CN105093088B - 一种探针测试设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种探针测试设备，涉及显示测试领域，能够解决由于探针和待测物接触的压力大小无法精确控制，导致的测试精度低的问题。该探针测试设备，包括基台、第一导向部件、底座、设置于基台和底座之间的弹性部件，以及与弹性部件相连接的压力传感器；第一导向部件位于所述基台上，且与底座相连接，在第一导向部件的导向作用下，底座沿第一方向运动；探针连杆安装于底座上；在底座沿第一方向靠近基台运动时，弹性部件被压缩；第一方向与基台的承载面垂直。用于TFT性能的测试。

Description

一种探针测试设备

技术领域

本发明涉及显示测试领域，尤其涉及一种探针测试设备。

背景技术

目前，TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display，薄膜晶体管-液晶显示器)作为一种平板显示装置，因其具有体积小、功耗低、无辐射以及制作成本相对较低等特点，而越来越多地被应用于高性能显示领域当中。TFT-LCD由阵列基板和彩膜基板构成，其中阵列基板性能的优劣，对显示器最终的显示效果有着重要的影响，薄膜晶体管阵列基板的检测显得尤为重要。

目前，对阵列基板的TFT半导体特性的测试，一般采用将探针直接放置到对应信号探测导接点上的方法，所述探针在施加驱动电压的同时探测相应电流的通过情况，最终得到电压电流关系，进而得出所需的半导体特性。

然而，在现有的测试过程中，探针和待测物接触的压力大小常常无法精确控制，从而导致接触电阻的大小无从得知，而对于接触性的电学测试而言，接触电阻会因为接触压力的不同而有非常大的差异。因此，半导体特性测试结果一般都会有波动；而且不同的测试设备之间数据也有差异，因而导致了测试的精确度被大大降低。

发明内容

本发明的实施例提供一种探针测试设备，能够解决由于探针和待测物接触的压力大小无法精确控制，导致的测试精度低的问题。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

本发明实施例的一方面，提供一种探针测试设备，包括探针以及与所述探针相连接的探针连杆，还包括基台、第一导向部件、底座、设置于所述基台和所述底座之间的弹性部件，以及与所述弹性部件相连接的压力传感器；所述第一导向部件位于所述基台上，且与所述底座相连接，在所述第一导向部件的导向作用下，所述底座沿所述第一方向运动；所述探针连杆安装于所述底座上；在所述底座沿所述第一方向靠近所述基台运动时，所述弹性部件被压缩；所述第一方向与所述基台的承载面垂直。

优选的，还包括设置于所述第一导向部件与所述基台之间的第二导向部件以及第三导向部件；所述第二导向部件与所述第一导向部件相连接，在所述第二导向部件的作用下，所述第一导向部件和所述底座沿第二方向运动；所述第三导向部件与所述第二导向部件相连接，在所述第三导向部件的作用下，所述第二导向部件、所述第一导向部件以及所述底座沿第三方向运动；所述第一方向、所述第二方向以及所述第三方向相互垂直。

优选的，所述第一导向部件包括第一支撑块，在所述第一支撑块上设置有第一导向槽，在所述第一导向槽内，沿所述第一方向设置有与所述第一支撑块相连接的第一滚珠丝杠，以及与所述第一滚珠丝杠相连接的第一旋钮；还包括与所述底座相连接的第一滚珠螺母，所述第一滚珠螺母与所述第一滚珠丝杠相配合。

优选的，所述第二导向部件包括第二支撑块，在所述第二支撑块上设置有第二导向槽，在所述第二导向槽内，沿所述第二方向设置有与所述第二支撑块相连接的第二滚珠丝杠，以及与所述第二滚珠丝杠相连接的第二旋钮；还包括与所述第一导向部件相连接的第二滚珠螺母，所述第二滚珠螺母与所述第二滚珠丝杠相配合。

优选的，所述第三导向部件包括第三支撑块，在所述第三支撑块上设置有第三导向槽，在所述第三导向槽内，沿所述第三方向设置有与所述第三支撑块相连接的第三滚珠丝杠，以及与所述第三滚珠丝杠相连接的第三旋钮；还包括设置于与所述第二导向部件相连接的第三滚珠螺母，所述第三滚珠螺母与所述第三滚珠丝杠相配合。

优选的，所述第一导向部件包括第一支撑块，以及沿所述第一方向设置于所述第一支撑块上的第一导轨，所述底座上设置有导向柱，所述底座的导向柱设置于所述第一导轨内。

优选的，所述第二导向部件包括第二支撑块，以及沿所述第二方向设置于所述第二支撑块上的第二导轨，所述第一导向部件上设置有导向柱，所述第一导向部件的导向柱设置于所述第二导轨内。

优选的，所述第三导向部件包括第三支撑块，以及沿所述第三方向设置于所述第三支撑块上的第三导轨，所述第二导向部件上设置有导向柱，所述第二导向部件的导向柱设置于所述第三导轨内。

优选的，所述第一导轨与所述底座的导向柱之间设置有定位机构。

进一步优选的，所述定位机构包括设置于所述第一导轨的导向面上的至少一个第一凹槽、通过弹簧与所述第一凹槽相连接的凸块，以及设置于所述底座的导向柱上与所述第一凹槽位置相对应的第二凹槽。

优选的，所述第二导轨与所述第一导向部件的导向柱之间设置有定位机构。

进一步优选的，所述定位机构包括设置于所述第二导轨的导向面上的至少一个第一凹槽、通过弹簧与所述第一凹槽相连接的凸块，以及设置于所述第一导向部件的导向柱上与所述第一凹槽位置相对应的第二凹槽。

优选的，所述第三导轨与所述第二导向部件的导向柱之间设置有定位机构。

进一步优选的，所述定位机构包括设置于所述第三导轨的导向面上的至少一个第一凹槽、通过弹簧与所述第一凹槽相连接的凸块，以及设置于所述第二导向部件的导向柱上与所述第一凹槽位置相对应的第二凹槽。

优选的，所述探针的一端设置有第一接头，所述探针连杆的一端设置有与所述第一接头相卡合的第二接头。

优选的，所述探针连杆安装于所述底座的承载面上，所述承载面与所述待测试表面之间具有预设夹角α，且0°＜α＜90°。

本发明实施例提供一种探针测试设备，该探针测试设备包括探针以及与探针相连接的探针连杆，还包括基台、第一导向部件、底座、设置于底座和基台之间的弹性部件，以及与弹性部件相连接的压力传感器。该第一导向部件位于基台上且与底座相连接，在第一导向部件的导向作用下，底座沿第一方向运动。探针连杆安装于底座上。在底座沿第一方向靠近所述基台运动时，弹性部件被压缩，上述第一方向与基台的承载面垂直。

这样一来，通过第一导向部件可以使得底座沿第一方向运动，在此情况下，固定于底座上的探针可以靠近或远离待测试表面。此外，由于弹性部件设置于底座靠近待测试表面的一侧，因此当底座沿第一方向Z上、下运动的过程中，可以使得弹性部件发生拉升或压缩形变。当第一导向部件沿第一方向运动，使得探针沿垂直于待测试表面的方向靠近待测试表面，并与该待测试表面接触时，上述弹性部件发生的压缩变形量会反馈至与该弹性部件相连接的压力传感器上，通过压力传感器将上述形变转换为电信号，从而可以得到探针与待测试表面之间的接触压力，进而能够对上述接触压力进行精确控制，以提高测试精度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种探针测试设备的结构示意图；

图2为图1提供的探针测试设备中的各个部件通过丝杠螺母副连接的结构示意图；

图3为图2中沿O-O’进行剖切得到的剖视图；

图4为图3中丝杠螺母副的具体结构示意图；

图5为图1提供的探针测试设备中的各个部件通过导轨连接的结构示意图；

图6为图5中第一支撑块的导轨上设置有一种限位部件时，与底座的连接结构示意图；

图7为图5中第一支撑块的导轨上设置有另一种限位部件时，与底座的连接结构示意图。

附图说明：

01-基台；10-探针；100-第一接头；110-第二接头；20-底座；30-第一导向部件；301-第一支撑块；302-第一滚珠丝杠；303-第一旋钮；304-第一滚珠螺母；305-滚珠；306-第一导轨；307-导向柱；308-第一凹槽；308’-第二凹槽；3081-弹簧；3082-凸块；31-第二导向部件；311-第二支撑块；312-第二导轨；313-第二导轨；32-第三导向部件；321-第三支撑块；322-第三旋钮；323-第三导轨；40-弹性部件；50-压力传感器；60-探针支架；70-显示屏。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明实施例提供一种探针测试设备，如图1所示，可以包括探针10以及与探针10相连接的探针连杆11。还可以包括基台01、第一导向部件30、底座20、设置于基台01和底座20之间的弹性部件40，以及与弹性部件40相连接的压力传感器50。

