
한편, 록킹 장치(150)는 도 10 및 도 11에 도시된 바와 같이 암 고정부(151)와, 수 고정부(153)로 구성된다.
암 고정부(151)는 적재 플레이트(130)의 구동 플레이트(137)와, 로딩 장치(140)의 교체 바(143)에 각각 한 쌍씩 설치되고, 워크 스테이지(120)의 승하강 플레이트(123)에 두쌍이 설치되어 공압에 의해 동작된다.
여기에서, 암 고정부(151)는 록킹용 플레이트(151-1)와, 고정 블록(151-3)과, 제2 공압 실린더(151-5)와, 코일 스프링(151-7)으로 구성된다.
록킹용 플레이트(151-1)는 직사각 형태로 형성되고, 양단에서 날개판(151-11)이 수직으로 연장 형성되며, 중앙부가 개구되어 개구홀(151-13)이 형성되고, 개구홀(151-13)의 일측에 "U"자 형태의 걸림턱(151-15)이 형성되고, 일측면에 쐐기 형태의 가이드 슬롯(151-17)이 형성된다. 이때, 암 고정부(151)의 걸림턱(151-15)은 하기에서 설명할 수 고정부(153)의 돌기(153-3)가 고정 블록(151-3)의 관통홀(151-31)에 삽입된 상태에서 록킹용 플레이트(151-1)가 슬라이딩될 시 돌기(153-3)의 걸림홈(153-31)이 용이하게 결합되도록 경사면(151-17)을 구비한다.
고정 블록(151-3)은 직육면체 형태로 형성되고, 중앙부에 테이퍼 형태의 관통홀(151-31)이 형성되며, 가이드 슬롯(151-17)과 치합되는 가이드 돌기(151-33)가 형성된다.
제2 공압 실린더(151-5)는 고정 블록(151-3)의 일측면과 록킹용 플레이트(151-1)의 어느 하나의 날개판(151-11) 사이에 고정되어 공압에 의해 록킹용 플레이트(151-1)를 고정 블록(151-3)에서 좌우로 이동시킨다.
코일 스프링(151-7)은 록킹용 플레이트(151-1)에 다른 하나의 날개판(151-11)에 고정되어 고정 블록(151-3)에 탄성을 제공하여 제2 공압 실린더(151-5)에서 공압 해제시 고정 블록(151-3)을 원위치로 복귀시킨다.
수 고정부(153)는 각각의 교체용 프로브 유니트(115-1)의 상단 양측에서 암 고정부(151)와 대응되는 개수로 설치된다. 이때, 수 고정부(153)는 교체용 프로브 유니트(115-1)의 상단 양측에서 설치되되, 정면은 워크 스테이지(120)의 승하강 플레이트(123)를 향하도록 상방향으로 설치되고, 배면은 로딩 장치(140)의 교체 바(143)를 향하도록 하방향으로 설치된다.
여기에서, 수 고정부(153)는 몸체(153-1)와, 돌기(153-3)로 구성된다.
몸체(153-1)는 직육면체 형태로 형성된다.
돌기(153-3)는 몸체(153-1)의 일측면에서 일체로 돌출되되, 고정 블록(151-3)의 관통홀(151-31)에 삽입되도록 테이퍼 형태로 형성되고, 걸림턱(151-15)에 고정되도록 끝단에 걸림홈(153-31)이 형성되며, 고정 블록(151-3)의 관통홀(151-31)에 삽입시 걸림홈(153-31)이 외부로 돌출되는 길이를 갖는다. 이때, 돌기(153-3)는 고정 블록(151-3)의 관통홀(151-31)에 삽입시 유격이 없도록 밀착되는 것이 바람직하다.
그리고, 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치(100)는 LCD 검사 장비에서 발생되는 신호에 의해 타이밍과 동작이 제어되고, 별도의 컨트롤러(미도시)에 의해 제어도 가능하다.
또한, 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치(100)중 적재 플레이트(130)의 수평 플레이트(131)와, 수직 플레이트(133)는 로딩 장치(140)의 경사와 대응되도록 형성된다.
이하, 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치의 동작을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 12 내지 도 16은 본 발명에 따른 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치의 동작 상태를 나타낸 설명도이다.
먼저, LCD 검사 장비에 37인치를 검사하는 교체용 프로브 유니트(115)는 워크 스테이지(120)에 고정된 상태이고, 42인치, 47인치, 52인치를 검사하는 교체용 프로브 유니트(115)는 동일 LCD 검사 장비의 적재 플레이트(130)에 고정된 상태를 기준으로 설명한다.
37인치의 LCD 패널의 검사가 종료되고, 42인치의 LCD 패널의 검사가 이루어지는 경우 도 14에 도시된 바와 같이 제 1모터(129)가 동작되고, 이로 인해 워크 스테이지(120)의 승하강 플레이트(123)가 제1 LM 가이드(121-1)와 볼스크류(121-3)를 따라 상승되어 37인치를 검사하는 교체용 프로브 유니트(115)를 교체 위치로 이동시킨다.
이와 동시에, 로딩 장치(140)의 제 2모터(147)가 동작되어 교체 바(143)를 교환 위치로 전진시킨다.
