KR101212649B1 - 프로브 유닛 및 검사장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 필름 타입 프로브의 각 접촉자와 피검사체의 각 전극과의 접촉 정밀도를 높게 유지하기 위한 것이다.
필름 타입 프로브의 선단부에 각 접촉자가 갖추어짐과 동시에 상기 선단부가 프로브 블록으로부터 연출하여 자유롭게 휘어질 수 있는 상태로 상기 필름 타입 프로브가 상기 프로브 블록에 지지되고, 가압부재가, 상기 필름 타입 프로브의 선단부에 접촉하는 가압면을 갖고 그 가압면을 상기 필름 타입 프로브의 선단부로 향하게 한 상태로 상기 프로브 블록에 요동 가능하게 지지됨과 동시에, 상기 가압부재의 가압면과 상기 필름 타입 프로브의 선단부와의 사이에 극간을 갖는 구성으로 하였다.

Description

프로브 유닛 및 검사장치{Probe Unit and Inspection Apparatus}
본 발명은, 액정 패널 등의 피검사체의 검사에 이용하는 프로브 유닛 및 검사장치에 관한 것이다.
액정 패널 등의 제조공정에 있어서는, 그 액정 패널 등의 검사로서 점등 검사 등이 행해진다. 이 검사에는, 일반적으로, 복수의 프로브를 갖는 프로브 유닛을 갖춘 검사장치가 이용된다. 이 경우에 있어서, 상기 검사는, 상기 프로브 유닛의 각 프로브를 액정 패널 등의 전극에 접촉시킨 상태에서, 각 전극에 검사 신호를 공급함으로써 행해진다.
상기 프로브 유닛으로는, 예를 들어 특허문헌 1에 기재된 액정 디스플레이 패널 검사용 프로브 유닛이 있다. 이 액정 디스플레이 패널 검사용 프로브 유닛을 도 1, 2에 근거하여 개략적으로 설명한다.
프로브 마운트(1)는 장치 본체 측에 설치되어 있다. 프로브 마운트(1)에는 프로브 블록(2)이 설치되어 있다. 상기 프로브 블록(2)의 아래쪽 면의 선단측(도1의 좌측)에는 필름 타입 프로브(3)가 설치되어 있다. 상기 필름 타입 프로브(3)는, 필름 기판(4), 접촉자(5), 절연 고무판(6)으로 구성되어 있다. 접촉자(5)는, 필름 기판(4)의 아래쪽 면에, 등간격으로 복수 설치되어 있다. 절연 고무판(6)은, 필름 기판(4)의 위쪽 면에 설치되어 있다. 필름 타입 프로브(3)는, 프로브 블록(2)의 아래쪽 면의 선단측에 고정되어 있다.
이에 의해, 액정 디스플레이 패널(7)의 각 전극에, 필름 타입 프로브(3)의 접촉자(5)가 각각 접촉되고, 절연 고무판(6)을 사이에 두고 프로브 블록(2)으로 눌려져, 전기적으로 접속된다.
특허문헌 1: 한국 특허 공개 공보 제10-2006-0108426호
그런데, 상기 종래의 액정 디스플레이 패널 검사용 프로브 유닛으로는, 필름 타입 프로브(3)의 각 접촉자(5)가 액정 디스플레이 패널(7)의 각 전극에 접촉하지만, 액정 디스플레이 패널(7)의 전극면의 평탄도가 좋지 않으면, 높은 정밀도로 접촉하는 것이 어렵게 된다.
액정 디스플레이 패널(7)은, 전체적으로는 평탄한 판재이지만, 부분적으로는 평면이 굴곡져 있는 곳도 존재한다. 이 경우에도, 각 접촉자(5)는 프로브 블록(2)에 의해 정확하게 지지되어 있기 때문에, 굴곡의 정도에 따라서는, 절연 고무판(6)으로 흡수할 수 없는 경우가 있다. 그리고, 액정 디스플레이 패널(7)에, 절연 고무판(6)으로 흡수할 수 없는 굴곡이 있으면, 필름 타입 프로브(3)의 접촉자(5)와 액정 디스플레이 패널(7)의 각 전극과의 접촉 정밀도가 저하되어 버리는 문제가 있다.