其中，第一导向部件30位于基台01上，且与底座20相连接，在第一导向部件30的导向作用下，底座20可以沿第一方向Z运动。探针连杆11安装于底座20上。

在底座20沿第一方向Z靠近所述基台01运动时，弹性部件40被压缩。具体的，当底座20沿第一方向Z向上运动(即远离待基台01)时，弹性部件40回复原状。

第一方向Z垂直于基台01的承载面F。所述承载面F可以与待测试表面A相平行。

需要说明的是，第一、由于第一导向部件30在沿第一方向Z运动时可以带动底座20一起运动。因此，上述第一导向部件30与底座20相连接，可以采用可拆卸连接方式，或者采用固定连接方式，还可以将第一导向部件30与底座20一体形成。

此外，可以采用胶带将探针连杆11固定于底座20上，或者，如图5所示，在底座20的承载面C上可以设置有探针支架60，该探针连杆11嵌入探针支架60内。

第二、本发明实施例中的上述弹性部件40可以是碟形弹簧、环形弹簧、螺旋弹簧以及截锥涡卷弹簧等。并且，上述弹性部件40可以与底座20相连接，或者与基台01相连接，又或者与底座20和基台01均相连接。

第三，为了使得工作人员能够对探针10与待测试表面A之间的接触压力有直观的了解，可以在探针测试设备上设置一显示屏70，例如将显示屏70设置于第一导向部件30的上表面。该显示屏70与压力传感器50相连接，可以通过压力传感器40将探针10与待测试表面A之间的接触压力进行显示。当然，上述仅仅是对显示屏70设置位置的举例说明，本发明对显示屏70的设置位置不做限定，只要能够保证显示屏70与压力传感器50相连接，并对压力传感器40将探针10与待测试表面A之间的接触压力进行显示即可。

本发明实施例提供一种探针测试设备，该探针测试设备包括探针以及与探针相连接的探针连杆，还包括基台、第一导向部件、底座、设置于底座和基台之间的弹性部件，以及与弹性部件相连接的压力传感器。该第一导向部件位于基台上且与底座相连接，在第一导向部件的导向作用下，底座沿第一方向运动。探针连杆安装于底座上。在底座沿第一方向靠近所述基台运动时，弹性部件被压缩，上述第一方向与基台的承载面垂直。

这样一来，通过第一导向部件可以使得底座沿第一方向运动，在此情况下，固定于底座上的探针可以靠近或远离待测试表面。此外，由于弹性部件设置于底座靠近待测试表面的一侧，因此当底座沿第一方向Z上、下运动的过程中，可以使得弹性部件发生拉升或压缩形变。当第一导向部件沿第一方向运动，使得探针沿垂直于待测试表面的方向靠近待测试表面，并与该待测试表面接触时，上述弹性部件发生的压缩变形量会反馈至与该弹性部件相连接的压力传感器上，通过压力传感器将上述形变转换为电信号，从而可以得到探针与待测试表面之间的接触压力，进而能够对上述接触压力进行精确控制，以提高测试精度。

为了对探针10在待测试表面A上的探测位置进行精确调整，可以通过上述探针测试设备使得探针10能够在待测试表面A上进行微量移动。

具体的，如图2所示，该探针测试设备还可以包括设置于第一导向部件30与基台01之间的第二导向部件31以及第三导向部件32。

其中，第二导向部件31与第一导向部件30相连接，在第二导向部件31的作用下，第一导向部件30和底座20沿第二方向Y运动。由于底座20上安装有探针连杆11和与该探针连杆相连接的探针10，因此，在底座沿第二方向Y运动的过程中，可以实现探针10沿第二方向Y的运动，从而可以在第二方向Y上对探针10的测试位置进行调整。

第三导向部件32与第二导向部件31相连接，在第三导向部件32的作用下，第二导向部件31、第一导向部件30以及底座20沿第三方向X运动。由于底座20上安装有探针连杆11和与该探针连杆相连接的探针10，因此，在底座沿第三方向X运动的过程中，可以实现探针10沿第三方向X的运动，从而可以在第三方向X上对探针10的测试位置进行调整。

