KR101607087B1 - 프로브 - Google Patents

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KR101607087B1
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허경철
최영섭
김동현
김상일
임대균
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주식회사 디이엔티
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Abstract

프로브에 관한 것으로, 제1 모터의 회전에 의해 일 방향으로 이동되는 제1 위치조절부, 제2 모터의 회전에 의해 상기 제1 위치조절부의 이동 방향이 전환되도록 상기 제1 위치조절부의 하측에 설치되는 제2 위치조절부를 마련하여 제1 위치조절부를 제2 위치조절부에 의해 X축 이동을 Y축 방향으로 전환시켜 이동시킬 수 있고, 제1 위치조절부를 X축 및 Y축 방향으로 이동시킬 수 있으며, 제1 위치조절부에 의해 Z축 방향으로 승강시킬 수 있다는 효과가 얻어진다.

Description

프로브{Probe}
본 발명은 프로브에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 프로브 유닛에 이동 가능하게 설치되어 프로브 유닛에 대하여 다축(X, Y, Z)으로 정밀하게 위치 제어가 이루어지는 프로브에 관한 것이다.
일반적으로 프로브는 디스플레이(액정 또는 평판 디스플레이 등을 포함한다) 패널이 불량품인지 양품인지를 검사할 수 있도록 디스플레이 패널이 고정된 상태를 유지하면서 전기적인 신호를 주고 받을 수 있도록 하는 것이다.
이러한 프로브는 디스플레이 패널의 크기에 따라 선택된 프로브 유닛과 함께 이동되며, 디스플레이 패널의 크기에 따라 각각 다른 길이를 갖는 프로브 유닛에 설치되고 있다.
평판 디스플레이(flat panel display)의 주력제품인 액정표시장치(TFT-LCD)는 양산기술 확보와 연구개발의 성과로 대형화와 고해상도화가 급속도로 진전되어 노트북 컴퓨터(computer)뿐만 아니라 대형 모니터(monitor) 제품으로도 개발되어 디스플레이 산업에서의 그 비중이 점차 증대되고 있다.
최근의 정보화 사회에서 디스플레이는 시각정보 전달매체로서 그 중요성이 더 한층 강조되고 있고, 특히 모든 전자제품의 경, 박, 단, 소 추세에 따라 저소비 전력화, 박형화, 경량화, 고화질, 휴대성의 중요성이 더 한층 높아지고 있다.
액정표시장치는 평판 디스플레이의 이러한 조건들을 만족시킬 수 있는 성능뿐만 아니라 양산성까지 갖춘 디스플레이 장치이기 때문에 이를 이용한 각종 신제품 창출이 급속도로 이루어지고 있으며, 전자산업계에서 반도체 이상으로 그 비중이 폭발적으로 증가하는 차세대 주력 기술로서 부각되고 있다.
이와 같은 액정표시장치는 제조라인 최종 단계에서 점등 검사를 수행하게 되는데, 이는 특정한 검사 설비에서 프로브 유닛을 이용해 액정표시패널의 데이터라인과 게이트라인 각각의 단선 검사와 색상검사 그리고 현미경 등을 이용한 육안검사 등을 실시하고 있다.
한편 액정표시패널은 현재 30인치, 40인치, 46인치, 52인치, 57인치 등 다양한 크기(size)로서 제공되고 있으며, 이런 다양한 크기의 액정표시패널을 모두 검사할 수 있도록 하기 위한 검사 장비가 사용되고 있다.
이러한 검사 장비에 설치된 프로브는 각각의 액정표시패널의 크기에 따라 일정 간격으로 고정된 상태를 설치되어 있다. 이에 따라 검사 장비에 놓인 액정표시패널이 검사 장비의 정 위치에 놓이지 않고서 소정의 각도로 비틀어진 상태로 놓여질 수 있다.
이렇게 액정표시패널이 검사장비에 비틀어지거나 정 위치에 놓이지 않은 상태에서 프로브가 접촉되는데, 프로브 자체를 이용하여 위치 제어가 불가능하며, 액정표시패널과 프로브의 접촉 불량이 발생할 뿐만 아니라 접촉 불량에 따른 액정표시패널이 파손되는 경우가 발생하기도 한다.
이와 같이 액정표시패널의 크기에 따라 프로브의 접촉 불량 또는 액정표시패널이 정 위치에 놓이지 않은 경우 프로브 유닛 전체를 교체해야 되는 불편함이 있었다.
한편 근래 들어서는 보다 고해상도의 제품을 생산하는데 있어, 보다 조밀한 간격의 패턴(fine pitch)에 보다 정밀하게 접촉(Contact) 되어야 하는데, X, Y 위치의 오차, 프로브의 검사 접촉위치(Contact Point)에서의 높이 차로 인한 접촉력(Contact force)의 부족으로 접촉 불량(Pin Miss) 등의 오류가 발생하여 검사 불량율이 높고 검사를 실행하지 못하는 경우가 발생하고 있다.
이에 기구적으로 관리할 수 있는 부분의 한계를 극복하여 프로브 각각의 위치 정보를 확인 후 각각 개별적인 프로브 또는 프로브 유닛(Probe Unit)이 개별적으로 동작하여 최적의 성능(Performance)이 요구되고 있다.
액정표시패널로는 LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등이 사용되고 있으며, 이들 액정표시패널의 검사 공정으로 엘시디 셀 검사(LCD CELL TESTER) 또는 유기발광 다이오드의 패널 검사(OLED PANEL TESTER) 등 다양한 형태의 검사 공정이 이루어질 수 있는데, 이들 각각의 공정에 따른 검사장비를 구비해야 되며, 이들 고가의 장비가 매우 제한적으로 사용되고 있다.
예를 들어, 하기 특허문헌 1에는 '탭 아이씨 직접 컨텍 타입의 프로브 유니트'가 개시되어 있다.
