KR101318159B1 - 프로브 장치 및 피검사체의 청소방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 청소장치에 의한 CF 기판의 손상을 방지하기 위한 것이다.
프로브 장치는, 전극을 갖춘 피검사체의 위쪽에 배치되고, 또한 프로브 장치 본체와, 상기 프로브 장치 본체에 결합된 청소장치와, 상기 청소장치를 상기 프로브 장치에 결합하는 결합장치를 포함한다. 상기 프로브 장치 본체는, 상기 전극에 접촉되도록 아래쪽으로 향해진 침선을 갖는다. 상기 청소장치는, 상기 프로브 장치 본체와 상기 피검사체가 서로 가까워지고 서로 멀어지는 상하방향으로의 상대 이동에 의해 상기 전극에 접촉 가능한 전단부를 상기 침선보다 아래쪽의 앞쪽에 갖춘다. 상기 결합장치는, 위쪽으로 갈수록 뒤쪽이 되는 경사방향으로 상기 청소장치와 상기 프로브 장치 본체를 상대적으로 이동 가능하게 결합하고 있다.

Description

프로브 장치 및 피검사체의 청소방법{Probe System and Method of Cleaning Device under Test}

본 발명은, 평판상의 피검사체의 전기적 시험에 이용하는 프로브 장치 및 피검사체의 청소방법에 관한 것이다.

액정이 넣어져 봉해진 액정 표시 패널과 같은 평판상의 피검사체는, 다수의 박막 트랜지스터가 형성된 사각형의 TFT 어레이 기판과, 사각형의 칼라 필터 기판(이하「CF 기판」이라고 함)을 마주보게 하여 붙임으로써 사각형의 판상으로 형성되어 있다. 그러한 평판상의 피검사체는, 일반적으로, 복수의 프로브 장치를 포함하는 검사장치에 의해 검사 즉 시험된다.

사각형의 피검사체는, TFT 어레이 기판이 CF 기판보다 큰 치수를 갖기 때문에, CF 기판이 붙여지지 않고 TFT 어레이 기판이 노출된 가장자리를 사각형의 적어도 한 변에 갖고, 그 가장자리에, 액정을 구동하는 구동 신호가 공급되는 전극을 갖춘다. 피검사체의 가장자리는 사각형의 각 변을 따라 연장해 있고, 상기한 전극은, 대응하는 가장자리의 길이 방향과 직교하는 방향, 즉 피검사체의 중앙부 쪽(앞쪽)에서 피검사체의 단부(端部) 쪽(뒤쪽)을 향해서 연장해 있다. 피검사체의 시험은, 프로브 장치 본체에 갖추어진 복수의 프로브를, 각각, 피검사체의 복수의 전극에 접촉시켜 행해진다.

그런데, 피검사체의 전극 위에 이물질이 있으면, 프로브와 전극과의 접촉이 방해되어, 정확하게 시험을 할 수 없는 경우가 있다. 따라서, 프로브 장치 본체에 더하여, 전극 위의 이물질을 제거하도록, 프로브가 피검사체의 전극에 접촉하기에 앞서, 피검사체의 전극을 청소하는 청소장치를 갖춘 프로브 장치 또는 프로브 유닛(이하「프로브 장치 등」이라고 함)이 있다(예를 들면, 특허문헌 1).

특허문헌 1에 기재된, 청소부재와, 그 청소부재를 지지하는 요동 암을 갖는 청소장치를 갖춘 프로브 장치 등은, 프로브 장치 등과 피검사체가 서로 가까워지도록 상대 이동할 때, 이 상대 이동에 의해 요동 암(또는 청소부재)이 피검사체에 접촉하여, 요동 암이 뒤쪽에서 앞쪽(즉, 피검사체의 단부 쪽에서 피검사체의 중앙부쪽)을 향해서 요동한다. 이 요동 암의 요동에 의해, 청소부재가 피검사체의 전극을 뒤쪽에서 앞쪽으로 이동함으로써 전극 위의 이물질을 제거할 수 있다.

그러나, 그러한 프로브 장치 등의 청소장치는, 청소부재가 피검사체의 전극 위를 피검사체의 단부 쪽에서 피검사체의 중앙부 쪽으로 이동함으로써 피검사체의 전극을 쓸기 때문에, 피검사체의 중앙부 쪽에 위치하는 CF 기판의 단부에 청소부재가 접촉함으로써 CF 기판을 파괴해 버릴 우려가 있다.

특허문헌 1: 일본 공개특허 특개2008-45937호 공보

본 발명의 목적은, 청소장치에 의한 CF 기판의 손상을 방지하는데 있다.

본 발명에 따른 프로브 장치는, 전극을 갖춘 피검사체의 위쪽에 배치되고, 또한 프로브 장치 본체와, 상기 프로브 장치 본체에 결합된 청소장치와, 상기 청소장치를 상기 프로브 장치에 결합하는 결합장치를 포함한다. 상기 프로브 장치 본체는, 상기 전극에 접촉되도록 아래쪽으로 향해진 침선을 갖는다.

상기 청소장치는, 상기 프로브 장치 본체와 상기 피검사체가 서로 가까워지고 서로 멀어지는 상하 방향으로의 상대 이동에 의해 상기 전극에 접촉 가능한 전단부(前端部)를 상기 침선보다 아래쪽의 앞쪽에 갖춘다. 상기 결합장치는, 위쪽으로 갈수록 뒤쪽이 되는 경사 방향으로 상기 청소장치와 상기 프로브 장치 본체를 상대적으로 이동 가능하게 결합하고 있다.

게다가, 상기 프로브 장치는 상기 청소장치를 전후 방향으로 이동 가능하게 안내하는 안내장치를 포함할 수 있다. 상기 안내장치는, 상하 방향으로 이동 가능하게 상기 프로브 장치 본체에 결합되어 있고, 또한 전후 방향으로 연장하는 안내 홈과, 상기 청소장치의 전단부와 동일한 높이 위치에 있어 상기 피검사체를 누르는 하단부(下端部)를 갖추고 있어도 좋다. 상기 청소장치는, 상기 안내 홈에 걸려 결합하는 결합부재를 갖추고 있어도 좋다.

상기 결합부재는, 좌우 방향으로 연장하는 축선의 주위로 회전 가능하게 상기 안내 홈에 걸려 결합하고 있어도 좋다. 상기 결합장치는, 상기 프로브 장치 본체의 양쪽에 상기 청소장치를 결합하는 한 쌍의 제1 결합기구를 갖추고 있어도 좋고, 각 제1 결합기구는, 상기 경사 방향으로 연장하는 가이드 레일 및 상기 가이드 레일에 결합하는 가이드의 어느 한쪽을 갖고 있어도 좋다. 상기 청소장치는, 상기 가이드 레일 및 상기 가이드의 다른 한쪽을 갖추고 있어도 좋다.

상기 결합장치는, 상기 프로브 장치 본체의 양쪽에 상기 청소장치를 결합하는 한 쌍의 제2 결합기구를 갖추고 있어도 좋고, 각 제2 결합기구는, 상기 경사 방향으로 연장하는 봉 형상 부재 및 상기 경사 방향으로 연장하는 구멍으로서 상기 봉 형상 부재가 받아져 움직일 수 있게 끼워 넣어진 구멍의 어느 한쪽을 갖고 있어도 좋다. 상기 청소장치는, 상기 봉 형상 부재 및 상기 구멍의 다른 한쪽을 갖추고 있어도 좋다.