需要说明的是，上述第一方向Z、第二方向Y以及第三方向X相互垂直。待测试表面A位于第二方向Y和第三方向X构成的平面中。

以下通过具体的实施例，对第一导向部件30、第二导向部件31以及第三导向部件32的具体连接结构进行详细的描述。

实施例一

本实施例中底座20与第一导向部件30，第一导向部件30和第二导向部件31，以及第二导向部件31与第三导向部件32之间可以通过如图4所示的丝杠螺母副进行连接。

如图2所示，第一导向部件30可以包括第一支撑块301，在第一支撑块301上设置有第一导向槽309，在第一导向槽309内如图3所示(沿图2中O-O’得到的剖视图)，沿所述第一方向Z设置有与第一支撑块301相连接的第一滚珠丝杠302，以及与第一滚珠丝杠302相连接的第一旋钮303。具体的，可以在第一导向部件30的上表面设置螺纹孔，使得第一滚珠丝杠302能够穿过螺纹孔，进入上述第一导向槽309中。

还包括与底座20相连接的第一滚珠螺母304，该第一滚珠螺母304与第一滚珠丝杠302相配合。这样一来，通过与第一支撑块301相连接的第一滚珠丝杠302和与底座20相连接的第一滚珠螺母304，可以实现底座20带动探针10沿第一方向Z运动。

具体的，如图4所示，第一滚珠丝杠302、第一滚珠螺母304，以及第一滚珠丝杠302和第一滚珠螺母304位于之间的滚珠305可以共同构成丝杠螺母副，可以将第一滚珠丝杠302的旋转运动转化为第一滚珠螺母304的直线运动。这样一来，当操作人员手动旋转第一旋钮303时，可以带动与该第一旋钮303相连接的第一滚珠丝杠302进行旋转运动，通过上述丝杠螺母副的相互配合运动，使得第一滚珠螺母304能够沿第一滚珠丝杠302的轴线方向，即上述第一方向Z进行直线运动。在此情况下，由于第一滚珠螺母304设置于底座20内，因此当第一滚珠螺母304沿第一方向Z垂直于待测试表面A或基台01进行上下运动时，可以带动底座20沿第一方向Z运动，从而使得安装于底座20上的探针10能够沿第一方向Z远离或靠近待测试表面A。通过上述连接方式，可以实现对探针10与待测试表面A之间接触压力的调节。

或者，第二导向部件31可以包括第二支撑块311，在第二支撑块311上设置有第二导向槽(图中未示出)，在第二导向槽内，沿第二方向Y设置有与所述第二支撑块311相连接的第二滚珠丝杠(图中未示出)，以及与第二滚珠丝杠相连接的第二旋钮312。

还包括设置与第一导向部件30相连接的第二滚珠螺母(图中未示出)，该第二滚珠螺母与第二滚珠丝杠相配合。

具体的，第二滚珠丝杠和第二滚珠螺母的结构可以如图4所示，其设置方式可以与第一滚珠丝杠302、第一滚珠螺母304的设置原理相同。具体的，通过旋转第二旋钮312，与第二支撑块311相连接的第二滚珠丝杠进行旋转，通过上述丝杠螺母副的相互配合运动，使得与第一支撑块301相连接的第二滚珠螺母沿所述第二滚珠丝杠的轴线方向做直线运动，即沿第二方向Y进行直线运动。从而可以使得第一支撑块301沿第二方向Y进行直线运动。由于底座20安装于第一支撑块301(或第一导向部件30)上，因此可以使得底座20带动探针11沿第二方向Y进行直线运动，以实现探针10在第二方向Y上的位置的调整。

这样一来，通过与第二支撑块311相连接的第二滚珠丝杠和与第一支撑块301相连接的第二滚珠螺母，可以实现底座20带动探针10沿第二方向Y运动。

或者，第三导向部件32包括第三支撑块321，在第三支撑块321上设置有第三导向槽(图中未示出)，在第三导向槽内，沿第三方向X设置有与第三支撑块321相连接的第三滚珠丝杠(图中未示出)，以及与第三滚珠丝杠相连接的第三旋钮322。

