KR100970246B1 - 박막트랜지스터기판 및 이를 포함한 액정패널의 제조방법 - Google Patents
박막트랜지스터기판 및 이를 포함한 액정패널의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (5)
- 박막트랜지스터기판에 있어서,표시영역과 상기 표시영역의 둘레를 이루는 주변영역을 갖는 기판소재와;상기 기판소재 위에 형성된 게이트선과;상기 기판소재의 주변영역에 형성된 데이터 검사신호선과;상기 게이트선 및 상기 데이터 검사신호선 위에 형성된 게이트 절연막과;상기 게이트 절연막 위에 형성되고, 상기 게이트선과 교차하여 상기 표시영역을 정의하며, 일측 단부가 상기 데이터 검사신호선에 인접하도록 형성된 데이터선과;상기 데이터선 위에 형성되고, 상기 주변영역에서 상기 데이터선의 일부가 노출되도록 하는 데이터 차단홀을 갖는 보호막과;상기 보호막 위에 형성되어 상기 데이터 검사신호선과 상기 데이터선을 연결하는 데이터연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막트랜지스터기판.
- 제1항에 있어서,상기 주변영역에 형성되어 상기 게이트선의 일측 단부에 연결되는 게이트 검사신호선을 더 포함하며,상기 주변영역에서 상기 게이트선의 일부가 노출되도록 하는 게이트 차단홀이 상기 보호막 및 상기 게이트 절연막에 더 형성되는 것을 특징으로 하는 박막트 랜지스터기판.
- 박막트랜지스터기판과, 상기 박막트랜지스터기판에 적층되는 컬러필터기판을 포함하는 액정패널의 제조방법에 있어서,표시영역과 상기 표시영역의 둘레를 이루는 주변영역을 갖는 기판소재 위에 게이트선 및 데이터 검사신호선을 형성하는 단계;상기 게이트선 및 상기 데이터 검사신호선 위에 게이트 절연막을 형성하는 단계;상기 게이트 절연막 위에 데이터선을 형성하는 단계;상기 데이터선 위에 보호막을 형성하는 단계;상기 주변영역에서 상기 데이터선의 일부가 노출되도록 상기 보호막에 데이터 차단홀을 형성하는 단계;상기 데이터선을 상기 데이터 검사신호선에 연결하는 데이터연결부를 형성하여 박막트랜지스터기판을 마련하는 단계;컬러필터기판을 마련하는 단계;상기 박막트랜지스터기판에 상기 컬러필터기판을 적층하고 액정을 주입하여 액정패널 중간체를 형성하는 단계;상기 데이터 검사신호선으로 상기 데이터선을 테스트하여 상기 액정패널 중간체의 불량여부를 검사하는 단계;상기 데이터 차단홀을 에칭하여 상기 노출된 데이터선을 제거하는 단계를 포 함하는 것을 특징으로 하는 액정패널의 제조방법.
- 제3항에 있어서,상기 게이트선을 형성하는 단계에서는 상기 게이트선의 단부에 연결되는 게이트 검사신호선을 함께 형성하고,상기 데이터 차단홀을 형성하는 단계에서는 상기 주변영역에서 상기 게이트선의 일부가 노출되도록 상기 보호막 및 상기 게이트 절연막에 게이트 차단홀을 함께 형성하고,상기 데이터선을 테스트하는 단계에서는 상기 게이트 검사신호선으로 상기 게이트선을 함께 테스트하고,상기 데이터 차단홀을 에칭하는 단계에서는 상기 게이트 차단홀을 함께 에칭하여 상기 노출된 게이트선을 제거하는 것을 특징으로 하는 액정패널의 제조방법.
- 제4항에 있어서,상기 데이터 차단홀 및 상기 게이트 차단홀을 에칭한 다음 세정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정패널의 제조방법.
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