하기 특허문헌 1에 따른 탭 아이씨 직접 컨텍 타입의 프로브 유니트에는 블록바디의 좌우 측면에 미세조절 탭을 형성하여 얼라인 조절이 가능하여 앵글 플레이트가 상기 미세조절 탭에 삽입된 볼트의 조임과 풀림에 의해 좌우로 움직여 미세 얼라인 조절이 가능하고, 상기 앵글 플레이트의 미세 얼라인 조절로 인해 상호 다른 블록에서도 앵글 플레이트를 동일 위치에 배치시킬 수 있어 블록 간 호환성을 가능케 하고, 블록바디 서포트의 저면에 상기 앵글 플레이트와 같은 각도로 고정 탭을 형성하여 볼트를 조여 상기 앵글 플레이트가 고정되도록 형성되어 있다.
대한민국 특허 공개번호 제10-2010-0092400호(2010년 8월 20일 공개) 대한민국 특허 등록번호 제10-0878432호(2009년 1월 6일 등록)
그러나 종래기술에 따른 탭 아이씨 직접 컨텍 타입의 프로브 유니트는 블록바디에 형성된 미세조절 탭을 이용하여 블록바디의 위치를 조절할 수 있으나, 블록바디의 위치 조절이 한 방향으로만 제한되며, 작업자가 프로브 하나씩 개별적으로 조절해야 되는 불편함이 있고, 다축으로 위치 제어를 할 수 없는 문제점이 있었다.
본 발명의 목적은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 프로브의 위치를 자유로이 제어 또는 조절할 수 있는 프로브를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 액정표시패널에 접촉되는 프로브를 다축(X, Y, Z) 방향으로 위치 이동시켜 액정표시패널에 적절하게 접촉할 수 있는 프로브를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 프로브의 위치 조절 시 이동 위치를 설정할 수 있는 프로브를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 고해상도의 제품에 대한 위치 정밀도를 높이면서 액정표시패널과 프로브의 접촉력(Contact Force)를 각각의 프로브(Probe) 별로 조절하여 접촉 불량(Pin Miss)를 줄여 보다 검사 정밀도를 높일 수 있는 프로브를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 프로브 유닛의 교체방식으로 인한 교체 시간, 교체하고자 하는 유닛을 추가하지 않고서도 액정표시패널의 모델 변경에 대응할 수 있는 프로브를 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 프로브는 제1 모터의 회전에 의해 일 방향으로 이동되는 제1 위치조절부, 제2 모터의 회전에 의해 상기 제1 위치조절부의 이동 방향이 전환되도록 상기 제1 위치조절부의 하측에 설치되는 제2 위치조절부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 프로브는 제1 모터의 회전에 의해 Z축으로 이동되는 제1 위치조절부, 제2 모터의 회전에 의해 상기 제1 위치조절부를 X축 또는 Y축으로 이동되도록 상기 제1 위치조절부의 하측에 설치되는 제2 위치조절부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제1 위치조절부 또는 제2 위치조절부에 이동 위치를 파악할 수 있도록 촬영장치를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제1 위치조절부는 상기 제1 모터에 의해 회전되는 제1 구동축, 상기 제1 구동축을 따라 이동 가능하게 결합되는 제1 슬라이딩 블록, 상기 제1 슬라이딩 블록의 경사면에 이동 가능하게 결합되는 제2 슬라이딩 블록을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제1 모터의 회전축과 상기 제1 구동축 사이에 동심을 유지하도록 결합되는 커플링, 상기 커플링의 외측에 마련되며 상기 제1 모터의 일측에 고정되는 제1 고정블록, 상기 제1 및 제2 슬라이딩 블록의 외측에 마련되며 상기 제1 고정블록의 타측에 고정되는 제2 고정블록을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제2 슬라이딩 블록의 상면에 고정되는 고정판, 상기 고정판의 일측에 고정되는 고정 프레임, 상기 고정판 및 고정 프레임에 설치되며 액정표시패널의 회로기판에 접촉되는 리드 프레임을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제1 슬라이딩 블록이 직선 이동되도록 상기 제1 고정블록의 상면에 설치되는 제1 안내 프레임, 상기 제2 슬라이딩 블록이 직선 이동되도록 상기 제1 고정블록의 일면에 수직으로 설치되는 제2 안내 프레임, 상기 제1 슬라이딩 블록과 제2 슬라이딩 블록이 서로 직선 이동되도록 설치되는 제3 안내 프레임을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제2 위치조절부는 상기 제2 모터에 의해 회전되는 제2 구동축, 상기 제2 구동축을 따라 이동되도록 결합되는 제1 이동블록, 상기 제1 이동블록의 상면에 이동 가능하게 결합되며 상기 제1 이동블록의 이동방향을 전환시키는 방향 전환프레임, 상기 방향 전환프레임의 이동에 따라 전환된 이동방향으로 이동 가능하게 상기 방향 전환프레임의 상면에 결합되는 제2 이동블록을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 제2 모터의 회전축과 상기 제2 구동축 사이에 동심을 유지하도록 결합되는 커플링, 상기 커플링의 외측에 마련되며 상가 제2 모터의 일측에 고정되는 제1 고정블록, 상기 제1 및 제2 이동블록의 외측에 마련되며 상기 제1 고정블록의 타측에 고정되는 제2 고정블록을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 방향 전환프레임은 상기 제1 이동블록의 상면에 이동 가능하게 결합되는 제1 슬라이딩 블록, 상기 제1 슬라이딩 블록의 상면에 소정의 각도로 경사지게 형성되는 안내홈부, 상기 안내홈부에 이동 가능하게 결합되는 제2 슬라이딩 블록을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 프로브에 의하면, 제1 위치조절부를 제2 위치조절부에 의해 X축 이동을 Y축 방향으로 전환시켜 이동시킬 수 있고, 제1 위치조절부를 X축 및 Y축 방향으로 이동시킬 수 있으며, 제1 위치조절부에 의해 Z축 방향으로 승강시킬 수 있다는 효과가 얻어진다.