还包括与第二导向部件31相连接的第三滚珠螺母(图中未示出)，所述第三滚珠螺母与第三滚珠丝杠相配合。其中，第三滚珠丝杠和第三滚珠螺母的结构可以如图4所示，其设置方式可以与第一滚珠丝杠302、第一滚珠螺母304的设置原理相同。具体的，通过旋转第三旋钮322，与第三支撑块321相连接的第三滚珠丝杠进行旋转，通过上述丝杠螺母副的相互配合运动，使得与第二支撑块311相连接的第三滚珠螺母沿所述第三滚珠丝杠的轴线方向做直线运动，即沿第三方向X进行直线运动。从而可以使得第二支撑块311沿第三方向X进行直线运动。由于底座20安装于第一导向部件30上，第一导向部件30安装于第二导向部件31上，因此第二支撑块311在沿第三方向X进行直线运动的过程中，可以使得底座20带动探针11沿第三方向X进行直线运动，以实现探针10在第三方向X上的位置的调整。

这样一来，通过与第三支撑块321相连接的第三滚珠丝杠和与第二支撑块311相连接的第三滚珠螺母，可以实现底座20带动探针10沿第三方向X运动。

实施例二

本实施例中底座20与第一导向部件30，第一导向部件30和第二导向部件31，以及第二导向部件31与第三导向部件32之间可以通过导轨进行连接。

具体的，如图5所示，第一导向部件30可以包括第一支撑块301，以及沿第一方向Z设置于第一支撑块301上的第一导轨306。底座20上设置有导向柱307，所述底座20的导向柱307设置于第一导轨306内。

需要说明的是，第一、该导向柱307可以与底座20为一体结构。

这样一来，底座20可以在第一导轨306内，沿第一方向Z进行直线运动，从而可以使得安装于底座20上的探针10能够沿第一方向Z远离或靠近待测试表面A。通过上述连接方式，可以实现对探针10与待测试表面A之间接触压力的调节。

第二、由于弹性部件40设置于底座20与基台01之间，因此当底座20沿第一导轨306向下运动，使得探针10与待测试表面A之间接触压力达到预设值后，需要对底座20的位置进行固定，防止测试的过程中，由于压缩变形的弹性部件40发生复位，导致底座20沿第一导轨306向上运动，从而使得探针10与待测试表面A之间接触压力不稳定，影响测试精度。因此，可以通过手指按压底座20，避免弹性部件40发生复位，使得探针10与待测试表面A之间接触压力稳定在预设值。

或者，还可以在第一导轨306与底座20的导向柱307之间设置一定位机构，以防止底座20运动到预设位置后，由于压缩变形的弹性部件40发生复位，使得探针10与待测试表面A之间接触压力不稳定，影响测试精度。该定位机构可以如图6所示，包括设置于第一导轨306的导向面B上的至少一个第一凹槽308、通过弹簧3081与第一凹槽308相连接的凸块3082，以及设置于底座20的导向柱307上与第一凹槽308位置相对应的第二凹槽308’。

这样一来，由于导向面B上设置有多个第一凹槽308，因此当底座20沿第一导轨306向下运动，使得探针10与待测试表面A之间接触压力达到预设值后，在弹簧3081的作用下凸块3082会卡入第二凹槽308’中，从而可以限制底座20在第一导轨306内进行直线运动，以稳定探针10与待测试表面A之间接触压力。当测试结束后，可以当底座20向上运动时，弹簧3081在导向面B的积压作用下，可以发生压缩，使得凸块3082从第二凹槽308’中移出。

此外，上述定位机构还可以如图7所示，将第一凹槽308设置于底座20上，而将第二凹槽308’设置于第一导轨306的导向面B上。当然上述定位机构还可以包括沿垂直于所述第一导轨306导向面B的方向，通过螺纹孔穿透该第一导轨306的一侧导向面B的螺钉。通过螺钉顶住底座20，防止其在测试过程中进一步移动。当然，上述仅仅是对定位机构的举例说明，其它类型的定位机构在此不再一一赘述，但都应当属于本发明的保护范围。

此外，第二导向部件31可以包括第二支撑块311，以及沿第二方向Y设置于第二支撑块311上的第二导轨313，该第一导向部件30上设置有导向柱，该第一导向部件30的导向柱(图中未示出)设置于第二导轨313内。具体的设置方法与将底座20设置于第一导轨306中的方法同理，此处不再赘述。

在此基础上，第二导轨313与第一导向部件30的导向柱之间设置有定位机构。该定位机构可以包括设置于第二导轨313的导向面上的至少一个第一凹槽、通过弹簧与第一凹槽相连接的凸块，以及设置于第一导向部件30的导向柱上与第一凹槽位置相对应的第二凹槽。其上述定位机构的具体结构可以如图6所示。

