KR20040014211A - 프로브 카드 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 테스트 대상인 반도체 장치 등의 전기적 테스트를 수행하기 위해 사용되는 프로브 카드에 있어서,기판 본체;인터포저를 통해 상기 기판 본체와 전기적인 접촉을 할 뿐만 아니라 테스트 대상과 전기적인 접촉을 하는, 상기 기판 본체의 일측에 구비된 콘택터 유닛;상기 콘택터 유닛의 일측을 탄성적으로 지지하는 지지수단; 및상기 콘택터 유닛의 평행을 조정하기 위해 상기 콘택터 유닛의 타측과 수직 방향으로 접촉하게 되는 평행조정수단을 포함하고,상기 지지수단은, 상기 기판 본체의 일측에 배치된 지지부재와, 상기 지지부재의 내측 부분에 구비된 플랜지부와 상기 콘택터 유닛의 외측 부분에 구비된 플랜지부 사이에 수직 방향으로 삽입된 코일 스프링을 포함하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
- 제 1항에 있어서, 상기 기판 본체의 타측에는 상기 기판 본체와 접촉하게 되는 제 1보강판이 배치되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
- 제 2항에 있어서, 상기 지지부재는 상기 기판 본체에 형성된 보어 홀내에 삽입된 스페이서를 통해 상기 제 1보강판에 부착되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
- 제 2항에 있어서, 상기 기판 본체와 상기 제 1보강판 사이에 열전도 시트가 구비되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
- 제 3항에 있어서, 상기 기판 본체와 상기 제 1보강판 사이, 상기 스페이서와 상기 제 1보강판 사이, 및 상기 스페이서와 상기 지지부재 사이에 열전도 시트가 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
- 제 2항 내지 제 5항 중 어느 한 항에 있어서, 리딩 에지가 상기 기판 본체에 형성된 홀을 통해 상기 콘택터 유닛과 접촉되도록 하기위해, 평행조정수단으로서 작용하는 나사가 상기 제 1보강판에 나사고정되고, 상기 제 1보강판에 형성된 홀을 덮는 제 2보강판이 상기 제 1보강판에 부착되며, 리딩 에지가 상기 홀을 통해 상기 콘택터 유닛 상의 상기 기판 본체의 위치에 접촉하도록 하기 위해 나사가 상기 제 2보강판에 나사고정되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
- 제 6항에 있어서, 상기 제 1보강판과 상기 제 2보강판 사이에 열전도 시트가 구비되는 것을 특징으로 하는 프로브 카드.
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