상기 결합장치는, 한 쌍의 제1 결합기구 및 한 쌍의 제2 결합기구를 갖추고 있어도 좋고, 각 제1 결합기구는, 상기 경사 방향으로 연장하는 가이드 레일 및 상기 가이드 레일에 결합하는 가이드의 어느 한쪽을 갖고 있어도 좋다. 각 제2 결합기구는, 상기 경사 방향으로 연장하는 봉 형상 부재 및 상기 경사 방향으로 연장하는 구멍으로서 상기 봉 형상 부재가 받아져 움직일 수 있게 끼워 넣어진 구멍의 어느 한쪽을 갖고 있어도 좋다. 상기 청소장치는, 상기 가이드 레일 및 상기 가이드의 다른 한쪽과, 상기 봉 형상 부재 및 상기 구멍의 다른 한쪽을 갖추고 있어도 좋다.

각 제2 결합기구는, 상기 청소장치와 상기 프로브 장치 본체와의 사이에 배치되고, 상기 청소장치를 상기 프로브 장치 본체에 대해서 상기 경사 방향의 앞쪽 및 아래쪽으로 힘을 가하는 코일 스프링을 갖고 있어도 좋다.

본 발명에 따른 피검사체의 청소방법은, 프로브 장치 본체에 갖추어진 청소장치에 의해, 사각형의 피검사체에 있어서 상기 사각형의 한 변에 대응하는 가장자리에 설치된 전극을 청소한다. 그와 같은 청소방법은, 상기 청소장치의 전단부가 상기 전극에 접할 때까지, 상기 프로브 장치와 상기 피검사체를 서로 가까워지는 방향으로 상대 이동시키는 제1 공정과, 상기 프로브 장치와 상기 피검사체를 더 서로 가까워지는 방향으로 상대 이동시켜서 상기 청소수단의 전단부로 상기 피검사체의 중앙부 쪽에서 단부 쪽을 향해 상기 전극을 청소하는 제2 공정을 포함한다.

게다가 상기 청소방법은, 상기 프로브 장치와 상기 피검사체를 더 서로 가까워지는 방향으로 상대 이동시켜서 상기 전단부를 피검사체의 바깥쪽으로 물러나게 하는 제3 공정을 포함할 수 있다.

본 발명에 의하면, 프로브 장치 본체의 프로브를 피검사체의 전극에 접촉시키도록, 프로브 장치와 그 아래쪽에 배치되어 있는 피검사체가 서로 가까워지게 프로브 장치 본체와 피검사체가 상하 방향으로 상대 이동된다(즉, 프로브 장치 본체가 피검사체에 근접하도록 아래쪽으로 이동되거나, 또는 피검사체 본체가 프로브 장치에 근접하도록 위쪽으로 이동된다). 이 상대 이동에 의해, 먼저, 프로브 장치 본체의 프로브의 침선보다 아래쪽에 배치된 청소장치의 전단부가 피검사체의 전극에 접촉한다.

더 계속되는 상대 이동에 의해, 청소장치가 그 전단부를 사이에 두고 피검사체에 의해 위쪽을 향해서 눌려진다. 이때, 청소장치는, 위쪽으로 갈수록 뒤쪽이 되는 경사 방향으로 프로브 장치 본체에 대하여 이동 가능하게 결합되어 있기 때문에, 피검사체에 대하여 뒤쪽으로 이동한다. 즉, 피검사체를 고정한 상태에서 보면, 프로브 장치 본체는 피검사체에 대하여 아래쪽으로 이동하고, 청소장치는 프로브 장치 본체에 대하여 위쪽 및 뒤쪽으로 이동하기 때문에, 청소장치는 피검사체에 대하여 뒤쪽으로 이동하는 것이 된다.

이에 의해, 청소장치의 전단부가 전극에 접한 상태에서 뒤쪽으로 이동되기 때문에, 상기 전극 위에 이물질이 있으면, 청소장치의 전단부가 그 이물질을 뒤쪽(즉, 피검사체의 전극에 있어서의 피검사체의 중앙부 쪽에서 단부쪽)을 향해서 제거한다. 더 계속되는 상대 이동에 의해, 프로브의 침선은 피검사체의 전극에 접촉한다. 이때, 이미 청소장치가 전극을 청소하고 있기 때문에, 프로브의 침선은, 이물질을 개재시키지 않고 피검사체의 전극에 정확하게 접촉할 수 있다.

청소장치의 전단부는, 처음에 전극에 접촉한 위치에서 뒤쪽으로 이동하기 때문에, 전극의 앞쪽(즉, 피검사체의 중앙부쪽)에 위치하는 CF 기판의 가장자리에 접촉하는 일이 없어, CF 기판을 손상시키는 일이 없다.

도1은 본 발명에 따른 프로브 장치를 이용한 검사장치의 외관을 나타낸 정면도이다.
도2는 도1에 있어서의 검사장치의 측면도이다.
도3은 도1에 있어서의 검사장치의 내부에 배치되어 있는 프로브 유닛을 나타낸 사시도이다.
도4는 본 발명에 따른 프로브 장치의 일 실시예를 나타낸 사시도이다.
도5는 도4에 있어서의 프로브 장치를 나타낸 정면도이다.
도6은 도4에 있어서의 프로브 장치를 나타낸 평면도이다.
도7은 도4에 있어서의 프로브 장치를 나타낸 측면도이다.
도8은 피검사체에 프로브를 접한 상태의 프로브 장치의 일부를 확대하여 나타낸 정면도이다.
도9는 본 발명에 따른 프로브 장치의 청소장치의 동작을 나타내는, 도5에 있어서의 9-9선 단면도로서, 도5(A)는 프로브 장치 본체와 피검사체와의 상대 이동 개시 전의 상태를 나타내고, 도5(B)는 상대 이동 중의 청소 공정을 나타내며, 도5(C)는 상대 이동에 의해 프로브가 전극에 접촉한 상태를 나타낸 단면도이다.
도10은 본 발명에 따른 프로브 장치의 청소장치를 나타낸 도면으로서, 도10(A)는 청소장치를 나타낸 측면도이며, 도10(B)는 청소장치를 나타낸 정면도이다.
도11은 도3에 있어서의 프로브 유닛에 대해서 나타낸 정면도이다.
도12는 다른 실시예에 있어서의 프로브 유닛에 대해서 나타낸 정면도이다.

[용어의 설명]

본 발명에 있어서는, 도7에 있어서, 상하 방향을 Z방향, 좌우 방향을 Y방향, 종이 뒷면 방향을 X방향이라고 한다. 그러나, 그들 방향은, 워크 테이블과 같은 패널 받이에 받아진 피검사체의 자세에 따라서 다르다. 그 때문에, 프로브 장치는, 본 발명에서 말하는 Z방향이 실제로, 상하 방향이 되는 상태, 상하가 반대로 되는 상태, 경사 방향이 되는 상태 등, 어느 한 방향이 되는 상태로 시험장치에 설치되어 사용된다.

[검사장치에 대해서]

도1 및 도2를 참조하면, 검사장치(10)는, 예를 들어, 사각형의 평면 형상을 갖는 액정 표시 패널과 같은 평판상의 피검사체(12)의 점등검사에 이용된다. 검사장치(10)에는, 점등검사를 위한 검사 스테이지(14)가 설치되고, 또 검사 스테이지(14)와의 사이에서 피검사체(12)를 순차적으로 주고받는 종래 잘 알려진 세트 스테이지(16)가 검사 스테이지(14)에 나란히 설치되어 있다.

