KR20080047790A

KR20080047790A - 액정 표시 장치 및 그 제조 방법

Info

Publication number: KR20080047790A
Application number: KR1020060117670A
Authority: KR
Inventors: 홍태근
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2006-11-27
Filing date: 2006-11-27
Publication date: 2008-05-30

Abstract

본 발명은 검사 하부 전극과 접속된 신호 라인의 부식 및 전식을 방지할 수 있는 액정 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.

본 발명에 따른 액정 표시 장치는 다수의 신호 라인에 의해 마련된 각 화소 영역에 위치하는 다수의 액정셀을 가지는 액정 표시 패널과; 상기 액정 표시 패널 상에 실장된 구동 집적 회로와; 상기 구동 집적 회로의 입/출력 단자와 접속되는 입/출력 패드와; 상기 다수의 액정셀이 형성된 표시 영역과 상기 구동 집적 회로가 실장되는 실장 영역 사이에 위치하며 상기 출력 패드를 통해 상기 다수의 신호 라인에 검사신호를 공급하는 제1 검사 패드를 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

액정 표시 장치 및 그 제조 방법{LIQUID CRYSTAL DISPLAY AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}

도 1은 종래 액정 표시 장치의 검사 패드를 나타내는 단면도이다.

도 2는 본 발명에 따른 액정 표시 장치를 나타내는 도면이다.

도 3은 도 2에 도시된 출력 패드 및 검사 패드와 접속된 화소들을 나타내는 평면도이다.

도 4는 도 3에서 선"Ⅰ-Ⅰ'", "Ⅱ-Ⅱ'", "Ⅲ-Ⅲ'"를 따라 절취한 액정 표시 장치를 나타내는 단면도이다.

도 5는 도 3에 도시된 제1 및 제2 검사 패드와 출력 패드의 다른 실시예를 나타내는 단면도이다.

도 6은 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 검사 공정 후 실장된 구동 집적 회로를 나타내는 단면도이다.

도 7a 내지 도 7d는 도 4에 도시된 액정 표시 장치의 제조 방법을 나타내는 단면도들이다.

< 도면의 주요부분에 대한 설명>

101 : 기판 102 : 게이트 라인

104 : 데이터 라인 106 : 게이트 전극

108 : 소스 전극 110 : 드레인 전극

112 : 게이트 절연막 114 : 활성층

116 : 오믹 접촉층 118 : 보호막

120,156,166,176 : 콘택홀 122 : 화소 전극

130 : 액정 표시 패널 132 : 칼라 필터 기판

134 : 박막트랜지스터 기판 136 : 구동 집적 회로

138 : 박막트랜지스터 140 : 입력 패드

148 : FPC 패드 150 : 출력 패드

152 : 출력 하부 전극 154 : 출력 상부 전극

158 : FPC 160,170 : 검사 패드

162,172 : 검사 하부 전극 164,174 : 검사 상부 전극

본 발명은 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 검사 하부 전극과 접속된 신호 라인의 부식 및 전식을 방지할 수 있는 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.

통상, 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display; LCD)는 액정 표시 패널에 매트릭스 형태로 배열된 액정셀들 각각이 비디오 신호에 따라 광투과율을 조절하게 함으로써 화상을 표시하게 된다.

이러한 종래 액정 표시 패널을 제조하기 위한 제조 공정은 박막트랜지스터 기판 및 칼라필터 기판을 마련하기 위한 패터닝 공정, 박막트랜지스터 기판과 칼라필터 기판이 액정을 사이에 두고 합착되는 합착 공정, 불량 액정 표시 패널을 검출하는 검사 공정 등으로 나뉘어진다.

이 중 검사 공정은 액정 표시 패널에 구동 집적 회로를 부착하기 전의 상태에서 액정 표시 패널의 불량 유무를 검사하게 된다. 이를 위해, 검사 공정시 신호 라인과 접속된 검사 패드들 각각은 검사 신호를 공급하는 프로브 핀과 접속된다.