한편, 교체 바(143)가 교환 위치에 고정되면, 교체 바(143)에 설치된 록킹 장치(150)의 암 고정부(151)에 공압을 공급하여 제2 공압 실린더(151-5)를 동작시켜 록킹용 플레이트(151-1)를 슬라이딩시킨다.
그러면, 록킹용 플레이트(151-1)가 슬라이딩되면서 고정 블록(151-3)의 관통홀(151-31)이 노출된다.
계속해서, 도 15에 도시된 바와 같이 승하강 플레이트(123)를 하강시켜 고정 블록(151-3)의 관통홀(151-31)에 37인치를 검사하는 교체용 프로브 유니트(115)의 상단 배면에 설치된 록킹 장치(150)의 수 고정부(153)의 돌기(153-3)가 삽입시킨다.
수 고정부(153)의 돌기(153-3)가 고정 블록(151-3)의 관통홀(151-31)에 삽입되면, 공압을 해제시켜 코일 스프링(151-7)의 탄발력에 의해 록킹용 플레이트(151-1)가 원위치로 복귀되도록 한다.
한편, 록킹용 플레이트(151-1)가 원위치로 복귀되면, 돌기(153-3)의 걸림홈(153-31)과 록킹용 플레이트(151-1)의 걸림턱(151-15)이 결합되어 수 고정부(153)를 암 고정부(151)에 고정시킨다.
고정이 완료되면, 워크 스테이지(120)의 승하강 플레이트(123)에 설치된 록킹 장치(150)의 암 고정부(151)에 공압을 공급하여 제2 공압 실린더(151-5)를 동작시켜 록킹용 플레이트(151-1)를 슬라이딩시킨다.
그러면, 록킹용 플레이트(151-1)가 슬라이딩되면서 37인치를 검사하는 교체용 프로브 유니트(115)의 상단 정면에 형성된 수 고정부(153)의 돌기(153-3)의 걸림홈(153-31)과 록킹용 플레이트(151-1)의 걸림턱(151-15)의 결합이 해제되면서 수 고정부(153)를 암 고정부(151)에 탈착시킬 수 있다.
계속해서, 승하강 플레이트(123)를 상승시켜 수 고정부(153)의 돌기(153-3)를 고정 블록(151-3)의 관통홀(151-31)에서 배출시킨 다음, 37인치를 검사하는 교체용 프로브 유니트(115)가 고정된 교체 바(143)를 적재 플레이트(130) 측으로 이동시킨다.
그리고, 적재 플레이트(130)의 제1 공압 실린더(135)를 동작시켜 구동 플레이트(137)를 하강시키고, 상기와 동일한 방법으로 37인치를 검사하는 교체용 프로브 유니트(115)를 고정시킨다. 즉, 적재 플레이트(130)의 암 고정부(151)에 37인치를 검사하는 교체용 프로브 유니트(115)의 상단 정면에 설치된 수 고정부(153)를 고정한다.
그런 다음, 도 16에 도시된 바와 같이 37인치의 LCD 패널이 적재된 구동 플레이트(137)를 상승시키고, 42인치의 LCD 패널이 위치한 적재 플레이트(130)의 구동 플레이트(137)를 하강시킴과 동시에 교체 바(143)를 42인치의 LCD 패널이 위치한 적재 플레이트(130)의 수직 플레이트(133)로 이동시킨다.
이어서, 도 16에 도시된 바와 같이 상기와 같은 방법으로 42인치를 검사하는 교체용 프로브 유니트(115)를 교체 바(143)에 고정한다.
고정이 완료되면, 교체 바(143)를 워크 스테이지(120), 즉 교체 위치로 이동시킨다.
교체 바(143)가 전진되어 워크 스테이지(120)의 승하강 플레이트(123)에 설치된 록킹 장치(150)의 암 고정부(151)와 42인치를 검사하는 교체용 프로브 유니트(115)의 상단 정면에 설치된 수 고정부(153)가 동일 선상에 위치하게 되면 승하강 플레이트(123)를 하강시킨다.
이와 동시에 워크 스테이지(120)의 승하강 플레이트(123)에 설치된 록킹 장치(150)의 암 고정부(151)에 공압을 공급하여 42인치를 검사하는 교체용 프로브 유니트(115)의 상단 정면에 설치된 수 고정부(153)를 체결하여 체결이 완료되면 공압을 해제한다.
그런 다음, 교체 바(143)에 설치된 록킹 장치(150)의 암 고정부(151)에 공압을 공급하여 42인치를 검사하는 교체용 프로브 유니트(115)의 상단 배면에 설치된 수 고정부(153)와 체결을 해제하고, 승하강 플레이트(123)를 상승시켜 42인치를 검사하는 교체용 프로브 유니트(115)를 워크 스테이지(120)의 이동 플레이트(121)에 고정시킨다.
이러한 상태에서 워크 스테이지(120)의 이동 플레이트(121)와 교체 바(143)를 각각 검사 위치로 이동시킨다.
한편, 워크 스테이지(120)는 42인치 LCD 패널의 규격에 맞게 교체용 프로브 유니트(115) 및 고정용 프로브 유니트의 위치를 가변시킨다.
또한, 고정용 프로브 유니트는 37인치 LCD 패널의 검사시 사용된 것을 사용할 수도 있고, 관리자에 의해 수동으로 교환될 수도 있다.
본 발명은 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있으며 상기 발명의 상세한 설명에서는 그에 따른 특별한 실시 예에 대해서만 기술하였다. 하지만 본 발명은 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
110 : 교체용 프로브 유니트 120 : 워크 스테이지
130 : 적재 플레이트 140 : 로딩 장치
150 : 록킹 장치