본 발명에 따른 프로브에 의하면, 액정표시패널이 정 위치가 아닌 소정의 각도로 비틀어지게 장착된 상태에서도 프로브 자체가 위치 이동되어 정확한 위치에 장착될 수 있으며, 리드프레임을 보다 정확한 위치에 접촉시킬 수 있고, 고해상도의 기판 또는 셀(cell) 등의 제품을 다품종 소량 생산할 수 있는 경제적·시간적·품질적 혜택을 얻을 수 있다는 효과가 얻어진다.
본 발명에 따른 프로브에 의하면, 액정표시패널의 검사 공정으로 엘시디 셀 검사(LCD CELL TESTER) 또는 유기발광 다이오드의 패널 검사(OLED PANEL TESTER) 등 다양한 형태의 검사 공정을 하나의 검사장치로 수행할 수 있다는 효과가 얻어진다.
본 발명에 따른 프로브에 의하면, 각각의 개별적인 프로브 블록의 접촉력을 조절할 수 있어 액정표시패널의 특정 위치 검사(LCD ARRAY TEST, OLED ARRAY), 아우터 리드 본딩(OLB: OUTER LEAD BONDING) 또는 아이씨 본딩(IC BONDING) 등의 작업 공정에도 사용할 수 있다는 효과가 얻어진다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브를 보인 입체도,
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브를 보인 분해 입체도,
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브의 제1 위치조절부를 정면에서 보인 분해 입체도,
도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브의 제2 위치조절부를 정면에서 보인 분해 입체도,
도 5는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브의 결합된 상태를 보인 정면도,
도 6은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브의 제1 위치조절부가 상승된 상태를 보인 정면도,
도 7은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브의 결합된 상태를 보인 측면도,
도 8은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브의 제1 위치조절부가 이동된 상태를 보인 측면도,
도 9는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브가 설치된 데이터 프로브 유닛 및 게이트 프로브 유닛을 보인 평면도.
이하 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브를 보인 입체도이고, 도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브를 보인 분해 입체도이며, 도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브의 제1 위치조절부를 정면에서 보인 분해 입체도이고, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브의 제2 위치조절부를 정면에서 보인 분해 입체도이다
본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브는 제1 모터(110)의 회전에 의해 일 방향으로 이동되는 제1 위치조절부(100), 제2 모터(210)의 회전에 의해 상기 제1 위치조절부(100)의 이동 방향이 전환되도록 상기 제1 위치조절부(100)의 하측에 설치되는 제2 위치조절부(200)를 포함할 수 있다.
본 발명에서 액정표시패널(14)은 엘시디(LCD: Liquid Crystal Display), 엘이디(LED: Light Emitting Diode), 유기발광 다이오드(OLED: Organic Light Emitting Diodes) 등을 포함하는 것으로 설명한다. 즉, 액정표시패널(14)은 설명의 편의를 위하여 액정표시장치 또는 액정디스플레이, 발광다이오드, 유기발광다이오드 등을 총칭하는 명칭으로 사용하기로 한다.
도 1 내지 도 4 및 도 9에 도시된 바와 같이, 프로브(10)는 액정표시패널(14)의 데이터라인과 게이트라인 각각의 단선 검사와 색상검사 등을 위하여 프로브 유닛(미도시)에 설치되는 것으로, 액정표시패널이 안정되게 장착된 상태를 유지하면서 리드 프레임(195)이 안정되게 접촉되게 하는 것이다.
또한 프로브(10)는 액정표시패널(14)이 설정된 정 위치에 위치하지 않을 경우 액정표시패널과 적합한 위치에 장착되도록 X, Y, Z축의 다축으로 이동되는 것이다.
즉, 본 발명의 프로브는 프로브 유닛(11, 12)에 설치된 상태에서 X축, Y축, Z축 각각으로 이동되어 액정표시패널(14)의 파손을 방지함은 물론 액정표시패널(14)과 리드 프레임(195)의 접촉을 보다 양호하게 할 수 있도록 한다.
상기 제1 위치조절부(100)는 회전력을 발생시키는 제1 모터(110), 제1 모터(110)의 회전력을 전달하는 커플링(120), 커플링(120)에 결합되어 제1 모터(110)의 회전력으로 회전되는 구동축(130), 구동축(130)에 이동 가능하게 결합되는 제1 슬라이딩 블록(140), 제1 슬라이딩 블록(140)의 이동으로 승강되는 제2 슬라이딩 블록(150), 제1 모터(110)의 일측에 고정되는 제1 고정블록(160), 제1 고정블록(160)의 타측에 고정되는 제2 고정블록(170), 제2 슬라이딩 블록(150)의 상면에 고정되는 고정판(180), 고정판(180)의 일측에 고정되는 고정프레임(190), 고정판(180)과 고정프레임(190)의 상면에 고정되는 리드 프레임(195)을 포함할 수 있다.
상기 제1 모터(110)는 인가된 전원에 의해 정역 회전되는 서보 모터로써, 일측에는 회전축(111)이 돌출될 수 있으며, 회전축(111)은 일정 길이로 형성될 수 있다. 회전축(111)은 커플링(120)에 결합될 수 있으며, 필요에 따라 구동축(130)을 포함할 수 있다.
즉, 회전축(111)은 제1 슬라이딩 블록(140)까지 연장 형성되어 제1 슬라이딩 블록(140)을 이동시킬 수 있도록 결합될 수 있다. 이는 구동축(130)을 결합하지 않고서 제1 슬라이딩 블록(140)을 직접 이동되도록 할 수 있다.
상기 커플링(120)은 회전축(111)의 회전을 구동축(130)으로 전달하는 것으로, 커플링(120)의 일측에는 회전축(111)이 결합될 수 있으며, 타측에는 구동축(130)이 결합될 수 있다. 이러한 커플링(120)은 회전축(111)과 구동축(130)의 동심(동축)을 유지하기 위한 것이다.
또 구동축(130)에는 제1 슬라이딩 블록(140)이 이동 가능하게 결합될 수 있으며, 제1 슬라이딩 블록(140)의 경사면에는 제2 슬라이딩 블록(150)이 이동 가능하게 결합될 수 있다.
이들 제1 슬라이딩 블록(140)과 제2 슬라이딩 블록(150)은 고정판(180)을 이동시키기 위한 것으로, 도 1의 도면상 Z축 방향으로 이동되게 할 수 있다.
여기서 Z축 방향은 도 1의 도면상 상측을 지시하는 것이고, X축 방향은 도 1의 도면상 좌우 방향으로 이동하는 것을 지시하는 것이며, Y축 방향은 프로브(10)의 길이 방향으로 이동하는 것을 지시하는 것이다.
이하 첨부된 도면과 관련된 설명에서 X, Y, Z는 도 1을 기준으로 설명하기로 한다.
또한 Z축은 액정표시패널(14)이 장착되는 워크스테이션(미도시)으로 이동하는 것으로 이해되어야 한다. 즉, 고정프레임(190)은 액정표시패널(14) 쪽으로 이동하여 액정표시패널(14)이 움직이지 않도록 장착된 상태를 유지하게 되고, 리드프레임(195)은 액정표시패널(14)에 접촉되어 전기적인 신호를 주고 받을 수 있도록 한다.
상기 제1 슬라이딩 블록(140)은 구동축(130)에 결합되도록 구멍(141)이 형성될 수 있으며, 제2 슬라이딩 블록(150)이 승강되도록 상면을 경사면(142)으로 형성할 수 있다.
또한 제1 슬라이딩 블록(140)의 상면과 하면에는 좌우 양측에 각각 단턱(143)이 형성될 수 있다.
상기 제2 슬라이딩 블록(150)은 제1 슬라이딩 블록(140)의 경사면(142)에 이동 가능하게 결합될 수 있으며, 제1 슬라이딩 블록(140)의 경사면(142)에 대응되는 경사면(151)이 형성될 수 있음은 물론이다.
또한 제2 슬라이딩 블록(150)의 수직면에는 제1 슬라이딩 블록(140)의 이동에 따라 수직으로 승강되도록 안내하는 안내돌기부(152)가 형성될 수 있다.
아울러 제1 모터(110)의 일면에는 커플링(120)의 외측을 감싸는 제1 고정블록(160)이 고정될 수 있고, 제1 슬라이딩 블록(140) 및 제2 슬라이딩 블록(150)의 외측을 감싸는 제2 고정블록(170)이 고정될 수 있다.
상기 제1 고정블록(160)은 제1 모터(110) 및 커플링(120)을 안정되게 설치하는 것이며, 제2 고정블록(170)은 제1 슬라이딩 블록(140) 및 제2 슬라이딩 블록(150)을 안정되게 설치하는 것이다.
또한 제1 슬라이딩 블록(140)과 제2 슬라이딩 블록(150)은 제2 고정블록(170) 내부에서 직선 이동되도록 할 수 있다. 제1 슬라이딩 블록(140)은 제2 고정블록(170)을 따라 수평으로 직선 이동될 수 있으며, 제2 슬라이딩 블록(150)은 제2 고정블록(170)을 따라 수직으로 직선 이동될 수 있다.
상기 제1 슬라이딩 블록(140)과 제2 고정블록(170) 사이에는 제1 안내프레임(171)이 설치될 수 있으며, 제2 슬라이딩 블록(150)과 제2 고정블록(170) 사이에는 제2 안내프레임(172)이 설치될 수 있고, 제1 슬라이딩 블록(140)과 제2 슬라이딩 블록(150)의 경사면(142, 151))에는 제3 안내프레임(145)이 설치될 수 있다.
이들 안내프레임(171, 172, 145)은 각각 2개의 프레임이 한 쌍으로 이루어질 수 있으며, 한 쌍의 제1 안내프레임(171) 중 하나는 제2 고정블록(170)의 상면에 설치될 수 있고, 다른 하나는 제1 슬라이딩 블록(140)의 단턱(143)에 설치될 수 있다.
상기 한 쌍의 제2 안내프레임(172) 중 하나는 제2 고정블록(170)의 수직면에 설치될 수 있고, 다른 하나는 제2 슬라이딩 블록(150)의 안내돌기부(152)의 양면에 각각 설치될 수 있다.
또한 한 쌍의 제3 안내프레임(145) 중 하나는 제1 슬라이딩 블록(140)의 경사면(142) 양측에 설치될 수 있고, 다른 하나는 제2 슬라이딩 블록(150)의 경사면(151) 양측에 설치될 수 있다.
상기 제1 안내프레임(171)은 제1 슬라이딩 블록(140)이 수평으로 직선 이동되도록 안내(guide)하며, 제2 안내프레임(172)은 제2 슬라이딩 블록(150)이 수직으로 직선 이동되도록 안내하며, 제3 안내프레임(145)은 제2 슬라이딩 블록(150)이 제1 슬라이딩 블록(140)의 경사면(142)을 따라 이동되도록 안내한다.
상기 고정판(180)은 제2 슬라이딩 블록(150)의 상면에 고정될 수 있으며, 고정판(180)의 일측에는 고정프레임(190)을 고정할 수 있다. 이들 고정프레임(190)은 다수의 플레이트를 지지하는 것으로, 고정판(180)과 고정프레임(190)의 상면에 리드프레임(195)을 고정할 수 있다.
상기 리드프레임(195)은 고정프레임(190)의 상면에 고정됨으로써 소정의 각도로 경사지게 고정할 수 있다. 이는 리드프레임(195)의 선단이 가장 상측에 위치되게 하여 액정표시패널(14)에 접촉될 수 있도록 하기 위함이다.
상기 제2 위치조절부(200)는 제1 위치조절부(100)를 Y축으로 이동시키는 것으로, 필요에 따라 제1 위치조절부(100)를 Y축 방향으로 이동시킬 수 있다. 즉, 제2 위치조절부(200)는 제2 모터(210)의 회전에 의해 제1 위치조절부(100)의 이동 방향을 전환시킬 수 있다.