한편, 구동 집적 회로가 박막트랜지스터 기판 상에 실장되는 구조의 종래 액정 표시 패널의 검사 패드는 구동 집적 회로가 실장될 실장 영역과 액정셀이 위치하는 표시 영역 사이에 형성된다. 이러한 검사 패드는 액정 표시 패널이 양품으로 판정되어 구동 집적 회로가 실장된 후에도 외부로 노출된 상태를 유지한다. 외부로 노출된 검사 패드(10)는 도 1에 도시된 바와 같이 하부 기판(1) 상에 형성된 검사 하부 전극(12)과, 적어도 한 층의 절연막(18,20)을 관통하여 검사 하부 전극(12)을 노출시키는 검사 콘택홀(14)과, 검사 하부 전극(12)과 접속되는 검사 상부 전극(16)을 포함한다

이 경우, 검사 콘택홀(14)에 의해 적어도 한 층의 절연막(18,20)이 역테이퍼 형태로 노출되면, 그 절연막(18,20)의 측면을 덮는 검사 상부 전극(14)을 이루는 금속막의 증착 공정에서 불량이 발생되어 검사 상부 전극(14)에는 크랙이 발생된다. 이 크랙을 통해 외부의 수분 등이 검사 하부 전극(12) 쪽으로 침투되면, 검사 하부 전극(12)이 부식되거나 전식되는 문제점이 발생된다. 이와 같이, 검사 하부 전극(12)이 부식되거나 전식되는 경우, 검사 하부 전극(12)과 접속된 신호 라인에 불량이 발생하는 문제점이 있다.

따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 검사 하부 전극과 접속된 신호 라인의 부식 및 전식을 방지할 수 있는 액정 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 액정 표시 장치는 다수의 신호 라인에 의해 마련된 각 화소 영역에 위치하는 다수의 액정셀을 가지는 액정 표시 패널과; 상기 액정 표시 패널 상에 실장된 구동 집적 회로와; 상기 구동 집적 회로의 입/출력 단자와 접속되는 입/출력 패드와; 상기 다수의 액정셀이 형성된 표시 영역과 상기 구동 집적 회로가 실장되는 실장 영역 사이에 위치하며 상기 출력 패드를 통해 상기 다수의 신호 라인에 검사신호를 공급하는 제1 검사 패드를 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 제1 검사 패드는 상기 다수의 신호 라인 중 어느 하나와 접속된 제1 검사 하부 전극과; 상기 검사 하부 전극을 덮도록 형성된 적어도 한 층의 절연막과; 상기 적어도 한 층의 절연막을 사이에 두고 상기 제1 검사 하부 전극과 마주보며 상기 출력 패드를 통해 상기 제1 검사 하부 전극과 접속되는 제1 검사 상부 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 출력 패드는 상기 제1 검사 하부 전극과 접속된 출력 하부 전극과; 상 기 출력 하부 전극을 덮도록 형성된 적어도 한 층의 절연막을 관통하여 상기 출력 하부 전극을 노출시키는 출력 콘택홀과; 상기 제1 검사 상부 전극과 접속됨과 아울러 상기 출력 콘택홀을 통해 상기 출력 하부 전극과 접속된 출력 상부 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 제1 검사 패드는 상기 신호 라인 중 우수번째 신호 라인 중 어느 하나의 신호 라인과 접속된 것을 특징으로 한다.

상기 신호 라인 중 기수번째 신호 라인과 접속되며 상기 구동 집적 회로가 실장된 실장 영역에 위치하는 제2 검사 패드를 추가로 구비하는 것을 특징으로 한다.

상기 제2 검사 패드는 상기 다수의 신호 라인 중 어느 하나와 접속된 제2 검사 하부 전극과; 상기 제2 검사 하부 전극을 덮도록 형성된 적어도 한 층의 절연막을 관통하여 상기 제2 검사 하부 전극을 노출시키는 검사 콘택홀과; 상기 검사 콘택홀을 통해 상기 제2 검사 하부 전극과 접속되는 제2 검사 상부 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 제2 검사 패드는 상기 다수의 신호 라인 중 어느 하나와 접속되며 상기 출력 하부 전극과 접속된 제2 검사 하부 전극과; 상기 제2 검사 하부 전극을 덮도록 형성된 적어도 한 층의 절연막과; 상기 적어도 한 층의 절연막을 사이에 두고 상기 제2 검사 하부 전극과 마주보며 상기 출력 패드를 통해 상기 제2 검사 하부 전극과 접속되는 제2 검사 상부 전극을 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 출력 하부 전극, 제1 및 제2 검사 상부 전극은 게이트 라인 및 데이터 라인 중 어느 하나와 동일 평면 상에 동일 금속으로 형성되는 것을 특징으로 한다.