Claims (10)

  1. 각기 다른 규격의 LCD 패널의 데이터 라인 크기에 대응되도록 서로 다른 규격을 갖는 복수의 교체용 프로브 유니트와;
    복수의 교체용 프로브 유니트중 어느 하나의 교체용 프로브 유니트가 상단에서 상하로 이동되도록 고정되고, 양단에 고정용 프로브 유니트가 좌우로 이동되도록 고정되어 상기 LCD 패널의 규격에 따라 상기 어느 하나의 교체용 프로브 유니트 및 고정용 프로브 유니트의 위치를 가변시키는 워크 스테이지와;
    LCD 검사 장비의 내측 상단에 설치되고, 상기 프로브 유니트가 적재되는 적재 플레이트와;
    상기 LCD 패널의 규격 변화시 상기 워크 스테이지에서 상기 어느 하나의 교체용 프로브 유니트를 탈착한 후 상기 적재 플레이트에 고정시킨 다음, 상기 적재 플레이트에서 상기 LCD 패널의 규격에 대응되는 해당 교체용 프로브 유니트를 탈착한 후 상기 워크 스테이지에 고정시키는 로딩 장치; 및
    상기 프로브 유니트와, 워크 스테이지와, 적재 플레이트 및 로딩 장치에 각각 설치되어 공압에 의해 동작되어 상기 프로브 유니트와 워크 스테이지, 상기 프로브 유니트와 적재 플레이트 및 상기 프로브 유니트와 로딩 장치의 결합을 고정 및 해제하는 록킹 장치로 이루어지는 것을 특징으로 하는 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 워크 스테이지는,
    상기 어느 하나의 교체용 프로브 유니트가 이동 플레이트에 상기 록킹 장치에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 이동 플레이트는,
    디귿자 형태로 형성되고, 양측에 길이 방향으로 제1 LM 가이드와 볼스크류가 설치되는 베이스 플레이트와;
    상기 베이스 플레이트의 볼스크류에 양단이 고정되고, 상기 록킹 장치가 설치되어 상기 볼 스크류와 제 1샤프트 및 제 1커플러에 연결된 제 1모터에 의해 상기 제1 LM 가이드를 따라 승하강되는 승하강 플레이트로 이루어지는 것을 특징으로 하는 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 적재 플레이트는,
    수평 플레이트와;
    상기 수평 플레이트에서 수직 하방향으로 연장되어 설치되되, 상호 이격되어 설치되고, 일측면 양단에서 수직 방향으로 제2 LM 가이드가 설치되는 복수의 수직 플레이트와;
    상기 수직 플레이트의 중앙부에 수직 방향으로 설치되는 제1 공압 실린더; 및
    상기 제1 공압 실린더의 이동에 따라 상기 수직 플레이트의 제2 LM 가이드에서 상하로 이동되고, 일측면에 상기 록킹 장치가 설치되는 구동 플레이트로 이루어지는 것을 특징으로 하는 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 수직 플레이트는,
    상기 어느 하나의 교체용 프로브 유니트의 교환시 이를 고정할 수 있도록 상기 LCD 검사 장비에서 필요로 하는 상기 교체용 프로브 유니트의 개수와 동일 개수 또는 이보다 더 많은 개수로 형성되는 것을 특징으로 하는 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 로딩 장치는,
    상기 LCD 검사 장비의 내측 양단에 길이 방향으로 설치되고, 일단에 제 2커플러가 설치되는 수평 LM 가이드와;
    상기 수평 LM 가이드에 양단이 수평으로 결합되어 상기 수평 LM 가이드를 따라 전후로 이동되고, 중앙부에 상기 록킹 장치가 설치되는 교체 바와;
    각각의 상기 수평 LM 가이드의 제 2커플러와 결합되는 제 2샤프트와;
    상기 제 2샤프트를 회전시켜 상기 수평 LM 가이드 상에서 상기 교체 바를 이동시키는 제 2모터로 이루어지는 것을 특징으로 하는 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 록킹 장치는,
    상기 워크 스테이지의 이동 플레이트와, 적재 플레이트의 구동 플레이트와, 상기 로딩 장치의 교체 바에 각각 설치되고, 공압에 의해 동작되는 암 고정부와;
    각각의 상기 프로브 유니트의 상단 양측에서 서로 대응되도록 설치되는 수 고정부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 암 고정부는,
    직사각 형태로 형성되고, 양단에서 날개판이 수직으로 연장 형성되며, 중앙부가 개구되어 개구홀이 형성되고, 상기 개구홀의 일측에 "U"자 형태의 걸림턱이 형성되고, 일측면에 쐐기 형태의 가이드 슬롯이 형성되는 록킹용 플레이트와;
    사각 형태로 형성되고, 중앙부에 테이퍼 형태의 관통홀이 형성되며, 상기 가이드 슬롯와 치합되는 가이드 돌기가 형성되는 고정 블록과;
    상기 고정 블록의 일측면과 상기 록킹용 플레이트의 어느 하나의 날개판 사이에 고정되어 공압에 의해 상기 록킹용 플레이트를 상기 고정 블록에서 좌우로 이동시키는 제2 공압 실린더; 및
    상기 록킹용 플레이트에 다른 하나의 날개판에 고정되어 상기 고정 블록에 탄성을 제공하는 코일 스프링으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 수 고정부는,
    사각 형태의 몸체와;
    상기 몸체의 일측면에서 돌출되되, 상기 고정 블록의 관통홀에 삽입되도록 테이퍼 형태로 형성되고, 상기 걸림턱에 고정되도록 끝단에 걸림홈이 형성되며, 상기 고정 블록의 관통홀에 삽입시 상기 걸림홈이 외부로 돌출되는 길이를 갖는 돌기로 이루어지는 것을 특징으로 하는 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 암 고정부의 걸림턱은,
    상기 돌기가 상기 고정 블록의 관통홀에 삽입된 상태에서 상기 록킹용 플레이트가 슬라이딩될 시 상기 돌기의 걸림홈이 용이하게 결합되도록 경사면을 구비하는 것을 특징으로 하는 LCD 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치.
KR1020110036282A 2011-04-19 2011-04-19 Lcd 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치 KR101035570B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110036282A KR101035570B1 (ko) 2011-04-19 2011-04-19 Lcd 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110036282A KR101035570B1 (ko) 2011-04-19 2011-04-19 Lcd 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101035570B1 true KR101035570B1 (ko) 2011-05-19