상기 제2 위치조절부(200)는 회전을 발생시키는 제2 모터(210), 제2 모터(210)의 회전을 전달시키는 커플링(220), 커플링(220)의 타측에 결합되는 제2 구동축(230), 제2 구동축(230)을 따라 이동 가능하게 결합되는 제1 이동블록(240), 제1 이동블록(240)의 상면에 이동 방향을 전환시키는 방향 전환프레임(250), 방향 전환프레임(250)에 의해 전환된 방향으로 이동되는 제2 이동블록(260), 제2 모터(210)의 일면에 고정되는 제1 고정블록(270), 제1 고정블록(270)의 타면에 고정되는 제2 고정블록(280)을 포함할 수 있다.
상기 제2 모터(210)는 인가된 전원에 의해 정역 회전되는 서보 모터로써, 일측에는 회전축(211)이 돌출될 수 있으며, 회전축(211)은 일정 길이로 형성될 수 있다. 회전축(211)은 커플링(220)에 결합될 수 있으며, 필요에 따라 회전축(230)을 포함할 수 있다.
즉, 회전축(211)은 제1 이동블록(240)까지 연장 형성되어 제1 이동블록(240)을 이동시킬 수 있도록 형성될 수 있다. 이는 회전축(230)을 결합하지 않고서 제1 이동블록(240)을 직접 이동되게 설치할 수 있다.
상기 커플링(220)은 회전축(211)의 회전을 제2 구동축(230)으로 전달하는 것으로, 커플링(220)의 일측에는 회전축(211)이 결합될 수 있으며, 타측에는 제2 구동축(230)이 결합될 수 있다. 이러한 커플링(220)은 회전축(211)과 제2 구동축(230)의 동심(동축)을 유지하기 위한 것이다.
또 제1 구동축(230)에는 제1 이동블록(240)이 이동 가능하게 결합될 수 있으며, 제1 이동블록(240)의 상면에는 방향 전환프레임(250) 및 제2 이동블록(260)이 이동 가능하게 결합될 수 있다.
상기 제1 이동블록(240)은 제2 구동축(230)에 이동 가능하게 결합되는 이동블록(241)과 이동블록(241)의 상면에 일 방향으로 경사지게 결합되는 경사블록(245)을 포함할 수 있다.
상기 이동블록(241)에는 제2 구동축(230)에 결합되도록 구멍(242)이 형성될 수 있으며, 이동블록(241)의 상면에는 일 방향으로 경사지게 경사홈부(243)를 형성할 수 있다. 상기 경사홈부(243)에는 경사블록(245)이 고정될 수 있다.
상기 방향 전환프레임(250)은 제2 구동축(230)을 따라 이동되는 제1 이동블록(240)과 교차되는 방향으로 방향 전환시키는 것으로, 경사블록(245)에 이동 가능하게 결합될 수 있다.
상기 방향 전환프레임(250)에는 제2 이동블록(260)이 고정될 수 있으며, 제2 이동블록(260)은 방향 전환프레임(250)에 고정되어 방향 전환프레임(250)의 이동에 따라 제1 이동블록(240)의 이동 방향과 교차되는 방향으로 이동될 수 있다.
상기 제2 이동블록(260)의 상면에는 제1 위치조절부(100)의 제2 고정블록(170)이 고정될 수 있다.
또한 제2 모터(210)의 일면에는 제1 고정블록(270)이 고정될 수 있으며, 제1 고정블록(270)의 내부에는 동력을 전달하는 커플링(220)이 설치될 수 있으며, 제1 고정블록(270)의 타면에는 제2 고정블록(280)이 설치될 수 있다.
아울러 제2 고정블록(280)의 일측에는 제2 구동축(230)을 견고하게 지지할 수 있도록 일정 두께를 갖는 부싱(281)이 고정될 수 있다. 또한 제2 고정블록(280)의 상면에는 제2 이동블록(260)이 직선으로 이동되도록 안내하는 안내프레임(282)이 설치될 수 있다.
한편 제1 위치조절부(100)는 제2 위치조절부(200)에 의해 도 1의 도면상 Y축 방향으로 이동되는 것으로 설명되었으나, 제1 위치조절부(100)의 제2 고정블록(170)을 제2 위치조절부(200)의 방향 전환프레임(250)에 설치할 수 있다.
이는 제1 이동블록(240)에 제1 위치조절부(100)의 제2 고정블록(170)이 설치되면, 제1 위치조절부(100)는 X축 및 Y축 방향으로 이동될 수 있다.
즉, 제1 위치조절부(100)는 제2 위치조절부(200)의 제1 이동블록(240)에 의해 X축 및 Y축 방향으로 동시에 위치 이동될 수 있다.
또한 제2 고정블록(170) 또는 제2 고정블록(280)에는 제1 위치조절부(100)의 이동 위치를 파악할 수 있는 촬영장치(미도시)를 구비할 수 있다. 이러한 촬영장치는 카메라를 이용할 수 있으며, 카메라에 의해 이동시키고자 하는 거리를 파악할 수 있으며, 카메라에 의해 워크 스테이지에 장착된 액정표시패널의 장착 상태를 파악할 수 있다.
이러한 프로브는 액정표시패널의 검사 공정으로 엘시디 셀 검사(LCD CELL TESTER) 또는 유기발광 다이오드의 패널 검사(OLED PANEL TESTER) 등 다양한 형태의 검사 공정을 하나의 검사장치로 수행할 수도 있게 된다.
또 각각의 개별적인 프로브 블록의 접촉력을 조절할 수 있어 액정표시패널의 특정 위치 검사(LCD ARRAY TEST, OLED ARRAY), 아우터 리드 본딩(OLB: OUTER LEAD BONDING) 또는 아이씨 본딩(IC BONDING) 등의 작업 공정에도 사용할 수도 있게 된다.
다음 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브의 결합관계를 상세하게 설명한다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 프로브는 제1 모터(110)의 회전축(111)에 커플링(120)을 결합할 수 있으며, 커플링(120)의 타측에는 제1 구동축(130)을 결합할 수 있다.
아울러 제1 모터(110)의 일면에는 커플링(120)을 감싸는 제1 고정블록(160)을 고정할 수 있다.