상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법은 다수의 신호 라인, 상기 신호 라인의 구동 신호를 생성하는 구동 집적 회로의 입/출력 단자와 접속될 입/출력 패드, 상기 구동 집적 회로가 실장되는 실장 영역과 상기 신호 라인을 통해 구동 신호가 공급되는 액정셀들이 형성된 표시 영역 사이에 위치하며 상기 출력 패드와 접속된 제1 검사 패드를 포함하는 액정 표시 패널을 마련하는 단계와; 상기 제1 검사 패드에 공급된 검사 신호를 상기 출력 패드를 통해 상기 신호 라인에 공급하여 상기 액정 표시 패널의 불량 유무를 판단하는 단계와; 상기 판단결과 상기 액정 표시 패널이 양품으로 판정되면 상기 입력 패드 및 출력 패드 각각과 접속되는 상기 구동 집적 회로를 실장하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 액정 표시 패널을 마련하는 단계는 기판 상에 박막트랜지스터의 게이트 전극, 상기 출력 패드의 출력 하부 전극, 상기 제1 검사 패드의 제1 검사 하부 전극을 포함하는 제1 도전 패턴군을 형성하는 단계와; 상기 제1 도전 패턴군을 덮는 게이트 절연막을 형성하고, 상기 게이트 절연막 위에 반도체 패턴을 형성함과 아울러 상기 박막트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는 제2 도전 패턴군을 상기 반도체 패턴 위에 형성하는 단계와; 상기 제2 도전 패턴군을 덮는 보호막을 형성하고, 상기 드레인 전극을 노출시키는 화소 콘택홀과, 상기 출력 패드의 출력 하부 전극을 노출시키는 출력 콘택홀을 형성하는 단계와; 상기 보호막 위에 상기 드레인 전극과 접속되는 화소 전극, 상기 제1 검사 하부 전극과 마주보는 상기 제1 검사 패드의 제1 검사 상부 전극, 상기 출력 하부 전극과 접속되는 상기 출력 패드의 출력 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 액정 표시 패널을 마련하는 단계는 상기 신호 라인 중 기수번째 신호 라인과 접속되며 상기 구동 집적 회로가 실장된 실장 영역에 위치하는 제2 검사 패드를 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 제2 검사 패드를 형성하는 단계는 상기 제1 검사 하부 전극 형성시 상기 제2 검사 패드의 제2 검사 하부 전극을 형성하는 단계와; 상기 출력 콘택홀 형성시 제2 검사 하부 전극을 노출시키는 제2 검사 패드의 검사 콘택홀을 형성하는 단계와; 상기 제1 검사 상부 전극 형성시 상기 제2 검사 하부 전극과 접속되는 상기 제2 검사 패드의 제2 검사 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기 제2 검사 패드를 형성하는 단계는 상기 제1 검사 하부 전극 형성시 상기 제2 검사 패드의 제2 검사 하부 전극을 형성하는 단계와; 상기 제1 검사 상부 전극 형성시 상기 게이트 절연막 및 보호막을 사이에 두고 상기 제2 검사 하부 전극과 마주보는 상기 제2 검사 패드의 제2 검사 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 도 2 내지 도 7d를 참조하여 상세히 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명에 따른 칩 온 글래스(Chip On Glass : COG)형 액정 표시 장치를 나타내는 도면이다.

도 2에 도시된 COG형 액정 표시 장치는 화상을 구현하는 액정 표시 패널(130)과, 액정 표시 패널(130)을 구동하기 위한 구동 집적 회로(136)와, 액정 표시 패널(130)을 검사하기 위한 검사 패드(160,170)를 구비한다.