도시한 예에서는, 점등검사에서 작업자의 육안에 의한 피검사체(12)의 표시 화면의 관찰을 용이하게 하도록, 피검사체(12)가 검사 스테이지(14) 및 세트 스테이지(16)에서 경사져 지지되어 있다.

사각형의 피검사체(12)의 표면에는, 나중에 설명하듯이, 그 한쪽의 긴 변을 따라 연장하는 가장자리(12a)(도3을 참조)에 다수의 전극(12b)(도6을 참조)이 배치되어 있고, 또한 한쪽의 짧은 변을 따라 연장하는 가장자리(12c)(도3을 참조)에도 마찬가지로, 다수의 전극(12b)이 배치되어 있다. 검사 스테이지(14)에서 검사를 받는 피검사체(12)는, 하우징(18)의 정면에 설치된 출입구(20)로부터 세트 스테이지(16)의 지지대(22) 위에, 전극(12b)을 정면으로 향하여 배치된다.

피검사체(12)는, 세트 스테이지(16)에서는, 지지대(22)에 설치된 센터링 핀(24)을 갖는 종래 잘 알려진 센터링 기구에 의해 지지대(22) 위에서 자세가 조정된다. 이 세트 스테이지(16)에 놓인 피검사체(12)는, 도시하지 않았으나, 종래 잘 알려진 패널 취급 기구를 통해서, 검사 스테이지(14)에서 검사를 받은 피검사체(12)와 상호 교환되어, 검사를 마친 피검사체(12)는, 세트 스테이지(16)의 출입구(20)를 거쳐 검사장치(10)에서 꺼내어진다.

검사 스테이지(14)에는, 도1에 나타나 있듯이, 하우징(18)의 정면에서 세트 스테이지(16)의 출입구(20)에 정렬하여 경사 배치되는 전체적으로 사각형의 관찰 창(26)이 형성되어 있다. 또한, 검사 스테이지(14)에는, 피검사체(12)를 소정의 자세로 지지하기 위한 척 톱(chuck top)(28)이 설치되어 있다.

도3을 참조하면, 척 톱(28)에는, 스토퍼 부재(30)와, 스토퍼 부재(30)를 향해서 척 톱(28) 위의 피검사체(12)의 단부를 피검사체(12)의 중앙부 쪽으로 누르는 푸셔(32)가 설치되어 있다. 척 톱(28) 위의 피검사체(12)는, 종래 잘 알려져 있듯이, 스토퍼 부재(30) 및 푸셔(32)에 의해, 피검사체(12)의 긴 변 및 짧은 변이, 각각, 관찰 창(26)의 X축 방향 및 Y축 방향을 따르도록 자세가 조정된다.

자세가 조정된 피검사체(12)는, 대기압보다도 낮은 척 톱(28)의 흡인 압력에 의해 척 톱(28) 위에 지지된다. 척 톱(28)은, 종래 잘 알려져 있듯이, xyzθ대 위에 설치되어 있다. 이에 의해, 척 톱(28) 위의 피검사체(12)는, 척 톱(28)과 일체로, X축 방향, Y축 방향 및 X-Y면에 직각인 Z축 방향으로 이동 가능하고, 또한 Z축의 주위(즉, θ방향)로 회전 가능하다.

척 톱(28)에 받아진 피검사체(12)는, 다수의 박막 트랜지스터가 형성된 사각형의 TFT 어레이 기판(12e)과, 사각형의 칼라 필터 기판(CF 기판)(12d)이 마주보고 붙여지고, 그것들 사이에 액정이 넣어져 봉해진 액정 패널과 같은 사각형의 평판상 피검사체이다.

피검사체(12)는, CF 기판(12d)이 붙여져 있지 않은 TFT 어레이 기판(12e)의 윗면이 노출된 가장자리(12a 및 12c)를, 각각, 사각형의 서로 이웃하는 변에 갖는다. 또한, 가장자리(12a 및 12c)에는, 액정을 구동하는 구동 신호가 공급되는 전극(12b)(도6을 참조)이 설치되어 있다.

전극(12b)은, 대응하는 가장자리의 길이방향과 직교하는 방향, 즉 피검사체(12)의 중앙부 쪽에서 피검사체의 단부 쪽으로 연장하고 있다. 피검사체(12)의 시험은, 프로브 장치(38)가 갖춘 프로브(배선(78))의 침선(접촉 전극(80))(도5를 참조)을 피검사체(12)의 전극(12b)에 접촉시켜 행해진다.

척 톱(28)의 가장자리의 위쪽, 즉 피검사체(12)의 가장자리(12a 및 12c)의 위쪽에는, Z축 방향으로 척 톱(28)에 간격을 두고, 본 발명에 따른 프로브 유닛(34a 및 34b)이 배치되어 있다.

프로브 유닛(34a)은, 척 톱(28)과 평행한 면 위에서 척 톱(28)으로부터 간격을 두고 배치된 지지체(36a)와, 지지체(36a)에 지지된 다수의 프로브 장치(38a)를 갖추고, 이와 마찬가지로, 프로브 유닛(34b)은, 척 톱(28)과 평행한 면 위에서 척 톱(28)으로부터 간격을 두고 배치된 지지체(36b)와, 지지체(36b)에 지지된 다수의 프로브 장치(38b)를 갖춘다.

지지체(36a 및 36b)는, 다른 판상부재와 함께 사각형의 틀형상 부재(36)를 형성하고 있다(도1을 참조). 틀형상 부재(36)는, 하우징(18) 내에서, 도시하지 않은 프레임 부재로 고정적으로 하우징(18)에 지지되어 있다. 도3에 나타낸 예에서는, 지지체(36a) 위에 5개의 프로브 장치(38a)가 지지체(36a)의 길이방향(즉, X방향)으로 서로 간격을 두고 지지되어 있다. 또한, 지지체(36b) 위에 3개의 프로브 장치(38b)가 지지체(36b)의 길이방향(즉, Y방향)으로 서로 간격을 두고 지지되어 있다.

본 실시예에 있어서, 검사장치(10)는, X방향 및 Y방향으로, 각각, 5개의 프로브 장치(38a) 및 3개의 프로브 장치(38b)를 갖추고 있지만, 각 방향으로 그 이상의 프로브 장치를 갖추고 있어도 좋다. 또한, 본 실시예에 있어서, 피검사체(12)는, 서로 이웃하는 2개의 변에 대응한 가장자리(12a 및 12c)에 전극(12b)을 갖추고 있지만, 다른 변에 대응한 가장자리에 전극(12b)을 갖추는 경우가 있다. 그러한 경우에, 검사장치(10)는, 다른 변의 가장자리에 설치된 전극(12b)에 대응하여 프로브의 침선이 위치하도록 프로브 유닛을 갖추고 있어도 좋다.

[프로브 장치에 대하여]

이하의 프로브 장치의 설명에 있어서, 전후방향은, 프로브 장치의 피검사체 쪽을 앞쪽 및 지지체 쪽을 뒤쪽으로 하는 방향을 말하고, 좌우방향은, 프로브 장치의 복수의 프로브가 간격을 두고 늘어서는 방향을 말하며, 상하방향은, 전후방향 및 좌우방향과 직교하는 방향을 말한다.

도4∼7에 나타나 있듯이, 각 프로브 장치(38a)는, 프로브 장치 본체(42), 프로브 장치 본체(42)에 결합된 청소장치(44), 청소장치(44)를 프로브 장치 본체(42)에 결합하는 한 쌍의 결합장치(46), 프로브 장치 본체(42)와 결합장치(46)의 사이에 개재하는 한 쌍의 설치부재(48)를 포함한다.