본 발명은, 상술한 문제점을 해결하기 위해 이루어진 것이며, 필름 타입 프로브의 접촉자와 피검사체의 각 전극과의 접촉 정밀도를 높게 유지할 수 있는 프로브 유닛 및 검사장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명에 따른 프로브 유닛은, 가요성을 가지고 표면에 복수의 접촉자를 갖춘 필름 타입 프로브와, 상기 필름 타입 프로브를 지지하여 상기 각 접촉자를 피검사체의 각 전극에 전기적으로 접촉시키는 프로브 블록과, 상기 프로브 블록에 지지되고, 상기 필름 타입 프로브의 각 접촉자가 피검사체의 각 전극에 각각 접촉한 상태에서 이 필름 타입 프로브를 균일한 압력으로 가압하는 가압부재를 갖추며, 상기 필름 타입 프로브의 선단부에 상기 각 접촉자가 갖추어짐과 동시에 상기 선단부가 상기 프로브 블록에서 연출(延出)하여 자유롭게 휘어질 수 있는 상태로 상기 필름 타입 프로브가 상기 프로브 블록에 지지되고, 상기 가압부재가, 상기 필름 타입 프로브의 선단부에 접촉하는 가압면을 갖고 그 가압면을 상기 필름 타입 프로브의 선단부로 향하게 한 상태로 상기 프로브 블록에 요동(搖動) 가능하게 지지됨과 동시에, 상기 가압부재의 가압면과 상기 필름 타입 프로브의 선단부와의 사이에 극간(隙間)을 갖는 것을 특징으로 한다.
또한, 피검사체를 지지하여 검사하는 측정부를 갖춘 검사장치로서, 상기 측정부의 프로브 유닛으로써, 상술한 프로브 유닛을 이용한 것을 특징으로 한다.
상기 프로브 유닛 및 검사장치에서는, 필름 타입 프로브의 각 접촉자와 피검사체의 각 전극과의 접촉 정밀도를 높게 유지할 수 있다.
도1은 종래의 프로브 유닛을 나타낸 측면 단면도이다.
도2는 종래의 프로브 유닛의 필름 타입 프로브를 나타낸 사시도이다.
도3은 본 발명의 실시형태에 따른 검사장치의 측정부를 나타낸 사시도이다.
도4는 본 발명의 실시형태에 따른 검사장치의 프로브 유닛을 정면측에서 나타낸 사시도이다.
도5는 본 발명의 실시형태에 따른 검사장치의 프로브 유닛을 배면측에서 나타낸 사시도이다.
도6은 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 프로브 조립체를 나타낸 측면 단면도이다.
도7은 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 프로브 조립체를 나타낸 정면도이다.
도8은 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 가압부재의 탄성체 베이스 가 오른쪽으로 요동한 상태를 나타낸 정면도이다.
도9는 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 가압부재의 탄성체 베이스 가 요동하고 있지 않는 상태를 나타낸 정면도이다.
도10은 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 가압부재의 탄성체 베이스 가 왼쪽으로 요동한 상태를 나타낸 정면도이다.
도11은 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 가압부재(도6의 점선 원 X부분)를 나타낸 요부 확대도이다.
도12는 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛의 필름 타입 프로브를 나타낸 평면도이다.
도13은 도11의 A-A선 단면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 따른 프로브 유닛 및 검사장치에 대해 첨부 도면을 참조하면서 설명한다.
본 실시형태의 검사장치는, 후술하는 본 발명의 프로브 유닛을 갖춘 장치이다. 이 프로브 유닛을 갖출 수 있는 공지의 모든 검사장치를 본 실시형태의 검사장치로서 이용할 수 있다. 이 검사장치는, 패널 세트부와 측정부를 갖추고 있다. 패널 세트부는, 외부에서 삽입된 피검사체로서의 액정 패널 등의 표시장치를 받아 측정부로 반송하고, 검사 종료 후의 표시장치를 외부로 넘겨주기 위한 장치이다. 측정부는, 패널 세트부에서 넘겨진 표시장치를 지지하여 점등 검사 등을 하기 위한 장치이다.
측정부는, 도3에 나타나 있듯이, 얼라인먼트 스테이지(11), 워크 테이블(12), 패널 받음부(13), 프로브 유닛(14) 등을 갖추어 구성되어 있다.