Family

ID=44366282

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110036282A KR101035570B1 (ko) 2011-04-19 2011-04-19 Lcd 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101035570B1 (ko)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101545844B1 (ko) * 2014-03-31 2015-08-20 주식회사 디이엔티 프로브 유닛 교체장치
CN108445377A (zh) * 2018-05-30 2018-08-24 苏州智华汽车电子有限公司 车载摄像头pcba板功能检测治具
KR102097456B1 (ko) * 2019-07-01 2020-04-07 우리마이크론(주) 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 블록 조립체, 이의 제어 방법 및 디스플레이 패널 검사 장치
KR102097455B1 (ko) * 2019-07-01 2020-04-07 우리마이크론(주) 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 블록 조립체, 이의 제어 방법 및 디스플레이 패널 검사 장치
KR102154758B1 (ko) * 2020-03-30 2020-09-10 우리마이크론(주) 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 블록 조립체, 이의 제어 방법 및 디스플레이 패널 검사 장치
KR102154760B1 (ko) * 2020-03-30 2020-09-10 우리마이크론(주) 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 블록 조립체, 이의 제어 방법 및 디스플레이 패널 검사 장치
WO2021002572A1 (ko) * 2019-07-01 2021-01-07 우리마이크론(주) 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 블록 조립체, 이의 제어 방법 및 디스플레이 패널 검사 장치
CN114839802A (zh) * 2022-05-25 2022-08-02 广东江粉高科技产业园有限公司 一种损伤小高效lcd测试pad信号测试装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100576947B1 (ko) 2004-12-04 2006-05-10 주식회사 파이컴 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치및 그 방법
KR100693382B1 (ko) 2004-02-17 2007-03-09 시마쯔 코포레이션 액정기판 검사장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100693382B1 (ko) 2004-02-17 2007-03-09 시마쯔 코포레이션 액정기판 검사장치
KR100576947B1 (ko) 2004-12-04 2006-05-10 주식회사 파이컴 평판디스플레이 패널 검사장치 검사부의 점등 테스트 장치및 그 방법

