JP4790997B2 - プローブ装置 - Google Patents
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- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 188
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims description 21
- 238000000429 assembly Methods 0.000 claims description 21
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 15
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 15
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 15
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 20
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 16
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 12
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 8
- 239000010408 film Substances 0.000 description 7
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 4
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
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- G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
- G01R31/2887—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/073—Multiple probes
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- Computer Hardware Design (AREA)
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- General Engineering & Computer Science (AREA)
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Description
12 表示用基板
14a,14b 被検査領域
16a,16b 電極群
20 フレーム
22 開口
24 フレーム本体
26 可動フレーム
26a 可動フレームの中間領域
28,40,44 ガイドレール
30,42,46 ガイド部材
32,34 プローブ取付板
36,38 プローブ組立体
50 プローブブロック
52 フラットケーブル
54 接続ブロック
56 支持ブロック
58 取付ブロック
62 位置決め具
64 ガイドブロック
66 プローブ
68 電気絶縁性ブロック
70 側板
72 取付バー
74 スリットバー
76 ガイドフィルム
78 コネクタ
79 位置決め穴
80 位置決めピン
81 ねじ穴
82,90,104,106 ねじ部材
84 突出部
86 ガイド部
88 ストッパピン
92 プッシャー
94 調整ねじ
98 リニアガイド
100 L型部材
102 板状ベース
110,112 第1及び第2の部材
116 結合ピン
118 弾性体
120 長尺部材
122 位置決め部材
124 位置決めピン
126 セッティングピン
128 貫通穴
130 セッティング穴
132 プランジャー
134 偏心カム
136 カムフォロワ
138 締め付けナット
140 原点マークホルダ
142,144 位置調整機構
146 透明ガラス板
148 原点マーク
150,160 ブロック
152,162 結合ねじ
154,164 補助部材
156,166 調整ボルト
158,168 止めナット
170 圧縮コイルばね
180 ブラケット
182 位置決めピン
184 調整ねじ
158,168,186 止めナット
188 クランプ
Claims (12)
- 開口を形成するフレームと、前記開口と平行の面内を伸びる第1の方向に間隔をおいて及び前記第1の方向へ移動可能に前記フレームに配置された複数のプローブ組立体と、前記第1の方向における前記複数のプローブ組立体の位置を解除可能に維持する位置決め具であって前記フレームに配置された位置決め具とを含み、
前記位置決め具は、前記第1の方向に間隔をおいた複数の位置決め部材であって前記面内を前記第1の方向と交差する第2の方向へ伸びる軸線を有する複数の位置決め部材と、前記複数の位置決め部材を個々に受け入れるべく前記第2の方向に開放すると共に前記面と交差する第3の方向に開放する複数の凹所であって前記第1の方向に間隔をおいた複数の凹所とのいずれか一方を含み、各プローブ組立体は、前記位置決め部材及び前記凹所の他方を含み、
前記位置決め具における前記位置決め部材の間隔又は前記凹所の間隔は、検査すべき表示パネルに対応しており、
前記位置決め具は、検査すべき表示パネルの種類に応じて交換される、プローブ装置。 - 前記位置決め具は、前記第1の方向へ伸びる状態に前記フレームに取り外し可能に取り付けられた長尺部材と、それぞれが前記位置決め部材として作用する複数のローラであって前記長尺部材に前記第1の方向に間隔をおいた状態に取り付けられた、前記第2の方向へ伸びる回転軸線を有するローラとを含み、
各プローブ組立体は、前記凹所を有するガイドブロックを含む、請求項1に記載のプローブ装置。 - 前記ローラは、前記回転軸線の周りの位置を変更可能に前記長尺部材に取り付けられた円形の偏心カムと、該偏心カムにこれの周りに変位可能に配置された円形のカムフォロワとを備える、請求項2に記載のプローブ装置。
- 前記ガイドブロックは、一端部にL状の切り欠き部を有する第1の部材と、前記切り欠き部を前記凹所として作用させるべく前記第1の方向における前記第1の部材の箇所に配置された第2の部材と、該第2の部材を前記第1の部材に前記第2の方向へ伸びる軸線の周りに角度的に回転可能に結合させる結合ピンと、前記第2の部材が前記第1の部材に接近する方向へ前記結合ピンを付勢する弾性体とを備える、請求項2及び3のいずれか1項に記載のプローブ装置。
- 前記位置決め具は、さらに、前記長尺部材を前記第3の方向に貫通して前記フレームに向けて伸びるセッティングピンと、前記セッティングピンに係止可能に前記長尺部材に配置されたプランジャーと、前記長尺部材を貫通して前記フレームに螺合された取り付けねじとを含む、請求項2から4のいずれか1項に記載のプローブ装置。
- 前記位置決め具は、さらに、前記第1の方向に間隔をおいた前記フレームの2カ所から前記第3の方向へ伸びて前記長尺部材を貫通する一対の位置決めピンと、
前記長尺部材に配置された一対のブロックであって前記位置決めピンの前記第1の方向における中央側の箇所及び端部側の箇所のいずれか一方に当接可能の一対のブロックと、
前記ブロックを前記長尺部材に取り付ける結合ねじと、
前記第1の方向に伸びて一方の前記ブロックの前記位置決めピンと反対側の箇所に当接可能に前記長尺部材に螺合された一対の調整ねじと、
前記一方のブロックと前記調整ねじとを接触させるべく他方の前記ブロックを付勢するばねとを含む、請求項2から5のいずれか1項に記載のプローブ装置。 - 前記フレームは、前記開口を有するフレーム本体と、前記第2の方向へ移動可能に前記フレーム本体に支持された可動フレームとを含み、
前記プローブ組立体と前記位置決め具とは、前記可動フレームに配置されている、請求項1から6のいずれか1項に記載のプローブ装置。 - 複数の前記可動フレームが前記第2の方向に間隔をおいて前記フレーム本体に支持されており、それぞれが前記複数のプローブ組立体を含む複数のプローブグループが前記可動フレームに個々に支持されており、複数の前記位置決め具が前記可動フレームに個々に備えられている、請求項7に記載のプローブ装置。
- さらに、前記第1の方向における前記開口の一端部側にあって、前記第2の方向に、検査すべき表示用パネルの種類に応じた間隔をおいて及び前記第2の方向に移動可能に前記フレームに配置された複数の第2のプローブ組立体と、前記第2の方向における前記第2のプローブ組立体の位置を解除可能に決める複数の第2の位置決め具であって、前記フレームに配置された第2の位置決め具とを含み、
前記第2の位置決め具は、前記第2の方向に間隔をおいた状態に取り付けられた複数の第2の位置決め部材であってそれぞれが前記第1の方向へ伸びる軸線を有する複数の第2の位置決め部材と、前記複数の第2の位置決め部材を個々に受け入れるべく前記第1の方向と前記第3の方向とに開放する複数の第2の凹所であって、前記第2の方向に間隔をおいた複数の第2の凹所とのいずれか一方を含み、
各第2のプローブ組立体は、前記第2の位置決め部材及び前記第2の凹所の他方を含み、
前記第2の位置決め具における前記第2の位置決め部材の間隔又は前記第2の凹所の間隔は、検査すべき表示パネルに対応しており、
前記第2の位置決め具は、検査すべき表示パネルの種類に応じて交換される、請求項7に記載のプローブ装置。 - それぞれが前記複数の第2のプローブ組立体を含む複数のプローブグループが前記第2の方向に間隔をおいて及び前記第2の方向に移動可能に前記フレームに配置されており、前記第2の位置決め具が前記プローブグループ毎に備えられている、請求項9に記載のプローブ装置。
- 前記第2の位置決め具は、前記第2の方向へ伸びる状態に前記可動フレームに取り外し可能に取り付けられた第2の長尺部材と、
該第2の長尺部材に取り付けられたブラケットと、
前記可動フレーム及び前記ブラケットのいずれか一方に前記第2の方向に伸びる状態に支持されて前記可動フレーム及び前記ブラケットの他方に向けて伸びる位置決めピンと、
該位置決めピンを前記可動フレーム及び前記ブラケットの他方に当接させた状態に前記可動フレームを前記フレームに解除可能に維持するクランプとを含む、請求項9及び10のいずれか1項に記載のプローブ装置。 - 前記ブラケットは、これを前記第2の方向に貫通するねじ穴と、該ねじ穴に螺合されて前記位置決めピンに当接する調整ねじとを有する、請求項11に記載のプローブ装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004091046A JP4790997B2 (ja) | 2004-03-26 | 2004-03-26 | プローブ装置 |
TW093137277A TWI255344B (en) | 2004-03-26 | 2004-12-03 | Probe system |
KR1020040110241A KR100673717B1 (ko) | 2004-03-26 | 2004-12-22 | 프로브장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004091046A JP4790997B2 (ja) | 2004-03-26 | 2004-03-26 | プローブ装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005274487A JP2005274487A (ja) | 2005-10-06 |
JP2005274487A5 JP2005274487A5 (ja) | 2007-03-01 |
JP4790997B2 true JP4790997B2 (ja) | 2011-10-12 |
Family
ID=35174303
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004091046A Expired - Lifetime JP4790997B2 (ja) | 2004-03-26 | 2004-03-26 | プローブ装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4790997B2 (ja) |
KR (1) | KR100673717B1 (ja) |
TW (1) | TWI255344B (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7355418B2 (en) * | 2004-02-12 | 2008-04-08 | Applied Materials, Inc. | Configurable prober for TFT LCD array test |
JP4989911B2 (ja) * | 2006-03-31 | 2012-08-01 | 株式会社日本マイクロニクス | 可動式プローブユニット及び検査装置 |
TWI339730B (en) * | 2006-05-31 | 2011-04-01 | Applied Materials Inc | Prober for electronic device testing on large area substrates |
JP4808135B2 (ja) * | 2006-11-09 | 2011-11-02 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブ位置合わせ方法及び可動式プローブユニット機構並びに検査装置 |
JP5209215B2 (ja) * | 2007-01-17 | 2013-06-12 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブユニット及び検査装置 |
JP4903624B2 (ja) * | 2007-04-17 | 2012-03-28 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブユニット及び検査装置 |
JP4625826B2 (ja) * | 2007-05-21 | 2011-02-02 | 東芝テリー株式会社 | プローブユニット |
JP4936058B2 (ja) * | 2007-06-08 | 2012-05-23 | 株式会社島津製作所 | 基板検査装置 |
JP5491790B2 (ja) * | 2009-07-27 | 2014-05-14 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブ装置 |
CN102884567B (zh) * | 2010-06-17 | 2015-01-28 | 夏普株式会社 | 点亮检查装置 |
CN103235163B (zh) * | 2013-03-28 | 2015-06-03 | 顺德中山大学太阳能研究院 | 一种探针间距可调测试太阳能电池接触电阻用测试探头 |
JP6114615B2 (ja) * | 2013-04-05 | 2017-04-12 | モレックス エルエルシー | コネクタ嵌合装置、及び電子機器の検査方法 |
CN104102031A (zh) * | 2014-06-17 | 2014-10-15 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种探针器件和检测装置 |
JP6422376B2 (ja) * | 2015-03-06 | 2018-11-14 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置検査用治具 |
KR101732629B1 (ko) | 2016-03-04 | 2017-05-04 | 가온솔루션 주식회사 | 멀티 프로브 검사기용 정렬장치 |
CN106771417B (zh) * | 2017-02-28 | 2023-08-08 | 厦门宏发工业机器人有限公司 | 一种电子器件引脚的探针检测机构 |
CN109270421A (zh) * | 2017-07-17 | 2019-01-25 | 深圳市炫硕智造技术有限公司 | Led测试装置 |
KR102121887B1 (ko) * | 2020-04-03 | 2020-06-11 | 주식회사 케이에스디 | 유기발광 다이오드(oled) 패널 테스트용 가변 프로브 유닛 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0782032B2 (ja) * | 1990-01-23 | 1995-09-06 | 株式会社日本マイクロニクス | 表示パネル用プローブとその組み立て方法 |
JPH08110363A (ja) * | 1994-10-11 | 1996-04-30 | Kobe Steel Ltd | フラットパネルの検査装置 |
JPH09251033A (ja) * | 1996-03-15 | 1997-09-22 | Sharp Corp | 液晶表示パネルの検査装置 |
JP3526709B2 (ja) * | 1996-11-29 | 2004-05-17 | 株式会社日本マイクロニクス | 液晶パネルのアライメント装置 |
JP4280312B2 (ja) * | 1996-12-25 | 2009-06-17 | 株式会社日本マイクロニクス | プローブユニット |
JP3206509B2 (ja) * | 1997-08-22 | 2001-09-10 | 日本電気株式会社 | 表示パネル用プローブ装置 |
JP3286578B2 (ja) * | 1997-09-19 | 2002-05-27 | 中央電子システム株式会社 | インサーキットテスタ |
JP2000180807A (ja) * | 1998-12-15 | 2000-06-30 | Micronics Japan Co Ltd | 液晶基板の検査装置 |
JP3350899B2 (ja) * | 1999-08-31 | 2002-11-25 | 株式会社双晶テック | プローブブロックの支持枠体 |
JP3545655B2 (ja) * | 1999-09-08 | 2004-07-21 | 株式会社日本マイクロニクス | 電気接続装置 |
JP2002148280A (ja) * | 2000-11-08 | 2002-05-22 | Soushiyou Tec:Kk | 検査用プローブブロックの並列搭載ユニット |
JP4053790B2 (ja) * | 2002-03-04 | 2008-02-27 | 株式会社日本マイクロニクス | 表示用基板検査用ソケット |
-
2004
- 2004-03-26 JP JP2004091046A patent/JP4790997B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2004-12-03 TW TW093137277A patent/TWI255344B/zh active
- 2004-12-22 KR KR1020040110241A patent/KR100673717B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200532208A (en) | 2005-10-01 |
KR20050095539A (ko) | 2005-09-29 |
TWI255344B (en) | 2006-05-21 |
KR100673717B1 (ko) | 2007-01-24 |
JP2005274487A (ja) | 2005-10-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
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