CN209356558U - 可调节式探针装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及电学性能检测装置技术领域，尤其是涉及一种可调节式探针装置。可调节式探针装置包括底座、第一电路板、横向调节装置、第一纵向调节装置和多根检测探针；检测探针与第一电路板可拆卸连接；第一电路板与第一纵向调节装置连接；第一纵向调节装置与横向调节装置连接；横向调节装置与底座连接。本实用新型提供的可调节式探针装置，通过将检测探针可拆卸的设置在电路板上，使得既能够改变检测探针的数量，又能够根据检测探针的安装位置，改变检测探针的间距，在进行电学性能检测时，不需要制备多个探针台，减少了使用成本；通过纵向调节装置和横向调节装置的设置，使得检测探针的检测位置调节方便，增加了探测范围。

Description

可调节式探针装置

技术领域

本实用新型涉及电学性能检测装置技术领域，尤其是涉及一种可调节式探针装置。

背景技术

随着互联网的兴起，人类对电子类产品的需求越来越大，尤其是智能设备的需求越来越大。电子产品的种类繁多，对相应的电子检测设备提出了更大的挑战，例如薄膜场效应晶体管(TFT)，使用到了更为精密的TFT器件电学性能测试仪，该设备的探针台可实现3维方向调整，可探测不同尺寸的TFT。因此，实用性大的电子产品检测设备成为时下研究的热点。

通常的TFT探针台是由具有弹性的针尖和三维调整基座。该结构中三维调整基座可通过三个旋钮来调节针尖在立体空间内X轴、Y轴及Z轴方向的位置，从而实现精准调节针尖的踩点位置。

但是，现有的探针台中，探针安装较少，在探针损坏或灵敏度降低后，不易更换，往往需要更换探针时，对整个装置进行更换，使得检测成本较高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种可调节式探针装置，以解决现有技术中存在的技术问题。