상기 제1 구동축(130)은 일정 길이를 가지며, 제1 구동축(130)에는 제1 슬라이딩 블록(140)을 이동 가능하게 결합할 수 있다.
이러한 제1 구동축(130)은 일정 피치를 갖는 나사산이 형성된 스크류를 사용하거나 볼 스크류, 리니어 가이드 등을 사용할 수 있다. 즉, 제1 구동축(130)은 제1 슬라이딩 블록(140)의 구멍(141)에 회전 가능하게 결합되어 제1 슬라이딩 블록(140)을 이동시킬 수 있도록 결합될 수 있다.
상기 제1 슬라이딩(140)의 경사면(142)에는 제1 슬라이딩 블록(140)의 이동에 따라 승강되는 제2 슬라이딩 블록(150)을 설치할 수 있으며, 제1 슬라이딩 블록(140)과 제2 슬라이딩 블록(150)의 경사면(142, 151)에는 각각 제3 안내프레임(145)을 설치할 수 있다.
제3 안내프레임(145)은 2개가 한 쌍으로 이루어지며, 제3 안내프레임(145) 중 하나는 제1 슬라이딩 블록(140)에 볼트 등으로 고정될 수 있고, 다른 하나는 제2 슬라이딩 블록(150)에 볼트 등으로 고정될 수 있다.
상기 제3 안내프레임(145)은 제1 슬라이딩 블록(140)과 제2 슬라이딩 블록(150)이 이동될 때 정 위치에서 슬라이딩 되도록 한다.
상기 커플링(120)의 외측에는 제1 고정블록(160)을 설치하는데, 제1 고정블록(160)의 일면은 제1 모터(110)에 볼트 등으로 고정될 수 있다. 또한 제2 고정블록(170)은 제1 고정블록(160)의 타면에 볼트 등으로 고정될 수 있다.
상기 제2 고정블록(170)은 제1 슬라이딩 블록(140) 및 제2 슬라이딩 블록(150)의 외측에 설치될 수 있다. 상기 제1 슬라이딩 블록(140)과 제2 고정블록(170)에는 제1 안내프레임(171)이 설치될 수 있으며, 제2 슬라이딩 블록(150)과 제2 고정블록(170)에는 제2 안내프레임(172)이 설치될 수 있다.
이들 제1 및 제2 안내프레임(171, 172)은 각각 2개가 한 쌍으로 이루어져 있으며, 제1 안내프레임(171) 중 하나는 제2 고정블록(170)의 상면에 볼트 등의 고정수단에 의해 수평으로 설치될 수 있고, 다른 하나는 제1 슬라이딩 블록(140)의 단턱(143)에 볼트 등의 고정수단에 의해 수평으로 설치될 수 있다.
상기 제1 안내프레임(171)은 제1 구동축(130)에 의해 이동 시 제1 슬라이딩 블록(140)이 수평으로 이동되도록 안내되게 한다.
또한 제2 안내프레임(172) 중 하나는 제2 고정블록(170)의 수직면에 볼트 등의 고정수단에 의해 수직으로 설치될 수 있고, 다른 하나는 제2 슬라이딩 블록(150)의 안내돌기부(152) 양측에 볼트 등의 고정수단에 의해 수직으로 설치될 수 있다.
상기 제2 안내프레임(172)은 제1 슬라이딩 블록(140)에 의해 승강 시 제2 슬라이딩 블록(150)이 수직으로 이동되도록 안내되게 한다.
상기 제2 슬라이딩 블록(150)의 상면에는 고정판(180)을 볼트 등의 고정수단으로 고정할 수 있으며, 고정판(180)의 일측에는 고정프레임(190)을 볼트 또는 용접 등에 의해 일체로 고정할 수 있다.
또한 고정판(180)과 고정프레임(190)의 상면에는 전기적인 신호를 주고 받을 수 있는 리드프레임(195)을 설치할 수 있다.
한편 제2 위치조절부(200)는 제1 위치조절부(100)를 일 방향으로 이동시킬 수 있을 뿐만 아니라 양 방향, 즉 X축 및 Y축 방향으로 이동시킬 수 있도록 하는 것이다.
상기 제2 위치조절부(200)는 제2 모터(210)의 회전축(211)에 커플링(220)을 결합할 수 있다. 또 커플링(220)에는 일정 길이를 갖는 제2 구동축(230)을 결합할 수 있다. 상기 커플링(220)은 회전축(211)과 제2 구동축(230)의 동심(동축)을 유지하기 위한 것이다.
제2 구동축(230)에는 제1 이동블록(240)을 이동 가능하게 결합할 수 있으며, 제1 이동블록(240)은 제2 구동축(230)에 결합되는 이동블록(241)과 이동블록(241)의 상면에 제1 위치조절부(100)를 다른 방향으로 이동시킬 수 있도록 경사블록(245)을 결합할 수 있다.
상기 이동블록(241)의 상면에는 소정의 각도로 경사지게 경사홈부(243)를 형성할 수 있으며, 경사홈부(243)에는 경사블록(245)을 이동 가능하게 결합할 수 있다.
또한 경사블록(245)에는 일정 길이를 갖는 방향 전환프레임(250)을 이동 가능하게 결합할 수 있고, 방향 전환프레임(250)에는 제2 이동블록(260)을 볼트 등의 고정수단으로 고정할 수 있다. 상기 제2 이동블록(260)에는 양측 저면에 안내프레임(282)이 설치되도록 단턱(261)을 형성할 수 있다.
상기 제2 모터(210)의 일면에는 제1 고정블록(270)을 볼트 등의 고정수단으로 고정할 수 있으며, 제1 고정블록(270)은 커플링(220)의 외측에 설치될 수 있다.
또한 상기 제1 고정블록(270)의 타면에는 제2 고정블록(280)을 볼트 등의 고정수단으로 고정할 수 있으며, 제2 고정블록(280)의 내측에는 제1 이동블록(240)이 설치될 수 있으며, 제2 고정블록(280)의 상면에는 제2 이동블록(260)이 이동 가능하게 결합될 수 있다.