액정 표시 패널(130)은 박막 트랜지스터 기판(132)과, 칼러 필터 기판(134)이 액정을 사이에 두고 접합되어 형성된다. 이러한 액정 표시 패널(130)은 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 하부 기판(101) 상에 교차되게 형성된 게이트 라인(102) 및 데이터 라인(104)과, 그 교차부마다 형성된 박막트랜지스터(138)와, 그 박막트랜지스터(138)와 접속된 액정셀이 형성된다. 여기서, 액정셀은 박막트랜지스터(138)와 접속된 화소 전극(122)과, 화소 전극(122)과 액정을 사이에 두고 마주보는 공통 전극(도시하지 않음)을 포함한다. 그리고, 박막트랜지스터(138)는 게이트 라인(102)과 접속된 게이트 전극(106), 데이터 라인(104)과 접속된 소스 전극(108), 소스 전극(108)과 마주하며 화소 전극(122)과 접속된 드레인 전극(110), 게이트 절연막(112)을 사이에 두고 게이트 전극(106)과 중첩되어 소스 전극(108)과 드레인 전극(110) 사이에 채널을 형성하는 활성층(114), 소스 전극(108) 및 드레인 전극(110)과의 오믹 접촉을 위하여 채널영역을 제외한 활성층(114) 위에 형성된 오믹 접촉층(116)을 구비한다. 그리고, 활성층(114) 및 오믹 접촉층(116)은 공정상 데이터 라인(104)과 중첩되게 형성된다.

구동 집적 회로(136)는 액정 표시 패널(130)의 일측에 형성되어 액정 표시 패널(130)의 게이트 라인(102)들을 구동하기 위한 게이트 집적 회로와, 액정 표시 패널(130)의 타측에 형성되어 액정 표시 패널(130)의 데이터 라인들(104)을 구동하 기 위한 데이터 집적 회로를 포함한다. 이러한 구동 집적 회로(136)의 입력 단자는 연성 인쇄 회로(Flexible Printed Circuit : FPC) 패드(148)와 접속된 입력 패드(140)와 접속되며, 구동 집적 회로(136)의 출력 단자는 게이트 라인(102) 및 데이터 라인(104) 중 어느 하나의 신호 라인과 접속된 출력 패드(150)와 접속된다.

여기서, FPC 패드(148)는 FPC(158)와 접속됨과 아울러 입력 패드(140)와 접속된다. 이에 따라, FPC 패드(148)는 FPC(158)로부터 구동 집적 회로(136)의 구동에 필요한 전원신호, 제어신호 및 화소데이터 등을 공급받아 입력패드(140)에 공급한다.

입력 패드(140)는 FPC 패드(148)를 통해 구동 집적 회로(136)의 동작에 필요한 신호 및 전원을 공급받게 된다. 즉, 입력 패드(140)는 타이밍 제어부로부터 제어신호들, 화소데이터 및 전원부로부터의 전원신호를 공급받아 구동 집적 회로(136)에 공급한다.

출력 패드(150)는 구동 집적 회로(136)에서 생성된 게이트 라인(102)을 구동하기 위한 게이트 제어신호, 데이터 라인(104)을 구동하기 위한 데이터 제어신호 및 화소 신호를 해당 신호라인에 공급한다.

출력 패드(150)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 출력 하부 전극(152)과, 게이트 절연막(112) 및 보호막(118)을 관통하여 출력 하부 전극(152)을 노출시키는 다수의 출력 콘택홀(156)과, 출력 콘택홀(156)을 통해 출력 하부 전극(152)과 접속되는 출력 상부 전극(154)으로 이루어진다.

검사 패드는 게이트 라인(102) 및 데이터 라인(104) 중 적어도 어느 하나의 신호 라인 중 우수번째 신호 라인을 검사하기 위한 제1 검사 패드(170)와, 게이트 라인(102) 및 데이터 라인(104) 중 적어도 어느 하나의 신호 라인 중 기수번째 신호 라인을 검사하기 위한 제2 검사 패드(160)를 포함한다.

제1 검사 패드(170)는 구동 집적 회로(136)가 실장되는 영역과 액정셀들이 형성된 표시 영역 사이에 위치하므로 검사 공정 후 외부로 노출된다. 이러한 제1 검사 패드(170)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 제1 검사 하부 전극(172)과, 게이트 절연막(112) 및 보호막(118)을 사이에 두고 제1 검사 하부 전극(172)과 중첩되는 제1 검사 상부 전극(174)을 포함한다. 제1 검사 상부 전극(174)은 출력 콘택홀(152)을 통해 출력 하부 전극(152)과, 그 출력 하부 전극(152)으로부터 신장된 제2 검사 하부 전극(172) 및 우수번째 신호 라인과 접속된다. 이에 따라, 제2 검사 상부 전극(174)을 통해 공급되는 검사 신호는 출력 콘택홀(156)을 통해 출력 패드 하부 전극(152) 및 제2 검사 하부 전극(172)과 접속된 우수번째 신호 라인에 공급된다. 그 우수번째 신호 라인에 공급된 검사 신호를 이용하여 그 신호 라인과 접속된 액정셀의 불량 유무를 판단한다.

