CN100514126C - 用于平板显示器的检查方法和装置 - Google Patents
用于平板显示器的检查方法和装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN100514126C CN100514126C CNB2006100585881A CN200610058588A CN100514126C CN 100514126 C CN100514126 C CN 100514126C CN B2006100585881 A CNB2006100585881 A CN B2006100585881A CN 200610058588 A CN200610058588 A CN 200610058588A CN 100514126 C CN100514126 C CN 100514126C
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- unit
- visual test
- visual
- test
- overall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
- G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
- G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2801—Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
- G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
- G09G3/006—Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
这里公开了一种FPD检查方法和装置,其允许利用同一设备相继执行视觉测试和总体测试。用于平板显示器(FPD)的检查方法包括:装载工艺,其用于将传送到FPD检查台的FPD面板安装到检查垫上;总体测试工艺,在将总体测试单元与视觉测试单元整体形成其中的FPD检查装置安装到检查垫上后,经由总体测试单元的多个探头,将电功率和控制信号施加到检查垫的通道部分,由此在FPD面板上输出总体测试屏,以便通过总体测试屏检测FPD面板的缺陷;以及视觉测试工艺,其用于使视觉测试单元与检查垫的通道部分接触,以在通道部分短路所述垫,由此在FPD面板上输出视觉测试屏,以便通过视觉测试屏检测FPD面板的线缺陷和元缺陷。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于平板显示器(FPD)的检查方法和装置。更为具体地,本发明涉及一种FPD检查方法和装置,其允许利用同一设备相继执行视觉测试和总体测试。
背景技术
在包括液晶显示器(LCD)的平板显示器的制造中,在被装配为完成的平板显示器产品之前,其将经受用于检查FPD面板缺陷的存在的某些工艺。
为了在装配之前对FPD面板进行检查,首先,使驱动IC所附着的检查垫与检查探头接触。此后,从驱动IC施加到检查探头的电功率和控制信号,经由检查垫施加到FPD面板,以便于在FPD面板上输出总体测试屏。通过使用该总体测试屏,可执行能检查FPD面板缺陷的总体测试。总体测试使能对FPD面板上点的检查和与显示器关联的其他检查。此处,驱动IC所附着的检查垫包括Mb垫和通道部分。Mb垫用于将信号施加到相应的检查探头块,而通道部分具有R、G和B特性。
但是,在上述总体测试中可观察到的缺陷通常是由所谓的“针缺失(pin-miss)”引起的,尽管其看起来是由上述FPD面板上的杂质引起的。“针缺失”经常由于在FPD面板检查中使用的探头块处设置的磨损针等而发生。FPD面板的垫间距越窄,针缺失产生的频率越高。
相应地,很难准确地确定FPD面板缺陷的原因。
另外,当有缺陷的面板经受为后工艺的模块工艺时,只有在通过使用各向异性导电膜(ACF)使驱动IC和印刷电路板压在一起后才能检测有缺陷的面板的存在。相应地,如果检测到有缺陷的面板,昂贵的驱动IC和PCB必须从有缺陷的面板去除,并且被去除的驱动IC和PCB也不可再使用。因此,存在着经济损失的问题。
同时,在移动显示器面板或大规模的显示器面板的情况下,通常执行用于检查面板接线缺陷的视觉测试。与仅执行总体测试相比,这具有达到缺陷率降低的效果。但是,视觉测试和总体测试二者单独执行意味着执行两个测试所需的时间、劳动力和空间加倍。
此外,视觉图案(即,短路棒)必须在执行模块工艺前去除,因此,不可能在模块工艺中执行视觉测试。相应地,必须在模块工艺前执行视觉测试。
发明内容
因此,鉴于以上问题,已完成本发明,本发明的一个目的是提供一种用于平板显示器(FPD)检查方法和装置,其中对诸如液晶显示器(LCD)面板的FPD面板的视觉测试和总体测试可利用同一设备相继执行。
本发明的另一目的是提供一种用于FPD的检查方法和装置,其中,在总体测试期间,通过使用枢转单元,视觉测试探头单元可相对于总体测试探头单元枢转地旋转,由此只有总体测试探头单元与待检查的FPD面板接触。
本发明另一目的是提供一种用于FPD的检查方法和装置,其中视觉测试单元具有可垂直移动的结构,由此,在视觉测试的情况下,视觉测试单元可与总体测试单元一起与待检查的FPD面板接触,而在总体测试的情况下,视觉测试单元向上移动以使能总体测试的执行。
本发明的又一目的是提供一种用于FPD的检查方法和装置,其中视觉测试单元设置在总体测试单元的下端,并具有可水平移动的结构,由此,在视觉测试的情况下,在接收由总体测试单元施加的压力时,视觉测试单元向前移动以与待检查的FPD面板接触以执行视觉测试,而在总体测试的情况下,视觉测试单元向后移动以使总体测试单元与待检查的FPD面板接触,以使能总体测试的执行。