프로브 장치 본체(42)는, 지지체(36a)(도7을 참조)에 놓여져 연결되는 연결 블록(50), 연결 블록(50)에 지지된 지지 블록(52), 지지 블록(52)에 결합된 결합 블록(54)과 지지 블록(52)에 지지된 프로브 블록(56)을 포함한다.

연결 블록(50)은, 지지체(36a)에서 일어서도록 지지체(36a)에 연결된 주체부(50a)와, 주체부(50a)의 상부에서 앞쪽으로 연장하는 연장부(50b)에 의해, L자형의 단면 형상을 갖는다. 연결 블록(50)은, 주체부(50a)를 위쪽에서 아래쪽으로 관통하여 지지체(36a)에 결합된 복수의 볼트(58)(도6을 참조)에 의해 지지체(36a)에 분리 가능하게 결합되어 있다.

지지 블록(52)은, 직방체 형상의 주체부(52a)와, 주체부(52a)의 하부에서 앞쪽으로 연장하는 연장부(52b)에 의해, L자형의 단면 형상을 갖는다. 지지 블록(52)은, 한 조(組)의 가이드(60) 및 가이드 레일(62)에 의해 상하방향으로 이동 가능하게, 연결 블록(50)의 주체부(50a)의 앞면에 주체부(52a)의 뒷면에서 연결되어 있음과 동시에, 볼트(64)에 의해 상하방향의 위치를 조정 가능하게 연결 블록(50)의 연장부(50b)의 아래쪽에 지지되어 있다.

볼트(64)는, 연결 블록(50)의 연장부(50b)를 위쪽에서 아래쪽으로 관통하고 있고, 또한 지지 블록(52)에 형성된 나사 구멍(도시하지 않음)에 결합되어 있다. 지지 블록(52)은, 좌우방향으로 간격을 두고 연결 블록(50)의 연장부(50b)와 지지 블록(52)과의 사이에 배치된 한 쌍의 압축 코일 스프링(66)(도5를 참조)에 의해 아래쪽으로 힘이 가해지고 있다. 이에 의해, 지지 블록(52)으로의 볼트(64)의 조임량을 조정함으로써, 지지 블록(52), 나아가서는 지지 블록(52)에 결합 블록(54)을 통하여 지지된 프로브 블록(56)의 높이 위치를 조정할 수 있다.

결합 블록(54)은, 좌우방향으로 긴 판상 부재이며, 그 중앙영역에서 지지 블록(52)의 아래쪽에 결합되어 있다. 결합 블록(54)과 지지 블록(52)은, 지지 블록(52)의 주체부(52a)를 위쪽에서 아래쪽으로 관통하여 결합 블록(54)에 결합된 볼트(68)에 의해 결합되어 있다.

프로브 블록(56)은, 배선 시트(70)와, 배선 시트(70)를 아래쪽에서 지지하는 블록 본체(72)를 포함한다. 프로브 블록(56)은, 결합 블록(54)을 위쪽에서 아래쪽으로 관통하여 블록 본체(72)에 결합된 좌우방향으로 간격을 두는 한 쌍의 볼트(74)에 의해, 결합 블록(54)에 결합되어 있다.

배선 시트(70)는, 시트 형상 부재(76)와, 시트 형상 부재(76) 위에 형성된 복수의 배선(78)과, 배선(78)의 선단에 설치된 접촉 전극(80)을 갖춘다(도5를 참조). 복수의 배선(78)은, 피검사체(12)의 전극(12b)의 피치에 대응하여 좌우방향으로 간격을 두고(도5를 참조), 전후방향으로 연장하고 있다. 배선(78)은, 전극(12b)에 전기 신호를 받아넘기는 프로브로서 작용하고, 또한, 접촉 전극(80)은 피검사체(12)의 전극(12b)에 접촉하는 침선으로서 작용한다.

상기와 같은 프로브 블록(56)을 대신해, 프로브 장치(38a)는, 블레이드 타입의 복수의 프로브를 갖춘 종래 잘 알려진(예를 들어, 특허문헌 1에 기재된) 프로브 조립체를 포함하고 있어도 좋다.

도7에 나타나 있듯이, 배선 시트(70)는, 접속회로(82)를 통해서, 지지체(36a)의 윗면에 배치된 PCB(Printed Circuit Board)와 같은 접속기판(84)에 전기적으로 접속되어 있다. 접속기판(84)이 테스터(도시하지 않음)에 전기적으로 접속되기 때문에, 배선시트(70)는 테스터에 전기적으로 접속된다. 접속회로(82)는, FPC(Flexible Printed Circuit)와 같은 복수의 배선(도시하지 않음)을 갖는 가요성 배선기판을 갖추며, 배선시트(70)의 복수의 배선(78)은, 접속회로(82)의 복수의 배선에 접속되어 있고, 테스터로부터의 구동신호를 피검사체(12)에 공급한다.

청소장치(44)는, 프로브 장치 본체(42)의 아래쪽에 있고 좌우방향으로 연장하는 청소수단(86)과, 청소수단(86)을 지지하는 한 쌍의 청소수단 지지체(88)를 포함한다. 청소수단(86)의 양단은, 각각, 한 쌍의 청소수단 지지체(88)에 설치되어 있고, 각 청소수단 지지체(88)는, 프로브 장치 본체(42)의 양쪽에 각 결합장치(46) 및 각 설치부재(48)를 사이에 두고 설치되어 있다.

도10을 참조하면, 각 청소수단 지지체(88)는, 좌우방향을 두께방향으로 하는 판상이며, 상하방향으로 연장하는 주체부(88a)와 위쪽으로 갈수록 뒤쪽이 되는 경사방향으로 연장하는 연장부(88b)를 갖춘다. 주체부(88a)의 하단은, 위쪽으로 갈수록 뒤쪽이 되는 경사방향으로 경사져 있다.

청소수단(86)은, 프로브 장치 본체(42)의 아래쪽을 좌우방향으로 연장하는 판상 부재이며, 실리콘 수지와 같은 수지 재료로 이루어진다. 또한, 청소수단(86)은, 그 양단의 윗면을 청소수단 지지체(88)의 주체부(88a)의 하단에, 청소수단(86)을 두께방향으로 관통하여 주체부(88a)의 하부에 결합하는 나사 부재(90)에 의해 설치되어 있다. 그러나, 청소수단(86)은, 접착제와 같은 접착수단에 의해 청소수단 지지체(88)에 설치되어도 좋다.

청소수단(86)의 전단부는, 청소장치(44)의 전단 및 하단에 위치하고, 뒤에 설명하듯이, 피검사체(12)의 전극(12b)을 청소하는 청소장치(44)의 전단부(92)(청소부)로서 작용한다. 전단부(92)는, 프로브 장치 본체(42)의 프로브의 침선(접촉 전극(80))보다도 앞쪽에 위치한다.

이에 의해, 피검사체(12)와 프로브 장치 본체(42)가 서로 가까워지는 방향으로 상대 이동할 때, 전단부(92)는, 프로브의 침선이 접촉하는 전극(12b) 위의 점(点)보다 앞쪽 부분에서 전극(12b)에 접촉하고, 그 부분에서 뒤쪽을 향해서 전극(12b) 위를 이동한다. 따라서, 청소장치(44)는, 프로브의 침선이 접촉하는 전극(12b) 위의 점을 확실하게 청소할 수 있다. 청소수단(86) 또는 전단부(92)는, 좌우방향으로 연장하는 수지(樹脂) 성질의 봉 형상 부재, 회전 브러시 및 점착 롤러 등의 다른 청소수단이어도 좋고, 또한 청소수단 지지체(88)의 전단면에 설치되어 있어도 좋다.

또한, 각 청소수단 지지체(88)는, 그 주체부(88a)에, 좌우방향으로 연장하는 축선의 주위에 회전 가능하게 설치된 베어링(98)을 갖는다. 게다가, 청소수단 지지체(88)는, 그 연장부(88b)에, 위쪽으로 갈수록 뒤쪽이 되는 경사방향으로 연장하는 가이드 레일(94)과, 가이드 레일(94)과 동일한 방향으로 연장하는 구멍(96)을 갖는다.

각 결합장치(46)는, 제1 및 제2 결합기구(100 및 102)를 갖추고, 이들 결합기구를 통하여 청소장치(44)를 설치부재(48)에 결합하고 있다. 제1 결합기구(100)는, 제1 설치부재(110)(도5를 참조)에 지지되고, 위쪽으로 갈수록 뒤쪽이 되는 경사방향으로 연장하는 가이드(104)로서 가이드 레일(94)에 슬라이드 가능하게 결합하는 가이드(104)를 포함한다.

제2 결합기구(102)는, 위쪽으로 갈수록 뒤쪽으로 연장하는 봉 형상 부재(106)를 포함하고, 봉 형상 부재(106)는, 설치부재(48)를 통하여 프로브 장치 본체(42)에 결합되어 있다. 봉 형상 부재(106)는, 청소수단 지지체(88)의 연장부(88b)에 설치된 구멍(96)에 받아져 움직일 수 있게 끼워 넣어져 있다.

게다가, 제2 결합기구(102)는, 청소수단 지지체(88)를 아래쪽으로 갈수록 앞쪽이 되는 경사방향으로 힘을 가하는 코일 스프링(108)을 포함한다. 봉 형상 부재(106)는 코일 스프링(108)을 지나 청소수단 지지체(88)의 구멍(96)에 끼워 넣어져 있다. 이에 의해, 청소장치(44)의 전단부(92)가 피검사체(12)의 전극(12b)을 청소할 때, 청소장치(44)는, 코일 스프링(108)의 가하는 힘에 의해, 그 전단부(92)를 전극(12b)에 적절한 힘으로 누르게 할 수 있다.

제1 결합기구(100) 및 청소장치(44)는, 각각, 가이드(104) 및 가이드 레일(94)을 바꿔서 갖추고 있어도 좋고, 제2 결합기구(102) 및 청소장치(44)는, 각각, 봉 형상 부재(106) 및 구멍(96)을 바꿔서 갖추고 있어도 좋다.

설치부재(48)는, 프로브 블록(56)에 설치되어 있는 제1 설치부재(110)와, 제1 설치부재(110)에 결합된 제2 설치부재(112)를 갖춘다. 제1 설치부재(110)는, 앞쪽에서 볼 때 단면 L자형의 형상을 갖도록, 좌우방향으로 연장하는 판상부(110a)와 상하방향으로 연장하는 판상부(110b)를 갖는다. 제1 설치부재(110)는, 앞쪽에서 볼 때 단면 사각형의 프로브 블록(56)의 위쪽의 한쪽 각에, 그 L자형의 각을 대응시켜 설치되어 있다.

제2 설치부재(112)는, 상하방향을 두께방향으로 하는 판상 부재로, 제1 설치부재(110)의 좌우방향으로 연장하는 판상부(110a)의 윗면에 설치되어 있다. 제2 설치부재(112)는, 제1 설치부재(110)의 판상부(110a)에서 프로브 장치 본체(42)의 바깥쪽을 향해서 좌우방향으로 연장하고 있다. 설치부재(48)는, 제1 설치부재(110)의 좌우방향으로 연장하는 판상부(110a)와 제2 판상부재(122)를 위쪽에서 아래쪽으로 관통하여 결합 블록(54) 또는 프로브 블록(56)에 결합하는 복수의 나사 부재(114)에 의해 결합 블록(54) 및 프로브 블록(56)에 결합되어 있다.

가이드(104)는, 설치부재(48)의 상하방향으로 연장하는 판상부(110b)의 측면에 결합되어 있고, 제1 결합기구(100)는, 청소장치(44)의 가이드 레일(94)에 결합하는 가이드(104)를 통해서 청소장치(44)를 설치부재(48)에 결합하고 있다. 이에 의해, 청소장치(44)는, 설치부재(48)가 결합된 프로브 블록(56), 나아가서는 프로브 장치 본체(42)에 대하여 가이드 레일(94) 및 가이드(104)가 연장하는 경사방향으로 프로브 장치 본체(42)에 이동 가능하게 결합되어 있다.

그러나, 결합장치(46)는, 설치부재(48)를 통하지 않고 프로브 장치 본체(42)에 결합되어도 좋다. 예를 들어, 결합장치(46)의 가이드(104)는, 프로브 장치(38a)의 결합 블록(54) 및 프로브 블록(56)에 직접 결합할 수 있다.

제1 봉 형상 부재(106)는, 설치부재(48)의 좌우방향으로 연장하는 판상부(110b)에 결합 보조구(109)를 통하여, 설치부재(48)에 이동 불가능하게 결합되어 있다. 결합 보조구(109)는, 제2 설치부재(112)에서 아래쪽으로 연장하는 판상부재이며, 위쪽으로 갈수록 뒤쪽이 되는 경사방향으로 연장하는 봉 형상 부재(106)의 기울기에 대응하여, 그 일부가 구부러져 있다.

봉 형상 부재(106)는, 청소수단 지지체(88)의 구멍(96)에 받아져 움직일 수 있게 끼워 넣어져 있기 때문에, 청소장치(44)는, 설치부재(48)가 결합된 프로브 장치 본체(42)에 대하여, 구멍(96) 및 봉 형상 부재(106)가 연장하는 경사방향으로 이동 가능하게 결합되어 있다.

제1 및 제2 결합기구(100 및 102)에 의해, 청소장치(44)가, 설치부재(48)를 통하여 프로브 장치 본체(42)에 결합되어 있기 때문에, 청소장치(44)가 아래쪽에서 눌렸을 때에, 그 아래쪽으로부터의 압력 방향을 변환하여, 청소장치(44)를 프로브 장치 본체(42)에 대하여 위쪽으로 갈수록 뒤쪽이 되는 경사방향으로 이동시킬 수 있다.

결합장치(46)는, 제1 및 제2 결합기구(100 및 102)의 어느 한쪽을 갖추고 있으면 되지만, 양 결합기구(100 및 102)를 갖춤으로써, 안정하여 청소장치(44)를 프로브 장치 본체(42)에 대하여 이동시킬 수 있다.

도4∼8을 참조하면, 프로브 장치(38a)는, 청소장치(44)를 뒤쪽으로 안내하는 한 쌍의 안내장치(120)를 더 포함한다. 각 안내장치(120)는, 청소장치(44)의 바깥쪽에 배치되어 있으며, 좌우방향을 두께방향으로 하는 판상부재(122)와, 판상부재(122)의 하단에 설치된 탄성부재(124)와, 판상부재(122)의 상단에 설치된 한 쌍의 봉 형상 부재(126)를 갖춘다.