제2 검사 패드(160)는 구동 집적 회로(136)가 실장되는 영역 내에 위치하므로 검사 공정 후 실장되는 구동 집적 회로(136)에 의해 외부로 노출되지 않는다. 이러한 제2 검사 패드(160)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 제2 검사 하부 전극(162)과, 게이트 절연막(112) 및 보호막(118)을 관통하여 제2 검사 하부 전극(162)을 노출시키는 다수의 검사 콘택홀(166)과, 검사 콘택홀(166)을 통해 제2 검사 하부 전극(162)과 접속되는 제2 검사 상부 전극(164)으로 이루어진다. 이러 한 제2 검사 패드(160)는 구동 집적 회로(136)가 실장되기 전에 제2 검사 상부 전극(164)을 통해 공급되는 검사 신호를 기수번째 신호 라인에 공급하여 그 신호 라인 및 그 신호 라인과 접속된 액정셀의 불량 유무를 판단한다.

한편, 본 발명에 따른 액정 표시 장치는 출력 하부 전극(152), 제1 및 제2 검사 하부 전극(172,162)이 게이트 금속층으로 하부 기판(101) 상에 형성되는 것을 예로 들어 설명하였지만 이를 한정하는 것은 아니다. 즉, 도 5에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 출력 하부 전극(152), 제1 및 제2 검사 하부 전극(172,162)은 소스/드레인 금속층으로 게이트 절연막(112) 상에 형성될 수도 있다. 이 경우, 활성층(114) 및 오믹 접촉층(116)은 공정상 출력 하부 전극(152), 제1 및 제2 검사 하부 전극(172,162)과 중첩되게 형성된다. 또한, 본 발명에 따른 액정 표시 장치는 구동 집적 회로(136)가 실장되는 실장 영역에 위치하는 제2 검사 패드(160)가 검사 콘택홀(166)을 포함하도록 형성되는 것을 예로 들어 설명하였지만 이를 한정하는 것은 아니다. 즉, 제2 검사 패드(160)는 제1 검사 패드(170)와 마찬가지로 검사 콘택홀없이 출력 패드(150)를 통해 기수번째 신호 라인에 검사 신호를 공급할 수도 있다.

이와 같은, 본 발명에 따른 액정 표시 장치는 도 6에 도시된 바와 같이 수지(176)를 통해 입/출력패드(140,150)와 접속되도록 구동 집적 회로(136)가 실장되므로 제1 검사 패드(170)는 외부로 노출된다. 외부로 노출되는 제1 검사 패드(170)는 검사 콘택홀을 포함하지 않으므로 검사 콘택홀에 의한 불량 현상을 방지할 수 있다. 즉, 검사 콘택홀을 통한 수분 침투가 방지되어 제1 검사 하부 전 극(172)과, 제1 검사 하부 전극(172)과 접속된 신호 라인의 부식 및 전식을 방지할 수 있다.

도 7a 내지 도 7d는 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법을 설명하기 위한 단면도이다.

도 7a에 도시된 바와 같이 하부 기판(101) 상에 게이트 전극(106), 출력 하부 전극(152), 제1 및 제2 검사 하부 전극(172,162)을 포함하는 제1 도전패턴군이 형성된다.

구체적으로, 하부기판(101) 상에 스퍼터링 등의 증착방법을 통해 게이트금속층이 형성된다. 게이트 금속층으로는 Mo, Ti, Cu, AlNd, Al, Cr, Mo 합금, Cu 합금, Al 합금 등과 같이 금속 물질이 단일층으로 이용되거나 상기 금속을 이용하여 이중층 이상으로 적층된 구조로 형성된다. 이 게이트 금속층이 포토리소그래피 공정과 식각 공정을 통해 패터닝됨으로써 게이트 전극(106), 출력 하부 전극(152), 제1 및 제2 검사 하부 전극(172,162)을 포함하는 제1 도전패턴군이 형성된다.