根据本发明的一个方面,通过提供一种用于平板显示器的检查方法,可实现上述和其他目的,该方法包括:装载工艺,其用于将传送到平板显示器检查台的平板显示器安装到检查垫上;总体测试工艺,在将总体测试单元与视觉测试单元整体形成其中的平板显示器检查装置移动到检查垫之后,经由总体测试单元的多个探头,将电功率和控制信号施加到检查垫的通道部分,从而在平板显示器上输出总体测试屏,以便于经由总体测试屏来检测平板显示器的缺陷;以及视觉测试工艺,其用于使视觉测试单元与检查垫的通道部分接触,以在通道部分短路所述检查垫,从而在平板显示器上输出视觉测试屏,以便经由视觉测试屏来检测平板显示器的线缺陷和元缺陷。
根据本发明的一个方面,提供一种用于平板显示器的检查装置,包括:至少一个视觉测试单元,用来短路所述平板显示器连接到的垫的通道部分,由此将视觉测试屏输出到所述平板显示器上,以便检测所述平板显示器的线缺陷和元缺陷;以及至少一个总体测试单元,用来经由其多个探头将电功率和控制信号施加到所述通道部分,由此将总体测试屏输出在所述平板显示器上,以便检测所述平板显示器的缺陷;其中所述视觉测试单元和所述总体测试单元是根据手动操作来选择性操作的。
根据本发明的另一方面,通过提供一种用于检查平板显示器的检查装置,可完成上述和其他目的,其中平板显示器连接到具有连接到驱动IC的多个接触点的垫,该平板显示器检查装置包括:视觉测试单元;和总体测试单元,其中视觉测试单元和总体测试单元被选择性地驱动以允许针对平板显示器选择性地相继执行视觉测试和总体测试。
优选地,总体测试单元可以是总体测试探头单元,该总体测试探头单元包括:框架,其具有形成在框架侧面的铰接连接部分;总体测试探头壳,其用于在框架前端容纳多个总体测试探头;和激励器连接部分,其从框架的后端突出。视觉测试单元可以是视觉测试探头单元,其以可枢转旋转的方式铰接连接到框架,并在其一端具有多个视觉测试探头所述检查装置可进一步包括枢转单元,以使视觉测试探头单元相对于总体测试探头单元枢转地旋转。
优选地,平板显示器检查装置可包括:主连接框架;多个垂直移动单元,其通过紧固部件的使用而耦合到主连接框架;以及子连接框架,在其上表面的特定位置、通过紧固部件的使用而耦合到垂直移动单元。总体测试单元可以是多个总体测试单元,通过紧固部件的使用而耦合到所述主连接框架使得它们以恒定距离彼此间隔开,每个垂直移动单元位于所述主连接框架上的相邻两个总体测试单元之间。视觉测试单元可以是多个视觉测试单元,耦合到所述子连接框架的下表面使得它们以恒定距离彼此间隔开。
优选地,平板显示器检查装置包括:主连接框架;一对正向和反向驱动单元,通过固定部件的使用而固定地耦合到所述主连接框架的下表面的相对端;一对L形部件,每个在其第一部分耦合到所述正向和反向驱动单元中的一个,并在其第二部分形成有多个延长孔,所述第二部分垂直于所述第一部分;一对导引棒,分别在与所述L形部件以预定距离间隔开的位置耦合到所述主连接框架的所述下表面;一对线性运动导引,分别耦合到所述导引棒;以及可移动部件,固定地耦合到两个所述线性运动导引,并具有形成在其相对端、分别插入所述L形部件的延长孔的多个突出,所述可移动部件还具有阶梯状的前端。总体测试单元可以是多个总体测试单元,通过紧固部件的使用而耦合到所述主连接框架,以恒定距离彼此间隔开。视觉测试单元可以是多个视觉测试单元,其固定地耦合到所述可移动部件的所述阶梯状的前端,以预定的距离彼此间隔开。
附图说明
通过下列结合附图的详细描述,将对本发明的上述和其他目的、特征以及其他优点有更清楚的认识,其中:
图1是说明根据本发明的一种FPD检查方法的框图;
图2是说明根据本发明第一实施例的一个FPD检查装置的透视图;
图3是说明图2的FPD检查装置的部分分解透视图;
图4和图5是说明图2的FPD检查装置操作的侧视图;
图6是说明根据本发明第二实施例的一个FPD检查装置的透视图;
图7是说明图6的FPD检查装置的部分分解透视图;
图8和图9是说明图6的FPD检查装置操作的侧视图;
图10是说明根据本发明第三实施例的一个FPD检查装置的透视图;
图11和图12是说明图10的FPD检查装置操作的侧视图;
图13是说明根据本发明第四实施例的一个FPD检查装置的透视图;
图14是说明包括在图13的FPD检查装置中的视觉测试单元的底透视图;
图15是说明包括在图13的FPD检查装置中的总体测试单元的底透视图;以及
图16是图14的分解底透视图。
具体实施方式
现在,参考附图,将解释根据本发明的用于平板显示器(FPD)的检查装置的优选实施例。
参考图1,根据本发明的FPD检查方法包括:装载工艺S100、总体测试工艺S200和视觉测试工艺S300。在装载工艺S100中,将传送到FPD检查台的FPD面板安装到至少一个检查垫上;然后,为相继执行总体测试工艺S200和视觉测试工艺S300,其中总体测试单元与视觉测试单元彼此整体形成的FPD检查装置被安装到检查垫上。在总体测试工艺S200中,经由总体测试单元的多个探头,将电功率和控制信号施加到检查垫的通道部分,以使总体测试屏在FPD面板上输出。通过该总体测试屏,有可能检测FPD面板本身的缺陷。在视觉测试工艺S300中,视觉测试单元与检查垫的通道部分接触,以在通道部分短路所述垫,以使视觉测试屏在FPD面板上输出。通过该视觉测试屏,有可能检测FPD面板的线缺陷和元(cell)缺陷。
下文中,将详细解释使用上述方法的FPD检查装置的不同实施例。
第一实施例
参考图2,图2说明一个根据本发明第一实施例的FPD检查装置,该FPD检查装置包括:总体测试探头单元10,其用于对FPD面板执行总体测试;视觉测试探头单元20,其用于对FPD面板执行视觉测试,视觉测试探头单元20以可枢转旋转的方式铰接连接到总体测试探头单元10;以及枢转单元30,其用于使视觉测试探头单元20相对于总体测试探头单元10枢转地旋转。
总体测试探头单元10包括:框架11,其具有一个或多个的铰接连接部分12;和总体测试探头壳13,其用于在框架11前端容纳多个总体测试探头14。
具体而言,具有预定形状的总体测试探头单元10的框架11占据了FPD检查装置的一部分,并在其前端耦合到总体测试探头壳13,在总体测试探头壳13中容纳总体测试探头14,以完成总体测试探头单元10。
考虑铰接连接部分12,它们可设置在具有预定形状的框架11的一个侧面(lateral side),或优选地,可对称地设置在框架11的相对的侧面。如图2中所示,铰接连接部分12可配置为从框架11向外突出,或者也可采取孔的形式,尽管没有示出。
如上所述,用于容纳总体测试探头14的总体测试探头壳13设置在框架11的前端。总体测试探头壳13内部限定了预定的空间并具有开放的底表面,以使总体测试探头14彼此平行地设置,以在其一端处与总体测试探头壳13内的检查垫1的接触点2接触。每个总体测试探头14具有刀片的形状,并在其一端形成有接触部分14a,以与垫1的接触点2之一接触。总体测试探头14用于将施加到其的电信号传输到检查垫1的接触点2,以便于检查FPD面板本身缺陷的存在。
框架11与用于激励器连接的激励器连接部分15一起形成,激励器将在下文中解释。激励器连接部分15形成在框架11的后端,与总体测试探头14相对。
视觉测试探头单元20包括:子框架21,设置有一对铰接连接部件22;多个视觉测试探头24,其设置在子框架21的前面;和激励器支架25,其设置在子框架21的后端。
子框架21的铰接连接部件22铰接连接到框架11的铰接连接部分12,使得子框架21可相对于框架11枢转地旋转预定角度。如图3中所示,通过使用铰接连接部件22,子框架21具有与框架11的铰接连接部分12互补的形状,以便铰接连接到框架11。因此,将子框架21铰接连接到框架11使得视觉测试探头单元20能够相对于总体测试探头单元10枢转地旋转。
视觉测试探头24位于子框架21的前面,使得它们与垫1的接触点2接触,以对FPD面板执行视觉测试。视觉测试探头单元20进一步包括视觉测试探头支持器23,支持器23具有预定的长度并设置在子框架21的前端。视觉测试探头24耦合到视觉测试探头支持器23的前端,与子框架21相对。
多个视觉测试探头24限定为块形,并用作在常规视觉测试中使用的短路棒。尽管从常规上说需要短路棒以便以预定数目对垫1的接触点2进行分组,但是本发明由于使用了块形视觉测试探头24而不需要短路棒。多个视觉测试探头24设置为从图3的左侧向右侧延伸预定宽度,以使它们对应于除了位于相对端区域的其他接触点以外的、设置在垫1上的一些接触点2。
设置在子框架21后端的激励器支架25与激励器板33一起耦合到激励器31。
虽然没有示出,总体测试探头14连接到用于电驱动FPD面板的一个或多个驱动IC(未示出)。视觉测试探头24适于单独地接收电功率,从而用于短路垫1的接触点2,更具体而言,短路检查垫1的通道部分上的接触点2。
枢转单元30,其用来使视觉测试探头单元20相对于总体测试探头单元10枢转地旋转,其包括:激励器31,其具有耦合到激励器支架25的杆32;及激励器板33,以将激励器31连接到框架11。
杆32可移动地容纳在激励器31的主体中,这样,当杆32从激励器31延伸或收缩到激励器31中时,杆32动作以使视觉测试探头单元20相对于总体测试探头单元10枢转地旋转。
在耦合到激励器31之前,用于激励器31的耦合的激励器板33首先铰接连接到框架11的后端。具体地,激励器板33在其下端被铰接连接到框架11的激励器连接部分15,以使其可相对于框架11枢转地旋转。然后,当激励器31被耦合到激励器板33时,激励器31可相对于框架11枢转地旋转。
在被耦合到激励器板33后,当激励器31的杆32在其一端连接到设置在子框架21后端的激励器支架25时,激励器31也被耦合到视觉测试探头单元20的子框架21。因此,视觉测试探头单元20能够依照激励器31的操作相对于总体测试探头单元10枢转地旋转。
现在,将解释根据本发明第一实施例的具有上述配置的FPD检查装置的操作和效果。
为检查包括LCD面板的FPD面板,首先,将FPD面板传送到FPD检查装置中,并将其设置在预定检查位置。
然后,将待检查的FPD面板连接到具有连接到驱动IC的多个接触点2的垫1。当待检查的FPD面板连接到如图2中所示接触点2在其上以恒定距离均匀设置的垫1时,有可能在将FPD面板装配成完成的平板显示器产品之前检查到FPD面板缺陷的存在。
如果如上所述FPD面板准备好进行检查,首先通过使用视觉测试探头单元20来对FPD面板执行视觉测试。为此,如图4中所示,在激励器31、更具体而言激励器31的杆32延伸的状态中,设置在视觉测试探头单元20前端的视觉测试探头24与垫1的接触点2接触。
然后,经由视觉测试探头24,从单独连接的电源供给的电功率施加到垫1,使得只有在垫1的通道部分上的接触点2被短路,并将为黑屏的视觉测试屏输出到待检查的FPD面板上。结果,操作者可经由黑视觉测试屏来确定FPD面板的线缺陷和元缺陷。
在该情况下,如果FPD面板被确定为有缺陷的一个,则将该FPD面板从检查装置中卸下,以对有缺陷的区域进行修理或将面板本身处置掉。相反地,如果FPD面板被确定为正常的一个,将在随后对该FPD面板执行总体测试。
在如上所述的视觉测试中,以恒定距离均匀地设置在垫1上的所有接触点2均未与视觉测试探头24接触。除了适于接收电功率和控制信号的其他接触点2之外,只有一些适于接收通道信号的接触点2与视觉测试探头24接触。
在视觉测试完成后,操作激励器31以使视觉测试探头单元20从垫1分离。如果激励器31、更具体而言杆32被压缩以使视觉测试探头单元20顺时针从图4中所示状态枢转地旋转到图5中所示状态,则设置在视觉测试探头单元20前端的视觉测试探头24从垫1的接触点2移开。从而,在视觉测试探头24与垫1分离的状态中,从驱动IC施加的控制信号施加到总体测试探头单元10的总体测试探头14,以便于执行用于确定FPD面板相应单元的缺陷的总体测试。
具体地,如果将控制信号施加到总体测试探头14,则基于FPD面板相应元的缺陷而输出通知缺陷率的特定值,并因此可确定FPD面板是否有缺陷。如果FPD面板确定为正常的一个,则将该面板传送到后工艺,以便装配成完成的平板显示器产品。相反地,如果FPD面板确定为有缺陷的一个,面板必须被处置掉或在修理后再次经受上述的检查工艺。
在上述的总体测试中,垫1的所有接触点2分别与所有总体测试探头14的接触部分14a接触,以确定FPD面板相应元的缺陷。
在完成总体测试后,经检查的FPD面板被传送到后工艺,而新面板准备好用于检查。如果新面板已准备好进行检查,激励器31、更具体而言杆32再次延伸以使视觉测试探头单元20枢转地旋转使得视觉测试探头24与垫1的接触点2接触,以便执行视觉测试。类似地,在视觉测试完成后,视觉测试探头单元20枢转地旋转以将视觉测试探头24从垫1的接触点2移开,以便允许执行总体测试。
当如上所述的操作重复执行时,可针对多个FPD面板连续地检查其缺陷的存在。
第二实施例
参考说明一个根据本发明第二实施例的FPD检查装置的图6至图9,该检查装置包括:主连接框架100、多个总体测试单元109;多个垂直移动单元135;子连接框架126;多个视觉测试单元119;和多个弹性部件124。通过紧固部件102的使用,用于对FPD面板执行总体测试的多个总体测试单元109固定地安装在主连接框架100上,以使它们以恒定距离彼此间隔开。通过紧固部件102的使用,多个垂直移动单元135亦固定地安装在主连接框架100上,以使每个垂直移动单元135位于主连接框架100上的相邻的两个总体测试单元109之间。垂直移动单元135用来使视觉测试单元119与FPD面板接触或用来使视觉测试单元119从FPD面板分离。通过紧固部件102的使用,垂直移动单元135亦安装在子连接框架126的上表面的特定位置。用于对FPD面板执行视觉测试的多个视觉测试单元119耦合到子连接框架126的下表面,以使它们以恒定距离彼此间隔开。多个弹性部件124分别插入通过子连接框架126垂直打孔的多个孔122中,以使每个弹性部件124的一端插入一个关联的视觉测试单元119的凹陷116中,而弹性部件124的另一端由紧固部件125按压和支持。
具体地,每个总体测试单元109包括:主体104;和总体测试探头壳108,其位于主体104的前端并配置为在其中容纳多个总体测试探头106。本实施例的总体测试单元109和上述第一实施例的总体测试单元在配置上相同,由此不再给出对其的详细描述。
参考图7,每个视觉测试单元119包括:形成在其上表面中心的突出112;一对固定翼114,其形成在所述上表面的相对端、与突出112间隔预定的距离;一对凹陷,其形成在突出112和两个固定翼114之间;以及设置在其前端表面的视觉测试部件118。
视觉测试部件118由任意选择的材料制成,只要该材料是导电的即可。
另外,视觉测试部件118可具有板的形状或探头形状。
子连接框架126具有:多个耦合槽128,其形成在其下表面,彼此间隔预定的距离;和多个导引槽130,其形成在相应耦合槽128的相对侧。具体地,每两个导引槽130与每个耦合槽128在相对方向以预定的距离彼此间隔开。
利用上述配置,形成在每个视觉测试单元119上表面的相对端的固定翼114沿着子连接框架126的关联的导引槽130插入,并耦合到关联的导引槽130;而形成在视觉测试单元119上表面中心的突出112沿着子连接框架126的关联的耦合槽128插入,并耦合到关联的耦合槽128。因此,如果多个视觉测试单元119完全耦合到子连接框架126,则视觉测试单元119的凹陷116分别与子连接框架126的孔122垂直对齐。
在视觉测试单元119完全耦合到子连接框架126后,弹性部件124从上述子连接框架126的孔122插入,直到它们达到视觉测试单元119的凹陷116。然后,紧固部件125分别紧固到孔122中,以按压弹性部件124,以便其通过孔122安装在凹陷116中。在该情况下,每个孔122在其内周表面形成有螺纹,因此允许旋动紧固部件125。
同时,子连接框架126在面向垂直移动单元135的其一端表面设置有多个LM导引129。
每个垂直移动单元135包括:主体110,在其一端设置有导引棒136,以插入LM导引129之一中;盖132,其设置在耦合到子连接框架126的主体110的上表面;以及弯曲件134,其经由紧固部件102连接到盖132,并适于允许子连接框架126在接收外力时向上移动。
具体地,在向上移动单元135的主体110通过紧固部件102的使用而固定在主连接框架100上后,导引棒136被插入子连接框架126的LM导引129,以允许主体110耦合到子连接框架126。然后,通过紧固部件102的使用,弯曲件134耦合并固定到子连接框架126,同时盖132插入在其间。利用该配置,当弯曲件134的上表面134a被圆柱(如图8中虚线所示)按压时,基于杠杆原理,子连接框架126能够通过耦合到其的弯曲件134向上移动。
现在,将解释根据本发明第二实施例的具有上述配置的FPD检查装置的操作和效果。
如上面相关于第一实施例所描述的,为了检查包括LCD面板的FPD面板,首先将FPD面板传送进检查装置,并将其设置在预定的检查位置。
然后,如果FPD面板如图6中所示连接到接触点2以恒定距离均匀设置在其上的垫1,有可能在将FPD面板装配成完成的平板显示器产品之前检查FPD面板缺陷的存在。
如果FPD面板如上所述准备进行检查,则首先通过使用视觉测试单元119对FPD面板执行视觉测试。具体地,如果将圆柱(如图8中虚线所示)施加到弯曲件134的压力去除,则子连接框架126向下移动,由此,设置在视觉测试单元119前端的视觉测试部件118与垫1的接触点2接触。
然后,如果从独立电源供给的电功率施加到视觉测试部件118,则仅短路垫1的通道部分上的接触点2,从而允许视觉测试屏即黑屏输出在FPD面板上。结果,经由该黑视觉测试屏,操作者能够确定FPD面板的线缺陷和元缺陷。在视觉测试中,视觉测试单元118未与以恒定距离均匀设置在垫1上的所有接触点2接触,而是仅与除了适于接收电功率和控制信号的其他接触点之外的适于接收通道信号的一些接触点接触。
如果确定FPD面板为有缺陷的一个,则将FPD面板从检查装置中卸下,以便修理有缺陷的区域或将FPD面板本身处置掉。相反地,如果确定FPD面板为正常的一个,则随后对FPD面板执行总体测试。
具体地,在完成视觉测试后,如果如图9中所示操作圆柱以按压弯曲件134,则导引棒136沿着LM导引129向上移动,从而允许子连接框架126向上移动。结果,视觉测试单元119的视觉测试部件118从垫1分离,并因此视觉测试单元119从垫1的接触点2移开。
随后,如果在视觉测试单元119从垫1移开的状态中,驱动IC将信号施加到总体测试单元109的总体测试探头106,则执行用于确定FPD面板相应元的缺陷的总体测试。
具体地,如果信号施加到总体测试探头106,则基于FPD面板的相应元的缺陷来输出通知缺陷率的特定值,因此,可确定FPD面板是否有缺陷。如果确定FPD面板为正常的一个,则将该面板传送到后工艺,以便装配成完成的平板显示器产品。相反地,如果确定FPD面板为有缺陷的一个,则面板必须被处置掉或在修理后再次经受上述的检查工艺。
在上述的总体测试中,垫1的所有接触点2与总体测试探头106的接触部分106a接触,以确定FPD面板相应元的缺陷。
在完成总体测试后,将FPD面板传送到后工艺,而新的面板准备好用于检查。
由于上述的操作重复执行,因此可针对多个FPD面板连续检查其缺陷的存在。
第三实施例
如图10至图12中所示的根据本发明第三实施例的FPD检查装置与根据本发明第二实施例的FPD检查装置略有不同。相应地,将省略对具有和第二实施例相同结构的元件的描述,并且下文中将仅描述其之间的不同之处。
本发明第二实施例和第三实施例之间的主要差别包括:固定到子连接框架126的垂直移动单元135的弯曲件134的结构特征,以及子连接框架126和视觉测试单元119之间的连接结构。
如图10中所示的第三实施例中,第二实施例的连接并固定到每个垂直移动单元135的主体110的多个弯曲件134由具有多个连接器310的弯曲部件300代替。连接器310的位置确定为与垂直移动单元135垂直对齐,以便分别连接到多个垂直移动单元135。
考虑与第二实施例不同的子连接框架126和视觉测试单元119之间的连接结构,本实施例提出了分别通过子连接框架126的孔122紧固的多个弹性部件124'的使用以在其一端插入视觉测试单元119的凹陷116中。在该情况下,每个孔122在其内周表面形成有螺纹。
参考图11,每个弹性部件124'是具有盲上端和阶梯状下端124'a的空管的形状。
弹簧124'c插入弹性部件124'的空部分124'b。同样,固定体124'd连接到弹簧124'c的下端,以便在其被阶梯状下端124'a捕捉时不与弹性部件124'分离。
具体地,如图11中所示,当施加到其的外力消失时,固定体124'd在接收弹簧124'c的恢复力时返回到其原始位置,从而允许视觉测试单元119的相关联的一个与垫的接触点接触,以使视觉测试能够执行。
如图12中所示,固定体124'd在接收外力时动作以向上推弹簧124'c,视觉测试单元119向上移动,从而使得总体测试单元109相关联的一个与垫的接触点接触,以使总体测试能够执行。
第四实施例
参考图13至图16,图13至图16说明了根据本发明第四实施例的FPD检查装置,该FPD检查装置包括:主连接框架200;多个总体测试单元209,通过紧固部件的使用而耦合到主连接框架200,以恒定距离彼此间隔开;一对正向和反向驱动单元247,通过固定部件243的使用,其固定耦合到主连接框架200的下表面的相对端;一对L形部件245,每个在其第一部分耦合到正向和反向驱动单元247中的一个,并在其第二部分形成有多个延长孔245a和245b,第二部分垂直于第一部分;一对导引棒236b,在与L形部件245以预定距离间隔开的位置分别耦合到主连接框架200的下表面;一对LM导引236a,分别耦合到导引棒236b;可移动部件226固定耦合到两个LM导引236a,并具有形成在其相对端、插入L形部件245的延长孔245a和245b中的突出226a和226b,可移动部件226具有阶梯状的前端;以及多个视觉测试单元229,安装并耦合在可移动部件226的阶梯状前端上,以预定的距离彼此间隔开。
视觉测试单元229中的每个包括:薄铜板224;附着到铜板224的视觉测试部件228;以及固定件222,其用于将薄铜板224耦合并固定到可移动部件226。
视觉测试部件228是弹性部件,更具体而言是导电橡胶。
现在将解释根据本发明第四实施例的具有上述配置的FPD检查装置的操作和效果。
下文中,将省略对与第一和第二实施例相同的元件的详细描述,而只描述明显不同的元件。
如果FPD面板准备好进行检查,则如图14中所示,首先反向驱动采用圆柱形式的正向和反向驱动单元247,使得L形部件245向前移动,连接到可移动部件226的LM导引236a沿着导引棒236b向前移动。结果,可移动部件226向前移动,因此允许通过固定件222的使用而耦合到可移动部件226的多个视觉测试单元229向前移动,以便其位于每个总体测试单元209中的下端。
接着,如果每个总体测试单元209的一端按压每个视觉测试单元229的一端,则视觉测试单元229的视觉测试部件228与垫1的接触点2接触,使得能够执行视觉测试。
在以与第一实施例至第三实施例相同方式完全执行视觉测试后,如图15中所示,向前驱动正向和反向驱动单元247,使得L形部件245向后移动,并使得连接到可移动部件226的LM导引236a沿着导引棒236b向后移动,与视觉测试相反。结果,可移动部件226向后移动,因此允许通过固定件222的使用而耦合到可移动部件226的多个视觉测试单元229向后移动,以便总体测试单元209的探头206暴露到外面。
当总体测试单元209的探头206暴露到外面并与垫1的接触点2接触时,执行总体测试。
如上所述,通过使用相同的设备、在未移动FPD面板的情况下,相继执行了视觉测试和总体测试,由此可减少传送用于检查FPD面板所需的时间和额外的检查准备时间。
如根据上述描述而明显的,根据本发明的FPD检查装置具有下列效果。
第一,通过在FPD的制造中减少检查FPD面板存在缺陷所需的时间,本发明的FPD检查装置具有提高平板显示器产量的效果。具体地,根据本发明,对FPD面板的视觉测试和总体测试可利用同一设备相继执行,因此,和需要单独工艺来执行视觉测试和总体测试的现有技术相比,有可能减少移动FPD面板所需的时间和测试准备时间以及劳力。
第二,根据本发明,某些通过总体测试不可能检测到的缺陷可通过视觉测试检测。这具有完全防止将有缺陷的面板传送到后工艺的效果。
第三,由于为了降低价格而减少驱动IC数量的努力,传统上已提出将垫的间距减半以减少驱动IC的数量。但是,当间距减小时,需要减少检查探头单元之间的间距,因此存在这种风险,即当接通FPD时更为频繁地产生所谓“针缺失(pin miss)”。通过在相同线中相继执行视觉测试和总体测试二者,本发明具有防止“针缺失”的效果。
尽管为了说明的目的已公开了本发明的优选实施例,但是本领域的技术人员将理解,在不脱离所附权利要求公开的精神和范围的情况下,有可能对本发明进行各种修改、添加和替换。
Claims (31)
1.一种用于平板显示器的检查方法,包括:
装载工艺,其用于将传送到平板显示器检查台的平板显示器安装到检查垫上;
总体测试工艺,在将总体测试单元与视觉测试单元整体形成于其中的平板显示器检查装置移动到所述检查垫之后,经由所述总体测试单元的多个探头,将电功率和控制信号施加到所述检查垫的通道部分,由此在所述平板显示器上输出总体测试屏,以便经由所述总体测试屏检测所述平板显示器的缺陷;以及
视觉测试工艺,其用于使所述视觉测试单元与所述检查垫的通道部分接触,以在所述通道部分短路所述检查垫,由此在所述平板显示器上输出视觉测试屏,以便经由所述视觉测试屏检测所述平板显示器的线缺陷和元缺陷。
2.如权利要求1所述的方法,其中当所述总体测试单元和所述视觉测试单元二者同时与所述检查垫接触时,执行所述视觉测试工艺。
3.如权利要求2所述的方法,其中当将所述视觉测试单元关于所述总体测试单元枢转地旋转使得所述视觉测试单元的远端与所述检查垫分离时,执行所述总体测试工艺。
4.如权利要求2所述的方法,其中所述视觉测试单元在接收外力时向上移动使得所述视觉测试单元的远端与所述检查垫分离时,执行所述总体测试工艺。
5.如权利要求2所述的方法,其中当所述视觉测试单元根据一个或多个圆柱的正向和反向驱动相对于所述总体测试单元向后移动使得所述视觉测试单元的远端与所述检查垫分离时,执行所述总体测试工艺。
6.一种用于平板显示器的检查装置,包括:
至少一个视觉测试单元,用来短路所述平板显示器连接到的检查垫的通道部分,由此将视觉测试屏输出到所述平板显示器上,以便检测所述平板显示器的线缺陷和元缺陷;以及
至少一个总体测试单元,用来经由其多个探头将电功率和控制信号施加到所述通道部分,由此将总体测试屏输出在所述平板显示器上,以便检测所述平板显示器的缺陷;
其中所述视觉测试单元和所述总体测试单元是根据手动操作来选择性操作的。
7.如权利要求6所述的装置,进一步包括:
枢转单元,用来使所述视觉测试单元关于所述总体测试单元枢转地旋转。
8.如权利要求6所述的装置,进一步包括:
垂直移动单元,通过使用施加到其的外力使所述视觉测试单元向上移动。
9.如权利要求6所述的装置,进一步包括:
正向和反向驱动单元,使所述视觉测试单元关于所述总体测试单元向前和向后移动。
10.如权利要求7或8所述的装置,其中所述视觉测试单元包括视觉测试部件,以在接收外部功率时短路所述检查垫的所述通道部分。
11.如权利要求10所述的装置,其中所述视觉测试部件具有板的形状。
12.如权利要求10所述的装置,其中所述视觉测试部件具有探头的形状。
13.如权利要求9所述的装置,其中所述视觉测试单元包括:
导电部件,具有固定到辅助框架的第一端,所述辅助框架连接到所述正向和反向驱动单元;以及
视觉测试部件,设置在所述导电部件的第二端,以在通过所述导电部件接收功率时,短路所述检查垫的所述通道部分。
14.如权利要求13所述的装置,其中所述导电部件是薄铜板。
15.一种用于平板显示器的检查装置,包括:
视觉测试单元;以及
总体测试单元,
其中所述视觉测试单元和所述总体测试单元是选择性驱动的,以允许针对平板显示器选择性地相继执行视觉测试和总体测试。
16.如权利要求15所述的装置,
其中所述总体测试单元是总体测试探头单元,所述总体测试探头单元包括:框架,具有形成在所述框架的侧面的铰接连接部分;总体测试探头壳,用于在所述框架的前端容纳多个总体测试探头;以及激励器连接部分,其从所述框架的后端突出;
其中所述视觉测试单元是视觉测试探头单元,其以可枢转旋转的方式铰接连接到所述框架,并在其一端具有多个视觉测试探头;及
其中所述平板显示器检查装置进一步包括枢转单元,用于使所述视觉测试探头单元相对于所述总体测试探头单元枢转地旋转。
17.如权利要求16所述的装置,其中所述视觉测试探头单元包括:
子框架;
连接板,其耦合到所述子框架并铰接连接到所述总体测试探头单元的框架;以及
视觉测试探头支持器,其耦合到所述子框架的前侧,并在其一端设置有多个视觉测试探头。
18.如权利要求17所述的装置,其中所述枢转单元包括:
激励器,其具有主体和插入所述主体中以从所述主体延伸或收缩入所述主体中的杆;以及
激励器板,其铰接连接到所述总体测试探头单元的所述框架的后端,
其中,所述激励器的主体耦合到所述激励器板,并且所述激励器的杆连接到激励器支架,所述激励器支架设置在所述子框架的后端,
由此,所述枢转单元动作以使所述视觉测试探头单元相对于所述总体测试探头单元枢转地旋转。
19.如权利要求15所述的装置,
其中所述平板显示器检查装置进一步包括:
主连接框架;
多个垂直移动单元,其通过紧固部件的使用耦合到所述主连接框架;以及
子连接框架,在其上表面的特定位置通过紧固部件的使用而耦合到所述垂直移动单元;
其中所述总体测试单元是多个总体测试单元,通过紧固部件的使用而耦合到所述主连接框架使得它们以恒定距离彼此间隔开,每个垂直移动单元位于所述主连接框架上的相邻两个总体测试单元之间,并且
其中所述视觉测试单元是多个视觉测试单元,耦合到所述子连接框架的下表面使得它们以恒定距离彼此间隔开。
20.如权利要求19所述的装置,其中每个所述总体测试单元包括:
第一主体;和
总体测试探头壳,设置在所述第一主体的前端并配置为将多个总体测试探头容纳于其中。
21.如权利要求20所述的装置,其中每个所述视觉测试单元包括:
形成在其上表面中心的突出;
一对固定翼,其形成在所述上表面的相对端,以预定的距离与所述突出间隔开;
一对凹陷,其形成在所述突出和两个所述固定翼之间;以及
设置在所述视觉测试单元的前端表面的视觉测试部件。
22.如权利要求21所述的装置,其中所述视觉测试部件是由导电材料制成的。
23.如权利要求、21所述的装置,其中所述视觉测试部件具有板的形状。
24.如权利要求21所述的装置,其中所述视觉测试部件具有探头的形状。
25.如权利要求21所述的装置,其中所述平板显示器检查装置进一步包括:
多个弹性部件,分别插入垂直通过子连接框架打孔的多个孔中,使得每个弹性部件的第一端插入相关联的一个视觉测试单元的凹陷之一中,而所述弹性部件的第二端由紧固部件按压和支持。
26.如权利要求20所述的装置,其中所述子连接框架具有:
多个耦合槽,形成在其下表面,以预定的距离彼此间隔开;以及
多个导引槽,形成在相应耦合槽的相对侧,使得每两个导引槽与每个耦合槽在相对方向以预定的距离彼此间隔开。
27.如权利要求20所述的装置,
其中所述子连接框架在面向所述垂直移动单元的其一端表面设置有多个线性运动导引,以及
其中每个所述垂直移动单元包括:
第二主体,在其第一端设置有插入所述线性运动导引中的一个的导引棒;
盖,其耦合到所述第二主体的上表面以耦合到所述子连接框架;以及
弯曲件,通过紧固部件的使用而连接到所述盖,并适于通过使用施加到其的外力使所述子连接框架向上移动。
28.如权利要求15所述的装置,其中所述平板显示器检查装置包括:
主连接框架;
一对正向和反向驱动单元,通过固定部件的使用而固定地耦合到所述主连接框架的下表面的相对端;
一对L形部件,每个在其第一部分耦合到所述正向和反向驱动单元中的一个,并在其第二部分形成有多个延长孔,所述第二部分垂直于所述第一部分;
一对导引棒,分别在与所述L形部件以预定距离间隔开的位置耦合到所述主连接框架的所述下表面;
一对线性运动导引,分别耦合到所述导引棒;以及
可移动部件,固定地耦合到两个所述线性运动导引,并具有形成在其相对端、分别插入所述L形部件的延长孔的多个突出,所述可移动部件还具有阶梯状的前端,
其中所述总体测试单元是多个总体测试单元,通过紧固部件的使用而耦合到所述主连接框架,以恒定距离彼此间隔开,以及
其中所述视觉测试单元是多个视觉测试单元,其固定地耦合到所述可移动部件的所述阶梯状的前端,以预定的距离彼此间隔开。
29.如权利要求28所述的装置,其中每个所述视觉测试单元包括:
薄铜板;
附着并固定到所述薄铜板的视觉测试部件;以及
将所述薄铜板固定地耦合到所述可移动部件的固定件。
30.如权利要求29所述的装置,其中所述视觉测试部件是弹性部件。
31.如权利要求30所述的装置,其中所述弹性部件是导电橡胶。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR20050109360 | 2005-11-15 | ||
KR1020050109360 | 2005-11-15 | ||
KR1020060007227 | 2006-01-24 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1967317A CN1967317A (zh) | 2007-05-23 |
CN100514126C true CN100514126C (zh) | 2009-07-15 |
Family
ID=37594228
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNB2006100585881A Expired - Fee Related CN100514126C (zh) | 2005-11-15 | 2006-03-22 | 用于平板显示器的检查方法和装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100611608B1 (zh) |
CN (1) | CN100514126C (zh) |
TW (1) | TW200719014A (zh) |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101312079B1 (ko) | 2006-09-29 | 2013-09-26 | 주식회사 아이에스시 | 프로브 유니트 조립체 및 이를 이용한 평판 표시 장치의검사 방법 |
KR100818563B1 (ko) * | 2007-02-16 | 2008-04-02 | 안재일 | 디스플레이 패널 검사방법 및 장치 |
CN101354485B (zh) * | 2007-07-23 | 2011-04-06 | 奇美电子股份有限公司 | 显示装置的测试系统及测试方法 |
KR100902600B1 (ko) | 2008-05-06 | 2009-06-11 | (주)유비프리시젼 | 컨택 블록 |
KR100867308B1 (ko) | 2008-06-05 | 2008-11-06 | 주식회사 코디에스 | 평판 디스플레이 패널의 검사장치 및 방법 |
KR100995811B1 (ko) * | 2008-11-07 | 2010-11-22 | 주식회사 크라또 | 탐침의 미세 위치 조정이 가능한 프로브 유닛 |
JP5156970B2 (ja) * | 2008-11-10 | 2013-03-06 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気的検査のためのプローブユニット、電気的検査装置および点灯検査装置 |
KR100916218B1 (ko) | 2008-11-25 | 2009-09-08 | 주식회사 코디에스 | 평판 디스플레이 패널의 멀티 검사장치 |
JP2010127706A (ja) * | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Micronics Japan Co Ltd | プローブユニット及び検査装置 |
KR101003394B1 (ko) * | 2008-12-11 | 2010-12-23 | 주식회사 크라또 | 슬라이딩 피씨비 방식의 프로브회로기판의 착탈부를 구비한프로브 유닛 |
KR101021622B1 (ko) | 2009-01-15 | 2011-03-17 | 주식회사 코디에스 | 평판 디스플레이 패널의 멀티 검사장치 |
KR100945951B1 (ko) | 2009-01-15 | 2010-03-05 | 주식회사 코디에스 | 비주얼 검사 및 그로스 테스트 겸용 프로브 유닛 |
KR101618134B1 (ko) | 2009-09-22 | 2016-05-09 | 엘지디스플레이 주식회사 | 오토 프로브 검사 방법 |
CN102819126B (zh) * | 2012-08-06 | 2015-05-20 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 测试装置及测试方法 |
JP6084426B2 (ja) * | 2012-10-15 | 2017-02-22 | 株式会社日本マイクロニクス | 検査装置 |
KR20150066018A (ko) * | 2013-12-05 | 2015-06-16 | 주식회사 이엘피 | Amoled 패널 검사를 위한 표시 패널 검사 장치 및 그 방법 |
KR101749888B1 (ko) | 2015-12-24 | 2017-06-23 | 주식회사 하우토 | 디스플레이 패널 검사장치 및 검사방법 |
CN112233580B (zh) * | 2020-11-03 | 2022-07-19 | 天长市辉盛电子有限公司 | 一种快速组装led模组的底座模块 |
WO2024155142A1 (ko) * | 2023-01-20 | 2024-07-25 | 삼성디스플레이 주식회사 | 접촉 검사 장치 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100815146B1 (ko) * | 2002-01-24 | 2008-03-19 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 패널의 불량 검출 장치 및 그 방법 |
KR20050006521A (ko) * | 2003-07-09 | 2005-01-17 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치 및 그 검사 방법 |
KR100973803B1 (ko) * | 2003-07-24 | 2010-08-03 | 삼성전자주식회사 | 액정 표시 장치 |
KR100970246B1 (ko) * | 2004-01-26 | 2010-07-16 | 삼성전자주식회사 | 박막트랜지스터기판 및 이를 포함한 액정패널의 제조방법 |
-
2006
- 2006-01-24 KR KR1020060007227A patent/KR100611608B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2006-02-09 TW TW095104290A patent/TW200719014A/zh unknown
- 2006-03-22 CN CNB2006100585881A patent/CN100514126C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100611608B1 (ko) | 2006-08-11 |
TW200719014A (en) | 2007-05-16 |
CN1967317A (zh) | 2007-05-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN100514126C (zh) | 用于平板显示器的检查方法和装置 | |
KR101035570B1 (ko) | Lcd 검사 장비용 자동 프로브 유니트 교체장치 | |
CN109755846A (zh) | 一种医疗器械用矩形电连接器自动装配设备 | |
US4427250A (en) | Printed circuit board test fixture with compliant platen | |
KR20080112151A (ko) | 시험 장치, 시험 카드, 시험 시스템 | |
KR100648014B1 (ko) | 평판형 디스플레이패널 검사용 프로브장치의 pcb 접속용지그 | |
WO2013141416A1 (ko) | 차량용 케이블의 검사장치 | |
CN210894163U (zh) | 一种用于pcb板外观缺陷检测的装置 | |
KR101509357B1 (ko) | 확장카드 서포팅 프레임 | |
CN210835492U (zh) | 一种用于液晶屏老化测试的治具 | |
CN218382139U (zh) | 万能试验压力机 | |
KR101074660B1 (ko) | 전기적 검사를 위한 프로브 유닛, 전기적 검사장치 및 점등 검사장치 | |
CN217181130U (zh) | 一种便于测试电路板的检测装置 | |
CN216082997U (zh) | 电子器件的测试装置 | |
JP5406790B2 (ja) | プローブユニット及びこれを用いる試験装置 | |
CN212965298U (zh) | 一种带背光端子的显示屏测试系统 | |
JP4339325B2 (ja) | 平板型ディスプレイ検査方法及び平板型ディスプレイ検査用ユニット | |
KR100737384B1 (ko) | 모바일용 디스플레이 패널의 검사장치 및 방법 | |
CN102998589A (zh) | 电气测试机 | |
CN100439924C (zh) | 用于检测平面显示屏的探测装置的探针组件 | |
CN207650243U (zh) | 整机检测装置用的托盘定位组件 | |
JP2001201528A (ja) | 配線基板等の導通試験装置 | |
KR101511175B1 (ko) | 위치조절이 가능한 핀 블록 | |
JP4563922B2 (ja) | デバイス試験装置およびデバイス試験方法 | |
KR101312079B1 (ko) | 프로브 유니트 조립체 및 이를 이용한 평판 표시 장치의검사 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20090715 Termination date: 20170322 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |