KR100549551B1 - 탐침 카드의 조립 구조 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (14)
- 반도체 웨이퍼의 검사를 위한 탐침을 이용하는 탐침 카드의 조립구조에 있어서,테스트 회로가 배치되며, 상기 테스트 회로와 연결된 전기 커넥터가 마련된 인쇄회로기판과,상기 인쇄회로기판의 일측에 장착되는 상부 고정자와,상기 상부 고정자에 인접하게 설치되어 상기 전기 커넥터의 일단을 탄성 지지하는 비전도성의 탄성 패드와,상기 인쇄회로기판의 타측에 설치되며 상기 전기 커넥터와 접속되는 다수의 탐침을 갖는 탐침판과,상기 인쇄회로기판에 대해 상기 탐침판을 지지하는 하부 고정자와,상기 인쇄회로기판 상에 배치되어 상기 탐침판의 일정 영역의 평탄도를 조절하는 평탄화 브래킷과, 상기 탐침판을 고정시키도록 배치된 탐침판 고정 브래킷과, 상기 하부 고정자로부터 삽입되어 상기 하부 고정자와 상기 인쇄회로기판을 통과하여 상기 상부 고정자에 체결되는 제1 평탄화 조정 나사와, 상기 탐침판 고정 브래킷으로부터 삽입되어 상기 평탄화 브래킷의 테두리에 체결되며, 상기 평탄화 브래킷을 하부방향으로 당겨서 평탄화하는 제2 평탄화 조정 나사와, 상기 상부 고정자로부터 삽입되어 상기 인쇄회로기판을 통해 상기 평탄화 브래킷에 체결되며, 상기 탐침판 사이에 배치된 상기 평탄화 브래킷의 테두리를 상부방향으로 당겨서 평탄화하는 제3 평탄화 조정 나사로 이루어지는 평탄화 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 탐침 카드 조립구조.
- 제1항에 있어서, 상기 탄성 패드는 상기 상부 고정자의 중앙영역에 형성된 홈에 내장되는, 탐침 카드 조립구조.
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- 제1항에 있어서, 상기 평탄화 브래킷은 네 모서리로부터 내측으로 연장된 플랜지부가 형성된 프레임 형상이며, 상기 프레임의 테두리 판면에 상기 제2 평탄화 조정 나사가 체결되는 다수의 나사 체결공이 형성되고, 상기 플랜지부에 상기 제3평탄화 조정 나사가 체결되는 체결공이 형성되어 있는, 탐침 카드 조립 구조.
- 제7항에 있어서, 상기 평탄화 브래킷의 프레임 판면의 테두리를 따라 가이드 홈이 형성되고, 상기 가이드 홈에 O-링이 수용되어 상기 인쇄회로기판과 상기 평탄화 브래킷의 간극을 조정하는 스프링 기능을 하는, 탐침 카드 조립구조.
- 제1항에 있어서, 상기 탐침판은 상기 평탄화 브래킷에 비해 너비와 폭이 좁게 형성되고 테두리 판면에 상기 제2 평탄화 조정 나사가 삽입되는 나사 삽입공이 형성되어 있으며, 상기 평탄화 브래킷의 내측 테두리에 걸쳐지게 안착되는, 탐침 카드 조립구조.
- 제1항에 있어서, 상기 탐침판 고정 브래킷은 상기 평탄화 브래킷에 비해 너비와 폭이 좁고 상기 탐침판에 비해 너비와 폭이 큰 프레임 형상을 가지며, 내측 테두리부가 절곡되어 있어 상기 탐침판의 테두리와 맞물리며, 상기 제2 평탄화 조정 나사의 체결공이 형성되어 있는, 탐침 카드 조립구조.
- 제1항에 있어서, 상기 하부 고정자는 원형 판 형상이며, 중앙 영역에 사각형상으로 판면이 절취되어 있고, 판면에 상기 제1 평탄화 조정 나사의 삽입공이 형성되어 있는, 탐침 카드 조립구조.
- 제1항에 있어서, 상기 전기커넥터의 판면이 내측으로 만곡하게 절취 형성되어 있는, 탐침 카드 조립구조.
- 제2항에 있어서,상기 상부 고정자의 중앙영역에 형성된 홈에 상기 탄성패드와 면접하게 금속판이 부착되고, 상기 금속판과 접속되는 상기 홈의 판면에 스프링 홈이 형성되어, 스프링이 상기 스프링 홈에 수용되어 상기 금속판을 탄성적으로 지지하는, 탐침 카드 조립구조.
- 제2항에 있어서,상기 탄성 패드위에 다수개의 금속편을 부착하고 상기 금속편에 상기 상부 고정자의 외측 판면으로부터 삽입된 조정나사를 심어, 상기 각 금속편의 조정나사를 조정에 따라 해당 탄성 패드 영역의 평탄도를 부분적으로 조정하는, 탐침 카드 조립구조.
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