얼라인먼트 스테이지(11)는, 표시장치(16)의 XYZθ 방향의 위치 조정을 행하는 장치이다. 얼라인먼트 스테이지(11)는, X 이동기구, Y 이동기구, Z 이동기구, θ 회전기구(모두 도시하지 않음)를 갖추어 구성되어 있다. 워크 테이블(12)은, 표시장치(16)를 지지하는 부재이다. 패널 받음부(13)는, 표시장치(16)를 위치 결정하여 지지하는 부재이다. 표시장치(16)는 패널 받음부(13)로 지지되고, 패널 받음부(13)는 워크 테이블(12)로 지지되고, 워크 테이블(12)은 얼라인먼트 스테이지(11)로 지지되어 있다. 그리고, 얼라인먼트 스테이지(11)의 각 기구가 XYZθ 방향으로 동작함으로써, 표시장치(16)와 프로브 유닛(14)의 후술하는 필름 타입 프로브(23)가 정확하게 위치 맞추어짐과 동시에 서로 접촉되도록 되어 있다.
프로브 유닛(14)은, 후술하는 각 접촉자로서의 TAB 전극(66)을, 표시장치(16)의 각 전극(16A)에 각각 전기적으로 접촉시키는 부재이다. 프로브 유닛(14)은 주로, 프로브 베이스(18), 화상입력장치(19), 프로브 조립체(20)로 구성되어 있다.
프로브 베이스(18)는, 장치 본체측에 고정되어, 화상입력장치(19)와 프로브 조립체(20)를 일체로 지지하는 판재이다. 프로브 베이스(18)는, 표시장치(16)의 인접하는 2개의 변을 따라 2개 설치되어 있다. 각 프로브 베이스(18)는, 프로브 조립체(20)들을 워크 테이블(12) 위의 표시장치(16)로 향하게 하여 지지하고 있다. 각 프로브 베이스(18)의 위쪽 면에는, 접속기판(18A)(도4 참조)이 설치되어 있다. 접속기판(18A)은, 후술하는 필름 타입 프로브(23)에 접속되고, 이 필름 타입 프로브(23)을 통하여 표시장치(16)의 각 전극(16A)에 전기적으로 접속된다.
화상입력장치(19)는, 표시장치(16)의 위치결정용 마크(도시하지 않음)를 촬영하기 위한 장치이다. 화상입력장치(19)는, 위치결정용 마크들의 화상정보를 받아, 제어부(도시하지 않음)로 송신한다. 제어부는, 이 화상정보에 근거하여 얼라인먼트 스테이지(11)를 제어하고, 각 접촉자로서의 TAB 전극(66)과, 표시장치(16)의 각 전극(16A)이 서로 정합(整合)하도록 표시장치(16)의 위치를 조정하여, 서로 접촉시키도록 되어 있다.
프로브 조립체(20)는, 각 접촉자로서의 TAB 전극(66)을 직접 지지하고 있다. 이 프로브 조립체(20)는, 각 프로브 베이스(18)에 복수개 설치되어 있다. 각 프로브 조립체(20)는, 도4~6에 나타나 있듯이, 지지부(21), 슬라이드부(22), 필름 타입 프로브(23)로 구성되어 있다.
상기 지지부(21)는, 그 기단측이 상기 프로브 베이스(18)에 지지된 상태로, 그 선단측에서 상기 슬라이드부(22)를 지지하기 위한 부재이다. 이 지지부(21)는, 상기 프로브 베이스(18)에 직접 설치되어 전체를 지지하는 적재대(積載台)(25)와, 이 적재대(25)의 위쪽에 일체로 설치되어 슬라이드부(22)를 슬라이드 가능하게 지지하는 서스펜션 블록(26)으로 구성되어 있다.
적재대(25)는, 거의 입방체 형상으로 형성되어 있다. 적재대(25)의 아래쪽 면에는, 필름 타입 프로브(23)를 통과시키는 프로브용 홈(27)이 설치되어 있다. 프로브용 홈(27)은, 접속기판(18A) 측에서 슬라이드부(22) 측으로 관통한 홈으로서 구성되어 있다. 이 프로브용 홈(27)에, 필름 타입 프로브(23)의 FPC(61)가 통과하고 있다. FPC(61)는, 자유롭게 휘어질 수 있는 상태로, 프로브용 홈(27)을 관통하고 있다.
서스펜션 블록(26)은, 거의 L자형으로 형성되어 있다. 서스펜션 블록(26) 내에는, 2개의 볼트(28, 29)가 통과하고 있다. 이 볼트(28, 29)는, 적재대(25)에 박혀서, 적재대(25)와 서스펜션 블록(26)을 서로 고정하고 있다.
서스펜션 블록(26)의 상부의 선단측(워크 테이블(12)측)에는, 슬라이드 지지부(31)가 형성되어 있다. 이 슬라이드 지지부(31)는, 서스펜션 블록(26)의 상부로부터 수평으로 튀어나와서, 슬라이드부(22)의 상부를 덮도록 형성되어 있다. 슬라이드 지지부(31)에는, 조정 볼트 구멍(32)이 설치되어 있다. 이 조정 볼트 구멍(32)은, 조정 볼트(33)의 머리부(33A)를 끼워 넣기 위한 머리부용 요부(凹部)(32A)와, 조정 볼트(33)의 나사봉부(33B)를 통과시키는 나사 구멍부(32B)로 구성되어 있다. 나사 구멍부(32B)의 안쪽 면에는 나사 홈은 형성되어 있지 않고, 나사봉부(33B)가 자유롭게 상하로 움직일 수 있도록 되어 있다.
2개의 스프링(35)은, 조정 볼트(33)를 끼워서 슬라이드 지지부(31)와 슬라이드부(22)의 사이에 장착되어 있다. 구체적으로 스프링(35)은, 슬라이드 지지부(31)의 아랫면과, 슬라이드 블록(37)의 윗면에 설치된 요부(凹部)에 지지되어 슬라이드부(22)를 아래쪽(필름 타입 프로브(23) 측)으로 힘을 가하고 있다. 서스펜션 블록(26) 중, 슬라이드부(22) 측의 세로 벽에는, 슬라이드 레일(36)이 상하방향을 향해서 설치되어 있다. 이 슬라이드 레일(36)은, 슬라이드부(22)를 상하방향으로 슬라이드 가능하게 지지하는 레일이다.
슬라이드부(22)는, 필름 타입 프로브(23)를 지지하여 서스펜션 블록(26) 측의 스프링(35)으로 아래쪽으로 힘이 가해지는 부재이다. 슬라이드부(22)는, 슬라이드 블록(37)과 프로브 블록(38)으로 구성되어 있다.
슬라이드 블록(37)은, 지지부(21)의 서스펜션 블록(26)에 상하방향으로 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. 슬라이드 블록(37)은, L자형으로 형성되고, 슬라이드 가이드(40), 조정 볼트 구멍(41), 고정 볼트 구멍(42), 위치 결정 핀 구멍(43)을 갖추고 있다.
슬라이드 가이드(40)는, 서스펜션 블록(26)의 슬라이드 레일(36)에 슬라이드 가능하게 설치되어 있다. 슬라이드 가이드(40)는, 슬라이드 블록(37)에 고정되어, 이 슬라이드 블록(37)을 상하로 슬라이드 가능하게 지지하고 있다.
조정 볼트 구멍(41)은, 상기 조정 볼트(33)가 박히기 위한 나사 구멍이다. 상기 조정 볼트 구멍(41)에 조정 볼트(33)가 박히고, 이 조정 볼트(33)의 박히는 양을 바꾸어, 슬라이드 블록(37)의 높이를 조정하도록 되어 있다. 이에 의해, 슬라이드부(22)가 설정 높이로 조정되어, 필름 타입 프로브(23)의 각 접촉자로서의 TAB 전극(66)과, 표시장치(16)의 각 전극(16A)의 간격을 조정하도록 되어 있다. 그리고, 조정 볼트 구멍(41)에 박힌 조정 볼트(33)는, 그 머리부(33A)가 슬라이드 지지부(31)의 조정 볼트 구멍(32)의 머리부용 요부(32A)에 지지된 상태로, 슬라이드 블록(37)을 지지하고 있다. 게다가, 슬라이드 블록(37)은, 스프링(35)으로 아래쪽으로 힘이 가해지고 있다. 이에 의해, 슬라이드부(22)에 지지된 필름 타입 프로브(23)의 각 접촉자로서의 TAB 전극(66)이 표시장치(16)의 각 전극(16A)에 접촉했을 때, 스프링(35)이 수축하여, 각 접촉자로서의 TAB 전극(66)과 각 전극(16A)이 탄성적으로 가압되도록 되어 있다.