本实用新型提供的可调节式探针装置，包括底座、第一电路板、横向调节装置、第一纵向调节装置和多根检测探针；

所述检测探针与所述第一电路板可拆卸连接；

所述第一电路板与所述第一纵向调节装置连接；

所述第一纵向调节装置与所述横向调节装置连接；

所述横向调节装置与所述底座连接。

进一步的，所述第一纵向调节装置包括纵向调节底板、纵向调节螺杆和纵向调节螺母；

所述纵向调节螺杆转动设置在所述纵向调节底板上；

所述纵向调节螺母固定设置在所述第一电路板的一侧；

所述纵向调节螺杆与所述纵向调节螺母螺纹连接。

进一步的，所述纵向调节螺杆的端部设置有旋转旋钮或旋转把手。

进一步的，所述纵向调节底板上与所述纵向调节螺杆的轴线平行的两侧设置有滑行轨道；

所述第一电路板滑动设置在所述滑行轨道上。

进一步的，所述横向调节装置包括横向调节底板、横向调节螺杆和横向调节螺母；

所述横向调节螺杆转动设置在所述横向调节底板上；

所述横向调节螺母固定设置在所述横向调节底板远离所述第一电路板的一侧；

所述横向调节螺杆与所述横向调节螺杆螺纹连接。

进一步的，所述第一电路板上设置有调节杆；

所述调节杆设置有多个探针调节装置；

所述检测探针设置在所述探针调节装置上。

进一步的，所述探针调节装置包括调节环和调节螺栓；

所述调节环滑动设置在所述调节杆上；

所述调节环的侧壁上设置有调节螺孔；

所述调节螺栓与所述调节螺孔螺纹连接，且穿过所述调节螺孔与所述调节杆的侧壁相抵。

进一步的，所述调节环的侧壁上设置有探针连接装置；

所述检测探针通过所述探针连接装置与所述探针调节装置连接。

进一步的，所述探针连接装置包括连接架、连接片和连接螺栓；

所述连接架的一端设置在所述调节环的外壁上；

所述连接片折弯为环形，所述连接片的端部设置有螺纹孔；

所述连接螺栓与所述螺纹孔螺纹连接，且穿过所述螺纹孔与所述连接架相抵。

进一步的，可调节式探针装置还包括第二电路板；

所述第二电路板上也设置有多个检测探针；

所述第二电路板上连接有第二纵向调节装置；

所述第二纵向调节装置与所述横向调节装置连接。

本实用新型提供的可调节式探针装置，通过将检测探针可拆卸的设置在电路板上，使得既能够改变检测探针的数量，又能够根据检测探针的安装位置，改变检测探针的间距，在进行电学性能检测时，不需要制备多个探针台，减少了使用成本；通过纵向调节装置和横向调节装置的设置，使得检测探针的检测位置调节方便，增加了探测范围。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的可调节式探针装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的可调节式探针装置的纵向调节装置和横向调节装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的可调节式探针装置的探针调节装置的结构示意图；

图4为图3的A-A剖视图；

图5为本实用新型实施例提供的可调节式探针装置的探针连接装置的结构示意图。

附图标记：

1：第一电路板；2：纵向调节装置；3：检测探针；4：第二电路板；5：横向调节装置；6：纵向调节螺母；7：纵向调节螺杆；8：滑行轨道；9：纵向调节底板；10：支撑板；11：横向调节底板；12：横向调节螺母；13：横向调节螺杆；14：调节杆；15：调节环；16：调节螺栓；17：连接线；18：间隙；19：连接架；20：连接片；21：连接螺栓。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如附图1-图5所示，本实用新型提供了一种可调节式探针装置，包括底座、第一电路板1、横向调节装置5、第一纵向调节装置2和多根检测探针3；检测探针3与第一电路板1可拆卸连接；第一电路板1与第一纵向调节装置2连接；第一纵向调节装置2与横向调节装置5连接；横向调节装置5与底座连接。

在本实用新型中，通过底座将整个可调节式探针装置进行固定后，利用横向调节装置5带动电路板和纵向调节装置2一同在底座上进行横向移动，再利用纵向调节装置2带动电路板在横向调节装置5上进行纵向移动，进而能够实现对电路板上的检测探针3的位置进行调节，增加了检测范围。

在本实施例中，检测探针3为多根，均可拆卸的方式设置在电路板上，使得在检测探针3的性能降低时，可以较为方便的进行更换。

同时，在不同位置上安装检测探针3，能够起到调节检测探针3的间距的作用，使得可调节式探针装置的应用范围更广。

具体的，本实施例中，如图2所示，第一纵向调节装置2包括纵向调节底板9、纵向调节螺杆7和纵向调节螺母6；纵向调节螺杆7转动设置在纵向调节底板9上；纵向调节螺母6固定设置在第一电路板1的一侧；纵向调节螺杆7与纵向调节螺母6螺纹连接。

纵向调节底板9的两端设置有支撑板10，纵向调节螺杆7的两端转动设置在支撑板10上，在第一电路板1的下方固定设置纵向调节螺母6，纵向调节螺杆7与纵向调节螺母6螺纹连接，使得转动纵向调节螺杆7的时候，纵向能够使得纵向调节螺母6在纵向调节螺杆7上沿纵向调节螺杆7的轴向移动，进而带动第一电路板1沿纵向调节螺杆7的轴向移动，实现对检测探针3的纵向位置调整。

进一步的，为便于对转动纵向调节螺杆7，在纵向调节螺杆7的端部设置有旋转旋钮或旋转把手，且旋转旋钮或旋转把手设置在支撑板10的外侧。

通过旋转旋钮或旋转把手的设置，使得其能够较为方便省力的转动纵向调节螺杆7，实现对第一电路板1和检测探针3的位置移动。

为了保证第一电路板1在纵向调节底板9上滑动时的平稳性，本实施例中，在纵向调节底板9上与纵向调节螺杆7的轴线平行的两侧设置了滑行固定8；第一电路板1滑动设置在滑行固定8上。

通过滑行固定8的设置，使得第一电路板1的两端与纵向调节底板9抵接，对第一电路板1起到支撑的作用，再通过纵向调节螺母6带动第一电路板1移动，进而保证第一电路板1移动时的稳定性。