此外，第三导向部件32包括第三支撑块321，以及沿第三方向X设置于第三支撑块321上的第三导轨323，第二导向部件31上设置有导向柱，该第二导向部件31的导向柱设置于第三导轨323内。具体的设置方法与将底座20设置于第一导轨306中的方法同理，此处不再赘述。

在此基础上，第三导轨323与第二导向部件31的导向柱之间设置有定位机构。该定位机构包括设置于第三导轨323的导向面上的至少一个第一凹槽、通过弹簧与第一凹槽相连接的凸块，以及设置于第二导向部件的导向柱上与第一凹槽位置相对应的第二凹槽。其上述定位机构的具体结构可以如图6所示。

需要说明的是，第一、综上所述，实施例一中底座20与第一导向部件30，第一导向部件30和第二导向部件31，以及第二导向部件31与第三导向部件32之间是通过丝杠螺母副进行连接，实施例二中底座20与第一导向部件30，第一导向部件30和第二导向部件31，以及第二导向部件31与第三导向部件32之间可以通过导轨进行连接。由于丝杠螺母副相对于轨道而言，其位移精度更高，但成本也相对较高。因此实施例一较实施例二而言，精度更高，而实施例二较实施例一而言成本更低。

第二、虽然本发明实施例一中底座20与第一导向部件30，第一导向部件30和第二导向部件31，以及第二导向部件31与第三导向部件32之间均是通过丝杠螺母副进行连接，实施例二中底座20与第一导向部件30，第一导向部件30和第二导向部件31，以及第二导向部件31与第三导向部件32之间均可以通过导轨进行连接。

但本发明对上述连接方式并不限制。例如为了精确控制探针10与待测试表面A之间接触压力，可以将底座20与第一导向部件30之间通过丝杠螺母副进行连接。当对探针10沿第二方向Y和第三方向X的位移量的精度要求不高时，第一导向部件30和第二导向部件31、第二导向部件31与第三导向部件32之间可以通过导轨进行连接。其它连接方式在此不再一一赘述，但都应当属于本发明的保护范围。

以下通过具体的实施例对探针连杆11和探针10的设置方式进行举例说明。

实施例三

为了方便探针10的更换，可以如图2或图5所示，在探针10的一端设置第一接头100，在探针连杆11的一端设置与第一接头100相卡合的第二接头110。

具体的，可以在第二接头110内部与第一接头100相接处的表面上设置凸起，能够对卡入第二接头110的第一接头100的位置进行固定，防止其在受力的过程中发生位置，导致探针10与待测试表面A之间接触压力不稳定。

或者，可以在第二接头110内部与第一接头100相接处的表面上设置凹槽，在第一接头100的外表面上设置于所述凹槽相配合的凸起，使得第一接头100在卡入第二接头110时，位于第一接头100上的凸起能够卡入位于第二接头110内部的凹槽中，从而达到固定第一接头100的位置的目的。

本发明对第一接头100与第二接头110的卡合方式不做限定，例如可以如上所述将第一接头100卡入第二接头110中，或者还可以将第二接头110卡入第一接头100中。只要能够保证相互卡合的第一接头100与第二接头110在探针10测试的过程中，不会使得第一接头100与第二接头110脱离开即可。

此外，为了避免卡合后的第一接头100与第二接头110会绕着探针连杆11的轴线方向发生相对旋转运动，因此优选的第一接头100与第二接头110的截面形状如图5所示，可以为矩形，或者其他非圆形的形状例如梯形、三角形等。

进一步的，由于探针10的针尖部分有一定的弯角，因此探针连杆11可以如图5所示安装于底座20的承载面C上，该承载面C与待测试表面A之间具有预设夹角α，且0°＜α＜90°。这样一来，能够提高探针10的针尖部分与待测试表面A的接触良率，从而更有利于对TFT性能进行测试。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (14)

1.一种探针测试设备，包括探针以及与所述探针相连接的探针连杆，其特征在于，还包括基台、第一导向部件、底座、设置于所述基台和所述底座之间的弹性部件，以及与所述弹性部件相连接的压力传感器；

所述第一导向部件位于所述基台上，且与所述底座相连接，在所述第一导向部件的导向作用下，所述底座沿第一方向运动；

所述探针连杆安装于所述底座上；

在所述底座沿所述第一方向靠近所述基台运动时，所述弹性部件被压缩；

所述第一方向与所述基台的承载面垂直；

所述探针的一端设置有第一接头，所述探针连杆的一端设置有与所述第一接头相卡合的第二接头，且所述第一接头与所述第二接头的截面形状为非圆形的形状；

所述探针连杆安装于所述底座的承载面上，所述底座的承载面与待测试表面之间具有预设夹角α，且0°＜α＜90°。

2.根据权利要求1所述的探针测试设备，其特征在于，还包括设置于所述第一导向部件与所述基台之间的第二导向部件以及第三导向部件；

所述第二导向部件与所述第一导向部件相连接，在所述第二导向部件的作用下，所述第一导向部件和所述底座沿第二方向运动；

所述第三导向部件与所述第二导向部件相连接，在所述第三导向部件的作用下，所述第二导向部件、所述第一导向部件以及所述底座沿第三方向运动；

所述第一方向、所述第二方向以及所述第三方向相互垂直。

3.根据权利要求1所述的探针测试设备，其特征在于，所述第一导向部件包括第一支撑块，在所述第一支撑块上设置有第一导向槽，在所述第一导向槽内，沿所述第一方向设置有与所述第一支撑块相连接的第一滚珠丝杠，以及与所述第一滚珠丝杠相连接的第一旋钮；

还包括与所述底座相连接的第一滚珠螺母，所述第一滚珠螺母与所述第一滚珠丝杠相配合。

4.根据权利要求2所述的探针测试设备，其特征在于，所述第二导向部件包括第二支撑块，在所述第二支撑块上设置有第二导向槽，在所述第二导向槽内，沿所述第二方向设置有与所述第二支撑块相连接的第二滚珠丝杠，以及与所述第二滚珠丝杠相连接的第二旋钮；

还包括与所述第一导向部件相连接的第二滚珠螺母，所述第二滚珠螺母与所述第二滚珠丝杠相配合。

5.根据权利要求2所述的探针测试设备，其特征在于，所述第三导向部件包括第三支撑块，在所述第三支撑块上设置有第三导向槽，在所述第三导向槽内，沿所述第三方向设置有与所述第三支撑块相连接的第三滚珠丝杠，以及与所述第三滚珠丝杠相连接的第三旋钮；

还包括设置于与所述第二导向部件相连接的第三滚珠螺母，所述第三滚珠螺母与所述第三滚珠丝杠相配合。

6.根据权利要求1所述的探针测试设备，其特征在于，所述第一导向部件包括第一支撑块，以及沿所述第一方向设置于所述第一支撑块上的第一导轨，所述底座上设置有导向柱，所述底座的导向柱设置于所述第一导轨内。

7.根据权利要求2所述的探针测试设备，其特征在于，所述第二导向部件包括第二支撑块，以及沿所述第二方向设置于所述第二支撑块上的第二导轨，所述第一导向部件上设置有导向柱，所述第一导向部件的导向柱设置于所述第二导轨内。

8.根据权利要求2所述的探针测试设备，其特征在于，所述第三导向部件包括第三支撑块，以及沿所述第三方向设置于所述第三支撑块上的第三导轨，所述第二导向部件上设置有导向柱，所述第二导向部件的导向柱设置于所述第三导轨内。

9.根据权利要求6所述的探针测试设备，其特征在于，所述第一导轨与所述底座的导向柱之间设置有定位机构。

10.根据权利要求9所述的探针测试设备，其特征在于，所述定位机构包括设置于所述第一导轨的导向面上的至少一个第一凹槽、通过弹簧与所述第一凹槽相连接的凸块，以及设置于所述底座的导向柱上与所述第一凹槽位置相对应的第二凹槽。

11.根据权利要求7所述的探针测试设备，其特征在于，所述第二导轨与所述第一导向部件的导向柱之间设置有定位机构。

12.根据权利要求11所述的探针测试设备，其特征在于，所述定位机构包括设置于所述第二导轨的导向面上的至少一个第一凹槽、通过弹簧与所述第一凹槽相连接的凸块，以及设置于所述第一导向部件的导向柱上与所述第一凹槽位置相对应的第二凹槽。

13.根据权利要求8所述的探针测试设备，其特征在于，所述第三导轨与所述第二导向部件的导向柱之间设置有定位机构。

14.根据权利要求13所述的探针测试设备，其特征在于，所述定位机构包括设置于所述第三导轨的导向面上的至少一个第一凹槽、通过弹簧与所述第一凹槽相连接的凸块，以及设置于所述第二导向部件的导向柱上与所述第一凹槽位置相对应的第二凹槽。