도 7b에 도시된 바와 같이 제1 도전 패턴군이 형성된 하부 기판(101) 상에 게이트 절연막(112)이 형성되고, 그 위에 소스 전극(108), 드레인 전극(110)을 포함하는 제2 도전 패턴군과, 제2 도전 패턴군을 따라 그 아래에 중첩된 활성층(114) 및 오믹 접촉층(116)을 포함하는 반도체 패턴군이 형성된다. 이러한 반도체 패턴군과 제2 도전 패턴군은 회절 노광 마스크 또는 하프 톤(Half Tone)를 이용한 하나의 마스크 공정으로 형성된다.

구체적으로, 제1 도전 패턴군이 형성된 하부 기판(101) 상에 게이트 절연 막(112), 비정질 실리콘층, 불순물(n+ 또는 p+) 도핑된 비정질 실리콘층, 소스/드레인 금속층이 순차적으로 형성된다. 게이트 절연막(112)으로는 산화 실리콘(SiOx), 질화 실리콘(SiNx) 등과 같은 무기 절연 물질이, 소스/드레인 금속층으로는 Mo, Ti, Cu, AlNd, Al, Cr, Mo 합금, Cu 합금, Al 합금 등과 같이 금속 물질이 단일층으로 이용되거나, 상기 금속을 이용한 이중층 이상이 적층된 구조로 이용된다. 그리고, 소스/드레인 금속층 위에 포토레지스트가 도포된 다음, 회절 노광 마스크을 이용한 포토리소그래피 공정으로 포토레지스트가 노광 및 현상됨으로써 단차를 갖는 제1 및 제2 포토레지스트 패턴(도시하지 않음)이 형성된다. 제1 포토레지스트 패턴은 반도체 패턴군 및 제2 도전 패턴군이 형성되어질 영역에 위치하게 된다. 제2 포토레지스트 패턴은 제1 포토레지스트 패턴보다 얇은 두께로 박막 트랜지스터의 채널이 형성될 영역에 위치하게 된다. 이러한 포토레지스트 패턴을 이용한 식각 공정으로 소스/드레인 금속층이 패터닝됨으로써 제2 도전 패턴군과, 그 아래의 반도체 패턴군이 형성된다. 이 경우, 제2 도전 패턴군 중 소스 전극(108)과 드레인 전극(110)은 전기적으로 연결된 구조를 갖는다.

산소(O₂) 플라즈마를 이용한 애싱 공정으로 제1 포토레지스트 패턴은 얇아지게 하고, 제2 포토레지스트 패턴은 제거되게 한다. 이어서, 애싱된 제1 포토레지스트 패턴을 이용한 식각 공정으로 제2 포토레지스트 패턴의 제거로 노출된 제2 도전 패턴군과, 그 아래의 오믹 접촉층(116)이 제거됨으로써 소스 전극(108)과 드레인 전극(110)은 분리되고 활성층(114)이 노출된다.

그리고, 스트립 공정으로 제2 도전 패턴군 위에 잔존하던 제1 포토레지스트 패턴이 제거된다.

도 7c를 참조하면, 제2 도전패턴군이 형성된 게이트 절연막(112) 상에 보호막(118)이 형성된다.

구체적으로, 제2 도전패턴군이 형성된 게이트 절연막(112) 상에 보호막(118)이 형성된다. 보호막(118)은 게이트 절연막과 같은 무기 절연 물질로 형성되거나 아크릴 수지 등과 같은 유기 절연 물질로 형성된다. 이 보호막(118)이 포토리소그래피 공정과 식각 공정으로 패터닝됨으로써 게이트 절연막(112) 및/또는 보호막(118)을 관통하는 화소 콘택홀(120), 출력 콘택홀(156) 및 검사 콘택홀(166)이 형성된다. 화소 콘택홀(120)은 보호막(118)을 관통하여 드레인 전극(110)을 노출시키도록 형성되며, 출력 콘택홀(156)은 게이트 절연막(112) 및 보호막(118)을 관통하여 출력 하부 전극(152)을 노출시키도록 형성되며, 검사 콘택홀(166)은 게이트 절연막(112) 및 보호막(118)을 관통하여 제1 검사 하부 전극(162)을 노출시키도록 형성되며,

도 7d를 참조하면, 보호막(118) 위에 화소 전극(122), 출력 상부 전극(154), 제1 및 제2 검사 상부 전극(174,164)을 포함하는 제3 도전 패턴군이 형성된다.