고정 볼트 구멍(42)은, 고정 볼트(45)가 통과되어, 슬라이드 블록(37)과 프로브 블록(38)이 서로 고정되기 위한 볼트 구멍이다.
위치 결정 핀 구멍(43)은, 위치 결정 핀(46)이 끼워 넣어져, 슬라이드 블록(37)과 프로브 블록(38)이 서로 위치 결정되기 위한 핀 구멍이다.
프로브 블록(38)은, 필름 타입 프로브(23)를 직접 지지하여 상기 각 접촉자로서의 TAB 전극(66)을 표시장치(16)의 각 전극(16A)에 전기적으로 접촉시키기 위한 부재이다. 프로브 블록(38)은, 거의 입방체 형상으로 형성되어 있다. 이 프로브 블록(38)의 위쪽 면에는, 상기 위치 결정 핀(46)과 정합하는 위치에 위치 결정 핀 구멍(48)이 설치되고, 고정 볼트 구멍(42)과 정합하는 위치에 고정 볼트 구멍(49)이 설치되어 있다. 프로브 블록(38)의 아래쪽 면에는, 필름 타입 프로브(23)를 고정하는 나사 구멍(50)이 설치되어 있다.
프로브 블록(38)의 선단측(도6의 좌측)에는, 후술하는 가압부재(55)를 장착하여 지지하는 가압부재 장착부(51)가 설치되어 있다. 이 가압부재 장착부(51)는, 프로브 블록(38)의 선단측의 상부를 가압부재(55)의 두께와 같은 치수만큼 돌출하여 형성된 돌출부(52)와, 가압부재(55)를 고정하는 나사 구멍(53)으로 구성되어 있다.
돌출부(52)는, 장착된 가압부재(55)의 위쪽 단부와의 사이에 약간의 극간이 생기도록 형성되어, 가압부재(55)의 요동(搖動)을 허용하고 있다. 나사 구멍(53)은, 가압부재(55)를 요동 가능하게 지지하기 위한 나사 구멍이다. 나사 구멍(53)은, 테이퍼부를 갖고, 가압부재(55)를 정확하게 위치 결정하여 고정하도록 되어 있다.
프로브 블록(38)의 선단측의 가압부재 장착부(51)에는, 가압부재(55)가 설치되어 있다. 이 가압부재(55)는, 필름 타입 프로브(23)를 균일한 압력으로 가압하기 위한 부재이다. 가압부재(55)는, 프로브 블록(38)에 요동 가능하게 지지되어, 필름 타입 프로브(23)의 각 접촉자로서의 TAB 전극(66)이 표시장치(16)의 각 전극(16A)에 각각 접촉한 상태로 가압하도록 되어 있다.
가압부재(55)는, 도6~11에 나타나 있듯이, 설치 나사(56), 베어링(57), 탄성체 베이스(58), 탄성체(59)로 구성되어 있다.
설치 나사(56)는, 베어링(57)을 통해서 탄성체 베이스(58)를 회전 가능하게 지지하기 위한 나사이다. 설치 나사(56)는, 상기 프로브 블록(38)의 가압부재 장착부(51)의 나사 구멍(53)에 박힘으로써, 가압부재(55)를 가압부재 장착부(51)에 설치하고 있다.
베어링(57)은, 설치 나사(56)에 의해 고정되어, 탄성체 베이스(58)를 상기 프로브 블록(38)의 가압부재 장착부(51)에 요동 가능하게 지지하고 있다.
탄성체 베이스(58)는, 사각형 판상으로 형성되고, 프로브 블록(38)의 선단측의 가압부재 장착부(51)에 요동 가능하게 장착되어 있다.
탄성체(59)는, 필름 타입 프로브(23)에 직접적으로 접촉하여 가압하기 위한 부재이다. 탄성체(59)는, 탄성체 베이스(58)의 필름 타입 프로브(23) 측에 설치되어 있다. 이에 의해, 상기 가압부재(55)의 가압면 부분이, 탄성체(59)로 구성되어 있다. 이 탄성체(59)의 아래쪽 면이, 상기 필름 타입 프로브(23)의 선단부에 접촉하는 가압면으로 되어 있다. 이 가압면(탄성체(59)의 아래쪽 면)이, 상기 필름 타입 프로브(23)의 선단부로 향해진 상태로, 탄성체(59)는 상기 프로브 블록(38)에 요동 가능하게 지지되어 있다.