즉, 제2 이동블록(260)은 제2 고정블록(280)의 상면에 이동 가능하게 결합된 상태에서 제2 이동블록(260)의 양측에 설치된 안내프레임(282)에 의해 직선으로 이동 가능하게 설치될 수 있다.
다음 도 1 내지 도 9를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브의 작동방법을 상세하게 설명한다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브의 결합된 상태를 보인 정면도이고, 도 6은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브의 제1 위치조절부가 상승된 상태를 보인 정면도이며, 도 7은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브의 결합된 상태를 보인 측면도이고, 도 8은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브의 제1 위치조절부가 이동된 상태를 보인 측면도이며, 도 9는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브가 설치된 데이터 프로브 유닛 및 게이트 프로브 유닛을 보인 평면도이다.
도 1 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 프로브는 제1 위치조절부(100)에 의해 리드프레임(195) 및 고정프레임(190)이 도면상 Z축 방향으로 상승 또는 하강될 수 있으며, 제1 위치조절부(100)는 제2 위치조절부(200)에 의해 Y축 방향으로 이동될 수 있다.
한편 제1 위치조절부(100)는 제2 위치조절부(200)에 의해 X축 및 Y축 방향으로 이동될 수 있다. 이는 제2 이동블록(260)을 설치하지 않고서 방향 전환프레임(250)에 제1 위치조절부(100)의 제2 고정블록(170)을 설치함으로써 X축 및 Y축 방향으로 동시에 이동될 수 있다.
또한 제1 위치조절부(100)의 제2 고정블록(170) 또는 제2 위치조절부(200)의 제2 고정블록(280) 중 어느 하나에 촬영장치인 카메라를 설치할 수 있다. 상기 카메라는 액정표시패널(14)의 위치를 파악하여 제2 위치조절부(200)에 의해 제1 위치조절부(100)가 액정표시패널(14)의 접촉 위치에 보다 정확하게 접촉되게 할 수 있다.
도 9에서와 상기 프로브(10)는 데이터 프로브 유닛(11, data probe unit) 및 게이트 프로브 유닛(12, gate probe unit) 각각에 일정 간격으로 배열 설치될 수 있으며, 데이터 프로브 유닛(11) 및 게이트 프로브 유닛(12)은 별도의 이동 유닛(13)에 의해 이동될 수 있다.
즉, 데이터 프로브 유닛(11) 및 게이트 프로브 유닛(12)은 각각의 이동 유닛(13)에 의해 정해진 위치로 이동되는 것으로, 워크 스테이지(미도시, work stage)에 액정표시패널(14)이 위치한 상태에서 이들 데이터 프로브 유닛(11) 및 게이트 프로브 유닛(12)이 이동될 수 있다.
이때 워크 스테이지에 장착되는 액정표시패널(14)은 정해진 위치에 정확하게 장착되어야 하나 액정표시패널(14)이 소정의 각도로 비틀어진 상태로 장착될 수 있다.
도 9에서와 같이, 가상선으로 표시된 액정표시패널(14)은 수직, 수평으로 정확하게 놓이지 않고서 일부 틀어진 상태로 놓여질 수 있다. 이에 본 발명의 프로브(10)는 틀어지게 놓여진 액정표시패널(14)에 대하여 각각의 위치에서 제1 위치조절부(100) 또는 제2 위치조절부(200)에 의하여 위치 조정을 할 수 있는 것이다.
이에 데이터 프로브 유닛(11) 및 게이트 프로브 유닛(12)은 이동 유닛(13)에 의해 이동된 상태에서 소정의 거리만큼 X축, Y축, Z축으로 이동되어 리드프레임(195)이 액정표시패널(14)의 정확한 위치에 접촉될 수 있도록 한다.
상기 이동 유닛(13)에 의해 이동된 프로브(10)는 카메라 등에 의해 이동될 위치를 선정하거나 액정표시패널(14)의 위치를 감지하는 센서 등에 의해 이동될 위치를 선정할 수 있다.
이와 같이 프로브(10)가 이동될 위치가 선정됨에 따라 제1 위치조절부(100) 또는 제2 위치조절부(200)를 구동하게 되는데, 먼저 제2 위치조절부(200)에 의해 위치 조정되는 것을 설명한다.
상기 제2 모터(210)에 인가된 전원에 의해 회전축(211)이 회전됨에 따라 커플링(220) 및 제2 구동축(230)이 회전되며, 제2 구동축(230)에 이동 가능하게 결합된 제1 이동블록(240)이 이동될 수 있다.
이에 제1 이동블록(240)이 이동됨에 따라 이동블록(241)이 동시에 이동되며, 이동블록(241)에 결합된 방향 전환프레임(250)이 이동될 수 있다. 이에 제1 이동블록(240)은 도 1의 도면상 X축으로 이동됨에 따라 방향 전환프레임(250)은 도면상 Y축 방향으로 이동되는 방향이 전환된다.
상기 방향 전환프레임(250)이 Y축 방향으로 이동됨과 함께 제2 이동블록(260)이 Y축 방향으로 이동되며, 그 상면에 고정된 제1 위치조절부(100)의 제2 고정블록(170)은 Y축 방향으로 이동됨에 따라 제1 위치조절부(100)가 이동될 수 있다.
이러한 제1 위치조절부(100)의 이동 거리는 최대 ±5㎜ 일 수 있으며, 최소 ±0.2㎜ 일수 있다. 상기 제2 위치조절부(200)에 의한 제1 위치조절부(100)의 이동 거리는 필요에 따라 증감될 수 있음은 물론이다.
한편 방향 전환프레임(250)에 제2 이동블록(260)을 설치하지 않을 경우, 제1 위치조절부(100)는 제2 위치조절부(200)에 의하여 X축 및 Y축 방향으로 이동될 수 있다.
또한 고정프레임(190) 및 리드프레임(195)은 액정표시패널(14)을 향해 이동하게 되는데, 제1 모터(110)는 인가된 전원에 의해 회전됨에 따라 커플링(120) 및 제1 구동축(130)이 회전된다.