需要指出的是，在本实施例中，第一纵向调节装置2为螺纹螺杆传动调节结构，但其不仅仅局限于这一种调节结构，其还可以是其他的结构，如还可以是使用齿轮齿条等结构，也就是说，其只要能够实现第一电路板1的纵向移动，进而实现检测探针3的纵向移动即可。

同理，如图2所示，横架调节装置也为螺纹螺杆的调节结构，具体的，在本实施例中，横向调节装置5包括横向调节底板11、横向调节螺杆13和横向调节螺母12；横向调节螺杆13转动设置在横向调节底板11上；横向调节螺母12固定设置在横向调节底板11远离第一电路板1的一侧；横向调节螺杆13与横向调节螺杆13螺纹连接。

在横向调节底板11的两端设置支撑板10，横向调节螺杆13转动设置在支撑杆上，横向调节底板11上与横向调节螺杆13的轴线平行的两侧也设置了滑行固定8，此时，纵向调节底板9设置在该滑行固定8上，使得纵向调节底板9能够平稳的在横向调节底板11上移动。

需要指出的是，需要指出的是，在本实施例中，横向调节装置5为螺纹螺杆传动调节结构，但其不仅仅局限于这一种调节结构，其还可以是其他的结构，如还可以是使用齿轮齿条等结构，也就是说，其只要能够实现纵向调节底板9的横向移动，进而带动第一电路板1进行横向移动，最终带动检测探针3进行横向移动即可。

为了便于对检测探针3进行间距调整，使得其能够不间断调整间距，在本实施例中，如图3所示，第一电路板1上设置有调节杆14；调节杆14设置有多个探针调节装置；检测探针3设置在探针调节装置上。

也就是说，所有的检测探针3均设置在调节杆14上，通过在调节杆14上进行滑动，来调节各个检测探针3之间的间距，进而使得其适用范围更广。

具体的，在本实施例中，探针调节装置包括调节环15和调节螺栓16；调节环15滑动设置在调节杆14上；调节环15的侧壁上设置有调节螺孔；调节螺栓16与调节螺孔螺纹连接，且穿过调节螺孔与调节杆14的侧壁相抵。

更具体的，调节环15套装在调节杆14上，能够沿调节杆14进行轴向滑动，当需要将调节环15固定在调节杆14上时，转动调节环15上的调节螺栓16，使得调节螺栓16的端部与调节杆14的外壁相抵，进而实现将调节环15固定在调节杆14上。

需要指出的是，探针调节装置的结构是通过环状结构的滑动来实现调节的，其不仅仅局限于这一种结构，其还可以是其他的调节结构，如还可以是在调节杆14上使用滑块进行调节，也可以是直接在第一电路板1上使用滑块进行调节等，也就是说，只要能够调节检测探针3在第一电路板1上的位置即可。

具体的，本实施例中，在调节环15的侧壁上设置有探针连接装置；检测探针3通过探针连接装置与探针调节装置连接。

探针连接装置固定在调节环15上，能够将检测探针3可拆卸的安装在探针连接装置上，使得检测探针3能够通过连接线17与第一电路板1连接。

具体的，如图4和图5所示，在本实施例中，探针连接装置包括连接架19、连接片20和连接螺栓21；连接架19的一端设置在调节环15的外壁上；连接片20折弯为环形，连接片20的端部设置有螺纹孔；连接螺栓21与螺纹孔螺纹连接，且穿过螺纹孔与连接架19相抵。

更具体的，在本实施例中，连接片20折弯为环形结构，且两端经过折弯后重叠在一起，其中部在连接架19的上方，与连接架19之间设置有间隙18，检测探针3的端部插入到间隙18中，连接片20端部折弯后重叠的部分上设置有螺纹孔，连接螺栓21与螺纹孔螺纹连接，且穿过螺纹孔与连接架19的下侧相抵，带动连接片20下移，减小间隙18，进而实现将检测探针3固定在间隙18中。

需要指出的是，探针连接装置可以是上述结构，但其不仅仅局限于上述结构，其还可以其他的可拆卸连接结构，如卡接等，也就是说，其只要能够实现检测探针3与探针连接装置之间的可拆卸连接即可。