필름 타입 프로브(23)는, 표시장치(16)의 각 전극(16A)에 전기적으로 접속되는 부재이다. 필름 타입 프로브(23)는, 도5, 6, 11, 12에 나타나 있듯이, FPC(61), 커넥터(62), TAB 설치판(63), TAB 기판(64), TAB·IC(65), TAB 전극(66)으로 구성되어 있다.
FPC(61)는, 프로브 베이스(18) 측에 고정된 접속기판(18A)과, TAB 설치판(63)에 설치된 TAB 기판(64)을 접속하기 위한 부재이다. FPC(61)는, 가요성을 가지며, 슬라이드부(22)의 상하로의 슬라이드에 대응하여 휘도록 되어 있다. FPC(61)의 기단부(도6의 우측 단부)에는 커넥터(62)가 설치되고, 이 커넥터(62)를 통해서 FPC(61)가 접속기판(18A)에 전기적으로 접속되어 있다.
TAB 설치판(63)은, TAB 기판(64) 등을 지지하여, 프로브 블록(38)의 아래쪽 면에 고정되는 판이다. TAB 설치 나사(69)가 프로브 블록(38)의 아래쪽 면의 나사 구멍(50)에 박힘으로써, TAB 설치판(63)이 프로브 블록(38)의 아래쪽 면에 고정되어 있다.
TAB 기판(64)은, TAB·IC(65)와 TAB 전극(66)을 지지하는 기판이다. TAB 기판(64)은, 가요성을 갖는 재료로 구성되고, TAB 설치판(63)에 고정되어 있다. 게다가, TAB 기판(64)은, TAB 설치판(63)에 고정된 상태로, 그 선단부(필름 타입 프로브(23)의 선단부로서, 도6의 좌측 단부)가, TAB 설치판(63)으로부터 연출(延出)하고, 게다가 프로브 블록(38)으로부터 연출하여 형성되어 있다. 이에 의해, TAB 기판(64)의 선단부가, 자유롭게 휘어질 수 있는 상태로 상기 프로브 블록(38)에 지지되어 있다.
TAB·IC(65)는, 표시장치(16)의 구동 기능 등을 갖추고 있다. TAB·IC(65)의 한쪽은 FPC(61)의 배선(61A)에 접속되고, TAB·IC(65)의 다른 쪽은 TAB 전극(66)에 접속되어 있다.
TAB 전극(66)은, 표시장치(16)의 각 전극(16A)에 접촉되는 접촉자이다. TAB 전극(66)은, 상기 TAB 기판(64)의 선단부의 아래쪽 표면에 복수개 설치되어 있다. 구체적으로는, 표시장치(16)의 각 전극(16A)과 같은 수의 TAB 전극(66)이, 각 전극(16A)의 위치에 대응한, 상기 TAB 기판(64)의 선단부의 아래쪽 표면의 위치에, 각각 설치되어 있다.
자유롭게 휘어질 수 있는 상태로 상기 프로브 블록(38)에 연출하여 지지된 상기 TAB 기판(64)의 선단부(상기 필름 타입 프로브(23)의 선단부)는, 상기 가압부재(55)의 가압면(탄성체(59)의 아래쪽 면)과의 사이에 극간(S)(도11 참조)을 갖고 있다. 이 극간(S)에 의해, 상기 TAB 기판(64)의 선단부의 아래쪽 표면의 TAB 전극(66)이, 표시장치(16)의 각 전극(16A)에 각각 접촉된 상태로, 표시장치(16)에 눌려 조금 위로 올라갔을 때, 상기 TAB 기판(64)의 선단부와 상기 가압부재(55)의 가압면이 서로 접촉하도록 되어 있다. 즉, 표시장치(16)의 기판 표면의 굴곡에 의해, 전극(16A)이 평탄하지 않을 때, 상기 TAB 기판(64)이 표시장치(16)에 눌려 조금 위로 올라가고, TAB 기판(64)은 자신의 휘어짐에 의해 전극(16A)의 윗면에 추종하고, 그 후 탄성체(59)는 탄성체 베이스(58)의 요동작용에 의해 TAB 기판(64)의 윗면에 추종하여, 각 TAB 전극(66)이 각 전극(16A)에 확실하게 접촉한 상태에서, 상기 TAB 기판(64)의 선단부가 상기 가압부재(55)의 가압면(탄성체(59)의 아래쪽 면)에서 가압되도록 되어 있다. 즉, 상기 TAB 기판(64)의 선단부(상기 필름 타입 프로브(23)의 선단부)와 상기 가압부재(55)의 가압면과의 사이의 극간(S)은, TAB 기판(64)의 선단부가 자유롭게 휘는 것을 허용하고, 또한 탄성체 베이스(58)의 요동작용을 허용하고 있다. 그에 의해, 상기 TAB 기판(64)의 선단부를 자유로운 상태에서 휘게 하여 전극(16A)의 윗면에 추종시키는 것이 가능해져, 미리 TAB 기판(64)의 선단부를 탄성체(59)의 아랫면에 접촉 혹은 접착시킨 경우와 비교하여 TAB 기판(64)의 선단부에 스트레스가 가해지는 일이 없기 때문에 정밀도가 좋은 접촉이 가능해짐과 동시에 파손의 방지, 수명의 연장이 가능하게 된다.