이에 제1 구동축(130)에 결합되어 있는 제1 슬라이딩 블록(140)이 이동되며, 제1 슬라이딩 블록(140)에 결합된 제2 슬라이딩 블록(150)이 도 1의 도면상 Z축 방향으로 상승될 수 있다.
이와 같이 제2 슬라이딩 블록(150)이 상승됨에 따라 고정판(180), 고정프레임(190) 및 리드프레임(195)이 상승되면서 액정표시패널(14)에 정확하게 접촉됨과 함께 액정표시패널(14)을 장착하게 된다.
한편 액정표시패널의 검사 공정으로 엘시디 셀 자체를 검사(LCD CELL TESTER)하는 공정 또는 유기발광 다이오드의 패널 검사(OLED PANEL TESTER) 공정 등 다양한 형태의 검사 공정을 하나의 검사장치로 수행할 수도 있게 된다.
이와 더불어 각각의 개별적인 프로브의 접촉력을 조절할 수 있어 액정표시패널의 특정 위치를 검사(LCD ARRAY TEST, OLED ARRAY)하는 공정, 아우터 리드 본딩(OLB: OUTER LEAD BONDING) 또는 아이씨 본딩(IC BONDING) 등의 작업 공정에도 사용할 수도 있게 된다.
이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시 예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되는 것은 아니고 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 물론이다.
10: 프로브 100: 제1 위치조절부
110: 제1 모터 111: 회전축
120: 커플링 130: 제1 구동축
140: 제1 슬라이딩 블록 141: 구멍
142: 경사면 143: 단턱
145: 제3 안내프레임 150: 제2 슬라이딩 블록
151: 경사면 152: 안내돌기부
160: 제1 고정블록 170: 제2 고정블록
171: 제1 안내프레임 172: 제2 안내프레임
180: 고정판 190: 고정프레임
195: 리드프레임 200: 제2 위치조절부
210: 제2 모터 211: 회전축
220: 커플링 230: 제2 구동축
240: 제1 이동블록 241: 이동블록
242: 구멍 243: 경사홈부
245: 경사블록 250: 방향 전환프레임
260: 제2 이동블록 270: 제1 고정블록
280: 제2 고정블록 281: 부싱
282: 안내프레임

Claims (10)

  1. 제1 모터의 회전에 의해 일 방향으로 이동되는 제1 위치조절부,
    제2 모터의 회전에 의해 상기 제1 위치조절부의 이동 방향이 전환되도록 상기 제1 위치조절부의 하측에 설치되는 제2 위치조절부를 포함하며,
    상기 제1 위치조절부는 상기 제1 모터에 의해 회전되는 제1 구동축,
    상기 제1 구동축을 따라 이동 가능하게 결합되는 제1 슬라이딩 블록,
    상기 제1 슬라이딩 블록의 경사면에 이동 가능하게 결합되는 제2 슬라이딩 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브.
  2. 제1 모터의 회전에 의해 Z축으로 이동되는 제1 위치조절부,
    제2 모터의 회전에 의해 상기 제1 위치조절부를 X축 또는 Y축으로 이동되도록 상기 제1 위치조절부의 하측에 설치되는 제2 위치조절부를 포함하며,
    상기 제1 위치조절부는 상기 제1 모터에 의해 회전되는 제1 구동축,
    상기 제1 구동축을 따라 이동 가능하게 결합되는 제1 슬라이딩 블록,
    상기 제1 슬라이딩 블록의 경사면에 이동 가능하게 결합되는 제2 슬라이딩 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 위치조절부 또는 제2 위치조절부에 이동 위치를 파악할 수 있도록 촬영장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브.
  4. 삭제
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제1 모터의 회전축과 상기 제1 구동축 사이에 동심을 유지하도록 결합되는 커플링,
    상기 커플링의 외측에 마련되며 상기 제1 모터의 일측에 고정되는 제1 고정블록,
    상기 제1 및 제2 슬라이딩 블록의 외측에 마련되며 상기 제1 고정블록의 타측에 고정되는 제2 고정블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제2 슬라이딩 블록의 상면에 고정되는 고정판,
    상기 고정판의 일측에 고정되는 고정 프레임,
    상기 고정판 및 고정 프레임에 설치되며 액정표시패널의 회로기판에 접촉되는 리드 프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 제1 슬라이딩 블록이 직선 이동되도록 상기 제1 고정블록의 상면에 설치되는 제1 안내 프레임,
    상기 제2 슬라이딩 블록이 직선 이동되도록 상기 제1 고정블록의 일면에 수직으로 설치되는 제2 안내 프레임,
    상기 제1 슬라이딩 블록과 제2 슬라이딩 블록이 서로 직선 이동되도록 설치되는 제3 안내 프레임을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 제2 위치조절부는 상기 제2 모터에 의해 회전되는 제2 구동축,
    상기 제2 구동축을 따라 이동되도록 결합되는 제1 이동블록,
    상기 제1 이동블록의 상면에 이동 가능하게 결합되며 상기 제1 이동블록의 이동방향을 전환시키는 방향 전환프레임,
    상기 방향 전환프레임의 이동에 따라 전환된 이동방향으로 이동 가능하게 상기 방향 전환프레임의 상면에 결합되는 제2 이동블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제2 모터의 회전축과 상기 제2 구동축 사이에 동심을 유지하도록 결합되는 커플링,
    상기 커플링의 외측에 마련되며 상가 제2 모터의 일측에 고정되는 제1 고정블록,
    상기 제1 및 제2 이동블록의 외측에 마련되며 상기 제1 고정블록의 타측에 고정되는 제2 고정블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 방향 전환프레임은 상기 제1 이동블록의 상면에 이동 가능하게 결합되는 제1 슬라이딩 블록,
    상기 제1 슬라이딩 블록의 상면에 소정의 각도로 경사지게 형성되는 안내홈부,
    상기 안내홈부에 이동 가능하게 결합되는 제2 슬라이딩 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브.
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