如图1所示，在本实用新型中，可调节式探针装置还包括第二电路板4；第二电路板4上也设置有多个检测探针3；第二电路板4上连接有第二纵向调节装置2；第二纵向调节装置2与横向调节装置5连接。

具体的，第一电路板1和第二电路板4对称设置，其上的检测探针3数量相同，位置相对应设置。

在本实施例中，第二电路板4通过第二纵向调节装置2进行纵向调节，也就是说，第二电路板4和第一电路板1能够在纵向进行分别调节，相互之间不干涉，而同时通过横向调节装置5进行横向调节。

需要指出的是，在本实施例中，电路板为两块，电路板的数量还可以设置为三块或者更多，其根据实际的需要进行设置即可。

本实用新型提供的可调节式探针装置，通过将检测探针3可拆卸的设置在电路板上，使得既能够改变检测探针3的数量，又能够根据检测探针3的安装位置，改变检测探针3的间距，在进行电学性能检测时，不需要制备多个探针台，减少了使用成本；通过纵向调节装置2和横向调节装置5的设置，使得检测探针3的检测位置调节方便，增加了探测范围。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

此外，本领域的技术人员能够理解，尽管在此的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本实用新型的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在上面的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本实用新型的总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

Claims (10)

1.一种可调节式探针装置，其特征在于，包括底座、第一电路板、横向调节装置、第一纵向调节装置和多根检测探针；

所述检测探针与所述第一电路板可拆卸连接；

所述第一电路板与所述第一纵向调节装置连接；

所述第一纵向调节装置与所述横向调节装置连接；

所述横向调节装置与所述底座连接。

2.根据权利要求1所述的可调节式探针装置，其特征在于，所述第一纵向调节装置包括纵向调节底板、纵向调节螺杆和纵向调节螺母；

所述纵向调节螺杆转动设置在所述纵向调节底板上；

所述纵向调节螺母固定设置在所述第一电路板的一侧；

所述纵向调节螺杆与所述纵向调节螺母螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的可调节式探针装置，其特征在于，所述纵向调节螺杆的端部设置有旋转旋钮或旋转把手。

4.根据权利要求2所述的可调节式探针装置，其特征在于，所述纵向调节底板上与所述纵向调节螺杆的轴线平行的两侧设置有滑行轨道；

所述第一电路板滑动设置在所述滑行轨道上。

5.根据权利要求1所述的可调节式探针装置，其特征在于，所述横向调节装置包括横向调节底板、横向调节螺杆和横向调节螺母；

所述横向调节螺杆转动设置在所述横向调节底板上；

所述横向调节螺母固定设置在所述横向调节底板远离所述第一电路板的一侧；

所述横向调节螺杆与所述横向调节螺杆螺纹连接。

6.根据权利要求1所述的可调节式探针装置，其特征在于，所述第一电路板上设置有调节杆；

所述调节杆设置有多个探针调节装置；

所述检测探针设置在所述探针调节装置上。

7.根据权利要求6所述的可调节式探针装置，其特征在于，所述探针调节装置包括调节环和调节螺栓；

所述调节环滑动设置在所述调节杆上；

所述调节环的侧壁上设置有调节螺孔；

所述调节螺栓与所述调节螺孔螺纹连接，且穿过所述调节螺孔与所述调节杆的侧壁相抵。

8.根据权利要求7所述的可调节式探针装置，其特征在于，所述调节环的侧壁上设置有探针连接装置；

所述检测探针通过所述探针连接装置与所述探针调节装置连接。

9.根据权利要求8所述的可调节式探针装置，其特征在于，所述探针连接装置包括连接架、连接片和连接螺栓；

所述连接架的一端设置在所述调节环的外壁上；

所述连接片折弯为环形，所述连接片的端部设置有螺纹孔；

所述连接螺栓与所述螺纹孔螺纹连接，且穿过所述螺纹孔与所述连接架相抵。

10.根据权利要求1所述的可调节式探针装置，其特征在于，还包括第二电路板；

所述第二电路板上也设置有多个检测探针；

所述第二电路板上连接有第二纵向调节装置；

所述第二纵向调节装置与所述横向调节装置连接。