이상과 같이 구성된 프로브 유닛(14)은, 다음과 같이 작용한다.
표시장치(16)가 얼라인먼트 스테이지(11)에 놓이고, 이 얼라인먼트 스테이지(11)에서, 도13(A)에 나타나 있듯이, 표시장치(16)의 각 전극(16A)과, 필름 타입 프로브(23)의 각 TAB 전극(66)이 서로 정합하도록 위치가 맞추어진다. 여기에서, 표시장치(16)의 굴곡에 의해, 각 전극(16A)과, TAB 기판(64)의 선단부와의 사이에 Θ1의 기울기가 있는 것으로 한다.
이어서, 얼라인먼트 스테이지(11)로 표시장치(16)가 위로 올려져, 표시장치(16)의 각 전극(16A)과, 필름 타입 프로브(23)의 각 TAB 전극(66)이 서로 접촉된다.
이때, 상기 TAB 기판(64)의 선단부는, 자유롭게 휘어질 수 있는 상태로 상기 프로브 블록(38)에 연출해 있기 때문에, 도13(B)와 같이, 표시장치(16)에 맞추어 휘어, 표시장치(16)의 각 전극(16A)과, 필름 타입 프로브(23)의 각 TAB 전극(66)이 서로 정합하여 접촉한다. 또한, 이때는, 이들 사이에는 거의 압력이 걸려 있지 않다.
이와 같이, 표시장치(16)의 표면의 굴곡 등에 의해, 각 전극(16A)의 윗면과 필름 타입 프로브(23)의 각 TAB 전극(66)이 병행해 있지 않는 경우에도, 얼라인먼트 스테이지(11)로 표시장치(16)가 위로 올려져 상기 필름 타입 프로브(23)의 선단부가 조금 위로 올라갔을 때, 상기 TAB 기판(64)의 선단부는, 상기 가압부재(55)의 가압면과의 사이의 극간(S)이 있기 때문에, 각 전극(16A)에 유연하게 추종하여, 서로 정합한다.
그리고, 그 후, 상기 TAB 기판(64)의 선단부가, 상기 가압부재(55)의 탄성체(59)의 가압면에 접촉하여 가압된다.
게다가, 가압부재(55)는, 상기 프로브 블록(38)에 요동 가능하게 지지되어 있기 때문에, 표시장치(16)의 표면이 평탄하지 않은 때에도, 그 각도를, 표시장치(16)의 윗면에 맞추어 바꾼다. 그 결과, 도13(C)에 나타나 있듯이, 필름 타입 프로브(23)의 선단부의 각 TAB 전극(66)이 표시장치(16)의 각 전극(16A)에 각각 접촉한 상태로, 각 TAB 전극(66)과 각 전극(16A)과의 정합을 유지하면서, 필름 타입 프로브(23)의 선단부가, 상기 각도를 바꾼 가압부재(55)의 가압면에 접촉한다. 이에 의해, 각 전극(16A)과, TAB 기판(64)의 선단부와의 사이의 기울기 Θ1은 Θ2(≒0)가 되어, 표시장치(16)의 굴곡이 흡수된다.
이에 의해, 상기 가압부재(55)가, 상기 필름 타입 프로브(23)의 선단부에 균일하게 압접(壓接)한다. 게다가, 상기 필름 타입 프로브(23)의 선단부가, 표시장치(16) 측에 접촉하여 상기 가압부재(55)에 접촉될 때, 그 가압부재(55)를 상기 스프링(35)이 힘을 가하여 상기 필름 타입 프로브(23)의 선단부를 탄성적으로 가압한다.