각 안내장치(120)의 판상부재(122)는, 각 봉 형상 부재(126)가 제2 설치부재(112)를 상하방향으로 관통하는 관통구멍(도시하지 않음)을 지나는 상태로, 설치부재(112)의 아래쪽에 배치되어 있다. 이에 의해, 안내장치(120)는, 설치부재(48), 나아가서는 프로브 장치 본체(42)에 대하여 상하방향으로 이동 가능하게 된다. 한 쌍의 봉 형상 부재(126)의 한쪽 상단부에는, 상기 관통구멍의 직경보다도 큰 스토퍼 부재(128)가 설치되어 있고, 스토퍼 부재(128)는, 안내장치(120)를 설치부재(48)에 고정한다.

판상부재(122)는, 전후방향으로 연장하는 안내 홈(130)을 갖추고, 안내 홈(130)에는, 청소장치(44)의 베어링(98)이 결합해 있다. 즉, 베어링(98)은, 안내 홈(130)에 결합하는 결합 부재로서 작용한다. 이에 의해, 청소 장치(44)는, 안내 홈(130)을 따라 안내장치(120)에 대하여 전후방향으로 이동 가능하다. 베어링(98)은, 좌우방향을 축선으로 하는 주위로 회전 가능하기 때문에, 청소장치(44)가 안내 홈(130)을 따라 전후방향으로 이동하는 것을 보조한다.

탄성부재(124)는, 안내장치(120)의 하단부로서 작용한다. 청소장치(44)가 피검사체(12)의 전극(12b)을 청소할 때, 안내장치(120)의 자중에 의해 탄성부재(124)의 하단에서 피검사체(12)를 아래쪽으로 눌러, 피검사체(12)의 청소장치(44)에 의한 청소로 의한 위치 벗어남을 방지한다. 탄성부재(124)의 하단과 청소장치의 전단부(92)는, 대략 같은 높이에 위치해 있다. 그러나, 전단부(92)는 탄성부재(124)의 하단보다도 아래쪽에 위치해 있으면 좋다.

[프로브 장치의 동작에 대하여]

다음으로, 도9에 나타난 본 발명에 따른 프로브 장치(38a)를 이용한 피검사체(12)의 전극(12b)의 청소방법에 대하여 설명한다. 이하의 설명에 있어서, 프로브 장치(38a)가 피검사체(12)에 대하여 이동하는 듯이 설명하지만, 실제는, 피검사체(12)가 프로브 장치(38a)에 대하여 이동해도 좋다.

먼저, 도9(A)에 나타나 있듯이, 피검사체(12)의 가장자리(12a)의 바로 위에, 배선시트(70)의 접촉 전극(80)이 위치하도록 배치된 프로브 장치 본체(42)가 피검사체(12)에 서로 가까워지는 방향, 즉 아래쪽으로 이동한다. 도9에서 일부를 단면으로서 나타낸 바와 같이, 안내장치(120)의 안내 홈(130)은 전후방향으로 개방해 있지 않고, 청소장치(44)의 베어링(98)이 안내 홈(130)의 전단부에서 고정되어 있다.

안내 홈(130)의 전단부와 베어링(98)이 스토퍼 구조가 되기 때문에, 베어링이 설치된 청소장치(44)는, 안내장치(120) 및 프로브 장치 본체(42)에 대하여 앞쪽으로 이동 불가능한 상태로 되어 있다. 베어링(98)과 안내 홈(130)와의 관계 외에, 가이드 레일(94)과 가이드(104) 또는 구멍(96)과 봉 형상 부재(106)와의 관계에 의해 청소장치(44)가 프로브 장치 본체(42)에 대하여 앞쪽으로 이동 불가능한 상태가 되도록 스토퍼 구조를 설치해도 좋다.

이어서, 도9(B)에 나타나 있듯이, 프로브 장치 본체(42)의 상기한 아래쪽으로의 이동에 의해, 청소장치(44)의 전단부(92) 및 안내장치(120)의 탄성부재(124)가, 각각, 피검사체(12)의 전극(12b) 및 피검사체(12)의 전극(12b) 이외의 부분에 접촉한다.

프로브 장치 본체(42)의 더 아래쪽으로의 이동에 의해, 청소장치(44)는, 청소수단(86)의 전단부(92)를 통하여 피검사체(12)에서 위쪽으로 눌려진다. 청소장치(44)는, 프로브 장치 본체(42)에 대하여 위쪽으로 갈수록 뒤쪽이 되는 경사방향으로 이동 가능하게 되어 있기 때문에, 상기와 같이 아래쪽에서 눌려짐으로써, 프로브 장치 본체(42)에 대하여 상기 경사방향으로 이동한다.

피검사체(12)에 대하여 프로브 장치 본체(42)가 아래쪽으로 이동하고, 프로브 장치 본체(42)에 대하여 청소장치(44)가 위쪽으로 갈수록 뒤쪽이 되는 경사방향으로 이동하기 때문에, 청소장치(44)는 피검사체(12)에 대하여 뒤쪽으로 이동한다. 청소장치(44)는, 그 전단부(92)를 피검사체(12)의 전극(12b)에 접촉시킨 상태에서, 피검사체(12)에 대하여 청소장치(44)가 뒤쪽으로 이동하기 때문에, 청소수단(86)은, 전극(12b) 위의 이물질을 뒤쪽을 향해 이동시켜서 제거한다.

다음으로, 도9(C)에 나타나 있듯이, 프로브 장치 본체(42)의 더 아래쪽으로의 이동에 의해, 청소장치(44)는, 피검사체(12)의 바깥쪽으로 물러난다. 이때, 청소장치(44)는, 그 전단부(92)가 피검사체(12)로부터 떨어져도, 안내 홈(130)으로 안내되어 뒤쪽으로 이동된다.

도9(B)에서 도9(C) 사이에서, 안내장치(120)는, 피검사체(12)에 그 하단을 접촉시킨 후에는, 프로브 장치 본체(42)가 아래쪽으로 이동해도 피검사체(12)에 대하여 이동하지 않는다. 이에 의해, 안내장치(120)의 안내 홈(130)은, 피검사체(12)로부터 일정한 높이로 유지되어 있다. 따라서, 프로브 장치(42)의 계속되는 아래쪽으로의 이동에 의해, 청소장치(44)의 전단부(92)가 피검사체(12)로부터 떨어진 경우에도, 청소장치(44)는, 베어링(98)을 통해서 안내장치(120)의 안내 홈(130)에서 위쪽으로 밀린다.

이에 의해, 청소장치(44)는, 프로브 장치 본체(42)에 대하여 위쪽으로 갈수록 뒤쪽이 되는 경사방향으로 이동 가능하게 결합되어 있기 때문에, 상기와 같이 안내 홈(130)에서 위쪽으로 밀림으로써, 프로브 장치 본체(42)에 대하여 상기 경사방향으로 이동한다. 피검사체(12) 및 안내장치(120)에 대하여 프로브 장치 본체(42)가 아래쪽으로 이동하고, 프로브 장치 본체(42)에 대하여 청소장치(44)가 위쪽으로 갈수록 뒤쪽이 되는 경사방향으로 이동하기 때문에, 청소장치(44)는 피검사체(12) 및 안내장치(120)에 대하여 뒤쪽으로 이동하여, 피검사체(12)의 바깥쪽으로 물러나게 된다.

프로브 장치(38a)가 상기와 같이 동작하기 때문에, 청소장치(44)는, 뒤쪽(즉, 피검사체(12)의 중앙부 쪽에서 단부쪽)으로 이동한다. 따라서, 피검사체(12)의 중앙부 쪽에 배치된 CF 기판(12d)의 단부에 접촉하는 일이 없고, CF 기판(12d)을 손상시키는 일도 없다.

상기의 프로브 장치(38a)의 동작에 있어서, 청소장치(44)가 프로브 장치 본체(42)에 대하여 위쪽으로 갈수록 뒤쪽이 되는 경사방향으로 이동하면, 청소장치(44)는, 코일 스프링(108)에 의해 상기 경사방향의 앞쪽 및 아래쪽으로 힘이 가해진다. 이 가해지는 힘에 의해, 청소장치(44)의 전단부(92)는, 적절한 힘으로 전극(12b)에 눌려, 확실하게 이물질을 제거할 수 있다. 그러나, 코일 스프링(108)을 설치하지 않고, 청소장치(44)의 전단부(92)가 청소장치(44)의 자중에 의해 전극(12b)에 눌려지도록 해도 좋다.

[프로브 유닛에 대해서]

도3 및 도11을 참조하면, 프로브 유닛(34b)은, 좌우방향(Y방향)으로 간격을 두고 배치된 복수의 프로브 장치(38b)를 갖춘 프로브 장치군(202), 프로브 장치(38b)를, 그 뒤쪽에서 지지한 지지체(36b), 프로브 장치군(202)의 양쪽의 프로브 장치(38b)에 결합된 청소장치(244), 청소장치(244)를 프로브 장치(38b)에 결합하는 한 쌍의 결합장치(246), 결합장치(246)와 상기 양쪽의 프로브 장치(38b)와의 사이에 개재하는 한 쌍의 설치부재(248), 청소장치(244)를 전후방향으로 안내하는 안내장치(220)를 포함한다.

지지체(36b)는, 상하방향을 두께방향으로 하는 판상부재이다. 청소장치(244)는, 복수의 프로브 장치군(202)의 양쪽의 프로브 장치(38b)에 결합되어 있다. 각 결합장치(246)는, 청소장치(244)를 복수의 프로브 장치군(202)의 양쪽의 프로브 장치(38b)의 각각에, 각 설치부재(248)를 통하여 결합하고 있다.

청소장치(244)의 청소수단(286)이 복수의 프로브 장치(38b)의 아래쪽에 배치되도록 좌우방향으로 연장해 있는 것을 제외하고, 청소장치(244), 결합장치(246), 설치부재(248) 및 안내장치(220)는, 각각, 상기한 청소장치(44), 결합장치(46), 설치부재(48) 및 안내장치(120)와 같은 구조 및 기구를 갖춘다. 따라서, 프로브 장치(38b)와 청소장치(244)와의 결합은, 이미 설명한 프로브 장치(38a)와 청소장치(44)와의 결합과 동일하다.

프로브 유닛(34b)과, 피검사체(12)는, 서로 가까워지고 서로 멀어지는 방향으로 상대 이동이 가능하게 되어 있어, 프로브 장치(38a)의 청소장치(44)가 피검사체(12)의 전극(12b)을 청소하는 것과 같이, 프로브 유닛(34b)의 청소장치(244)가 피검사체(12)의 전극(12b)을 청소한다.

프로브 유닛(34b)에 의하면, 복수의 프로브 장치가 배치된 1개의 프로브 유닛에 대하여 1개의 청소장치(244)가 설치되어 있다. 이에 의해, 각 프로브 장치에 청소장치를 설치할 필요가 없기 때문에, 프로브 유닛(34a)에 비해 부품 수가 적은 프로브 유닛(34b)에 의해 피검사체(12)의 전극(12b)을 청소할 수 있다.

[프로브 유닛의 다른 실시예]

도12를 참조하면, 프로브 유닛(34c)은, 좌우방향(도12에서의 Y방향)으로 간격을 두고 배치된 복수의 프로브 장치(38c)를 포함하는 프로브 장치군(302), 프로브 장치(38c)를, 그 뒤쪽에서 지지한 지지체(36c), 지지체(36c)의 양단에서 앞쪽으로 연장하는 한 쌍의 봉 형상 부재(304), 봉 형상 부재(304)에 결합된 청소장치(344), 청소장치(344)를 봉 형상 부재(304)에 결합하는 한 쌍의 결합장치(346), 봉 형상 부재(304)와 결합장치(346)와의 사이에 개재하는 한 쌍의 설치부재(348), 청소장치(244)를 뒤쪽으로 안내하는 안내장치(320)를 포함한다.

지지체(36c)는, 지지체(36b)와 같은 상하방향(도12에서의 Z방향)을 두께방향으로 하는 판상부재이다. 청소장치(344)의 청소수단(386)은, 복수의 프로브 장치(38b)의 아래쪽에 배치되도록 좌우방향으로 연장해 있다. 각 봉 형상 부재(304)는 각주(角柱) 형상의 봉 형상 부재이다. 각 결합장치(346)는, 청소장치(344)를 한 쌍의 봉 형상 부재(304)의 각각에, 각 설치부재(248)를 통하여 결합하고 있다.

본 실시예에 있어서, 청소장치(344)의 청소수단(386)이 복수의 프로브 장치(38c)의 아래쪽에 배치되도록 좌우방향으로 연장해 있고, 그리고 청소장치(344)가 봉 형상 부재(304)에 결합되어 있는 것을 제외하고, 청소장치(344), 결합장치(346), 설치부재(348) 및 안내장치(320)는, 각각, 상기한 청소장치(44), 결합장치(46), 설치부재(48) 및 안내장치(120)와 같은 구조 및 기구를 갖춘다.

프로브 유닛(34c)과, 피검사체(12)는, 서로 가까워지고 서로 멀어지는 방향으로 상대 이동이 가능하게 되어 있어, 프로브 장치(38a)의 청소장치(44)가 피검사체(12)의 전극(12b)을 청소하는 것과 같이, 프로브 유닛(34c)의 청소장치(344)가 피검사체(12)의 전극(12b)을 청소한다.

프로브 유닛(34c)에 의하면, 프로브 장치(38c)가 아닌, 지지체(36c)로부터 연장하는 봉 형상 부재(304)에 청소장치(344)가 결합하여 설치되어 있다. 프로브 유닛(34b)에서는, 청소장치(244)가 결합된 프로브 장치(38c)가 고장난 경우, 프로브 장치(38c)를 교환하도록, 청소장치(244)를 떼어내는 작업을 필요로 한다. 그러나, 프로브 유닛(34c)에서는, 프로브 장치(38c)에 청소장치(344)가 설치되어 있지 않기 때문에, 프로브 장치(38c)의 교환작업이 용이해진다.

[실시예에 의한 다른 과제의 해결수단]

프로브 유닛(34a)은, 복수의 프로브 장치(38a)를 지지하는 지지부재(36a)와, 지지부재(36a)에 피검사체(12)의 대응하는 전극(12b)에 프로브 장치 본체(42)의 프로브의 침선(접촉 전극(80))이 접촉 가능해지도록 정렬된 프로브 장치(38a)를 포함할 수 있다.

전극(12b)을 갖춘 피검사체(12)의 위쪽에 배치되는 프로브 유닛(34b)은, 다수의 프로브를 갖는 프로브 장치 본체(42)를 갖는 프로브 장치(38b)를 갖춘 프로브 장치군(202), 상기 프로브의 침선(접촉 전극(80))을 피검사체(12)의 대응하는 전극(12b)에 접촉 가능하게 프로브 장치(38b)를 정렬시키도록 지지한 지지체(36b), 프로브 유닛(34b)과 피검사체(12)가 서로 가까워지고 서로 멀어지는 상하방향으로의 상대 이동에 의해 전극(12b)에 접촉 가능한 전단부(92)를 상기 프로브의 침선(접촉 전극(80))보다 아래쪽의 앞쪽에 갖춘 청소장치(244), 위쪽으로 갈수록 뒤쪽이 되는 경사방향으로 청소장치(244)와 프로브 장치 본체(42)가 상대적으로 이동 가능하게 되도록 청소장치(244)를 프로브 장치군(202)의 양단에 위치하는 프로브 장치 본체(42) 또는 지지체(36b)에 결합하는 결합장치(246)를 포함할 수 있다.

게다가, 프로브 유닛(34b)은, 청소장치(244)를 전후로 이동 가능하게 안내하는 안내장치(220)를 포함하고, 안내장치(220)는, 상하방향으로 이동 가능하게 프로브 장치군(202)의 양단에 위치하는 프로브 장치 본체(42) 또는 지지체(36b)에 결합되어 있고, 그리고 전후방향으로 연장하는 안내 홈(130)을 갖추며, 청소장치(244)는, 안내 홈(130)에 결합하는 결합부재(98)를 갖추고, 안내장치(220)의 하단은, 청소장치(244)의 전단부(92)와 동일한 높이 위치에 놓여 있어도 좋다.

검사장치(10)는, 프로브 장치(38a), 프로브 유닛(34a) 또는 프로브 유닛(34b), 프로브 장치(38a), 프로브 유닛(34a) 또는 프로브 유닛(34b)의 아래쪽에 배치된 검사대(척 톱(28))를 포함하고, 프로브 장치(38a), 프로브 유닛(34a) 또는 프로브 유닛(34b)과 상기 검사대는 서로 가까워지고 서로 멀어지는 상하방향으로 이동 가능하다.

본 발명은, 상기 실시예에 한정되지 않고, 특허청구의 범위에 기재된 취지를 벗어나지 않는 한, 여러 가지로 변경할 수 있다.

12: 피검사체 12b: 전극
34a, 34b, 34c: 프로브 유닛 38a, 38b, 38c: 프로브 장치
42: 프로브 장치 본체 44, 244, 344: 청소장치
46, 246, 346: 결합장치 78: 프로브(배선)
80: 침선(접촉 전극) 92: 청소장치의 전단부
94: 가이드 레일 96: 구멍
98: 결합부재(베어링) 100: 제1 결합기구
102: 제2 결합기구 104: 가이드
106: 봉 형상 부재 108: 코일 스프링
120, 220, 320: 안내장치 130: 안내 홈

Claims (9)

1. 전극을 갖춘 피검사체의 위쪽에 배치되는 프로브 장치로서,
   상기 전극에 접촉되도록 아래쪽으로 향해진 침선을 갖는 복수의 프로브를 갖춘 프로브 장치 본체;
   상기 프로브 장치 본체와 상기 피검사체가 서로 가까워지고 서로 멀어지는 상하방향으로의 상대 이동에 의해 상기 전극에 접촉 가능한 전단부를 상기 침선보다 아래쪽의 앞쪽에 갖춘 청소장치; 및
   위쪽으로 갈수록 뒤쪽이 되는 경사방향으로 상기 청소장치와 상기 프로브 장치 본체를 상대적으로 이동 가능하게 결합하는 결합장치; 및
   상하방향으로 이동가능하게 상기 프로브 장치 본체에 결합되어 상기 청소 장치를 전후방향으로 이동가능하도록 안내하는 안내 장치;
   를 포함하고,
   상기 안내장치는, 전후방향으로 연장하는 안내 홈과, 상기 청소장치의 전단부와 동일한 높이 위치에 있고 상기 피검사체를 누르는 하단부를 갖추며, 상기 청소장치는, 상기 안내 홈에 결합하는 결합부재를 갖춘 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
   
   
2. 삭제
3. 제1항에 있어서, 상기 결합부재는, 좌우방향으로 연장하는 축선의 주위로 회전 가능하게 상기 안내 홈에 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
   
4. 제1항에 있어서, 상기 결합장치는, 상기 프로브 장치 본체의 양쪽에 상기 청소장치를 결합하는 한 쌍의 제1 결합기구를 갖추고, 각 제1 결합기구는, 상기 경사방향으로 연장하는 가이드 레일 및 상기 가이드 레일에 결합하는 가이드의 어느 한쪽을 가지며, 상기 청소장치는, 상기 가이드 레일 및 상기 가이드의 다른 한쪽을 갖춘 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
   
5. 제1항에 있어서, 상기 결합장치는, 상기 프로브 장치 본체의 양쪽에 상기 청소장치를 결합하는 한 쌍의 제2 결합기구를 갖추고, 각 제2 결합기구는, 상기 경사방향으로 연장하는 봉 형상 부재 및 상기 경사방향으로 연장하는 구멍으로서 상기 봉 형상 부재가 받아져 움직일 수 있게 끼워 넣어지는 구멍의 어느 한쪽을 가지며, 상기 청소장치는, 상기 봉 형상 부재 및 상기 구멍의 다른 한쪽을 갖춘 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
   
6. 제1항에 있어서, 상기 결합장치는, 한 쌍의 제1 결합기구 및 한 쌍의 제2 결합기구를 갖추며,
   각 제1 결합기구는, 상기 경사방향으로 연장하는 가이드 레일 및 상기 가이드 레일에 결합하는 가이드의 어느 한쪽을 가지며,
   각 제2 결합기구는, 상기 경사방향으로 연장하는 봉 형상 부재 및 상기 경사방향으로 연장하는 구멍으로서 상기 봉 형상 부재가 받아져 움직일 수 있게 끼워 넣어진 구멍의 어느 한쪽을 가지며,
   상기 청소장치는, 상기 가이드 레일 및 상기 가이드의 다른 한쪽과, 상기 봉 형상 부재 및 상기 구멍의 다른 한쪽을 갖춘 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
   
7. 제6항에 있어서, 각 제2 결합기구는, 상기 청소장치와 상기 프로브 장치 본체와의 사이에 배치되고, 상기 청소장치를 상기 프로브 장치 본체에 대하여 상기 경사방향의 앞쪽 및 아래쪽으로 힘을 가하는 코일 스프링을 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 장치.
   
8. 프로브 장치 본체에 갖추어진 청소장치에 의해, 사각형의 1개의 변에 대응하는 가장자리에 설치된 피검사체의 전극을 청소하는 청소방법으로서,
   상기 청소장치의 전단부가 상기 전극에 접할 때까지, 상기 프로브 장치와 상기 피검사체를 서로 가까워지는 방향으로 상대 이동시키는 제1 공정;
   상기 프로브 장치와 상기 피검사체를 더 서로 가까워지는 방향으로 상대 이동시켜 상기 청소장치의 전단부로 상기 피검사체의 중앙부 쪽에서 단부 쪽을 향해 상기 전극을 청소하는 제2 공정; 및
   상기 프로브 장치와 상기 피검사체를 더 서로 가까워지는 방향으로 상대 이동시켜 상기 전단부를 피검사체의 바깥쪽으로 물러나게 하는 제3 공정;
   을 포함하는 것을 특징으로 하는 청소방법.
   
   
9. 삭제

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