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101545844B1 (ko) * 2014-03-31 2015-08-20 주식회사 디이엔티 프로브 유닛 교체장치
CN108445377A (zh) * 2018-05-30 2018-08-24 苏州智华汽车电子有限公司 车载摄像头pcba板功能检测治具
KR102097456B1 (ko) * 2019-07-01 2020-04-07 우리마이크론(주) 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 블록 조립체, 이의 제어 방법 및 디스플레이 패널 검사 장치
KR102097455B1 (ko) * 2019-07-01 2020-04-07 우리마이크론(주) 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 블록 조립체, 이의 제어 방법 및 디스플레이 패널 검사 장치
WO2021002572A1 (ko) * 2019-07-01 2021-01-07 우리마이크론(주) 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 블록 조립체, 이의 제어 방법 및 디스플레이 패널 검사 장치
JP2022539083A (ja) * 2019-07-01 2022-09-07 メガセン・カンパニー・リミテッド ディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体、この制御方法およびディスプレイパネル検査装置
JP7250182B2 (ja) 2019-07-01 2023-03-31 メガセン・カンパニー・リミテッド ディスプレイパネル検査のためのプローブブロック組立体、この制御方法およびディスプレイパネル検査装置
KR102154758B1 (ko) * 2020-03-30 2020-09-10 우리마이크론(주) 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 블록 조립체, 이의 제어 방법 및 디스플레이 패널 검사 장치
KR102154760B1 (ko) * 2020-03-30 2020-09-10 우리마이크론(주) 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 블록 조립체, 이의 제어 방법 및 디스플레이 패널 검사 장치
CN114839802A (zh) * 2022-05-25 2022-08-02 广东江粉高科技产业园有限公司 一种损伤小高效lcd测试pad信号测试装置
CN114839802B (zh) * 2022-05-25 2023-11-03 广东江粉高科技产业园有限公司 一种损伤小高效lcd测试pad信号测试装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101035570B1 (ko) Lcd 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치
CN100514126C (zh) 用于平板显示器的检查方法和装置
KR101616564B1 (ko) 프로브 이동장치
WO2020051830A1 (zh) 线路板电测设备
JP2019035757A (ja) 回路基板実装装置
KR100650273B1 (ko) 액정표시패널 검사 장비
KR20070117870A (ko) Lcd 검사 장비
CN106873195B (zh) 探针单元更换装置
KR20110022202A (ko) 멀티 프로브 유니트
KR101395219B1 (ko) 디스플레이 글라스 안착 모듈
KR101286250B1 (ko) 다수의 헤드 유니트를 갖는 어레이 테스트 장치
KR20100080124A (ko) 기판검사장치
KR100870152B1 (ko) Lcd 검사 장비용 프로브 유니트의 자동 변경 장치
KR101594563B1 (ko) 검사시스템용 소켓 이송장치
TWI401436B (zh) 探針單元及檢查裝置
KR20150129935A (ko) 기판 검사 장치 및 기판 검사 방법
US9128147B2 (en) Test head, test board and test apparatus
KR20070113970A (ko) Ic 테스터 및 테스트 보드의 착탈 방법
KR100756438B1 (ko) 엘씨디 셀 검사용 프로빙장치
KR101354956B1 (ko) 프로브 유니트용 크리너
KR20090006688A (ko) 프로브장치 및 이를 이용한 검사방법
KR101708488B1 (ko) 오토 프로브 검사 장치
KR101796546B1 (ko) 인쇄회로기판 교체를 위한 가압장치
KR101017626B1 (ko) Lcd검사 장비용 얼라인먼트 스테이지
JP2001201528A (ja) 配線基板等の導通試験装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140513

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150513

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161115

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee