KR101749888B1 - 디스플레이 패널 검사장치 및 검사방법 - Google Patents

디스플레이 패널 검사장치 및 검사방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 패널 검사장치는, 외부로부터 신호를 인가 받아 상하방향으로 회전하여 이동하는 프로브 유닛, 패널이 올려지는 플레이트, 상기 프로브 유닛을 결합부로 연결하여 회전하도록 지지하고 상기 플레이트에 고정되는 지지부, 패널의 에이징 및 점등 검사를 수행하기 위하여 전기적 신호를 인가하는 제어부 및 상기 프로브 유닛에 장착되고 패널에 접촉하여 검사를 수행하는 컨텍터로 구성되도록 개발하였다. 상기 패널 검사장치는 상기 제어부의 신호에 의해 상기 프로브 유닛이 상기 결합부를 중심으로 상하방향으로 회전함에 따라 집게 형태로 상기 프로브 유닛과 상기 플레이트 사이에 개방된 공간이 생성되고, 상기 패널이 상기 개방된 공간에 삽입되어 검사를 수행 할 수 있다.

Description

디스플레이 패널 검사장치 및 검사방법{INSPECTION APPARATUS OF DISPLAY PANEL AND INSPECTION METHOD THEREOF}
본 발명은 전기전자 소자 부품의 분석분야에 관한 것으로, 보다 상세하게는 디스플레이 패널의 검사장치 및 검사방법에 관한 것이다.
평판 표시 장치(Flat Panel Display)에는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display; LCD), 유기 발광 다이오드 표시 장치(Organicl Light Emitting Diode Display; OLED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel; PDP), 전기영동표시장치(Electrophoretic Display; EPD) 등이 널리 이용되고 있다. 이들 대부분은 경량화, 박형화, 고해상도 기술을 통한 대화면화를 실현할 수 있고, 소비전력이 작아 그 응용범위가 급속도로 확대되고 있다. 또한 태블렛 PC, 휴대형 음향 장치 및 스마트폰과 같은 휴대형 단말기에 적용되는 소형 화면을 표시하기 위한 수단으로도 활용되고 있다.
일반적으로 평판 표시 장치의 반도체는 하나의 완성된 패키지로 그 성능을 다하기 위해서 수많은 공정들을 거쳐서 완성되고, 조립라인에서 완제품으로 조립하기 전에 각종 성능 및 품질 검사를 필수적으로 실사하게 된다. 이러한 검사장치 중 하나인 프로브스테이션은 점등 및 에이징 테스트를 거쳐 패널의 불량 여부를 검사하는데 사용된다. 이 때, 프로브스테이션은 프로브 유닛과 장착된 니들을 통하여 다양한 신호를 인가하고 반도체 소자의 전극 패드에 전달하여 반도체 소자가 불량인지 확인하는 작업으로 수행된다.
최근 반도체 칩 내 패드간 간격이 지속적으로 축소되어 니들과 패널 간 접촉 정밀도를 향상시키는 것이 매우 중요한 이슈로 부각되었다. 이에 따라 선행기술에 의한 패널 검사장치는 접촉정밀도 1~2 ㎛ 을 구현하는 기술이 개발되었고 rigid 및 flexible 등의 패널을 한번에 검사할 수 있도록 생산성을 대폭 향상시켰다. 이러한 패널 검사장치는 검사 대상인 패널의 종류와 크기에 따라 이동시킬 수 있도록 개발되어 대형화에도 이용 가능하다.
하지만 검사장치가 여러 복합기술이 내장되어있어 중간점검이 필요하고, 반복되는 검사작업 때문에 검사장치의 내구성이 끊임없이 문제가 되고 있다. 또한 고가의 검사장비와 복잡한 설계로 부품의 교체가 번거롭다는 단점을 피할 수 없다. 뿐만 아니라 생산성을 향상시키기 위해 작업시간을 단축시키는 것 또한 중요한 역할로 제기되고 있다.
따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 내구성이 향상되고 작업시간을 단축함은 물론 작업능률, 생산성 및 경제성을 향상시키는 패널 검사장치 및 검사 방법을 제공하는 것이다.
이러한 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 일 실시예에 의한 패널 검사장치는, 외부로부터 신호를 인가 받아 상하방향으로 회전하여 이동하는 프로브 유닛, 패널이 올려지기 위하여 상기 프로브 유닛 하부에 배치되는 플레이트, 상기 프로브 유닛을 결합부로 연결하여 회전하도록 지지하고 상기 플레이트에 고정되는 지지부, 패널의 에이징 및 점등 검사를 수행하기 위하여 상기 프로브 유닛에 연결된 채널에 전기적 신호를 인가하는 제어부 및 상기 프로브 유닛에 장착되고 패널에 접촉하여 검사를 수행하는 컨텍터로 구성될 수 있다.
또한, 상기 패널 검사장치는 상기 제어부의 신호에 의해 상기 프로브 유닛이 상기 결합부를 중심으로 상하방향으로 회전함에 따라 집게 형태로 상기 프로브 유닛과 상기 플레이트 사이에 개방된 공간이 생성되고, 상기 패널이 상기 개방된 공간에 삽입되어 검사를 수행 할 수 있다.
또한 상기 패널 검사장치는 상기 프로브 유닛의 내측에 캐퍼시터를 더 포함할 수 있다. 상기 캐퍼시터는 상기 컨텍터에서 상기 패널로 전달되는 전류를 일정하게 유지시킬 수 있다.
또한, 상기 프로브 유닛 밑면에 배치되는 압축스프링을 더 포함할 수 있고, 상기 압축스프링의 탄성에 의해 상기 프로브 유닛과 상기 패널 사이의 접촉력을 가할 수 있다. 한편, 상기 압축스프링은 상기 지지부를 중심으로 후측에 배치될 수 있다.
더욱이, 상기 프로브 유닛은 상기 지지부로부터 각 단위별로 탈착 가능하게 결합될 수 있으며, 상기 제어부의 신호에 의해 개별로 상하 회전하여 이동할 수 있다.
또한 상기 컨텍터는 상기 패널의 접촉단자에 일대일 대응되어 접촉하는 탐침 및 상기 탐침을 상기 프로브 유닛에 접합시키는 고정부로 이루어질 수 있다. 이 때, 상기 탐침은 금속재질로 구성되며 “S”자의 굴곡 형태로 탄성을 가질 수 있다. 또한, 상기 고정부는 상기 탐침이 패널에 접촉 시 발생하는 충격을 완화시킬 수 있는 재질로 구성될 수 있다.
또한, 상기 지지부는 상기 플레이트로부터 탈착 가능하게 결합될 수 있고, 상기 컨텍터는 상기 패널에 접촉되는 위치의 이미지를 촬영하고 촬영된 이미지를 제공하는 카메라를 더 포함할 수 있다.
패널 검사방법에 있어서, (a) 제어부에서 생성된 신호를 프로브 유닛으로 인가하는 단계, (b) 상기 신호에 의해 상기 프로브 유닛이 결합부를 중심으로 상하방향으로 회전함에 따라 집게 형태로 상기 프로브 유닛과 플레이트 사이에 개방된 공간이 형성되는 단계, (c) 상기 개방된 공간에 패널이 장착되는 단계, (d) 상기 프로브 유닛이 하강하여 컨텍터가 상기 패널의 접촉단자에 접촉하는 단계 및 (e) 상기 컨텍터와 전기적으로 연결된 상기 접촉단자를 통하여 상기 패널에 대한 검사를 수행하는 단계를 거쳐 실시할 수 있다.
또한 상기 (b) 단계 이후에, (f)상기 컨텍터에 위치한 카메라에 의해 상기 패널의 위치를 촬영하여 정보를 전달하는 단계를 더 포함하여 검사할 수 있다.
본 발명에 의한 패널 검사장치에 의하면, 프로브 유닛, 피검사체 즉 패널이 올려지는 플레이트, 상기 프로브 유닛을 지지하고 상기 플레이트에 고정되는 지지부, 신호를 제공하는 제어부 및 상기 프로브 유닛에 장착되고 패널에 접촉하여 검사를 수행하는 컨텍터로 구성되어 정밀하고 간결한 패널 검사장치를 구현할 수 있다.
또한, 상기 패널 검사장치는 상기 프로브 유닛이 상기 결합부를 중심으로 집게형태로 회전함으로써, 상하 직선 운동하는 선행기술에 비해 효율적으로 상기 패널이 삽입되는 공간을 만들 수 있다. 더욱이, 상기 프로브 유닛은 상기 지지부로부터 영구적으로 접합 고정되지 않고 각 단위 별로 결합되어, 불량이 난 프로브 유닛 만을 쉽게 교체할 수 있다. 따라서 상기 패널 검사장치를 유지하고 보수하는데 용이한 효과가 있다.
또한, 상기 패널 검사장치는 캐퍼시터를 더 포함함으로써, 상기 컨텍터에서 상기 패널로 전달되는 전류를 일정하게 유지시킬 수 있고, 패널의 사양 변화에 따라 용이하게 대처할 수 있는 효과가 있다.
또한 상기 프로브 유닛이 상기 패널에 접촉되도록 탄성력을 가하는 압축스프링이 상기 프로브 유닛의 후측에 설치됨으로써, 상기 프로브 유닛의 회전각이 더 크게 형성될 수 있다. 또한 상기 압축스프링이 선행기술에 비해 교체하는데 용이하기 때문에 사용자에게 편리함을 줄 수 있다. 더욱이, 상대적으로 낮은 탄성력을 필요로 하므로 제조비용을 절감시킬 수 있고 경량화시킬 수 있는 요인이 된다.
또한, 상기 컨텍터에 포함되는 탐침이 “s”자 형으로 구성됨으로써, 상기 프로브 유닛이 회전 운동하면서 상기 패널의 접촉단자에 접촉하는데 정밀도를 높일 수 있다. 따라서 고집접 패널에 적용이 가능하다. 또한, 상기 프로브 유닛이 하강할 때 상기 탐침이 자체적으로 압축되어 충격을 완화시킬 수 있다. 이를 통하여 상기 컨텍터가 상기 패널에 접촉될 때 상기 프로브 유닛에 가해지는 압력에 의한 손상을 미연에 방지 할 수 있다.
따라서 본 발명에 의한 패널 검사장치 및 검사방법은, 내구성이 향상되고 작업시간을 단축함은 물론 작업능률, 생산성 및 경제성을 향상시키는 효과를 기대할 수 있다.
도 1은 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 패널 검사장치의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 패널 검사장치의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 패널 검사장치의 우측면도이다.
도 4는 도 3의 패널 검사장치가 제어부의 신호에 의해 프로브 유닛이 상하 회전 이동하는 동작을 나타낸 도면이다.
도 5는 도 4의 지지부가 기울어진 각도에 따라 컨택터의 탐침이 패널에 접촉하는 상태를 간략하게 나타낸 모식도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 과장하여 도시한 것일 수 있다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, A와 B가'연결된다', '결합된다'라는 의미는 A와 B가 직접적으로 연결되거나 결합하는 것 이외에 다른 구성요소 C가 A와 B 사이에 포함되어 A와 B가 연결되거나 결합되는 것을 포함하는 것이다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. 또한, 방법 발명에 대한 특허청구범위에서, 각 단계가 명확하게 순서에 구속되지 않는 한, 각 단계들은 그 순서가 서로 바뀔 수도 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 패널 검사장치(1000)의 사시도이고, 도 2는 도 1의 패널 검사장치(1000)의 평면도를 나타낸 것이다. 또한, 도 3은 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 패널 검사장치의 우측면도이다.
도 1, 도 2 및 도 3을 살펴보면, 상기 패널 검사장치(1000)는 외부로부터 신호를 인가 받아 상하방향으로 회전하여 이동하는 프로브 유닛(100), 피검사체 즉 패널(10)이 올려지는 플레이트(200), 상기 프로브 유닛(100)을 지지하는 지지부(300), 패널(10)의 에이징 및 점등 검사를 수행하기 위하여 상기 프로브 유닛(100)에 연결된 채널에 전기적 신호를 인가하는 제어부 및 상기 프로브 유닛(100)에 장착되고 패널(10)에 접촉하여 검사를 수행하는 컨텍터(400)로 구성될 수 있다. 상기 지지부(300)는 상기 프로브 유닛(100)을 결합부(320)로 연결하여 회전하도록 돕고, 상기 플레이트(200)에 고정되어 상기 프로브 유닛(100)과 연결시킬 수 있다.
도 4는 도 3의 상기 패널 검사장치(1000)가 제어부의 신호에 의해 상기 프로브 유닛(100)이 상하 회전 이동하는 동작을 나타낸 도면이다.
도 4를 살펴보면, 상기 패널 검사장치(100)는 상기 제어부의 신호에 의해 상기 프로브 유닛(100)이 상기 결합부(320)를 중심으로 상하방향으로 회전할 수 있다. 이 때, 상기 프로브 유닛(100)과 상기 플레이트(200) 사이에 집게 형태로 개방된 공간이 생성되고, 상기 개방된 공간에 상기 패널(10)이 삽입되어 검사를 수행 할 수 있다.
선행기술에 의하면 프로브 유닛이 상하방향으로 수직이동 되도록 보조장치가 필요로 하지만, 본 발명에서는 별도의 구성부품 없이 상기 프로브 유닛(100)이 회전 이동하는 것이 차이점이라 할 수 있다. 따라서, 본 발명에 의한 상기 패널 검사장치(1000)는 제조단가를 낮출 수 있고 구성이 비교적 단순화되므로 경제적인 효과가 크다. 뿐만 아니라, 상기 프로브 유닛(100)이 회전함으로써 수직이동보다 패널(10)이 삽입될 수 있는 공간이 더욱 증가할 수 있고, 공정이 단순화되어 검사를 수행하는 시간을 단축시킬 수 있다. 또한, 택-타임이 줄어 디스플레이 패널의 생산속도를 높이게 되므로 생산품의 가격을 낮출 수 있는 효과를 기대할 수 있다.
또한, 상기 프로브 유닛(100)은 상기 지지부(300)로부터 영구적으로 접합 고정되지 않고 각 단위 별로 결합되어, 불량이 난 프로브 유닛(100) 만을 쉽게 교체할 수 있다. 따라서 상기 패널 검사장치(1000)를 유지하고 보수하는데 용이한 효과가 있다.
또한, 상기 패널 검사장치(1000)는 상기 프로브 유닛(100) 내측에 캐퍼시터를 더 포함할 수 있다. 패널 검사장치(1000)의 대부분이 복수의 프로브 유닛(100)으로 구성되어있어 검사를 수행하면서 패널(10)에 가해지는 전류가 동일하게 유지하는 것이 중요하다. 본 발명에 의하면, 상기 프로브 유닛(100)에 개별적으로 캐퍼시터가 장착되어 측정값을 기준으로 교정할 수 있다. 따라서 상기 캐퍼시터는 상기 컨텍터(400)에서 상기 패널(10)로 전달되는 전류를 일정하게 유지하는 역할을 할 수 있고, 더욱 정확한 저항값을 측정할 수 있도록 돕는다. 뿐만 아니라, 패널의 사양 변화에 따라 용이하게 대처할 수 있는 효과를 기대할 수 있다.
또한, 상기 프로브 유닛(100) 밑면에 배치되는 압축스프링(500)을 더 포함할 수 있다. 상기 제어부의 신호에 의해 상기 프로브 유닛(100)과 상기 플레이트(200) 사이에 상기 패널(10)이 삽입될 공간이 형성되면 상기 압축스프링(500)이 압축되어 탄성력이 생성되고, 제어부의 신호가 소멸되면서 상기 탄성력에 의해 상기 프로브 유닛(100)과 상기 패널(10) 사이에 접촉력을 가할 수 있다.
한편, 상기 압축스프링(500)은 상기 지지부(300)를 중심으로 후 측에 배치될 수 있다. 이때 접촉력이 더 효율적으로 전달할 수 있고, 상기 압축스프링(500)의 교체가 손쉽게 가능하므로 유지 및 보수가 용이할 수 있다. 뿐만 아니라 선행기술에 비하여 고강성의 압축스프링(500)을 사용할 필요가 없기 때문에 경량화가 가능하다. 이에 따라, 상기 패널 검사장치(1000)의 제조비용이 절감되는 효과를 얻을 수 있다.
도 5는 본 발명의 예시적인 실시예에 의한 패널 검사장치에 있어서, 상기 지지부(300)가 기울어진 각도에 따라 상기 컨택터(400)의 탐침(410)이 패널(10)의 접촉단자(11)에 접촉하는 상태를 간략하게 나타낸 모식도이다.
도 5를 참조하면, 상기 컨텍터(400)는 상기 패널(10)의 접촉단자(11)에 일대일 대응되어 접촉하는 탐침(410) 및 상기 탐침(410)을 상기 프로브 유닛(100)에 접합시키는 고정부(420)로 이루어질 수 있다.
이상에서는 본 발명의 예시적인 실시 예에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 상기한 실시 예에만 한정되는 것은 아니며 그 외의 다양한 변경이 가능하다.
예컨데, 상기 탐침(410)은 전류가 흐를 수 있는 금속재질로 구성될 수 있으며, “S”자의 굴곡 형태로 탄성을 가질 수 있다.
상기 프로브 유닛(100)의 회전 운동시, 선행기술에서와 같은 직선형 탐침은 패널(10)의 접촉단자(11)에 접촉하면서 탐침이 뒤로 밀리게 될 수 있다. 또한, 접촉 시 발생하는 압력에 취약하므로 100㎛ 이상 눌리게 되는 경우 탐침이 옆으로 기울어 휘게 된다. 하지만 본 발명의 실시 예와 같이 “S”자의 굴곡 형태로 구성된 탐침(410)은, 탄성을 가지므로 상기 프로브 유닛(100)이 하강할 때 상기 탐침(410)이 자체적으로 압축되어 뒤로 밀리는 현상을 예방할 수 있다. 뿐만 아니라, 상기 프로브 유닛(100)의 하강 시 1000㎛까지 눌리게 되어도 변형이 일어나지 않는다.
그 밖에도 상기 탐침(410)은 다양한 곡선 또는 지그재그 형태 등으로 활용이 가능하다. 이러한 탄성을 가진 형태의 탐침(410)은 패널과의 접촉 정밀도를 높일 수 있고, 더 나아가 패널의 고집접 흐름에 맞춰 다양한 변형이 가능하다.
또한 고정부(420)가 탄성을 가진 실리콘 재질로 구성될 수 있으며 접촉 시 발생하는 충격을 완화시킬 수 있다. 뿐만 아니라 상기 프로브 유닛(100)이 완전히 하강하여 패널(10)에 고정될 때 가해지는 압력에 의한 물리적인 손상을 예방할 수 있다. 이를 통하여 내구성이 뛰어난 패널 검사장치(1000) 및 검사방법을 실현시킬 수 있다.
또한, 상기 지지부(300)는 상기 플레이트(200)로부터 탈착 가능하게 결합될 수 있어 분해 및 조립이 가능하다. 이에 따라, 불량 및 고장에 의한 부품 교체가 가능하므로 관리 및 보수가 용이하다.
또한, 상기 컨텍터(400)는 상기 패널(10)에 접촉되는 위치의 이미지를 촬영하고 촬영된 이미지를 제공하는 카메라를 더 포함할 수 있다. 상기 카메라는 상기 컨텍터(400)의 탐침(410)이 정확한 접촉단자(11) 위치에 접촉되도록 도울 수 있고, 자동 조정 시스템이 가능하도록 지원할 수 있다.
한편, 패널 검사방법에 있어서, (a) 제어부에서 생성된 신호를 프로브 유닛으로 인가하는 단계, (b) 상기 신호에 의해 상기 프로브 유닛이 결합부를 중심으로 상하방향으로 회전함에 따라 집게 형태로 상기 프로브 유닛과 플레이트 사이에 개방된 공간이 형성되는 단계, (c) 상기 개방된 공간에 패널이 장착되는 단계, (d) 상기 프로브 유닛이 하강하여 컨텍터가 상기 패널의 접촉단자에 접촉하는 단계 및 (e) 상기 컨텍터와 전기적으로 연결된 상기 접촉단자를 통하여 상기 패널에 대한 검사를 수행하는 단계를 거쳐 실시할 수 있다.
또한 상기 (b) 단계 이후에, (f)상기 컨텍터에 위치한 카메라에 의해 상기 패널의 위치를 촬영하여 정보를 전달하는 단계를 더 포함하여 검사할 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
1000: 패널 검사장치
100: 프로브 유닛 200: 플레이트
300: 지지부 320: 결합부
400: 컨텍터 410: 탐침
420: 고정부 500: 압축스프링

Claims (14)

  1. 외부로부터 신호를 인가 받아 상하방향으로 회전하여 이동하는 프로브 유닛;
    패널이 올려지기 위하여 상기 프로브 유닛 하부에 배치되는 플레이트;
    상기 프로브 유닛을 결합부로 연결하여 회전하도록 지지하고 상기 플레이트에 고정되는 지지부;
    패널의 에이징 및 점등 검사를 수행하기 위하여 상기 프로브 유닛에 연결된 채널에 전기적 신호를 인가하는 제어부; 및
    상기 프로브 유닛에 장착되고 패널에 접촉하여 검사를 수행하는 컨텍터;
    를 포함하고,
    상기 컨텍터는,
    금속재질로 구성되며 “S”자의 굴곡 형태인 선형으로 탄성을 가지도록 형성되어, 상기 패널의 접촉단자에 일대일 대응되도록 점접촉하는 탐침; 및
    상기 탐침을 상기 프로브 유닛에 접합시키는 고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제어부의 신호에 의해 상기 프로브 유닛이 상기 결합부를 중심으로 상하방향으로 회전함에 따라 집게 형태로 상기 프로브 유닛과 상기 플레이트 사이에 개방된 공간이 생성되고, 상기 패널이 상기 개방된 공간에 삽입되어 검사를 수행하는 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 프로브 유닛 밑면에 배치되는 압축스프링을 더 포함하고,
    상기 압축스프링의 탄성에 의해 상기 프로브 유닛과 상기 패널 사이의 접촉력을 가하는 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 압축스프링은 상기 지지부를 중심으로 후측에 배치되는 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 프로브 유닛의 내측에 상기 컨텍터에서 상기 패널로 전달되는 전류를 일정하게 유지시키는 캐퍼시터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 프로브 유닛은 상기 지지부로부터 각 단위별로 탈착 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 프로브 유닛은 상기 제어부의 신호에 의해 개별로 상하 회전하여 이동하는 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 고정부는 상기 탐침이 패널에 접촉 시 발생하는 충격을 완화시킬 수 있는 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
  11. 제 1항에 있어서,
    상기 지지부는 상기 플레이트로부터 탈착 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
  12. 제 1항에 있어서,
    상기 컨텍터는 상기 패널에 접촉되는 위치의 이미지를 촬영하고 촬영된 이미지를 제공하는 카메라를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
  13. 삭제
  14. 삭제
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