그 결과, 필름 타입 프로브(23)의 각 TAB 전극(66)과 표시장치(16)의 각 전극(16A)과의 접촉 정밀도를 높게 유지할 수 있게 된다.
또한, 상기 실시형태에 따른 검사장치로는, 상기 프로브 유닛(14)을 갖출 수 있는 공지의 모든 검사장치를 이용할 수 있다.
11: 얼라인먼트 스테이지 12: 워크 테이블
13: 패널 받음부 14: 프로브 유닛
16: 표시장치 16A: 각 전극
18: 프로브 베이스 18A: 접속기판
19: 화상입력장치 20: 프로브 조립체
21: 지지부 22: 슬라이드부
23: 필름 타입 프로브 25: 적재대
26: 서스펜션 블록 27: 프로브용 홈
28, 29: 볼트 31: 슬라이드 지지부
32: 조정 볼트 구멍 32A: 머리부용 요부(凹部)
33: 조정 볼트 33A: 머리부
33B: 나사봉부 35: 스프링
36: 슬라이드 레일 37: 슬라이드 블록
38: 프로브 블록 40: 슬라이드 가이드
41: 조정 볼트 구멍 42: 고정 볼트 구멍
43: 위치 결정 핀 구멍 45: 고정 볼트
46: 위치 결정 핀 48: 위치 결정 핀 구멍
49: 고정 볼트 구멍 50: 나사 구멍
51: 가압부재 장착부 52: 돌출부
53: 나사 구멍 55: 가압부재
56: 설치나사 57: 베어링
58: 탄성체 베이스 59: 탄성체
61: FPC 62: 커넥터
63: TAB 설치판 64: TAB 기판
65: TAB·IC 66: TAB 전극
69: TAB 설치나사 S: 극간(隙間)

Claims (4)

  1. 가요성을 갖고 표면에 복수의 접촉자를 갖춘 필름 타입 프로브;
    상기 필름 타입 프로브를 지지하여 상기 각 접촉자를 피검사체의 각 전극에 전기적으로 접촉시키는 프로브 블록; 및
    상기 프로브 블록에 지지되고, 상기 필름 타입 프로브의 각 접촉자가 피검사체의 각 전극에 각각 접촉한 상태로 이 필름 타입 프로브를 균일한 압력으로 가압하는 가압부재;
    를 포함하고,
    상기 필름 타입 프로브의 선단부에 상기 각 접촉자가 갖추어짐과 동시에 상기 선단부가 상기 프로브 블록으로부터 연출(延出)하여 자유롭게 휘어질 수 있는 상태로 상기 필름 타입 프로브가 상기 프로브 블록에 지지되고,
    상기 가압부재가, 상기 필름 타입 프로브의 선단부에 접촉하는 가압면을 갖고 그 가압면을 상기 필름 타입 프로브의 선단부로 향하게 한 상태로 상기 피검사체의 각 전극의 윗면에 따르도록 상기 프로브 블록에 요동 가능하게 지지됨과 동시에, 상기 가압부재의 가압면과 상기 필름 타입 프로브의 선단부와의 사이에 그 필름 타입 프로브가 상기 가압면에 접촉하지 않고 상기 피검사체의 각 전극에 유연하게 따르게 하여 서로 정합(整合)하기 위한 극간을 갖는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  2. 제1항에 있어서, 상기 가압부재의 가압면 부분이, 탄성체로 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  3. 제1항에 있어서, 상기 프로브 블록이, 슬라이드 가능하게 상기 필름 타입 프로브 측으로 힘이 가해져 설치되고, 상기 필름 타입 프로브의 선단부가 상기 피검사체 측에 접촉하여 휘어 상기 가압부재에 접촉될 때, 그 가압부재를 힘을 가하여 상기 필름 타입 프로브의 선단부를 탄성적으로 균일하게 가압하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.
  4. 피검사체를 지지하여 검사하는 측정부를 갖춘 검사장치로서,
    상기 측정부의 프로브 유닛으로서, 제1항 내지 제3항의 어느 한 항에 기재된 프로브 유닛을 이용한 것을 특징으로 하는 검사장치.
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