구체적으로, 보호막(126) 상에 스퍼터링 등의 증착 방법을 통해 투명 도전층이 형성된다. 투명 도전층으로는 틴 옥사이드(Tin Oxide : TO), 인듐 틴 옥사이드(Indium Tin Oxide : ITO), 인듐 징크 옥사이드(Indium Zinc Oxide : IZO),인듐 틴 징크 옥사이드(Indium Tin Zind Oxide : ITZO) 등이 이용된다. 이 투명 도전층 이 포토리소그래피 공정과 식각 공정으로 패터닝됨으로써 화소 전극(122), 출력 상부 전극(154), 제1 및 제2 검사 상부 전극(174,164)을 포함하는 제3 도전 패턴군이 형성된다.

상기와 같은 제1 내지 제3 도전 패턴군과 반도체 패턴을 포함하는 박막트랜지스터 기판은 액정을 사이에 두고 칼라 필터 기판과 합착됨으로써 액정 표시 패널이 완성된다. 이 후, 제1 및 제2 검사 패드를 이용하여 액정 표시 패널의 불량유무를 판단한다. 검사 공정이 완료된 후, 구동 집적 회로(136)는 도 6에 도시된 바와 같이 입력 패드(140) 및 출력 패드(150)와 접속되도록 하부 기판(101) 상에 실장된다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 액정 표시 장치 및 그 제조 방법은 구동 집적 회로가 실장된 후 외부로 노출되는 검사 패드가 검사 콘택홀을 포함하지 않는다. 이에 따라, 본 발명에 따른 액정 표시 장치 및 그 제조 방법은 수분 침투 경로인 검사 상부 전극에 크랙이 발생되지 않아 검사 패드의 검사 하부 전극과, 그 검사 하부 전극과 접속된 신호 라인의 부식 및 전식을 방지할 수 있다.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims

다수의 신호 라인에 의해 마련된 각 화소 영역에 위치하는 다수의 액정셀을 가지는 액정 표시 패널과;

상기 액정 표시 패널 상에 실장된 구동 집적 회로와;

상기 구동 집적 회로의 입/출력 단자와 접속되는 입/출력 패드와;

상기 다수의 액정셀이 형성된 표시 영역과 상기 구동 집적 회로가 실장되는 실장 영역 사이에 위치하며 상기 출력 패드를 통해 상기 다수의 신호 라인에 검사신호를 공급하는 제1 검사 패드를 구비하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제 1 항에 있어서,

상기 제1 검사 패드는

상기 다수의 신호 라인 중 어느 하나와 접속된 제1 검사 하부 전극과;

상기 검사 하부 전극을 덮도록 형성된 적어도 한 층의 절연막과;

상기 적어도 한 층의 절연막을 사이에 두고 상기 제1 검사 하부 전극과 마주보며 상기 출력 패드를 통해 상기 제1 검사 하부 전극과 접속되는 제1 검사 상부 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제 2 항에 있어서,

상기 출력 패드는

상기 제1 검사 하부 전극과 접속된 출력 하부 전극과;

상기 출력 하부 전극을 덮도록 형성된 적어도 한 층의 절연막을 관통하여 상기 출력 하부 전극을 노출시키는 출력 콘택홀과;

상기 제1 검사 상부 전극과 접속됨과 아울러 상기 출력 콘택홀을 통해 상기 출력 하부 전극과 접속된 출력 상부 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제 3 항에 있어서,

상기 제1 검사 패드는 상기 신호 라인 중 우수번째 신호 라인 중 어느 하나의 신호 라인과 접속된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제 4 항에 있어서,

상기 신호 라인 중 기수번째 신호 라인과 접속되며 상기 구동 집적 회로가 실장된 실장 영역에 위치하는 제2 검사 패드를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제 5 항에 있어서,

상기 제2 검사 패드는

상기 다수의 신호 라인 중 어느 하나와 접속된 제2 검사 하부 전극과;

상기 제2 검사 하부 전극을 덮도록 형성된 적어도 한 층의 절연막을 관통하 여 상기 제2 검사 하부 전극을 노출시키는 검사 콘택홀과;

상기 검사 콘택홀을 통해 상기 제2 검사 하부 전극과 접속되는 제2 검사 상부 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제 5 항에 있어서,

상기 제2 검사 패드는

상기 다수의 신호 라인 중 어느 하나와 접속되며 상기 출력 하부 전극과 접속된 제2 검사 하부 전극과;

상기 제2 검사 하부 전극을 덮도록 형성된 적어도 한 층의 절연막과;

상기 적어도 한 층의 절연막을 사이에 두고 상기 제2 검사 하부 전극과 마주보며 상기 출력 패드를 통해 상기 제2 검사 하부 전극과 접속되는 제2 검사 상부 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
제 6 항 및 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 출력 하부 전극, 제1 및 제2 검사 상부 전극은 게이트 라인 및 데이터 라인 중 어느 하나와 동일 평면 상에 동일 금속으로 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.
다수의 신호 라인, 상기 신호 라인의 구동 신호를 생성하는 구동 집적 회로의 입/출력 단자와 접속될 입/출력 패드, 상기 구동 집적 회로가 실장되는 실장 영 역과 상기 신호 라인을 통해 구동 신호가 공급되는 액정셀들이 형성된 표시 영역 사이에 위치하며 상기 출력 패드와 접속된 제1 검사 패드를 포함하는 액정 표시 패널을 마련하는 단계와;

상기 제1 검사 패드에 공급된 검사 신호를 상기 출력 패드를 통해 상기 신호 라인에 공급하여 상기 액정 표시 패널의 불량 유무를 판단하는 단계와;

상기 판단결과 상기 액정 표시 패널이 양품으로 판정되면 상기 입력 패드 및 출력 패드 각각과 접속되는 상기 구동 집적 회로를 실장하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제 9 항에 있어서,

상기 액정 표시 패널을 마련하는 단계는

기판 상에 박막트랜지스터의 게이트 전극, 상기 출력 패드의 출력 하부 전극, 상기 제1 검사 패드의 제1 검사 하부 전극을 포함하는 제1 도전 패턴군을 형성하는 단계와;

상기 제1 도전 패턴군을 덮는 게이트 절연막을 형성하고, 상기 게이트 절연막 위에 반도체 패턴을 형성함과 아울러 상기 박막트랜지스터의 소스 전극 및 드레인 전극을 포함하는 제2 도전 패턴군을 상기 반도체 패턴 위에 형성하는 단계와;

상기 제2 도전 패턴군을 덮는 보호막을 형성하고, 상기 드레인 전극을 노출시키는 화소 콘택홀과, 상기 출력 패드의 출력 하부 전극을 노출시키는 출력 콘택홀을 형성하는 단계와;

상기 보호막 위에 상기 드레인 전극과 접속되는 화소 전극, 상기 제1 검사 하부 전극과 마주보는 상기 제1 검사 패드의 제1 검사 상부 전극, 상기 출력 하부 전극과 접속되는 상기 출력 패드의 출력 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제 10 항에 있어서,

상기 제1 검사 패드는 상기 신호 라인 중 우수번째 신호 라인 중 어느 하나의 신호 라인과 접속된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제 11 항에 있어서,

상기 액정 표시 패널을 마련하는 단계는

상기 신호 라인 중 기수번째 신호 라인과 접속되며 상기 구동 집적 회로가 실장된 실장 영역에 위치하는 제2 검사 패드를 형성하는 단계를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제 12 항에 있어서,

상기 제2 검사 패드를 형성하는 단계는

상기 제1 검사 하부 전극 형성시 상기 제2 검사 패드의 제2 검사 하부 전극을 형성하는 단계와;

상기 출력 콘택홀 형성시 제2 검사 하부 전극을 노출시키는 제2 검사 패드의 검사 콘택홀을 형성하는 단계와;

상기 제1 검사 상부 전극 형성시 상기 제2 검사 하부 전극과 접속되는 상기 제2 검사 패드의 제2 검사 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.
제 12 항에 있어서,

상기 제2 검사 패드를 형성하는 단계는

상기 제1 검사 하부 전극 형성시 상기 제2 검사 패드의 제2 검사 하부 전극을 형성하는 단계와;

상기 제1 검사 상부 전극 형성시 상기 게이트 절연막 및 보호막을 사이에 두고 상기 제2 검사 하부 전극과 마주보는 상기 제2 검사 패드의 제2 검사 상부 전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.